JP2020068273A - Iii族窒化物半導体素子とその製造方法および半導体ウエハの製造方法およびテンプレート基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1.半導体ウエハ
図1は、本実施形態の半導体ウエハWa1の構造を示す図である。半導体ウエハWa1は、基板Sa1とAlN層F1と半導体層F2とを有する。基板Sa1はSi(111)基板である。AlN層F1は、原子層レベルで積層された層である。半導体層F2は、III 族窒化物半導体から成る単結晶の半導体層である。半導体層F2は、例えば、GaN層である。このように、半導体ウエハWa1は、ウエハの主面にIII 族窒化物半導体をエピタキシャル成長させたものである。
図2は、本実施形態の基板Sa1とAlN層F1との間の境界面を拡大した模式図である。図3は、本実施形態の基板Sa1とAlN層F1との間の境界面の付近の原子配列を示す模式図である。図2および図3に示すように、基板Sa1の表面のSi原子は窒素原子に結合している。そして、Si原子と結合している窒素原子はAl原子に結合している。つまり、本実施形態の半導体ウエハWa1は、Si−N−Al−という結合を有する。または、Si−N−…−Al−…という結合であってもよい。
図4は、従来の基板とAlN層との間の境界面を拡大した模式図である。図5は、従来の基板とAlN層との間の境界面の付近の原子配列を示す模式図である。図4および図5に示すように、基板Sa1の表面のSi原子はAl原子に結合している。そして、Si原子と結合しているAl原子は窒素原子に結合している。つまり、従来の半導体ウエハは、Si−Al−N−という結合を有する。
本実施形態の半導体ウエハWa1では、Si(111)基板が好適に窒化されている。そして、後述するように、AlN層F1は、基板Sa1のSi原子の上に原子層レベルで積層されている。また、AlN層F1が十分に薄いため、AlN層F1の格子定数は、Si(111)基板の格子定数に近いと考えられる。したがって、AlN層F1の上に積層された半導体層F2の結晶性は非常に優れている。
図6は、本実施形態におけるIII 族窒化物半導体素子の製造装置1000の概略構成図である。製造装置1000は、III 族窒化物半導体をエピタキシャル成長させるためのものである。製造装置1000は、チャンバーの内部にプラズマ発生領域を生成するプラズマ発生装置である。製造装置1000は、III 族金属を含む有機金属ガス(第1のガス)をプラズマ発生領域に通過させずに成長基板に供給し、窒素原子を含むガス(第2のガス)をプラズマ発生領域に通過させてから成長基板に供給する。
製造装置1000における製造条件を表1に示す。表1で挙げた数値範囲は、あくまで目安であり、必ずしもこの数値範囲である必要はない。RFパワーは、100W以上1000W以下の範囲内である。RF電源1600がシャワーヘッド電極1100に付与する周期的な電位の周波数は、30MHz以上300MHz以下の範囲内である。基板温度は、0℃以上900℃以下の範囲内である。製造装置1000の内圧は、1Pa以上10000Pa以下の範囲内である。
RFパワー 100W以上 1000W以下
周波数 30MHz以上 300MHz以下
基板温度 0℃以上 900℃以下
内圧 1Pa以上 10000Pa以下
図7は、第1のガスおよび第2のガスの供給とRF電源1600がシャワーヘッド電極1100に付与する高周波電位の出力との関係を示すタイミングチャートである。図7の横軸は、時刻である。図7の上図の縦軸はトリメチルアルミニウム(TMA)の流量である。図7の中図の縦軸は窒素ガスの流量である。図7の下図の縦軸はRFパワーである。
図7に示すように、期間T0の基板窒素処理工程では、シャワーヘッド電極1100から窒素ガスを供給するとともにRF電源1600をONにする。そのため、窒素ガスは、シャワーヘッド電極1100の下部のプラズマ発生領域でプラズマ化される。このプラズマ発生領域では、窒素ラジカル、窒素イオン、電子、紫外線等が発生する。
図7に示すように、第1の期間T1には、第1のガス供給管1300は、サセプター1200に第1のガスを供給する。第2のガス供給管1420は、第2のガスを供給しない。つまり、窒素ガスは炉本体1001の内部に供給されない。RF電源1600は、OFFである。このため、第1の期間T1には、III 族元素がサセプター1200の基板Sa1に供給される。したがって、第1の期間T1においては、1原子層以上3原子層以下のAl層が成膜される。
図7に示すように、第2の期間T2には、第1のガス供給管1300は、サセプター1200に第1のガスを供給しない。第2の期間T2には、第2のガス供給管1420は、窒素ガスを供給する。なお、第2のガス供給管1420は、水素ガスを供給しない。また、RF電源1600は、出力W1でプラズマを発生させる。このため、第2の期間T2には、窒素ラジカルがサセプター1200の基板Sa1に供給されるが、III 族元素は基板Sa1に供給されない。したがって、第2の期間T2においては、Al層の上に原子層レベルのN層が成膜される。
第1の期間T1および第2の期間T2の長さは、RHEEDによる検出結果に基づいて判断すればよい。RHEEDにより得られるパターン像を観察することにより、原子層レベルで積層するための所要時間が得られる。また、同様に、基板窒素処理工程の時間についても、同様に得られる。
このように、Si(111)基板のSiに窒素原子を原子層レベルで積層し、これらの窒素原子の上にAl原子を原子層レベルで積層する。そのため、AlN層F1のAl面が揃いやすい。また、AlN層F1の結晶性は良好である。このAlN層F1の膜厚は十分に薄い。このため、AlN層F1の格子定数は、Si(111)基板の格子定数に近いと考えられる。
本実施形態の半導体ウエハの製造方法は、REMOCVD(Radical Enhanced Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法により半導体層を成長させる。すなわち、本実施形態の製造装置1000を用いて基板Sa1の主面にIII 族窒化物半導体をエピタキシャル成長させる。
ここで、本実施形態の製造装置1000を用いた半導体ウエハの製造方法について説明する。まず、基板Sa1を準備する。基板Sa1を、製造装置1000の内部のサセプター1200に配置し、水素ガスを供給しながら基板温度を900℃程度まで上昇させる。これにより、基板Sa1の表面を還元するとともに、基板Sa1の表面をクリーニングする。基板温度をこれ以上の温度にしてもよい。また、水素ガスをプラズマ化してもよい。
次に、窒素ガスをシャワーヘッド電極1100から炉本体1001の内部に供給するとともに、RF電源1600をONにする。この際に、プラズマ電力パルス制御部1620を用いて、シャワーヘッド電極1100にパルス電圧を印加する。
次に、表面を窒化されたSi(111)の上にAlN層F1を形成する。AlN層形成工程では、第1の工程と第2の工程とを繰り返す。この際に、プラズマ電力パルス制御部1620を用いる。第1の工程では、N層の上にAl層を形成する。第2の工程では、Al層の上にN層を形成する。タイミングチャートは、図7のとおりである。なお、AlN層F1の最上層はAl層であるとよい。この場合には、Al層を形成する第1の工程をAlN層形成工程の最後に実施することとなる。
第1の工程では、プラズマ発生領域にAl原子を含有するAl含有ガスを通過させずにSi(111)基板にAl含有ガスを供給する。そのため、第1の工程では、プラズマを発生させない。また、第1の工程では、原子層レベルでAl層を形成する。RHEED装置を用いることにより、第1の期間T1を設定することができる。
第2の工程では、プラズマ発生領域に窒素ガスを通過させた後にSi(111)基板に窒素ガスを供給する。第2の工程では、原子層レベルでN層を形成する。RHEED装置を用いることにより、第2の期間T2を設定することができる。
次に、AlN層F1の上に半導体層F2を形成する。この際には、第1のガスおよび第2のガスを同時に炉本体1001の内部に供給する。例えば、第1のガスは、トリメチルガリウムおよびキャリアガスであり、第2のガスは、N2 ガスおよびH2 ガスである。第1のガスおよび第2のガスを同時に供給することにより、この場合には、AlN層F1の上に半導体層F2としてGaN層が形成される。
本実施形態の半導体ウエハの製造方法では、AlN層F1を原子層レベルで成長させる。そのため、Al原子とN原子とは、炉本体1001の内部における基板Sa1から離れた空間中で反応することはほとんどない。そのため、結晶性に優れたAlN層F1を成膜することができる。
9−1.テンプレート基板
本実施形態の半導体ウエハWa1の代わりに、テンプレート基板を製造してもよい。テンプレート基板は、半導体ウエハWa1から半導体層F2を除去したものである。
図7に示すように、Al原子を含有するAl含有ガスを供給する際には、プラズマ発生領域にプラズマを発生させない。しかし、製造装置1000は、Al含有ガスをプラズマ発生領域に通過させない構成を備えている。そのため、Al含有ガスを供給させる際に、プラズマを発生させてもよい。
図7では、TMAを流している第1の期間T1に窒素ガスを流さない。しかし、第1の期間T1に窒素ガスを流してもよい。第1の期間T1では、RFパワーは0であるため、第1の期間T1に窒素ガスを流してもプラズマ化されない。
半導体層形成工程において、原子層レベルで成膜してもよい。この場合には、半導体層F2の結晶性は向上するが、成膜時間は長くなる。
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。
第2の実施形態について説明する。本実施形態の半導体デバイスは、III 族窒化物半導体層を有するMIS型半導体素子である。
図8は、本実施形態のMIS型半導体素子100の構造を示す概略構成図である。図8に示すように、MIS型半導体素子100は、基板110と、バッファ層120と、GaN層130と、AlGaN層140と、絶縁膜150と、ソース電極S1と、ゲート電極G1と、ドレイン電極D1と、を有している。ソース電極S1およびドレイン電極D1は、AlGaN層140の上に形成されている。ゲート電極G1と、AlGaN層140の溝141との間には、絶縁膜150がある。ここで、バッファ層120は、AlN層であるとよい。
本実施形態のMIS型半導体素子100の製造方法は、REMOCVD(Radical Enhanced Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法により半導体層を成長させる。すなわち、第1の実施形態の製造装置1000を用いて半導体層を成長させる。
第1の実施形態の製造装置1000を用いて、基板110の上にIII 族窒化物半導体層を形成する。ここで用いる条件は、第1の実施形態で説明した半導体ウエハの製造方法とほぼ同様である。基板110の上に、バッファ層120と、GaN層130と、AlGaN層140と、を形成する。上記の各半導体層を形成するために、適宜原料ガスを切り替えればよい。
次に、ICP等のエッチングにより、AlGaN層140に溝141を形成する。
次に、溝141に、絶縁膜150を形成する。
次に、AlGaN層140の上にソース電極S1およびドレイン電極D1を形成する。また、溝141の箇所に、絶縁膜150を介してゲート電極G1を形成する。なお、ソース電極S1およびドレイン電極D1については、絶縁膜150を形成する前に形成してもよい。以上により、MIS型半導体素子100が製造される。
第3の実施形態について説明する。本実施形態の半導体デバイスは、III 族窒化物半導体層を有する半導体発光素子である。
図9は、本実施形態の発光素子200の構造を示す概略構成図である。図9に示すように、発光素子200は、III 族窒化物半導体層を有する。発光素子200は、基板210と、バッファ層220と、n−GaN層230と、発光層240と、p−AlGaN層250と、p−GaN層260と、p電極P1と、n電極N1と、を有する。発光層240は、井戸層と障壁層とを有する。井戸層は、例えば、InGaN層を有している。障壁層は、例えば、AlGaN層を有している。これらの積層構造は、例示であり、上記以外の積層構造であってもよい。ここで、バッファ層220は、AlN層であるとよい。
本実施形態の発光素子200の製造方法は、REMOCVD(Radical Enhanced Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法により半導体層を成長させる。すなわち、第1の実施形態の製造装置1000を用いて半導体層を成長させる。
第1の実施形態の製造装置1000を用いて、基板210の上にIII 族窒化物半導体層を形成する。ここで用いる条件は、第1の実施形態で説明した半導体ウエハの製造方法とほぼ同様である。基板210の上に、バッファ層220と、n−GaN層230と、発光層240と、p−AlGaN層250と、p−GaN層260と、を形成する。上記の各半導体層を形成するために、適宜原料ガスを切り替えればよい。
次に、ICP等のエッチングにより、p−GaN層260からn−GaN層230の途中まで達する凹部を形成する。これより、n−GaN層230の露出部が露出する。
次に、n−GaN層230の露出部の上にn電極N1を形成する。また、p−GaN層260の上にp電極P1を形成する。
アニール工程や、絶縁膜を形成する工程等、その他の工程を実施してもよい。
1.RHEED
本実験では、図6に示す製造装置1000を用いて実験を行った。製造装置1000の内圧は、300Paであった。成長基板として、8mm角、厚さ400μmのSi(111)基板を用いた。
本実験では、図6に示す製造装置1000を用いて実験を行った。製造装置1000の内圧は、100〜150Paであった。成長基板として、8mm角、厚さ400μmのSi(111)基板を用いた。
基板温度 表面粗さ(RMS)
25℃ 0.190nm
300℃ 0.136nm
600℃ 0.230nm
900℃ 0.191nm
本実験では、図6に示す製造装置1000を用いて実験を行った。製造装置1000の内圧は、100〜150Paであった。成長基板として、8mm角、厚さ400μmのSi(111)基板を用いた。
Siのストリークラインの距離 0.8cm
ストリークラインの近似幅 0.1cm
AlNのストリークラインの距離 0.8cm
ストリークラインの近似幅 0.1cm
Siの格子定数 5.431Å
AlNの格子定数(a軸) 3.112Å
第1の態様におけるIII 族窒化物半導体素子の製造方法は、Si(111)基板の表面を窒素処理してN層を形成する基板窒素処理工程と、N層の上にAl層を形成する第1の工程と、Al層の上にN層を形成する第2の工程と、を有する。この製造方法では、第1の工程と第2の工程とを繰り返す。基板窒素処理工程では、プラズマ発生領域に窒素ガスを通過させた後にSi(111)基板に窒素ガスを供給する。第1の工程では、プラズマ発生領域にAl原子を含有するAl含有ガスを通過させずにSi(111)基板にAl含有ガスを供給する。第2の工程では、プラズマ発生領域に窒素ガスを通過させた後にSi(111)基板に窒素ガスを供給する。
1001…炉本体
1010…電子銃
1020…検出部
1100…シャワーヘッド電極
1200…サセプター
1210…加熱器
1300…第1のガス供給管
1410…ガス導入室
1420…第2のガス供給管
1500…金属メッシュ
1600…RF電源
1610…マッチングボックス
1620…プラズマ電力パルス制御部
1850…パルスバルブ
Claims (7)
- Si(111)基板の表面を窒素処理してN層を形成する基板窒素処理工程と、
前記N層の上にAl層を形成する第1の工程と、
前記Al層の上にN層を形成する第2の工程と、
を有し、
前記第1の工程と前記第2の工程とを繰り返し、
前記基板窒素処理工程では、
プラズマ発生領域に窒素ガスを通過させた後に前記Si(111)基板に前記窒素ガスを供給し、
前記第1の工程では、
前記プラズマ発生領域にAl原子を含有するAl含有ガスを通過させずに前記Si(111)基板に前記Al含有ガスを供給し、
前記第2の工程では、
前記プラズマ発生領域に窒素ガスを通過させた後に前記Si(111)基板に前記窒素ガスを供給すること
を特徴とするIII 族窒化物半導体素子の製造方法。 - 請求項1に記載のIII 族窒化物半導体素子の製造方法において、
前記第1の工程では、
プラズマを発生させないこと
を特徴とするIII 族窒化物半導体素子の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載のIII 族窒化物半導体素子の製造方法において、
前記基板窒素処理工程では、
0℃以上100℃以下の温度で前記Si(111)基板の表面を窒化すること
を特徴とするIII 族窒化物半導体素子の製造方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体素子の製造方法において、
前記第1の工程では、
原子層レベルの前記Al層を形成し、
前記第2の工程では、
原子層レベルの前記N層を形成すること
を特徴とするIII 族窒化物半導体素子の製造方法。 - Si(111)基板の表面を窒素処理してN層を形成する基板窒素処理工程と、
前記N層の上にAl層を形成する第1の工程と、
前記Al層の上にN層を形成する第2の工程と、
を有し、
前記第1の工程と前記第2の工程とを繰り返し、
前記基板窒素処理工程では、
プラズマ発生領域に窒素ガスを通過させた後に前記Si(111)基板に前記窒素ガスを供給し、
前記第1の工程では、
前記プラズマ発生領域にAl原子を含有するAl含有ガスを通過させずに前記Si(111)基板に前記Al含有ガスを供給し、
前記第2の工程では、
前記プラズマ発生領域に窒素ガスを通過させた後に前記Si(111)基板に前記窒素ガスを供給すること
を特徴とする半導体ウエハの製造方法。 - Si(111)基板の表面を窒素処理してN層を形成する基板窒素処理工程と、
前記N層の上にAl層を形成する第1の工程と、
前記Al層の上にN層を形成する第2の工程と、
を有し、
前記第1の工程と前記第2の工程とを繰り返し、
前記基板窒素処理工程では、
プラズマ発生領域に窒素ガスを通過させた後に前記Si(111)基板に前記窒素ガスを供給し、
前記第1の工程では、
前記プラズマ発生領域にAl原子を含有するAl含有ガスを通過させずに前記Si(111)基板に前記Al含有ガスを供給し、
前記第2の工程では、
前記プラズマ発生領域に窒素ガスを通過させた後に前記Si(111)基板に前記窒素ガスを供給すること
を特徴とするテンプレート基板の製造方法。 - Si(111)基板と、
前記Si(111)基板の上のAlN層と、
を有するIII 族窒化物半導体素子において、
前記AlN層は、
30原子層以下であり、
前記Si(111)の格子定数と前記AlN層の格子定数との差が、
10%以下であること
を特徴とするIII 族窒化物半導体素子。
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WO2023008297A1 (ja) * | 2021-07-30 | 2023-02-02 | 国立大学法人東海国立大学機構 | Iii族窒化物半導体素子の製造方法 |
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