JP6553487B2 - 吐出判定方法および吐出装置 - Google Patents
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Description
11 スピンチャック(保持手段)
33,43,53 ノズル
71 照明部
72 カメラ
80 制御部(吐出判定手段、制御手段)
Lq 処理液(液体)
Rj 吐出判定領域(評価対象領域)
S(i) 輝度積算値(画素値の合計値)
W 基板(ワーク)
Claims (8)
- ノズルから液体が吐出される吐出状態か、前記ノズルから前記液体が吐出されない非吐出状態かを判定する吐出判定方法において、
前記ノズルから吐出された前記液体が流通する流通経路の少なくとも一部を撮像視野に含めて撮像を行う撮像工程と、
前記吐出状態において前記非吐出状態よりも大きな値を取る指標値を、撮像された画像のうち前記流通経路の少なくとも一部を含む評価対象領域内の画素の画素値に基づき求める指標値導出工程と、
前記指標値が予め定められた判定基準値より大きければ前記画像が前記吐出状態を表すと判定する一方、前記指標値が前記判定基準値より小さければ前記画像が前記非吐出状態を表すと判定する判定工程と
を備え、前記判定基準値は、
互いに時刻を異ならせて撮像された前記評価対象領域を含む画像を複数収集し、それぞれの画像の前記評価対象領域について前記指標値をそれぞれ求める画像収集工程と、
前記画像収集工程で求められた複数の前記指標値が示すヒストグラムに応じた値を前記判定基準値とする基準値設定工程と
を前記判定工程に先立って実行することにより設定され、前記基準値設定工程では、
前記ヒストグラムが単峰性であるとき、そのピークの位置に対応する前記指標値の値、または前記ピークの鋭さを示す値を評価値として、前記評価値が予め定められた閾値より小さいとき、前記画像収集工程で求められた前記指標値の実質的な最大値に応じた値を前記判定基準値とする一方、前記評価値が前記閾値より大きいとき、前記画像収集工程で求められた前記指標値の実質的な最小値に応じた値を前記判定基準値とする
吐出判定方法。 - 前記基準値設定工程では、前記ヒストグラムが双峰性であるとき、2つのピークの間のバレーに対応する前記指標値の値を前記判定基準値とする請求項1に記載の吐出判定方法。
- 前記基準値設定工程では、前記画像収集工程で求められた複数の前記指標値の集合に対し2クラスの判別分析を実行したときにクラス間分離度が最大となる前記指標値の値を含む所定数値範囲内にある要素の数が前記集合に占める比率に基づき、前記ヒストグラムが単峰性であるか否かが判断される請求項1または2に記載の吐出判定方法。
- 前記比率を、前記ピークの鋭さを示す前記評価値とする請求項3に記載の吐出判定方法。
- 前記指標値は、前記評価対象領域内で前記液体の流通方向に沿って1列に並ぶ画素からなる画素列のそれぞれについて個別に画素値を合計した合計値の集合を母集団としたときの母標準偏差の値に応じた値である請求項1ないし4のいずれかに記載の吐出判定方法。
- 前記指標値は、前記評価対象領域内において所定輝度以上の輝度に対応する画素値を有する画素の数に応じた値である請求項1ないし4のいずれかに記載の吐出判定方法。
- ワークを保持する保持手段と、
前記ワークに対し液体を吐出するノズルと、
請求項1ないし6のいずれかに記載の吐出判定方法により前記ノズルからの前記液体の吐出の有無を判定する吐出判定手段と
を備える吐出装置。 - 前記ノズルからの前記液体の吐出を制御し、前記吐出判定手段の判定結果に基づき前記ノズルの異常判定を行う制御手段を備える請求項7に記載の吐出装置。
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