JP2020032409A - 教師データ生成方法および吐出状態の判定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、基板処理装置100の全体構成を示す図である。基板処理装置100は、基板Wに対して処理液を供給して基板Wに対する処理を行う装置である。基板Wは、例えば半導体基板である。この基板Wは略円板形状を有している。
31,61,66 吐出ノズル
70 カメラ
90 ユーザインターフェース
91 分類器
100 基板処理装置
W 基板
Claims (6)
- 基板処理装置における吐出ノズルの吐出状態についての教師データを生成する方法であって、
基板を基板保持機構に略水平に保持する保持工程と、
前記吐出ノズルから前記基板の主面に向けて処理液を吐出する処理液吐出工程と、
前記吐出ノズル、および、前記処理液吐出工程において吐出された前記処理液の少なくとも一部を含むように調整された撮像領域を、前記処理液吐出工程の少なくとも一部を含む期間に亘りカメラにより撮像し、複数の画像データを取得する撮像工程と、
前記複数の画像データのうち少なくとも一つについて、当該画像データに写る処理液の吐出状態に応じたラベルを当該画像データに付与し、教師データを生成する教師データ生成工程と、
を備える、教師データ生成方法。 - 請求項1に記載の教師データ生成方法であって、
前記教師データ生成工程は、
前記処理液の吐出状態が変化するタイミングを含み、前記処理液吐出工程の期間よりも短い期間において前記カメラによって取得された画像データを、教師データの候補として記憶媒体に記憶する記憶工程と、
前記候補から教師データとして採用する画像データを選定する選定工程と、
教師データに対して、当該教師データに写る処理液の吐出状態に応じたラベルを付与するラベル付与工程と
を備える、教師データ生成方法。 - 請求項1または請求項2に記載の教師データ生成方法であって、
前記教師データに基づいて生成された分類器によって、画像データがあるカテゴリに誤分類されたときに、当該画像データを教師データとして採用し、当該教師データに対して、前記カテゴリに相当する第1ラベルとは別の第2ラベルを付与する工程
をさらに備える、教師データ生成方法。 - 請求項3に記載の教師データ生成方法であって、
前記第2ラベルは、誤分類されたことを示すラベルである、教師データ生成方法。 - 請求項3に記載の教師データ生成方法であって、
前記カテゴリは、前記処理液の吐出停止の際に処理液が液滴として落下するぼた落ち状態を示すカテゴリを含み、
前記第2ラベルは、前記画像データにおいて前記吐出ノズルの直下の前記基板の表面に形成された模様がぼた落ちのパターンと類似していることを示すラベルである、教師データ生成方法。 - 請求項1から請求項5のいずれか一つに記載の教師データ生成方法によって生成された教師データを用いて機械学習を行って分類器を生成する工程と、
基板を基板保持機構に略水平に保持する工程と、
前記吐出ノズルから前記基板の主面に向けて処理液を吐出する工程と、
前記吐出ノズル、および、前記処理液吐出工程において吐出された前記処理液の少なくとも一部を含むように更新された撮像領域を、前記処理液吐出工程の少なくとも一部を含む期間に亘りカメラにより撮像し、複数の画像データを取得する工程と、
前記吐出ノズルからの処理液の吐出状態の良否の仮判定を、前記画像データのうち前記吐出ノズルの先端から処理液の吐出方向に延びる領域内の画素値の統計量に基づいて行い、前記吐出状態が不良あると仮判定したときに、前記分類器によって、当該画像データを吐出状態に応じたカテゴリに分類する、吐出状態の判定方法。
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