JP2010234420A - レーザ加工装置およびレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】XYテーブル上に載置されたワークにレーザ光を照射してワークへのレーザ加工を行うレーザ加工装置において、ワーク上で所定の高さに移動してワークへレーザ光を照射するレーザ光照射部と、XYテーブルの表面高さをモデル化した近似式を用いてワーク上の加工位置毎にレーザ光照射部の高さの補正値を算出するとともに、ワークの加工を行う際に指示される加工高さを補正値で補正して補正後の加工高さを算出するZ軸補正位置算出部23と、補正後の加工高さにレーザ光照射部を移動させるZ軸駆動部34と、を備える。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかるレーザ加工装置を示す図である。レーザ加工装置1は、XYテーブル35の凹凸にレーザ光の焦点位置が一致するよう加工時に焦点位置の高さを補正しながらレーザ加工を行う装置である。本実施の形態のレーザ加工装置1は、XYテーブル35の各位置で測定した高さを用いてXYテーブル35の高さ(表面高さ)をモデル化した近似式(モデル式)として算出しておき、このモデル式を用いてレーザ光照射位置の高さを調整する。レーザ加工装置1は、fθレンズ31、高さ計測センサ32、カメラ33、Z軸駆動部34、XYテーブル35を備えて構成されている。
Z=a+bY+cY2+dY3+eY4+fX+gXY+hXY2+iXY3+jX2+kX2Y+lX2Y2+mX3+nX3Y+oX4・・・(1)
Zz1=Z1+ΔZ1−Zbase・・・(2)
Zz2=Z2+ΔZ2−Zbase・・・(3)
Zz2=Zz1+ΔZ2−Zbase・・・(4)
Zzn=Zz(n−1)+ΔZn−Zbase・・・(5)
2 高さ制御装置
11 加工制御部
12 計測センサ制御部
13 テーブル位置制御部
14 レンズ高さ制御部
15 カメラ高さ制御部
16 高さデータ計測部
17 テーブル位置計測部
21 Z軸補正データ記憶部
22 Z軸補正係数算出部
23 Z軸補正位置算出部
24 高さ制御部
30 レーザ光
31 fθレンズ
32 高さ計測センサ
33 カメラ
34 Z軸駆動部
35 XYテーブル
101 XY−Z対応情報
A1〜D1,A2〜D2 エリア
W ワーク
Claims (5)
- XYテーブル上に載置されたワークにレーザ光を照射して前記ワークへのレーザ加工を行うレーザ加工装置において、
前記ワーク上で所定の高さに移動して前記ワークへレーザ光を照射するレーザ光照射部と、
前記XYテーブルの表面高さをモデル化した近似式を用いて前記ワーク上の加工位置毎に前記レーザ光照射部の高さの補正値を算出するとともに、前記ワークの加工を行う際に指示される加工高さを前記補正値で補正して補正後の加工高さを算出する算出部と、
前記補正後の加工高さに前記レーザ光照射部を移動させる駆動部と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記XYテーブルの高さを測定する高さ計測部をさらに備え、
前記算出部は、前記高さ計測部に測定された複数点での前記XYテーブルの表面高さに基づいて前記近似式を算出することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記算出部は、前記XYテーブル上に複数のエリアを設定し、エリア毎に前記近似式を算出することを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工装置。
- 前記算出部は、隣接する前記エリア同士で一部のエリアが重なるよう前記エリアを設定することを特徴とする請求項3に記載のレーザ加工装置。
- XYテーブル上に載置されたワークにレーザ光を照射して前記ワークへのレーザ加工を行うレーザ加工方法において、
前記ワーク上で所定の高さに移動して前記ワークへレーザ光を照射するレーザ光照射部の高さの補正値を、前記XYテーブルの表面高さをモデル化した近似式を用いて前記ワーク上の加工位置毎に算出する補正値算出ステップと、
前記ワークの加工を行う際に指示される加工高さを前記補正値で補正して補正後の加工高さを算出する加工高さ算出部と、
前記補正後の加工高さに前記レーザ光照射部を移動させてレーザ加工を行う加工ステップと、
を含むことを特徴とするレーザ加工方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170026289A (ko) * | 2015-08-31 | 2017-03-08 | 가부시키가이샤 리코 | 광 가공 장치 및 광 가공물의 생산 방법 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130134703A (ko) * | 2012-05-31 | 2013-12-10 | 참엔지니어링(주) | 레이저 가공 시스템 및 방법 |
JP2016132032A (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-25 | 株式会社デンソー | 孔開け加工装置 |
WO2016147273A1 (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-22 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置、校正データ生成方法およびプログラム |
KR102566170B1 (ko) | 2016-09-12 | 2023-08-10 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 타공 장치 |
KR102070726B1 (ko) * | 2017-04-04 | 2020-01-29 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 가공 시스템 및 레이저 가공 방법 |
JP6795060B1 (ja) * | 2019-07-11 | 2020-12-02 | オムロン株式会社 | 制御装置およびこれを備えたレーザ加工システム、レーザ加工方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001041711A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Mitsutoyo Corp | 画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置 |
JP2001276986A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-09 | Nec Corp | レーザ加工装置及び方法 |
JP2002316276A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-29 | Nec Corp | レーザマーキング装置のマーキング歪み補正装置及びマーキング補正方法 |
JP2002361462A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-18 | Toppan Printing Co Ltd | 配線板製造用自動測定補正機能付きレーザ―穴明け加工機及びそれを使用したプリント配線板の製造方法 |
JP2005028423A (ja) * | 2003-07-09 | 2005-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
JP2006075897A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Hakko Denki Kk | レーザ印字装置、そのプログラム |
JP2008073806A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Hitachi Via Mechanics Ltd | 穴明け加工方法およびレーザ加工機 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004243383A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
JP2004358550A (ja) | 2003-06-09 | 2004-12-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
KR100584839B1 (ko) | 2004-08-13 | 2006-05-30 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 전극 절단장치 및 이의 제어방법 |
US7363180B2 (en) * | 2005-02-15 | 2008-04-22 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method for correcting systematic errors in a laser processing system |
CN101253018B (zh) * | 2006-09-28 | 2010-05-19 | 三菱电机株式会社 | 激光加工装置 |
-
2009
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001041711A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Mitsutoyo Corp | 画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置 |
JP2001276986A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-09 | Nec Corp | レーザ加工装置及び方法 |
JP2002316276A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-29 | Nec Corp | レーザマーキング装置のマーキング歪み補正装置及びマーキング補正方法 |
JP2002361462A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-18 | Toppan Printing Co Ltd | 配線板製造用自動測定補正機能付きレーザ―穴明け加工機及びそれを使用したプリント配線板の製造方法 |
JP2005028423A (ja) * | 2003-07-09 | 2005-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
JP2006075897A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Hakko Denki Kk | レーザ印字装置、そのプログラム |
JP2008073806A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Hitachi Via Mechanics Ltd | 穴明け加工方法およびレーザ加工機 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170026289A (ko) * | 2015-08-31 | 2017-03-08 | 가부시키가이샤 리코 | 광 가공 장치 및 광 가공물의 생산 방법 |
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---|---|
TWI392551B (zh) | 2013-04-11 |
KR20100109396A (ko) | 2010-10-08 |
KR101181204B1 (ko) | 2012-09-18 |
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