JP2005122332A

JP2005122332A - 自由曲面加工装置及び自由曲面加工方法

Info

Publication number: JP2005122332A
Application number: JP2003354462A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Urano; 正弘浦野
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2003-10-15
Filing date: 2003-10-15
Publication date: 2005-05-12

Abstract

【課題】ワークを自由曲面に加工する際の自由曲面において、ワークを高精度に加工する。
【解決手段】ワークを保持する保持手段と、保持手段に保持されたワークを加工する移動可能な加工工具と、保持手段の中心軸に対して所定距離離して配設された基準手段と、基準手段の中心軸を基準としてワークの形状を計測する形状測定器と、形状測定器から得られた計測結果に基づいてワークの加工された自由曲面形状の中心と前記保持手段の中心軸との偏芯量を求め、偏芯量に応じて前記加工工具の工具軌跡を演算する演算手段と、前記加工工具を前記工具軌跡により数値制御する数値制御手段と、を具備する。
【選択図】図１

Description

本発明は、光学素子や金型などに対し、その形状精度及び偏芯精度を高精度に加工するために用いる自由曲面加工装置及び自由曲面加工方法に関する。

近年生産されている光学素子などの超精密部品は更なる高精度な形状精度及び光学上の偏芯精度が要求されている。このような高精度な形状の加工を行うための従来技術としては、特開平７−１３６９０３号公報、特開２００３−３９２８２号公報に開示されている。

特開平７−１３６９０３号公報の方法は、以下の手順で行っている。
（１）演算手段が工具軌跡を算出する。
（２）数値制御手段が加工を実行する。
（３）形状検出手段が被加工物の一部または全域をサンプリング測定する。
（４）演算手段が上記（３）の測定結果に基づいて形状誤差量を算出する。
（５）判断手段が上記（４）で算出された形状誤差量が日標値以下であるか否かを判断する。
（６）目標値以上である場合、演算手段が上記（３）の形状測定結果に基づいて工具軌跡の原点、工具半径の寸法誤差を修正する。そして、修正された工具軌跡原点及び工具半径に従って再加工を行う。

特開２００３−３９２８２号公報の自由鏡面加工装置は、以下の手順で行っている。
（１）加工プログラムに従って自由曲面ワークを加工する。
（２）加工されたワークを形状測定器により計測する。
（３）理想曲面との誤差量を補正した加工プログラムを作成し、再加工を行う。
特開平７−１３６９０３号公報特開２００３−３９２８２号公報

上記従来技術では、いずれも光学的精度を出すために、ワークの中心と実際加工された形状の中心とが一致している必要がある。そして、これらの中心のずれ量を正確に計測するには、ワークの中心と形状測定器の中心との位置関係が把握された状態で、加工された形状を測定しなければならない。

しかしながら、いずれの従来技術においても、ワークの中心と形状測定器の中心との位置関係を把握する機構を備えていないため、ワークの中心と実際加工された形状の中心とを一致させることができず、ワークを高精度に加工することができない問題を有している。

本発明は、このような従来の間題点を考慮してなされたものであり、ワークの中心と実際加工された形状の中心とを一致させることができ、これによりワークを高精度に加工することが可能な自由曲面加工装置及び自由曲面加工方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１の発明の自由曲面加工装置は、ワークを自由曲面に加工する自由曲面加工装置において、ワークを保持する保持手段と、保持手段に保持されたワークを加工する移動可能な加工工具と、保持手段の中心軸に対して所定距離離して配設された基準手段と、基準手段の中心軸を基準としてワークの形状を計測する形状測定器と、形状測定器から得られた計測結果に基づいてワークの加工された自由曲面形状の中心と前記保持手段の中心軸との偏芯量を求め、偏芯量に応じて前記加工工具の工具軌跡を演算する演算手段と、前記加工工具を前記工具軌跡により数値制御する数値制御手段と、を具備することを特徴とする。

請求項１の発明において、演算手段は、加工工具により所望形状の加工を行う工具軌跡を算出し、数値制御手段は、加工を行う加工工具を数値制御により制御する。この発明では、基準手段の中心軸を基準としてワークの形状を計測し、その計測結果に基づいてワークの自由曲面形状と保持手段の中心軸との偏芯量を求め、偏芯量に基づいて加工工具の工具軌跡を演算するため、形状測定器の中心とワークの中心との位置関係を把握することができ、加工中心とワーク中心が一致した自由曲面形状を得ることができる。

請求項２の発明は、ワークを回転非対称な自由曲面に加工する自由曲面加工装置において、ワークを保持する保持手段と、保持手段に保持されたワークを加工する移動可能な加工工具と、保持手段の中心軸に対して所定距離離して配設された基準手段と、基準手段の中心軸を基準としてワークの形状を計測する形状測定器と、形状測定器から得られた計測結果に基づいて保持手段の中心軸を基準としてワークの加工された自由曲面形状と理想形状との誤差量を求め、誤差量に応じて前記加工工具の工具軌跡を演算する演算手段と、前記加工工具を前記工具軌跡により数値制御する数値制御手段と、を具備することを特徴とする。

請求項２の発明では、基準手段の中心軸を基準として形状測定器がワークの形状を計測し、計測結果に基づいて保持手段の中心軸を基準としてワークの自由曲面形状と理想形状との誤差量を求め、誤差量に応じて加工工具の工具軌跡を演算するため、加工中心とワーク中心が一致した自由曲面形状を得ることができるのに加えて、より理想形状に近い自由曲面形状を得ることができる。

請求項３の発明は、請求項１または２に記載の自由曲面加工装置であって、前記形状測定器は、前記加工工具と同一ベース上に設置されていることを特徴とする。

このような構成とすることにより、請求項３の発明では、自由曲面加工装置の構成を簡略化することができる。

請求項４の発明は、請求項１または２記載の自由曲面加工装置であって、前記形状測定器は、加工装置の送り機構とは別の送り機構上に設置されていることを特徴とする。

請求項４の発明では、形状測定器が加工装置の送り機構と別系統の送り機構により制御されることにより、加工で使用される送り機構が有している誤差を計測することができるため、より高精度な計測が可能となる。その結果、高精度な補正加工を行うことができ、理想形状に近い自由曲面形状を加工することが可能となる。

請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の自由曲面加工装置であって、前記ワークまたはワークを嵌合するヤトイが円柱形状であることを特徴とする。

請求項５の発明によれば、円柱形状のワークの場合で、外径が基準の場合は、保持手段がワークを保持する際、保持手段の中心と円柱中心とを一致させて保持を行う。ワークが円柱形状ではない場合および外径を基準としない場合は、ワーク中心が円柱形状の中心となるヤトイを作成し、このヤトイの中心と保持手段の中心とを一致させて保持を行う。これらにより、ワークの保持を簡単に行うことができる。

請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の自由曲面加工装置であって、前記保持手段を回転させる回転手段と、回転手段の回転中心軸と前記保持手段の中心軸を一致させるシフト・チルト調整手段と、前記保持手段にワークまたはヤトイを保持した後に、保持手段を回転させ、ワークまたはヤトイに接触させることによりワークの中心軸と保持手段の中心軸との誤差量を計測する計測手段と、をさらに具備することを特徴とする。

請求項６の発明では、保持手段が保持したワークまたはヤトイの外径に計測手段を接触させ、回転手段により保持手段を回転させる。計測手段により回転手段の回転中心軸とワークまたはヤトイの中心軸とのシフト誤差量およびチルト誤差量を計測し、誤差量に応じてシフト・チルト調整手段によりシフト量およびチルト量を修正し、回転手段の回転中心軸とワークまたはヤトイの中心軸を一致させることができる。これにより、ワークの中心軸を加工の中心軸に高精度に一致させて保持手段に保持させることができる。

請求項７の発明は、請求項１〜６のいずれかに記載の自由曲面加工装置であって。前記基準手段は、凸または凹形状のマスター球であることを特徴とする。
請求項７の発明では、基準手段をマスター球とすることにより、取り付け時のチルト方向の誤差を考慮する必要がないため、取り付け時間を短縮することができる。

請求項８の発明の自由曲面加工方法は、ワークを回転非対称な自由曲面に加工する自由曲面加工方法において、ワークを保持手段に保持する保持工程と、前記自由曲面の加工を行う工具軌跡を算出する工程と、保持手段に保持されたワークを前記工具軌跡に従って加工工具を制御することによって加工する工程と、形状測定器の測定部を前記保持手段の中心軸に対して所定距離離して配設された基準手段の中心軸に一致させる工程と、前記基準手段の中心軸を基準として前記測定部でワークの形状を計測する工程と、前記計測結果に基づいてワークの加工された自由曲面形状の中心と保持手段の中心軸との偏芯量を求め、この偏芯量に応じて加工工具の工具軌跡を制御してワークを加工する工程と、を有することを特徴とする。

請求項８の発明では、形状測定器の測定部を基準手段の中心軸に一致させ、測定部によって基準手段の中心軸を基準としてワークの形状を計測し、計測結果に基づいてワークの自由曲面形状と保持手段の中心軸との偏芯量を求め、偏芯量に基づいて加工工具の工具軌跡を演算するため、形状測定器の中心とワークの中心との位置関係を把握することができ、加工中心とワーク中心が一致した自由曲面形状を得ることができる。

請求項９の発明の自由曲面加工方法は、ワークを回転非対称な自由曲面に加工する自由曲面加工方法において、ワークを保持手段に保持する保持工程と、前記自由曲面の加工を行う工具軌跡を算出する工程と、保持手段に保持されたワークを前記工具軌跡に従って加工工具を制御することによって加工する工程と、形状測定器の測定部を前記保持手段の中心軸に対して所定距離離して配設された基準手段の中心軸に一致させる工程と、前記基準手段の中心軸を基準として前記測定部で前記ワークの形状を計測する工程と、前記計測結果に基づいて前記保持手段の中心軸を基準としてワークの加工された自由曲面形状と理想形状との誤差量を求め、この誤差量に応じて工具軌跡を再演算する工程と、再演算した工具軌跡に従ってワークを再加工する加工する工程と、を有することを特徴とする。

請求項９の発明では、形状測定器の測定部を基準手段の中心軸に一致させ、測定部によって基準手段の中心軸を基準としてワークの形状を計測し、計測結果に基づいて保持手段の中心軸を基準としてワークの自由曲面形状と理想形状との誤差量を求め、誤差量に応じて加工工具の工具軌跡を演算するため、加工中心とワーク中心が一致した自由曲面形状を得ることができるのに加えて、より理想形状に近い自由曲面形状を得ることができる。

請求項１０の発明は、請求項８または９に記載の自由曲面加工方法であって、前記ワークまたはワークを嵌合するヤトイは、円柱形状であり、前記保持工程の後に、前記保持手段を回転させてワークまたはヤトイの外周面を計測手段に接触させることにより、ワークの中心軸と前記保持手段の中心軸との誤差量を計測し、この誤差量に従って保持手段を一致させる工程をさらに有することを特徴とする。

請求項１０の発明では、ワークまたはヤトイを円柱形状とすることにより、ワークの保持を簡単に行うことができる。また、ワークまたはヤトイに計測手段を接触させて、ワークまたはヤトイの中心軸と保持手段の中心軸との誤差量を計測するため、ワークの中心軸を加工の中心軸に高精度に一致させて保持手段に保持させることができる。

請求項１１の発明は、請求項８〜１０のいずれかに記載の自由曲面加工方法であって、前記基準手段は、凸または凹形状のマスター球であることを特徴とする。

請求項１１の発明では、基準手段としてマスター球を用いることにより、取り付け時のチルト方向の誤差を考慮する必要がないため、取り付け時間を短縮することができる。

本発明によれば、形状測定器の中心とワークの中心との位置関係を把握することができるため、加工中心とワーク中心が一致した自由曲面形状を得ることができる。

以下、本発明を図示する実施の形態により、具体的に説明する。なお、各実施の形態において、同一の部材には同一の符号を付して対応させてある。

（実施の形態１）
図１〜図７は、本発明の実施の形態１を示す。この実施の形態の自由曲面加工装置は、図１に示すように、加工装置１と、数値制御手段としての数値制御装置２と、演算手段としての演算装置３とを備えている。

また、加工装置１はベースとしてのテーブル５を備え、このテーブル５上に形状測定器４及び加工工具７が配置されている。加工工具７は、円盤状となっており、工具スピンドル６に取り付けられ、同スピンドル６が駆動することにより回転してワーク８を加工する。この実施の形態において、ワーク８は円柱形状となっており、外周基準に加工される。

加工装置１は、ＸＹＺ方向への移動軸を備え、その軸移動は数値制御装置２により制御される。すなわち、数値制御装置２は、加工装置１のＸＹＺ各軸をＮＣプログラムに従って制御することにより、加工工具７によるワーク８の任意形状への加工を制御する。

演算装置３は、数値制御装置２から加工装置１のＸＹＺ各軸の現在座標値を読み取ると共に、読み取った座標値を記録する。また、演算装置３は形状測定器４の測定値を読み取ると共に、その記録を行う。さらに、演算装置３は加工工具７により理想形状を加工するための工具軌跡を算出すると共にＮＣプログラムを作成し数値制御装置２へ転送する。また、さらに加工後のワーク８を形状測定器４により計測した値を解析し、ワーク８の中心軸と加工形状の中心軸との誤差量を算出する。これに加えて、演算手段３は、ワーク８の中心軸を基準とした理想形状と加工形状との誤差を算出し、算出した誤差により工具軌跡を補正してＮＣプログラムを再作成する。

図３は、加工装置１の平面図、図４は加工装置１のＺ軸端面の端面図、図５はＺ軸端面１１及び保持手段としてのワーク保持具の断面図を示す。これらの図において、保持手段としてのワーク保持具９と、基準手段としての凸球面の基準マスター球１０、加工装置１のＺ軸端面１１と、回転軸１２と、回転止め手段としての回転止め具１３とが配置されている。この場合、基準マスター球は凹球面であっても良い。

回転軸１２は、加工装置１のＺ軸端面１１に対し、その回転中心軸をＺ移動軸と平行となるように回転自在に取り付けられている。回転止め具１３は図２に示すように、加工装置１のＺ軸端面１１に着脱可能に取り付けられている。回転止め具１３には回転調整ボルト１６が取り付けられており、回転調整ボルト１６により、回転軸１２の固定角度を調整しながら回転軸１２の回転を固定することが可能となっている。

ワーク保持具９は、筒状となっており、回転軸１２の端面に取り付けられている。回転軸１２の端面には、シフト調整ボルト１５も取り付けられており、図４に示すように、ワーク保持具９の中心軸を回転軸１２の端面上で移動させることができる。さらに、ワーク保持具９にはチルト調整ボルト１４が取り付けられており、図４に示すように、チルト調整ボルト１４によりワーク８の中心軸の傾きを調整することができる。このようなチルト調整ボルト１４及びシフト調整ボルト１５によってシフト・チルト調整手段が構成されている。

基準マスター球１０は、基準マスター球１０のＺ軸に対する平行軸と回転軸１２の中心軸との相対距離が正確に計測されてＺ軸端面１１に取り付けられていｄる。

形状測定器４は、加工装置１のテーブル５上に取り付けられており、このテーブル５上には、工具スピンドル６も取り付けられている。このように、同一のテーブル５上に形状測定器４及び工具スピンドル６が取り付けられることにより、加工装置１を簡単な構造とすることができる。なお、テーブル５とＺ軸端面１１はＸＹＺ方向に相対的に移動することができる。

図５は、この実施の形態における加工のフローチャート、図６及び図７は、その加工時の状態を示す。

図５にステップＳ１では、ワーク保持具９にワーク８を取り付ける。この取り付け状態に対し、図６に示すように、計測手段としてのピックテスト（てこ式ダイヤルゲージ）１７の先端をワーク８の基準外周の２箇所に接触させ、ピックテスト１７の接触状態で回転軸１２を回転させることにより、回転軸１２の中心軸ａとワーク保持具９すなわちワーク８の中心軸ｂの傾き（チルト量）とずれ量（シフト量）を読み取り、チルト調整ボルト１４とシフト調整ボルト１５を使用して、チルト量とシフト量を０として、回転軸１２の中心軸ａとワーク８の中心軸ｂとを一致させる（ステップＳ２）。

その後のステップＳ３では、回転止め具１３及び回転調整ボルト１６により、回転軸１２を規定角度で固定する。ステップＳ４では、演算装置３によりＮＣプログラムを作成し、数値制御装置２へ転送し、ステップＳ５では、ＮＣプログラムに従って加工を行う。図７は、その後のステップＳ６の状態を示し、形状測定器４のピックテスト１７によって基準マスター球１０を計測し、形状測定器４の中心軸ｃと基準マスター球１０の中心軸ｄとを一致させる。

ステップＳ７では、Ｘ軸とＹ軸を既定量移動させることによって、回転軸１２の中心軸ａと形状測定器４の中心軸ｃを合わせる。すなわち、予め測定してある回転軸１２の中心軸ａと基準マスター球１０の中心軸ｄとの距離分、形状測定器４を基準マスター球１０の中心軸ｄからＸ軸方向に移動させることにより形状測定器４の中心軸ｃをワーク８の中心軸ｂに一致させる。そして、この位置を中心として形状測定器４によりワーク８の形状測定を行う。

ステップＳ８では、この測定結果を演算装置３により解析し、ワーク８の加工された自由曲面形状の中心と回転軸１２の中心軸の偏芯量（ずれ量）を算出する。そして、ステップＳ９では、演算手段３によって中心軸の偏芯量を許容値と比較し、中心軸の偏芯量（ずれ量）が許容値以内の場合は加工を終了する（ステップＳ１１）。

一方、許容値を外れている場合、演算手段３によって偏芯量を工具軌跡に反映させてＮＣプログラムを再作成し（ステップＳ１０）、ステップＳ５に戻って、許容値内になるまで上述のフローを行う。

図８は、この実施の形態における加工の別のフローチャートを示し、図５と同じフローについての説明は省略する。図８のフローチャートでは、図５のフローチャートにおけるステップＳ８に代えて、ステップＳ７の測定結果を演算手段３が解析し、ワーク８の形状と理想曲面の形状との誤差量を算出する（ステップＳ８１）。そして、算出した形状誤差量を許容値と比較し（ステップＳ９１）、誤差量が許容値内の場合には、加工を終了する（ステップＳ１１）。許容値を外れている場合、ステップＳ１００に移行し、演算装置３が誤差量をＮＣプログラムに反映させて、ＮＣプログラムを再作成する。このＮＣプログラムの作成の後においては、ステップＳ５に戻って、形状誤差量が許容値内になるまで上述のフローを行う。

このような実施の形態によれば、中心軸が明確に定まらない自由曲面の加工においても、基準である外周から正確な位置に中心軸を有した自由曲面を加工することができる。

（実施の形態２）
図９〜図１１は、本発明の実施の形態２を示す。この実施の形態では、面基準で加工されるワーク８ａに適用するものである。また、ワーク８ａは、ヤトイ１９に嵌合した状態で加工に供するようになっている（図１０、図１１参照）。ヤトイ１９は、ワーク８ａと同様に外形が円柱形状となっている。

図９において、形状測定器テーブル１８は形状測定器４が設置されるものであり、加工装置１のテーブル５とは別駆動系及び別スケール系で動作する。すなわち、形状測定器テーブル１８は、加工装置１の送り機構とは別の送り機構となっている。ヤトイ１９は、面基準のワーク８ａの中心軸と外周中心が一致する形状となっており、嵌合したワーク８ａを固定ボルト２０によって固定状態で保持するようになっている。

この実施の形態では、図１１に示すように、ヤトイ１９に固定した面基準のワーク８ａを保持具９に固定する。そして、この固定状態で、図５及び図８に示す実施の形態１と同様に加工を行う。

このような実施の形態では、実施の形態１と同様な効果を得ることができる。個に加えて、面基準のワーク８ａであっても、中心軸が正確な自由曲面を得ることができると共に、加工のスケール系に誤差があっても、補正することができるメリットがある。

本発明の実施の形態１における加工装置の全体正面図である。図１の平面図である。図１のＺ軸端面の端面図である。ワーク保持具の断面図である。ワークの加工手順を示すフローチャートである。取り付けたワークを計測する状態を示す断面図である。基準マスター球の計測を示す平面図である。別のワークの加工手順を示すフローチャートである。本発明の実施の形態２の平面図である。ヤトイによるワークの保持状態を示す正面図である。実施の形態２におけるワークの計測状態を示す断面図である。

符号の説明

１加工装置
２数値制御装置
３演算手段
４形状測定器
５テーブル
７加工工具
８、８ａワーク
９ワーク保持具
１０基準マスター球

Claims

ワークを自由曲面に加工する自由曲面加工装置において、
ワークを保持する保持手段と、
保持手段に保持されたワークを加工する移動可能な加工工具と、
保持手段の中心軸に対して所定距離離して配設された基準手段と、
基準手段の中心軸を基準としてワークの形状を計測する形状測定器と、
形状測定器から得られた計測結果に基づいてワークの加工された自由曲面形状の中心と前記保持手段の中心軸との偏芯量を求め、偏芯量に応じて前記加工工具の工具軌跡を演算する演算手段と、
前記加工工具を前記工具軌跡により数値制御する数値制御手段と、
を具備することを特徴とする自由曲面加工装置。
ワークを回転非対称な自由曲面に加工する自由曲面加工装置において、
ワークを保持する保持手段と、
保持手段に保持されたワークを加工する移動可能な加工工具と、
保持手段の中心軸に対して所定距離離して配設された基準手段と、
基準手段の中心軸を基準としてワークの形状を計測する形状測定器と、
形状測定器から得られた計測結果に基づいて保持手段の中心軸を基準としてワークの加工された自由曲面形状と理想形状との誤差量を求め、誤差量に応じて前記加工工具の工具軌跡を演算する演算手段と、
前記加工工具を前記工具軌跡により数値制御する数値制御手段と、
を具備することを特徴とする自由曲面加工装置。
前記形状測定器は、前記加工工具と同一ベース上に設置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の自由曲面加工装置。
前記形状測定器は、加工装置の送り機構とは別の送り機構上に設置されていることを特徴とする請求項１または２記載の自由曲面加工装置。
前記ワークまたはワークを嵌合するヤトイが円柱形状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の自由曲面加工装置。
前記保持手段を回転させる回転手段と、
回転手段の回転中心軸と前記保持手段の中心軸を一致させるシフト・チルト調整手段と、
前記保持手段にワークまたはヤトイを保持した後に、保持手段を回転させ、ワークまたはヤトイに接触させることによりワークの中心軸と保持手段の中心軸との誤差量を計測する計測手段と、
をさらに具備することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の自由曲面加工装置。
前記基準手段は、凸または凹形状のマスター球であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の自由曲面加工装置。
ワークを回転非対称な自由曲面に加工する自由曲面加工方法において、
ワークを保持手段に保持する保持工程と、
前記自由曲面の加工を行う工具軌跡を算出する工程と、
保持手段に保持されたワークを前記工具軌跡に従って加工工具を制御することによって加工する工程と、
形状測定器の測定部を前記保持手段の中心軸に対して所定距離離して配設された基準手段の中心軸に一致させる工程と、
前記基準手段の中心軸を基準として前記測定部でワークの形状を計測する工程と、
前記計測結果に基づいてワークの加工された自由曲面形状の中心と保持手段の中心軸との偏芯量を求め、この偏芯量に応じて加工工具の工具軌跡を制御してワークを加工する工程と、
を有することを特徴とする自由曲面加工方法。
ワークを回転非対称な自由曲面に加工する自由曲面加工方法において、
ワークを保持手段に保持する保持工程と、
前記自由曲面の加工を行う工具軌跡を算出する工程と、
保持手段に保持されたワークを前記工具軌跡に従って加工工具を制御することによって加工する工程と、
形状測定器の測定部を前記保持手段の中心軸に対して所定距離離して配設された基準手段の中心軸に一致させる工程と、
前記基準手段の中心軸を基準として前記測定部で前記ワークの形状を計測する工程と、
前記計測結果に基づいて前記保持手段の中心軸を基準としてワークの加工された自由曲面形状と理想形状との誤差量を求め、この誤差量に応じて工具軌跡を再演算する工程と、
再演算した工具軌跡に従ってワークを再加工する加工する工程と、
を有することを特徴とする由由曲面加工方法。
前記ワークまたはワークを嵌合するヤトイは、円柱形状であり、前記保持工程の後に、前記保持手段を回転させてワークまたはヤトイの外周面を計測手段に接触させることにより、ワークの中心軸と前記保持手段の中心軸との誤差量を計測し、この誤差量に従って保持手段を一致させる工程をさらに有することを特徴とする請求項８または９に記載の自由曲面加工方法。
前記基準手段は、凸または凹形状のマスター球であることを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載の自由曲面加工方法。