CN104236407B - 校正平台标尺的方法 - Google Patents
校正平台标尺的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104236407B CN104236407B CN201410256220.0A CN201410256220A CN104236407B CN 104236407 B CN104236407 B CN 104236407B CN 201410256220 A CN201410256220 A CN 201410256220A CN 104236407 B CN104236407 B CN 104236407B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- platform
- scale
- mark
- deflection
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- YBJHBAHKTGYVGT-ZKWXMUAHSA-N (+)-Biotin Chemical compound N1C(=O)N[C@@H]2[C@H](CCCCC(=O)O)SC[C@@H]21 YBJHBAHKTGYVGT-ZKWXMUAHSA-N 0.000 description 1
- 241000208340 Araliaceae Species 0.000 description 1
- 235000005035 Panax pseudoginseng ssp. pseudoginseng Nutrition 0.000 description 1
- 235000003140 Panax quinquefolius Nutrition 0.000 description 1
- 235000008434 ginseng Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- FEPMHVLSLDOMQC-UHFFFAOYSA-N virginiamycin-S1 Natural products CC1OC(=O)C(C=2C=CC=CC=2)NC(=O)C2CC(=O)CCN2C(=O)C(CC=2C=CC=CC=2)N(C)C(=O)C2CCCN2C(=O)C(CC)NC(=O)C1NC(=O)C1=NC=CC=C1O FEPMHVLSLDOMQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
- G01B11/165—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by means of a grating deformed by the object
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
- G01J2003/282—Modified CCD or like
Abstract
本发明提供一种校正平台标尺的方法，其包含：测量平台标尺的一端的变形量和另一端的变形量，其中从一端朝向另一端沿纵向方向出现扩张或收缩；通过使用一端和另一端的变形量计算将要应用于平台的移动量计算的标度因子；以及通过应用计算出的标度因子计算平台的移动控制值和位置校正值。本发明提供的方法即使在平台标尺变形时也将平台移动到精确位置。
Description
技术领域
本发明涉及一种校正平台标尺的测量值的方法，所述标尺测量安装在衬底上的平台的移动量，并且具体而言，涉及一种无论平台标尺的如何变形允许执行精确测量的校正平台标尺的方法。
背景技术
作为一种在衬底上留下特定图案的方法，存在有喷墨或激光束照射方案。
光束图案化方法可以通过(激光)束照射在衬底上的希望位置处留下特定图案。因此，频繁地使用光束图案化方法，因为所述方法可以精确且快速地应用于较大区域。
如在第2012-0131338号韩国专利申请公开案中所揭示，典型的激光图案化设备包含：处理室；安装在处理室内部的平台，所述平台支撑衬底并且在处理进行方向上横向移动衬底；以及安装在处理室的顶部部分上的发射激光束的激光模块。加载到激光图案化设备的处理室中的衬底可以由来自处理室中的激光模块的激光束进行照射并且在其上的希望位置处进行图案化。
对于通过此种激光束照射的图案化处理，衬底安装在处理室中的衬底传递部分的平台上并且在激光模块的下部部分中往复运动。然而，当处理进行并且平台与受到控制的移动距离相比过度或较少地移动时，图案化目标区域偏离希望区域，并且图案化在不希望的区域上执行。这是因为平台标尺在处理中通过例如周围的热源等各种原因引起的变形而发生。
举例来说，当假定平台需要移动四个单位标度并且平台标尺维持标准形状而不发生变形时，如图1A中所示，平台精确地移动四个单位标度。平台驱动模块移动平台并且通过编码器121读取平台标尺10的标度，并且移动所述平台直到从平台标尺10中读取的标度变化为4那么大为止。
然而，当平台标尺由于热诱因或机械诱因而发生变形同时处理进行时，平台不以设定移动距离移动并且出现误差。举例来说，当平台标尺的一端具有加热部分时，如图1B中所示，平台标尺10′的长度延伸，平台标尺10′也延伸并且具有与实际标度相比拉长的标度。因此，即使所述平台将要移动4个单位标度，标尺的长度与真实的标度相比也是拉长的，这是因为在通过平台标尺的编码器读取的标度中出现误差。也就是说，即使读取标度的变化量为4，那么平台实际上移动的距离也对应于5.4，而这不是对应于4个单位标度的设计距离。因此，与4相比平台移动地更多。
因此，根据平台标尺的变形而产生的平台的移动量误差使得光束照射在偏离设计的图案化区域的区域上。
发明内容
本发明提供即使在平台标尺变形时也将平台移动到精确位置的方法。
本发明还提供一种根据平台标尺的变形校正平台的移动量误差的方法。
根据一个示例性实施例，一种校正平台标尺的方法包含：测量平台标尺的一端的变形量和另一端的变形量，其中从一端朝向另一端沿纵向方向出现扩张或收缩；通过使用一端和另一端的变形量计算将要应用于平台的移动量计算的标度因子；以及通过应用计算出的标度因子计算平台的移动控制值和位置校正值。
一端的变形量的测量可以通过以下方式执行：在平台移动之前在平台标尺的纵向方向上的一个轴上形成第一标记和第二标记、在平台以设定距离从平台标尺的一端朝向另一端移动之后检查平台的第一标记和第二标记的位置、将检查到的第一标记和第二标记的位置与移动之前先前测量到的标记位置相比较，并且测量一端和另一端的变形量。
一端变形量的测量可以包含：在平台移动之前在平台标尺的纵向方向上的一个轴上形成第一标记和第二标记；测量第一标记和第二标记的位置并且获得作为第一参考标记坐标和第二参考标记坐标的位置；将平台从平台标尺的一端朝向另一端移动设定距离；测量在移动后的平台上的第一标记和第二标记的位置并且获得作为第一移动标记坐标和第二移动标记坐标的测量到的位置；通过在平台标尺的纵向方向上将设定距离添加到第一参考标记坐标中而计算第一计算标记坐标，并且通过在平台标尺的纵向方向上将设定距离添加到第二参考标记坐标中而计算第二计算标记坐标；以及通过从第一移动标记坐标中减去第一计算标记坐标而计算一端的变形量，并且通过从第二移动标记坐标中减去第二计算标记坐标而计算另一端的变形量。
标度因子的计算可以包含通过使用变形量差值计算标度因子，变形量差值是从另一端的变形量中减去一端的变形量获得的。
标度因子的计算可以包含：计算从另一端的变形量中减去一端的变形量获得的变形量差值；通过从设定距离中减去变形量差值计算实际移动距离值；以及通过将实际移动距离值除以设定距离计算标度因子。
计算出的标度因子的应用可以包含：当平台移动时，通过采用以平台移动命令值乘以标度因子获得的值作为平台的移动控制值来移动平台。
计算出的标度因子的应用可以包含：当测量平台的移动量时，采用在移动的平台的位置处读取的平台标尺的标度值乘以标度因子获得的值作为位置校正值。
平台的移动控制值和位置校正值可以通过以下方式进行计算：使用在处理进行中通过执行变形量的测量和标度因子的计算而更新的标度因子。
附图说明
通过结合附图进行的以下描述可以更详细地理解示例性实施例，其中：
图1A和图1B说明了在平台标尺不发生变形的标准状态下以及在平台标尺发生变形的状态下的平台移动。
图2说明了一种衬底处理设备，其中对平台标尺进行校正并且随后执行激光束照射。
图3A和图3B说明根据本发明的一个实施例的平台和平台标尺。
图4A和图4B说明不发生变形的标准平台标尺和变形的平台标尺。
图5是说明一种校正平台的标度因子的过程的流程图，其中标度因子根据本发明的一个实施例进行计算和应用。
图6A和图6B说明当不发生变形的标准平台标尺和变形的平台标尺移动时的标记位置。以及
图7A和图7B说明根据本发明的一个实施例的移动标记坐标和计算标记坐标。
符号的说明
10、10′、130：平台标尺
100：处理室
110：平台
121：编码器
130a、130b：端
200：激光模块
d：设定距离
M1：第一标记
M2：第二标记
S：衬底
S610～S630：操作
Y：方向
具体实施方式
下文中将参看附图详细描述示例性实施例。然而，本发明可以以许多不同的形式得到实施，并且不应被解释为限于在本文中列举的实施例；实际上，提供这些实施例是为了使本发明透彻且完整，并且这些实施例将把本发明的概念完整地传达给所属领域的技术人员。另外，本发明仅由权利要求书的范围界定。通篇中，相同参考标号指代相同元件。
图2说明了一种衬底处理设备，其中对平台标尺进行校正并且根据本发明的一个实施例执行激光束照射，并且图3A和图3B说明了根据本发明的一个实施例的平台和平台标尺。
所述衬底处理设备在衬底S上通过用激光束扫描(照射)衬底S来执行激光束图案化。这种衬底处理设备包含具有内部空间的处理室100、设置在处理室100中并且支撑衬底S的平台120、包含允许平台120往复运动的平台驱动模块(未图示)的平台传递部分，以及安装在处理室100的一侧上并且发射激光束的激光模块200。
此外，在处理室100中布置标记图案化部分(未图示)。标记图案化部分是用于指示平台上的标记的部分。另外，在处理室100中布置具有电荷耦合装置(CCD)传感器的视觉摄像机(未图示)。通过视觉摄像机，平台120得到成像并且可以检查在平台上指示的标记的位置。
此外，如图3A和图3B中所示，平台标尺130布置在平台传递部分上，其与平台120的至少任何一侧相对。平台标尺130由玻璃材料形成并且具有指示在其上指示的长度的标度。每当平台120移动时，安装在平台120上的至少一个编码器121读取其相对侧上的平台标尺130的标度，并且将读取数值提供给平台驱动模块。举例来说，当移动所述平台时，平台驱动模块读取平台标尺130的标度并且以希望的距离移动平台120。举例来说，当希望位于某一位置处(其中在图3A中读取5个单位标度)的平台在平台标尺130的纵向方向(+Y方向)上移动10个单位标度时，平台驱动模块移动平台120直到如图3B中所示读取10个单位标度为止。当在平台120的移动期间读取10个单位标度时，平台120的移动在图3B的位置处停止。术语“单位标度”在下文中是指在平台标尺130上指示的标度单位并且包含多种单位，例如，μm、mm或cm。
然而，由于周围的热诱因、机械诱因等，平台标尺130可以扩张或收缩。举例来说，当加热器围绕平台标尺130的一端布置时，平台标尺130可以在一端的方向上扩张。为了进行参考，当处理停止并且过了预定时间时，此类变形可以返回到标准状态。
在处理进行之前，如图4A所示，标准平台标尺130具有未变形的精确的单位标度，但是可以在平台标尺130的另一端130b的方向上扩张和变形，如图4B所示。当变形时，平台标尺130的标度间隔地增大并且难以起到精确标度的作用。在本发明的一个实施例中，考虑由于其此类扩张或收缩而引起的平台标尺的变形计算单独的标度因子。当所述平台移动或读取平台标尺的标度时，应用标度因子，并且随后移动平台并且读取平台标尺的标度。
通过标度因子计算和应用的标度校正是通过平台驱动模块执行的，并且将参考图5提供其相关的详细描述。
图5是说明一种校正平台标度因子的方法的流程图，其中标度因子根据本发明的一个实施例进行计算和应用。
当在特定周期中在平台标尺130的一端和另一端处变形的量值作为标度因子来应用时，标度因子在整个平台标尺上难以精确。当平台标尺130由于在平台标尺130的另一端存在热源而发生变形时，变形出现使得对于从平台标尺130的一端朝向另一端的每个间隔的变形量是不均匀的，但是朝向平台标尺130的另一端按指数方式变化。因此，必需计算出可以应用于整个平台标尺130的相同的标度因子。因此，本发明的目标是一种平台标尺，所述平台标尺的变形量在激光图案化处理中从一端朝向另一端按指数方式变化。
为了计算可以应用于整个平台标尺130的相同标度因子，首先测量变形量。测量通过以下方式执行：测量平台标尺130的一端和另一端的变形量，所述平台标尺从一端朝向另一端沿纵向方向(Y方向)扩张或收缩(图5中的操作S610)。当平台标尺由于周围热源引起的热变形而发生变形时，对变形量进行测量。存在多种用于测量平台标尺的一端和另一端的变形量的测量方案，其包含直接测量平台标尺130的两端处的拉长长度的方案。在本发明的一个实施例中，将示例性描述在平台标尺130的一端和另一端的变形量并非是直接进行测量的，而是通过比较在平台的移动期间在平台上指示的标记的位置而进行间接测量的。
为了测量平台标尺130的一端和另一端的变形量，在平台标尺130的纵向方向(Y轴)上的一个轴上形成第一标记和第二标记。随后，在从平台标尺130的一端朝向另一端的方向上将平台120移动设定距离d之后，检查第一标记位置和第二标记位置的位置。并且随后可以通过分别将检查的标记位置与在平台120的移动之前先前测量到的标记位置相比较而对平台标尺130的一端和另一端的变形量进行测量。参考图6A和图6B详细描述了用于计算平台标尺130的一端和另一端处的变形量的流程。
如图6A中所说明，布置平台120，所述平台在其一侧处具有平台标尺130。假定平台120的Y轴的长度具有10个单位标度的量值。第一标记M1和第二标记M2是在平台120的Y方向上的相同轴上形成的，该方向与平台标尺130的纵向方向(Y方向)相同。平台标尺130的纵向方向是其中出现平台标尺的变形(例如，扩张和收缩)的方向。为了测量平台标尺130的变形量，第一标记M1和第二标记M2形成于平台120上，其位于其中出现变形的纵向方向上的相同轴上。第一标记M1和第二标记M2可以在平台120的表面上形成，通过使用处理室中的标记图案化装置。然而，先前刻在平台120的四个边缘中并且在平台对齐且移动时使用的对齐标记可以在不需要单独的标记形成的情况下使用。因此，在不需要单独的标记形成的情况下，先前布置在平台120的第二象限和第四象限中的两个对齐标记可以分别用作第二标记M2和第一标记M1。
如在图6A中所说明，第一标记M1和第二标记M2的位置是在平台120移动之前进行检查的。也就是说，在通过使用视觉CCD传感器摄像机撷取第一标记M1和第二标记M2之后，检查第一标记M1和第二标记M2的位置，分别作为第一参考标记坐标(x1，y1)和第二参考标记坐标(x2，y2)而获得，并且随后提供到平台驱动模块。为了进行参考，视觉摄像机在处理室中具有先前储存的位置坐标值。因此，视觉摄像机可以从在特定点处撷取的图像中提取标记的精确坐标值。所述标记通常以交叉类型指示。在下文中，标记的坐标值是指交叉的中心点。此外，还假定在移动之前的平台中，邻近于平台的一侧的第一标记M1的坐标位于平台标尺的单位标度“0”处。然而，第一标记不位于单位标度“0”处的情况也同样适用。
在第一参考标记坐标和第二参考标记坐标在平台移动之前获得之后，如在图6B中所说明，将平台从存在平台标尺130的一端130a的一侧朝向存在另一端130b的一侧移动设定距离d。平台移动可以通过用激光束照射进行图案化来执行。此处，由于平台120的移动方向变为平台标尺130的纵向方向，所以平台120沿作为平台标尺130的变形方向的纵向方向移动。平台120移动由平台驱动模块控制的设定距离。在下文中，假定作为平台移动命令值的设定距离d是“10”单位标度。在平台移动期间，布置在平台的一侧上的与平台标尺130相对的编码器121读取平台标尺130的标度。据此，当平台标尺从“10”单位标度被读取为距离“0”单位标度时，平台移动停止。为了进行参考，假定编码器121安装在与第一标记M1的Y轴坐标相同的点处。据此，通过编码器121读取的值可以是第一标记M1的Y坐标点。
在平台120移动之后，视觉摄像机测量移动的平台的第一标记和第二标记的位置，获得第一移动标记坐标(x′1，y′1)和第二移动标记坐标(x′2，y′2)，并且将它们提供到平台驱动模块。
平台驱动模块通过将作为设定距离d的“10”单位标度添加到平台标尺130的纵向方向上的第一参考标记坐标(x1，y1)来计算第一计算标记坐标。此外，平台驱动模块通过将作为设定距离d的“10”单位标度添加到平台标尺130的纵向方向上的第二参考标记坐标(x2，y2)来计算第二计算标记坐标。当平台标尺130不变形时，平台120可以沿平台标尺130的纵向方向精确地移动“10”单位标度。据此，刻在平台120上的第一标记M1和第二标记M2也可以沿平台标尺130的纵向方向移动“10”单位标度，并且随后第一计算标记坐标和第二计算标记坐标分别具有与移动之前的参考第一标记坐标和第二标记坐标相比大“10”的较大值。据此，当平台标尺130未变形时，在移动之前第一标记M1的坐标在平台从Y轴上的0移动之后位于10处，并且在移动之前第二标记M2的坐标在平台从Y轴上的10移动之后位于20处。
也就是说，如在图7A中所说明，在移动之前具有“0”值的第一标记的中心点放置在纵向方向(Y方向)上的“10”单位标度处，作为第一计算标记坐标。类似地，如在图7B中所说明，在移动之前具有“10”值的第二标记的中心点放置在纵向方向上的“20”单位标度处，作为第二计算标记坐标。
在计算标记坐标被计算之后，平台标尺的变形量通过将移动之后的平台标记的移动坐标与计算出的计算标记坐标相比较进行测量。
具体来说，当平台标尺的变形出现时，例如扩张或收缩，平台标尺130的单位标度的间隔也可能发生变形。在下文中，示例性描述了平台标尺130被扩张和拉长的情况，但是收缩的情况也类似地适用。
当平台标尺130沿纵向方向扩张时，如在图6B中所说明，甚至当平台120移动“10”单位标度的变形量时，平台120实际上未移动“10”。由于平台标尺130是由于扩张而拉长的，甚至当布置在平台120上的编码器121从变形平台标尺中读取“10”单位标度时，平台120未移动“10”，而是实际上移动“10.3”。此外，由于平台标尺130的扩张，在一端和另一端的每个变形量可能不同于彼此。当围绕平台标尺130的任何一端存在热源时，存在热源的一侧进一步发生变形。据此，在本发明中，变形量分别在平台标尺130的两端进行测量。在本发明中，比较平台120的第一标记M1的第一移动标记坐标和第一计算标记坐标并且其差值被计算为平台标尺130的一端处的变形量。此外，比较平台120的第二标记M2的第二移动标记坐标和第二计算标记坐标并且其差值被计算为平台标尺130的另一端处的变形量。参考图7A和图7B，在移动之后在平台处检查到的第一移动标记坐标和第二移动标记坐标分别具有与第一计算标记坐标和第二计算标记坐标的差值。
据此，如在图7A中所说明，从第一移动标记坐标中减去第一计算标记坐标获得的值被计算为一端变形量Δ1，并且如在图7B中所说明，从第二移动标记坐标中减去第二计算标记坐标获得的值被计算为另一端变形量Δ2。此处，一端变形量Δ1与处于平台移动方向的后侧的第一标记M1的变形量对应，并且另一端变形量Δ2与处于平台移动方向的前侧的第二标记M2的变形量对应。参考图7A，一端变形量Δ1与处于平台移动方向的后侧的第一标记的变形量对应。据此，从第一移动标记坐标的Y轴坐标值10.1中减去第一计算标记坐标的Y轴坐标值10获得的值0.1变为一端变形量Δ1。类似地，参考图7B，另一端变形量Δ2与处于平台移动方向的前侧的第二标记M2的变形量对应。据此，从第二移动标记坐标的Y轴坐标值15.2中减去第二计算标记坐标的Y轴坐标值15获得的值0.2变为另一端变形量Δ2。为了进行参考，当作为一端变形量Δ1的0.1被添加到作为另一端变形量Δ2的0.2时，可以已知的是总变形量是0.3，并且如在图6A和图6B中所说明，平台实际上移动10.3。
在计算一端变形量Δ1和另一端变形量Δ2之后，通过使用作为一端变形量Δ1与另一端变形量Δ2之间的差值的变形差值计算标度因子(图5中的操作S620)。用于计算标度因子SF的等式如下。
SF＝(d-(Δ2-Δ1))÷d.............(1)
其中d表示移动请求设定距离，Δ1表示一端变形量，并且Δ2表示另一端变形量。
参考图7A，7B详细描述等式(1)。
参看图7A，7B，由于另一端变形量Δ2是0.2并且一端变形量Δ1是0.1，所以从另一端变形量Δ2中减去一端变形量Δ1获得的变形量差值是0.2-0.1＝0.1。为了进行参考，当一端变形量Δ1大于另一端变形量Δ2时，变形量差值具有负(-)值而不是正(+)值，这意味着平台标尺是收缩的。
在计算出变形差值之后，通过从设定距离d中减去变形差值计算实际移动距离值。在示例性描述中，当应用作为设定距离d的10单位标度时，实际距离是10-0.1＝9.9。
在计算出实际移动距离之后，标度因子可以通过将实际移动距离值除以设定距离d进行最后的计算。在示例性描述中，当实际移动距离值9.9除以设定距离10时，计算出0.99作为标度因子。
为了进行参考，当一端变形量Δ1和另一端变形量Δ2分别是“0”时，变形差值变为“0”并且平台标尺130不发生变形且标度因子是“1”。此外，除了平台标尺130不发生变形的情况之外，变形差值未被计算为“0”。由于假定平台标尺130的另一端是由于围绕另一端的热源的存在而按指数方式拉长，所以一端变形量Δ1和另一端变形量Δ2将具有不同值且并不具有相同值。
通过上述过程计算的标度因子用于计算平台120的移动控制值和位置校正值(图5中的操作S630)。即使平台标尺130在处理期间发生变形，通过在平台120的移动期间应用标度因子，平台120可以移动精确的希望距离，并且可以通过使用标度因子校正测量值对平台120的当前位置进行精确的测量。
描述了当平台120移动时应用标度因子的一个实例。
当平台120根据平台移动命令值移动时，平台移动命令值乘以标度因子并且乘法结果是作为平台120的移动控制值而获得。当希望平台120在激光束图案化处理期间移动特定的距离时，平台驱动模块从控制器接收平台移动命令值并且据以执行平台移动。移动命令值是指当希望平台120移动特定距离用于其他处理时，作为指示对应距离的消息命令生成的并且由控制器输出到平台驱动模块的控制命令值。
当平台120由这种控制命令值控制而没有变化时，无法执行精确的移动控制。这是因为平台标尺130在处理期间发生变形。据此，当平台120以控制命令值移动而没有基于变形的平台标尺发生变化时，平台120无法精确地移动希望的距离。据此，在本发明中，平台120以平台120的移动控制值移动，该移动控制值是移动命令值乘以标度因子获得的乘法值。举例来说，当移动命令值是“10”单位标度并且使其乘以计算出的标度因子0.99时，9.9变为平台120的移动控制值。据此，平台驱动模块以平台标尺130的9.9单位标度移动平台。由于平台标尺130是扩张的，因此以平台标尺130的9.9单位标度移动平台120实际上导致以标准平台标尺130的10单位标度移动平台120。
另外，当读取平台120的位置时，将描述通过应用标度因子计算出的精确位置校正值的一个实例。当测量平台120的移动量时，位置校正值通过乘以平台标尺130的标度值而获得，所述标度值是在移动的平台120的位置处通过计算出的标度因子读取的。举例来说，当从扩张的平台标尺130读取的标度值是“10”单位标度时，10乘以计算出的标度因子0.99且乘法结果9.9将是位置校正值。据此，即使从扩张的平台标尺130中读取的标度值是10，读取值实际上对应于作为位置校正值的9.9。
此外，虽然平台120在处理室中的进行处理期间发生移动，但是变形量测量过程和标度因子计算过程是针对每个预定阶段或针对特定的事件执行的，并且对标度因子进行更新。在执行处理期间随着时间的推移，平台标尺130可以可变地变形。据此，标度因子需要在预定间隔或每当出现管理者请求事件时更新。更新的标度因子可以用于计算平台的移动控制值和位置校正值。
根据本发明的实施例，即使在平台标尺发生变形时，平台可以移动到精确位置此外，即使在平台标尺发生变形时，可以通过使用标记计算平台移动量误差而执行精确的误差校正。
虽然已参考具体实施例描述校正平台标尺的方法，但本发明不限于此。因此，所属领域的技术人员将容易理解，在不脱离由所附权利要求书界定的本发明的精神和范围的情况下，可以对其做出各种修改和改变。
Claims (8)
1.一种校正平台标尺的方法，其特征在于包括：
测量所述平台标尺的一端的变形量和另一端的变形量，其中从所述一端朝向所述另一端沿纵向方向出现扩张或收缩；
通过使用所述一端的变形量和所述另一端的变形量计算将要应用于所述平台的移动量计算的标度因子；以及
通过应用计算出的所述标度因子计算所述平台的移动控制值和位置校正值，
所述测量所述一端的变形量和所述另一端的变形量通过以下方式执行：在所述平台移动之前在所述平台标尺的所述纵向方向上的所述平台的一个轴上形成第一标记和第二标记；在平台从所述平台标尺的所述一端朝向所述另一端移动设定距离之后，检查所述平台的所述第一标记和所述第二标记的位置；将检测到的所述第一标记和所述第二标记的位置与移动之前先前测量到的标记位置相比较；以及测量所述一端的变形量和所述另一端的变形量。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述测量所述一端的变形量和所述另一端的变形量包括，
在所述平台移动之前在所述平台标尺的所述纵向方向上的所述平台的所述一个轴上形成所述第一标记和所述第二标记；
测量所述第一标记和所述第二标记的位置并且获得所述位置作为第一参考标记坐标和第二参考标记坐标；
将所述平台从所述平台标尺的所述一端朝向所述另一端移动所述设定距离；
测量移动后的所述平台上的所述第一标记和所述第二标记的位置并且获得测量到的所述位置作为第一移动标记坐标和第二移动标记坐标；
通过将所述设定距离添加到所述平台标尺的所述纵向方向上的所述第一参考标记坐标中而计算第一计算标记坐标，并且通过将所述设定距离添加到所述平台标尺的所述纵向方向上的所述第二参考标记坐标中而计算第二计算标记坐标；以及
通过从所述第一移动标记坐标中减去所述第一计算标记坐标而计算所述一端的变形量，并且通过从所述第二移动标记坐标中减去所述第二计算标记坐标而计算所述另一端的变形量。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述测量所述第一标记和所述第二标记的所述位置包括：通过使用视觉CCD传感器摄像机测量所述第一标记和所述第二标记的所述位置。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述计算所述标度因子包括：通过使用变形量差值计算所述标度因子，所述变形量差值是从所述另一端的变形量中减去所述一端的变形量获得的。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于所述计算所述标度因子包括：
计算从所述另一端的变形量中减去所述一端的变形量获得的所述变形量差值；
通过从所述设定距离中减去所述变形量差值计算实际移动距离值；以及
通过将所述实际移动距离值除以所述设定距离计算所述标度因子。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述应用计算出的所述标度因子包括：当所述平台移动时，通过采用以平台移动命令值乘以所述标度因子获得的值作为所述移动控制值来移动所述平台。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述应用计算出的所述标度因子包括：当测量所述平台的移动量时，采用通过在移动后的所述平台的位置处读取的所述平台标尺的标度值乘以所述标度因子获得的值作为所述位置校正值。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述平台的所述移动控制值和所述位置校正值通过以下方式计算：使用在处理进行中通过执行所述测量所述变形量和所述计算所述标度因子而更新的所述标度因子。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2013-0068363 | 2013-06-14 | ||
| KR1020130068363A KR101432155B1 (ko) | 2013-06-14 | 2013-06-14 | 스테이지 스케일 보정 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104236407A CN104236407A (zh) | 2014-12-24 |
| CN104236407B true CN104236407B (zh) | 2017-10-10 |
Family
ID=51758763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410256220.0A Expired - Fee Related CN104236407B (zh) | 2013-06-14 | 2014-06-10 | 校正平台标尺的方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101432155B1 (zh) |
| CN (1) | CN104236407B (zh) |
| TW (1) | TWI555605B (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102430643B1 (ko) * | 2015-06-09 | 2022-08-09 | 세메스 주식회사 | 스테이지의 위치 보정 방법 및 장치 |
| JP6895332B2 (ja) * | 2017-07-05 | 2021-06-30 | 株式会社ミツトヨ | リニアスケール |
| NL2024768A (en) * | 2019-02-26 | 2020-08-31 | Asml Netherlands Bv | Inspection apparatus, lithographic apparatus, measurement method |
| CN110092253B (zh) * | 2019-04-30 | 2021-07-30 | 上海三菱电梯有限公司 | 对轿厢绝对位置测量系统的标定位置进行校正的系统及方法 |
| CN110092254A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-08-06 | 上海三菱电梯有限公司 | 轿厢绝对位置测量系统的校正装置、该校正装置的性能检测系统及方法 |
| CN110143501B (zh) * | 2019-04-30 | 2021-05-25 | 上海三菱电梯有限公司 | 多梯轿厢标定位置的校正装置及该校正装置的性能检测方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020049671A (ko) * | 2000-12-20 | 2002-06-26 | 이구택 | 자의 정밀도 자동 교정장치 |
| CN101368819A (zh) * | 2008-09-28 | 2009-02-18 | 西北核技术研究所 | 大型平台变形量的光电测量方法 |
| CN101520318A (zh) * | 2009-03-24 | 2009-09-02 | 南京航空航天大学 | 基于影像的板料变形测量处理方法 |
| CN101579753A (zh) * | 2008-05-12 | 2009-11-18 | 精工精密有限公司 | 基板的伸缩状态显示装置、及基板的伸缩状态显示方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61202117A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-06 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 磁気式変位測定装置 |
| KR19990012442A (ko) * | 1997-07-29 | 1999-02-25 | 이종수 | 프로브 위치보정 장치 및 그 방법 |
| EP2801864B8 (en) * | 2006-01-19 | 2015-11-04 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method |
| JP2008108906A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Canon Inc | 位置決め装置 |
| JP2010243413A (ja) | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Canon Inc | 測定装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
| JP5586299B2 (ja) | 2010-03-31 | 2014-09-10 | 東レエンジニアリング株式会社 | インクジェット塗布装置 |
| TWM415406U (en) * | 2011-05-25 | 2011-11-01 | Yee Chang Prec Machinery Co Ltd | Facilitate for Substrate Alignment Holes Measurement Substrate deformation of the measuring device |
| US20130063558A1 (en) * | 2011-09-14 | 2013-03-14 | Motion Analysis Corporation | Systems and Methods for Incorporating Two Dimensional Images Captured by a Moving Studio Camera with Actively Controlled Optics into a Virtual Three Dimensional Coordinate System |
-
2013
- 2013-06-14 KR KR1020130068363A patent/KR101432155B1/ko active IP Right Grant
-
2014
- 2014-06-10 CN CN201410256220.0A patent/CN104236407B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-06-12 TW TW103120269A patent/TWI555605B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020049671A (ko) * | 2000-12-20 | 2002-06-26 | 이구택 | 자의 정밀도 자동 교정장치 |
| CN101579753A (zh) * | 2008-05-12 | 2009-11-18 | 精工精密有限公司 | 基板的伸缩状态显示装置、及基板的伸缩状态显示方法 |
| CN101368819A (zh) * | 2008-09-28 | 2009-02-18 | 西北核技术研究所 | 大型平台变形量的光电测量方法 |
| CN101520318A (zh) * | 2009-03-24 | 2009-09-02 | 南京航空航天大学 | 基于影像的板料变形测量处理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW201446400A (zh) | 2014-12-16 |
| TWI555605B (zh) | 2016-11-01 |
| CN104236407A (zh) | 2014-12-24 |
| KR101432155B1 (ko) | 2014-09-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104236407B (zh) | 校正平台标尺的方法 | |
| CN110785248B (zh) | 增材制造装置的功率辐射源的头部系统校准 | |
| CN104924753B (zh) | 一种数字装板机 | |
| KR101286096B1 (ko) | 타원 시각 특성에 기반한 자동차의 휠 정렬 검사방법 | |
| CN110582746B (zh) | 立体物印刷系统以及立体物印刷方法 | |
| KR20200020802A (ko) | 적층 제조 디바이스의 출력 복사선 소스의 초점 교정 | |
| US20180215102A1 (en) | Three-dimensional laminating and fabricating system, laminating and fabricating control apparatus, laminating and fabricating control method, and laminating and fabricating control program | |
| CN102998908B (zh) | 描画装置以及描画方法 | |
| CN112697112A (zh) | 一种相机水平面倾斜角的测量方法及装置 | |
| JP2010234420A (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
| JP5960485B2 (ja) | パターン化されたフィルムのパターンの蛇行制御装置および蛇行制御方法 | |
| CN103197500B (zh) | 一种测量镜面形补偿效果的方法 | |
| KR101653861B1 (ko) | 묘화 데이터 생성 방법, 묘화 방법, 묘화 데이터 생성 장치, 및 묘화 장치 | |
| CN116485918B (zh) | 一种标定方法、系统及计算机可读存储介质 | |
| KR20190117542A (ko) | 가공 설비 | |
| CN111768383A (zh) | 立体靶标及利用其恢复视觉传感器工作功能的方法 | |
| US20160041477A1 (en) | Method for producing a structure | |
| CN105627934A (zh) | 一种基于机器视觉的视觉比例系数获取方法 | |
| JP2012133122A (ja) | 近接露光装置及びそのギャップ測定方法 | |
| CN214684758U (zh) | 可校正振镜打标偏移的雷射打标系统 | |
| CN115661256A (zh) | 相机和载台之间偏转角的计算方法、标定板及检测装置 | |
| KR20170038657A (ko) | 보정 정보 생성 장치, 묘화 장치, 보정 정보 생성 방법 및 묘화 방법 | |
| CN103712603B (zh) | 基于平面光栅的三维视觉位姿测量装置及其测量方法 | |
| JP6923429B2 (ja) | ワークに対する作業方法 | |
| JP5762072B2 (ja) | 位置検出方法、パターン描画方法、パターン描画装置およびコンピュータプログラム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20171010 |