JP2020096058A - 基板処理装置および処理液濃縮方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、実施形態に係る基板処理装置1の構成について図1を参照して説明する。図1は、基板処理装置1の概略平面図である。なお、以下では、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
次に、エッチング用の処理槽27について、図2を参照しながら説明する。図2は、実施形態に係るエッチング用の処理槽27の構成を示す概略ブロック図である。
つづいて、実施形態に係る処理液生成部の一例であるリン酸水溶液供給源40aの詳細について、図3および図4を参照しながら説明する。図3および図4は、実施形態に係るリン酸水溶液供給源40aの構成を示す概略ブロック図である。なお、図3はタンク100を正面から見た場合の図面であり、図4はタンク100を側面から見た場合の図面である。
つづいては、実施形態に係るリン酸水溶液濃縮処理の詳細について、図5および図6を参照しながら説明する。図5は、実施形態に係るリン酸水溶液濃縮処理におけるリン酸水溶液供給源40aの各部の挙動パターンの具体例を示すタイミングチャートである。なお、かかるリン酸水溶液供給源40aの各部は、制御部7により制御される。
つづいては、実施形態の各種変形例について、図7〜図9を参照しながら説明する。図7は、実施形態の変形例1に係るリン酸水溶液供給源40aの構成を示す概略ブロック図である。
1 基板処理装置
7 制御部
27 処理槽(処理部の一例)
40a リン酸水溶液供給源(処理液生成部の一例)
100 タンク(貯留部の一例)
110 循環ライン
112 フィルタ
113 ヒータ(加熱部の一例)
120 ノズル
121 板材
121A メッシュ板
130 バブリング機構
B バブリングガス
L リン酸水溶液(処理液の一例)
Claims (14)
- 処理液で基板を処理する処理部と、
前記処理部に供給する前記処理液を生成する処理液生成部と、
を備え、
前記処理液生成部は、
前記処理液を貯留する貯留部と、
前記貯留部に貯留される前記処理液を循環させる循環ラインと、
前記処理液を加熱する加熱部と、
前記循環ラインの下流側に設けられ、前記貯留部に貯留される前記処理液の液面上方から前記加熱部で加熱された前記処理液を吐出する吐出口を有するノズルと、
を有する基板処理装置。 - 前記ノズルは、水平方向に延在し、
前記吐出口は、水平方向に複数並んで設けられる
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記ノズルは、前記貯留部に貯留される前記処理液の液面上方に向けて前記処理液を吐出する
請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記ノズルと、前記貯留部に貯留される前記処理液の液面との間にガスの流れを形成する気流形成機構を備える
請求項1〜3のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記ガスは、前記基板処理装置が設置されている環境の湿度より低い湿度である
請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記ガスの流れは、前記吐出口から吐出される帯状の前記処理液を貫くように形成される
請求項4または5に記載の基板処理装置。 - 前記ノズルと、前記貯留部に貯留される前記処理液の液面との間に設けられる板材を備え、
前記ノズルは、前記板材に向けて前記処理液を吐出する
請求項1〜6のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記板材は、一部が重なるように複数設けられる
請求項7に記載の基板処理装置。 - 前記板材は、メッシュ板である
請求項7または8に記載の基板処理装置。 - 前記貯留部に貯留される前記処理液をバブリングするバブリング機構を備える
請求項1〜9のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記基板処理装置を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記貯留部に貯留される前記処理液が所定の状態になった場合に、前記バブリング機構でバブリングされるバブリングガスの流量を低下させる
請求項10に記載の基板処理装置。 - 前記基板処理装置を制御する制御部を備え、
前記循環ラインは、前記処理液を濾過するフィルタと、前記フィルタをバイパスするバイパスラインと、前記バイパスラインを開閉する開閉弁とを有し、
前記制御部は、前記貯留部に貯留される前記処理液が所定の状態になるまでは、前記開閉弁を開け、前記貯留部に貯留される前記処理液が所定の状態になった場合に、前記開閉弁を閉める
請求項1〜11のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記処理液生成部は、複数設けられ、
少なくとも一つの前記処理液生成部は、前記処理液を前記循環ラインで循環させながら前記加熱部で加熱し、
他の前記処理液生成部は、所定の状態になった前記処理液を前記処理部に供給する
請求項1〜12のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 貯留部に貯留される処理液を循環ラインで循環させる循環工程と、
前記処理液を加熱する加熱工程と、
前記循環ラインの下流側に設けられるノズルによって、前記貯留部に貯留される前記処理液の液面上方から前記加熱工程で加熱された前記処理液を吐出する吐出工程と、
を含む処理液濃縮方法。
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