JP2008073806A - 穴明け加工方法およびレーザ加工機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワーク20を載置するX−Yテーブル6表面の高さを予め格子状に測定しておく。加工に先立ち、X−Yテーブル6上に載置されたワーク20上面の任意の点Pst(xs、yt)の高さHstを測定し、点Pstを囲む4点の高さを用いて演算により、点Pstの表面高さhstを求め、測定された高さHstと演算により得られた高さhstとの差をワーク20の板厚Tとする。そして、他の加工位置Pef(xe,yf)におけるワーク20上面の高さHefを、マトリクス状に測定したテーブル表面の高さから演算される当該位置における高さhefと板厚Tとの和としてレーザの結像位置を定める。
【選択図】図3
Description
hef=((xI−xe)(yJ−yf)hij+(xI−xe)(yf−yj)hiJ+(xe−xi)(yJ−yf)hIj+(xe−xi)(yf−yj)hIJ)/(xI−xi)(yJ−yj) ・・・(式1)
により求める。
なお、格子点PijのX座標xi,Y座標yjおよび高さhijは一組にして記憶されている。また、照射ヘッド10を移動原点(または待機位置)に置いた時のfθレンズ8の基準面からの高さは予め知られている。そして、品質に優れる加工を行うためには、fθレンズ8とワーク20表面との距離をA、すなわち、fθレンズ8をワーク20表面からAの高さに位置決めする必要がある。
加工に先立ち、ワーク20をX−Yテーブル6上に配置し、負圧源を動作させることによりワーク20をX−Yテーブル6に吸引させ、ワーク20をX−Yテーブル6に密着させておく。
T=Hst−hst ・・・(式2)
に代入してワーク20の板厚Tを定める(手順S30)。 次に、未加工の加工箇所Pefの有無を確認し、未加工の加工箇所Pefがある場合は手順S50の処理を行い、その他の場合は処理を終了する(手順S40)。手順S50では未加工の加工箇所Pefの高さhefを演算により求め、ワーク20の表面高さHefを
Hef=T+hef ・・・(式3)
により求めて(手順S60)、fθレンズ8をHθ(ただし、Hθ=Hef+A)に位置決めし(手順S70)、加工を行ってから(手順S80)、手順S40の処理を行う。
20 ワーク
Pst 測定点
Hst 測定点Pstにおけるワーク20上面の高さ(測定値)
hst 測定点PstにおけるX−Yテーブル6の表面高さ
Hef 加工位置Pefにおけるワーク20上面の高さ(計算値)
Pef 加工位置
hef 加工位置PefにおけるX−Yテーブル6の表面高さ
T ワークの板厚
Claims (2)
- ワークを載置するテーブル表面の高さを予め格子状に測定しておき、
加工に先立ち、前記テーブル上に載置されたワーク上面の任意の1点の高さを測定し、
前記任意の1点のテーブル表面高さを、前記任意の1点を囲む4点の前記テーブル表面高さを用いて演算により求め、
測定された高さと演算により求めたテーブル表面の高さとの差を前記ワークの板厚とし、
他の加工位置における前記ワーク上面の高さを、当該加工位置を囲む4点の前記テーブル表面高さを用いて演算される当該加工位置のテーブル表面高さと、前記板厚と、の和として穴明け加工を行う
ことを特徴とする穴明け加工方法。 - レーザを集光レンズにより集光し、前記レーザの結像位置がワークの表面から予め定める距離になるように前記集光レンズを高さ方向に位置決めして前記ワークを加工するレーザ加工機において、
ワークを載置するテーブル表面の高さをマトリクス状に測定した結果を記憶する記憶装置と、
高さ方向の位置を検出する検出装置と、
任意の1点のテーブル表面高さを演算により求める演算装置と、
を設け、
加工に先立ち、前記テーブル上に載置されたワーク上面の前記任意の1点の高さを測定し、
前記任意の1点のテーブル表面高さを、前記任意の1点を囲む4点の前記テーブル表面高さを用いて演算により求め、
測定された高さと演算により求めたテーブル表面の高さとの差を前記ワークの板厚とし、
他の加工位置における前記ワーク上面の高さを、当該加工位置を囲む4点の前記テーブル表面高さを用いて演算により求めた当該加工位置のテーブル表面高さと、前記板厚と、の和として前記集光レンズを高さ方向に位置決めする
ことを特徴とするレーザ加工機。
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