JP2020053535A - 光源装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
底面と、前記底面を囲む内側面と、により規定される凹部を有するパッケージと、
前記底面に配置されたレーザ光源と、
前記パッケージの上側に前記凹部を塞ぐように配置されたリッドと、
前記レーザ光源から出射された光をリッドの方向に反射する反射面と、
前記反射面で反射した光の光路領域内であって、前記リッドの内面側に配置された第1レンズと、
前記反射面で反射した光の光路領域内であって、前記リッドの外面側に配置された第2レンズと、を備えており、
前記第1レンズ及び前記第2レンズのうち、一方は、前記レーザ光源から出射された光のファーフィールドパターンの長軸方向に、ファーフィールドパターンの短軸方向の曲率よりも大きい曲率を有し、
他方は、前記レーザ光源から出射された光のファーフィールドパターンの短軸方向に、ファーフィールドパターンの長軸方向の曲率よりも大きい曲率を有している。
各図面中、同一の機能を有する部材には、同一符号を付している場合がある。要点の説明または理解の容易性を考慮して、便宜上実施形態や実施例に分けて示す場合があるが、異なる実施形態や実施例で示した構成の部分的な置換または組み合わせは可能である。後述の実施形態や実施例では、前述と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については、実施形態や実施例ごとには逐次言及しないものとする。各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張して示している場合もある。
はじめに、図1、図2A〜2Eを参照しながら、本発明の実施形態1に係る光源装置の説明を行う。
図1は、実施形態1に係る光源装置の上面図である。図2Aは、図1におけるII−II断面図である。図2Bは、図2Aの光源装置をA−A線矢視方向から見たときのリッドと第1レンズ及び第2レンズとを模式的に示す断面図である。図2Cは、本発明における実施形態1に係る光源装置に備えられるレンズを模式的に示す斜視図である。図2Dは、レーザ光源から出射された光の(a)ファーフィールドパターンの長軸及び短軸と、(b)反射光の長軸及び短軸とを模式的に示す図である。図2Eは、図2Aの光源装置から出射される光を、B−B線矢視方向から見たときのパターンを示す模式図である。
実施形態1では、基板2及び側壁部材4が個別の部材で形成されているので、それぞれの用途に応じた最適な材料を採用することができる。基板2の材料として、本実施形態では、窒化アルミニウムが用いられている。ただし、これに限られるものではなく、アルミナ、アルミナジルコニア、窒化ケイ素等のその他のセラミック材料や、樹脂材料、シリコン等の単結晶、金属材料、また、それら材料を組み合わせて用いることもできる。また、その他絶縁層と組み合わせて用いることもできる。側壁部材4の材料として、本実施形態では、シリコンが用いられている。側壁部材4がシリコンから形成される場合、正確な傾斜角度を有する反射面、例えば、異方性エッチングで単結晶シリコンの(100)面をエッチングすると、54.7°の角度を持った(111)面が現れ、これを内側面4aとすることができる。
基板2と側壁部材4は、接合膜(図示されていない)を介して接続されている。接合膜は、例えば、異なる金属膜からなる積層構造である。例えば、基板2及び側壁部材4を接合するため、基板2の上面である底面2aの側壁部材4の取り付け領域に、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)及びクロム(Cr)の何れかを含む膜からなる第1層、及び白金(Pt)を含む膜からなる第2層(第2層がない場合もあり得る)から構成される下地層と、その上の金(Au)を含む膜からなる第3層(接合層)とで構成された接合膜が形成されている。なお、3層にかぎるものではなく、2層や4層以上などの膜構成も用いることができる。ただし、最終層は金(Au)が望ましい。
側壁部材4の下面にも、同様に、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、及びクロム(Cr)の何れかを含む膜からなる第1層、及び白金(Pt)を含む膜からなる第2層(第2層がない場合もあり得る)から構成された下地層と、その上の金(Au)を含む膜からなる第3層(接合層)とで構成された接合膜が形成されている。なお、3層にかぎるものではなく、2層や4層以上などの膜構成も用いることができる。ただし、最終層は金(Au)が望ましい。
これらの接合膜の厚みとして、0.3〜2μm程度を例示することができる。
そして、基板2側に形成された接合膜及び側壁部材4側に形成された接合膜が、錫(Sn)、銀(Ag)、銅(Cu)からなる金属接合材(無鉛半田)により金属溶融接合されている。これにより、基板2及び側壁部材4を気密に堅固に接合することができる。なお、金属接合材として、金スズ(AuSn)や、その他の半田材料を用いることもできる。
反射面12aは、レーザ光源8から出射された光をリッド10の方向に反射する。リッド10の方向に反射された光とは、リッド10へ向かう垂直上向きのベクトル成分を含む任意の方向に進む反射光を意味する。
反射面12aは、側壁部材4の内側面4aそのものであってもよい。好ましくは、内側面4aに形成された反射膜(図示されていない)の外側表面である。反射膜は、例えば、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、及びクロム(Cr)の何れかを含む膜からなる第1層、及び白金(Pt)を含む膜からなる第2層(第2層がない場合もあり得る)から構成される下地層と、その上の銀(Ag)を含む膜からなる第3層(反射層)とで構成されている。反射膜の厚みとして、0.3〜2μm程度を例示することができる。なお、3層にかぎるものではなく、2層や4層以上などの膜構成も用いることができる。ただし、最終層は銀(Ag)が望ましい。
更に、反射膜の反射面12aの上に、二酸化ケイ素(SiO2)や二酸化チタン(TiO2)などからなる誘電体膜(図示されていない)が形成されている。誘電体膜は、単層の場合もあり得るし、屈折率の異なる層を積層させた多層膜の場合もあり得る。誘電体膜は、積層する材料及び膜厚を適切に設定することにより、優れた反射膜として機能させることも、優れた反射防止膜(無反射膜ともいう)として機能させることもできる。ここでは、反射膜として機能する誘電体膜により、反射面の反射率を効果的に高めることができる。
反射面に誘電体膜を形成する場合、通常、印刷等により誘電体膜を形成しない領域にマスクを施し、スパッタリングや蒸着で誘電体膜を形成する。さらに、例えば、形成された誘電体膜の一部をウェットエッチングすることで、誘電体膜を所望のパターンに形成することも可能になる。
また、側壁部材の内側面に反射膜を形成する代わりに、個別の立ち上げミラーを配置することもできる。個別の立ち上げミラーの材料としては、ガラス、シリコン等の単結晶や多結晶材料、セラミック材料、樹脂材料をはじめとする既知の任意の材料を適用することができる。
また、本実施形態においては側壁部材4の4面を反射面として使用することができるが、レーザ光源8からのを反射させる一面以外の面においては上記反射膜を有しない構造も適用することができる。また積極的に反射防止膜などを有してもよい。
実施形態1に係る光源装置1には、1つのレーザ光源8が実装されており、レーザ光源8としてレーザダイオードが用いられている。レーザダイオードとしては、紫外領域から緑色領域の波長域の光を出射する窒化物半導体レーザ素子や、赤色領域から赤外領域の波長域の光を出射するGaAs系半導体レーザ素子を用いることができる。これにより、輝度の高い色再現性に優れた光源装置1を実現できる。
透光性を有するリッド10の材料として、実施形態1では、透光性を有するガラスが用いられているが、これに限られるものではなく、石英やサファイア等を用いることもできる。つまり、レーザ光源8が出射する光の波長に対して透過性を有する材料を用いることができる。
次に、側壁部材4の上面及びリッド10の内面10aの接合について説明する。
実施形態1では、側壁部材4の上面の誘電体膜が形成されていない領域に、スパッタリングや蒸着により、アルミニウムまたはアルミニウム合金から構成される接続部材(図示されていない)が形成されている。そして、形成された接続部材の上面及びリッド10の内面10aが、陽極接合で接合されている。
陽極接合は、ガラス及び金属またはガラス及びシリコンを接触させ、金属側を陽極として、両者の間に所定の電圧を加えながら加熱することにより接合を行うものである。この陽極接合により、ガラスと金属やガラスとシリコンという大きく性質の異なる材料同士を、半田や接着剤のような介在物を用いることなく接合することができる。なお、接続部材の材料として、アルミニウムやアルミニウム合金の代わりにチタンやチタン合金、シリコンを用いて、陽極接合により接合することもできる。ガラスはアルカリガラスが好適である。
以上のように、接続部材及びリッド10が陽極接合で接合されるので、気密性の高い堅固な接続が可能になる。
実施形態1において、第1レンズ13及び第2レンズ15は、図2Cに示すようなシリンドリカルレンズであり、反射面12aで反射したレーザ光源8の反射光を平行化(コリメート)するために備えられている。
第1シリンドリカルレンズ14及び第2シリンドリカルレンズ16はそれぞれ透光性を有しており、これらの材料として、本実施形態では、透光性を有するガラスが用いられているが、これに限られるものではなく、石英やサファイア等を用いることもできる。さらに、第2シリンドリカルレンズ16は、パッケージ6の外側に配置されているので、樹脂からのアウトガスなどの影響をレーザ光源8が受けにくい。そのため、例えば、透光性を有する樹脂で形成することもできる。
また、リッド10と第1シリンドリカルレンズ14及び第2シリンドリカルレンズ16が同一材料(例えば、ガラス)から形成されている場合、リッド10と第1シリンドリカルレンズ14及び第2シリンドリカルレンズ16とは一体成形により製造できる。ただし、リッド10と第1シリンドリカルレンズ14及び第2シリンドリカルレンズ16とは、一体成形される場合に限定されない。例えば、それらが異なる部材から形成されている場合には、リッド10と第1シリンドリカルレンズ14及び第2シリンドリカルレンズ16とが、接合面での光損失が抑制された形で接合されていればよい。例えば、光が透過しないレンズの周囲領域を用いて、第1シリンドリカルレンズ14及び第2シリンドリカルレンズ16をリッド10に固定することが考えられる。
以下、図2A〜図2Eを参照して、第1シリンドリカルレンズ14と第2シリンドリカルレンズ16の配置を説明する。
既に記載したように、第1シリンドリカルレンズ14及び第2シリンドリカルレンズ16は、反射面12aで反射した光の光路領域内に配置されている。
リッド10の内面10a側に配置された第1シリンドリカルレンズ14は、曲率を有する方向である第1軸Pがx軸方向に伸び、曲率を有さない方向である第2軸Qがy軸方向に伸びるように配置されている。一方、リッド10の外面10b側に配置された第2シリンドリカルレンズ16は、第1軸Pがy軸方向に伸び、第2軸Qがx軸方向に伸びるように配置されている。
これにより、第1シリンドリカルレンズ14の第1軸Pの方向が、レーザ光源8から出射され、反射面12aで反射された光の長軸方向(図2D(b)におけるx軸方向)と一致する。一方、第2シリンドリカルレンズ16の第1軸Pの方向が、レーザ光源8から出射され、反射面12aで反射された光の短軸方向(図2D(b)におけるy軸方向)と一致する。
また、リッド10の厚さtを厚くすると、第1シリンドリカルレンズ14の底面14aから第2シリンドリカルレンズ16の底面16aまでの光学距離lは長くなるので、光の短軸方向への広がり幅は広くなる。一方、リッド10の厚さtを薄くすると、第1シリンドリカルレンズ14の底面14aから第2シリンドリカルレンズ16の底面16aまでの光学距離lは短くなるので、光の短軸方向への広がり幅は狭くなる。つまり、リッド10の厚さtに応じて、光の短軸方向における広がり幅が定まるので、光源装置1から出射される光の短軸方向の幅D2は、リッド10の厚さtにより画定されることになる。従って、リッド10の厚さtを変化させることで、光源装置1から出射される光の長軸方向と短軸方向のアスペクト比D1/D2を所望の値にすることが可能になる。なお、光学距離は厚さtだけではなく、屈折率nも考慮する必要がある。
さらに、リッド10の屈折率n及び厚さtを適切に設定することで、光源装置1から出射される光の長軸方向と短軸方向のアスペクト比D1/D2を1とすることができ、光源装置1から真円の光を出射させることができる。
次に、図3を参照しながら、本発明の実施形態2に係る光源装置20を説明する。
実施形態2に係る光源装置20は、第2シリンドリカルレンズ16の底面16aが、リッド10の外面10b側に設けられた凹部10c内に配置されている点で実施形態1と異なる。
具体的に説明すると、第2シリンドリカルレンズ16は、底面16aが凹部10cの平坦な底面10dと接するように配置されている。
凹部10cは、例えば、溶融したガラス材料を凹部が形成可能な型に流し込んで冷却することにより形成することができるし、レーザを用いたアブレーション加工等により凹部を形成することもできる。
次に、図4を参照しながら、本発明の実施形態3に係る光源装置30を説明する。
実施形態3に係る光源装置30は、第2シリンドリカルレンズ16の底面16aが、リッド10の外面10b側に設けられた凸部10e上に配置されている点で実施形態1と異なる。
具体的に説明すると、第2シリンドリカルレンズ16は、底面16aが凸部の平坦な上面10fと接するように配置されている。
凸部10eを有するリッドは、例えば、溶融したガラス材料を凸部が形成可能な型に流し込んで冷却することにより形成することができる。また、例えば、レーザを用いたアブレーション加工等により板状のリッド表面の不要な部分を除去することで、凸部10eを有するリッドを形成することもできるし、リッド表面に凸部となる部分を接合してもよい。この場合、予め形成された凸部を接合させてもよいし、3Dプリンタなどを用いてリッドの表面に直接凸部を形成してもよい。
次に、図5を参照しながら、本発明の実施形態4に係る光源装置40を説明する。実施形態4に係る光源装置40は、3つのレーザ光源8と、3つのレーザ光源8それぞれに応じて設けられた3つの第1シリンドリカルレンズ14及び3つの第2シリンドリカルレンズ16と、を有する点で実施形態1と異なる。実施形態4において、3つのレーザ光源8は、赤色の波長領域の光を出射する第1レーザ光源8Aと、緑色の波長領域の光を出射する第2レーザ光源8Bと、青色の波長領域の光を出射する第3レーザ光源8Cとにより構成されている。
さらに、実施形態4では、それぞれが異なる波長領域を有する3つのレーザ光源が実装された光源装置について説明したが、レーザ光源の数は3つに限定されるものではない。また、実装された複数のレーザ光源の波長領域は、全て異なっていてもよいし、全て同一でもよいし、一部が異なっていてもよい。
さらに、リッド10の厚みやレーザ光源から第1シリンドリカルレンズ面までの距離を各レーザ光源において異ならせることで、異なる波長域及び広がり角のレーザ光源を複数有する場合でも同じアスペクト比のコリメート光やビーム径を等しくすることができる。
底面2aに配置されたレーザ光源8、8A〜8Cと、
パッケージ6の上側に凹部を塞ぐように配置されたリッド10と、
レーザ光源8、8A〜8Cから出射された光をリッド10の方向に反射する反射面12aと、
反射面12aで反射した光の光路領域内であって、リッド10の内面10a側に配置された第1レンズ13と、
反射面12aで反射した光の光路領域内であって、リッド10の外面10b側に配置された第2レンズ15と、を備えており、
第1レンズ13及び前記第2レンズ15のうち、一方は、レーザ光源8、8A〜8Cから出射された光のファーフィールドパターンの長軸方向に、ファーフィールドパターンの短軸方向の曲率よりも大きい曲率を有し、
他方は、レーザ光源8、8A〜8Cから出射された光のファーフィールドパターンの短軸方向に、ファーフィールドパターンの長軸方向の曲率よりも大きい曲率を有する。
上記の実施形態では、レンズにより光を平行光にする場合を示したが、これに限られるものではなく、レンズにより光を拡散する場合も、集光する場合もあり得る。この場合、光源装置から出射される光の長軸及び短軸方向の一方で平行光となり、他方で拡散光または収束光となる場合もあり得る。
図6Aは、本発明に用いられるレンズの変形例である楕円の凸型レンズを模式的に示す斜視図である。図6Bは、本発明に用いられるレンズの変形例である楕円の凹型レンズを模式的に示す斜視図である。なお、凸型のレンズを通過した光は集束し、凹型のレンズを通過した光は発散する。
実施形態1に係る光源装置において、第2レンズ15のみを楕円型凸レンズ16’に変更した場合を例に挙げて、本発明に係る変形例1を説明する。
楕円型凸レンズ16’は、P’軸がy軸方向に伸び、P’軸に直交するQ’軸がx軸方向に伸びるように配置されており、P’軸方向の曲率はQ’軸方向の曲率より大きい。
このような構成により、レーザ光源8から出射され、反射面12aで反射された光の長軸方向は、第1シリンドリカルレンズ14によりコリメートされ、長軸方向の幅を一定に保ち、かつ、短軸方向に広がりを続けながらリッド10を通過する。そして、光は、リッド10を通過後、楕円型凸レンズ16’に入射し、楕円型凸レンズ16’によって集束される。このとき、楕円型凸レンズ16’のP’軸方向(y軸方向)の曲率がQ’軸方向(x軸方向)の曲率より大きいため、光の短軸方向の集束率が、長軸方向(x軸方向)の集束率よりも大きくなる。
以上のことから、凸型レンズを用いても、光源装置から出射される光の長軸方向と短軸方向とのアスペクト比を所望の大きさにすることが可能である。さらに、変形例1のように、楕円型凸レンズを用いた場合、光源装置から出射される光は集束している。そのため、光源装置と目標照射領域の距離に応じて、照射範囲の大きさを変化させることも可能になる。
次に、実施形態1に係る光源装置において、第2レンズのみを楕円型凹レンズ16”とする場合を例に挙げて、本発明に係る変形例2を説明する。
楕円型凹レンズ16”は、P”軸がy軸方向に伸び、P”軸に直交するQ”軸がx軸方向に伸びるように配置されており、P”軸方向の曲率はQ”軸方向の曲率より大きい。
このような構成により、レーザ光源8から出射され、反射面12aで反射された光の長軸方向は、第1シリンドリカルレンズ14によりコリメートされ、長軸方向の幅を一定に保ち、かつ、短軸方向に広がりを続けながらリッド10を通過する。そして、光は、リッド10を通過後、楕円型凹レンズ16”に入射し、楕円型凹レンズ16”によって発散される。このとき、楕円型凹レンズ16”のP”軸方向(y軸方向)の曲率がQ”軸方向(x軸方向)の曲率より大きいため、光の短軸方向の発散率が、長軸方向の発散率よりも大きくなる。
以上のことから、凹型レンズを用いても、光源装置から出射される光の長軸方向と短軸方向のアスペクト比を所望の大きさにすることが可能である。さらに、変形例2のように楕円型凹レンズを用いた場合、光源装置から出射される光は発散している。そのため、光源装置と目標照射領域の距離に応じて、照射範囲の大きさを変化させることも可能になる。
次に、図7A〜図7Eを参照して、上記のような本発明に係る光源装置を製造する方法を説明する。図7A〜図7Eは、本発明に係る光源装置の製造工程の一例を示す模式図であって、図7Aは、その第1工程を示す図であり、図7Bは、その第2工程を示す図であり、図7Cは、その第3工程を示す図であり、図7D及び図7Eは、その第4工程を示す図である。
このように、パッケージ集合体50及びリッド集合体51を別々に製造した後、それらを接合して、接合により形成された光源装置集合体52を光源装置毎に個片化することで、光源装置の大量生産が可能になる。
このような製造方法により、より容易に第2レンズの位置決めを行うことができる。具体的に説明すると、例えば、レーザ光源を光らせて、その光を基準に第2レンズの配置位置を調節することができるようになり、高い配置精度で第2レンズをリッドに接合することが可能になる。また、レーザ光源を光らせながら、その光を基準に、例えば、レーザアブレーションや3Dプリンタを用いて、第2レンズそのものを形成することができるようになり、第2レンズの配置精度を高くすることが可能になる。
2 基板
2a 底面
4 側壁部材
4a 側壁部材の内側面
6 パッケージ
8、8A〜8C レーザ光源
10 リッド
10a リッドの内面
10b リッドの外面
10c 凹部
10d 凹部の底面
10e 凸部
10f 凸部の上面
12a 反射面
13 第1レンズ
14、14A〜14C 第1シリンドリカルレンズ
14a 第1シリンドリカルレンズの底面
15 第2レンズ
16、16A〜16C 第2シリンドリカルレンズ
16a 第2シリンドリカルレンズの底面
16’ 楕円型凸レンズ
16” 楕円型凹レンズ
D1 第1レンズ通過後の長軸方向の幅
D2 第2レンズ通過後の短軸方向の幅
P シリンドリカルレンズの曲率を有する方向の軸
Q シリンドリカルレンズの曲率を有さない方向の軸
P’、Q’ 楕円型凸レンズの1つの軸
P”、Q” 楕円型凹レンズの1つの軸
l 光学距離
t リッドの厚み
x、y、z 軸
50 パッケージ集合体
51 リッド集合体
52 光源装置集合体
53 刃
Claims (11)
- 底面と、前記底面を囲む内側面と、により規定される凹部を有するパッケージと、
前記底面に配置されたレーザ光源と、
前記パッケージの上側に前記凹部を塞ぐように配置されたリッドと、
前記レーザ光源から出射された光をリッドの方向に反射する反射面と、
前記反射面で反射した光の光路領域内であって、前記リッドの内面側に配置された第1レンズと、
前記反射面で反射した光の光路領域内であって、前記リッドの外面側に配置された第2レンズと、を備えており、
前記第1レンズ及び前記第2レンズのうち、一方は、前記レーザ光源から出射された光のファーフィールドパターンの長軸方向に、ファーフィールドパターンの短軸方向の曲率よりも大きい曲率を有し、
他方は、前記レーザ光源から出射された光のファーフィールドパターンの短軸方向に、ファーフィールドパターンの長軸方向の曲率よりも大きい曲率を有することを特徴とした、光源装置。 - 前記第1レンズ及び前記第2レンズにより、前記長軸方向及び前記短軸方向の広がり光が、略平行光とされる請求項1に記載の光源装置。
- 前記第1レンズは、前記レーザ光源から出射された光のファーフィールドパターンの長軸方向に、短軸方向よりも大きい曲率を有し、
前記第2レンズは、前記レーザ光源から出射された光のファーフィールドパターンの短軸方向に、長軸方向よりも大きい曲率を有する、請求項1又は2に記載の光源装置。 - 前記第2レンズは、前記リッドの外面側に設けられた凹部内に配置されている、請求項1〜3のいずれかに記載の光源装置。
- 前記第2レンズは、前記リッドの外面側に設けられた凸部上に配置されている、請求項1〜3のいずれかに記載の光源装置。
- 前記第1レンズはガラスから形成され、前記第2レンズは樹脂から形成される、請求項1〜5のいずれかに記載の光源装置。
- 異なる波長領域の光を出射する複数のレーザ光源を備え、
前記リッドには、前記レーザ光源毎に設けられ、前記波長領域毎に固有の曲率を有する前記第1レンズと前記第2レンズとが配置されている、請求項1〜6のいずれかに記載の光源装置。 - 前記異なる波長領域は、赤色波長領域、緑色波長領域及び青色波長領域である、請求項7に記載の光源装置。
- 前記第1レンズ及び前記第2レンズがシリンドリカルレンズである、請求項1〜8のいずれかに記載の光源装置。
- 請求項1〜9のいずれかに記載の光源装置を製造する方法であって、
前記レーザ光源が配置されたパッケージを複数有するパッケージ集合体を準備する第1工程と、
前記第1レンズ及び前記第2レンズとを有する前記リッドを複数有するリッド集合体を準備する第2工程と、
前記パッケージ集合体と前記リッド集合体を接合する第3工程と、
前記第3工程で接合された前記パッケージ集合体および前記リッド集合体を前記光源装置毎に個片化する第4工程とを含む、光源装置の製造方法。 - 前記第1工程は、前記複数のレーザ光源を実装する工程を含む、請求項10に記載の光源装置の製造方法。
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