JP2020021765A - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このような半導体素子の製造方法であれば、窒化ガリウムを含む半導体層に低バイアス電位が印加されながら半導体層の表面がエッチングガスのプラズマによってエッチングされ、その後、半導体層が200℃より高く500℃以下の温度でアニールされることで、窒化ガリウムを含む半導体層の被エッチング面にダメージが入りにくくなる。
このような半導体装置の製造方法であれば、半導体層が窒素雰囲気でアニールされることで、エッチングによって形成されると考えられる窒素欠損が抑制され、その抑制された窒化ガリウムを含む半導体層が形成される。
このような半導体装置の製造方法であれば、エッチングプラズマをバイアス電位とは独立して誘導結合方式により発生させることができるので、エッチングプラズマから半導体層に入射するイオンのエネルギーを制御しやすくなる。
このような半導体装置の製造方法であれば、誘導結合方式で用いられる放電電極に、100W以上500W以下の放電パワーが投入されることで、適切なエッチングレートが得られ、さらに、上記バイアス電位を半導体層に印加しても、プラズマ密度が適切な範囲に制御され半導体層がエッチングプラズマによってダメージを受けにくくなる。
このような半導体装置の製造方法であれば、窒化ガリウムを含む半導体層が塩素を含むガスによって効率よくエッチングされる。
このような半導体装置の製造方法であれば、半導体層への汚染や、大気とエッチング表面との反応が防止される。
このような半導体装置の製造方法であれば、エッチング処理が速くなるとともに、最終的に半導体層表面がダメージを受けにくくなる。
このような半導体装置の製造方法であれば、多段的なバイアス電位印加によって最終的に形成されるGaN層表面がダメージを受けにくくなる。
10…真空槽
10p…プラズマ形成空間
11…本体
12…天板
20…支持台
21…温調器
30…プラズマ発生源
31…高周波コイル
32…高周波電源
33…星型電極
34…永久磁石
40…ガス供給源
50…バイアス供給源
60…隔壁
100、200…半導体素子
101…ドレイン電極
102…n+形GaN基板
103…n−形GaN層
104…p形GaN層
105…n+形GaN層
106…層間絶縁層
107…ゲート電極
107t…トレンチ
108…ゲート絶縁膜
109…ゲート配線
110…ソース電極
201…オーミック電極
202…n形GaN基板
202…n形GaN基板
203…n形GaNバッファ層
204…n形GaN層
204n…自然酸化膜
205…ショットキー電極
300…マスク層
S1…基板
DM…ダメージ
Claims (8)
- 窒化ガリウムを含む半導体層に3.2×10−4W/cm2以上1.6×10−2W/cm2未満の第1のバイアス電位を印加し前記半導体層の表面にエッチングガスのプラズマを発生させながら前記半導体層の一部を除去し、
前記半導体層を200℃より高く500℃以下の温度でアニールする
半導体素子の製造方法。 - 請求項1に記載された半導体素子の製造方法であって、
前記半導体層を窒素雰囲気でアニールする
半導体素子の製造方法。 - 請求項1または2に記載された半導体素子の製造方法であって、
前記プラズマを誘導結合方式により発生させる
半導体素子の製造方法。 - 請求項3に記載された半導体素子の製造方法であって、
前記誘導結合方式で用いられる放電電極に、100W以上500W以下の放電パワーを投入する
半導体素子の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載された半導体素子の製造方法であって、
エッチングガスとして、塩素を含むガスを用いる
半導体素子の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載された半導体素子の製造方法であって、
前記半導体層の一部の除去と、前記アニールとを同一の処理チャンバーで行う
半導体素子の製造方法。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載された半導体素子の製造方法であって、
前記第1のバイアス電位を印加する前に、前記第1のバイアス電位よりも高い第2のバイアス電位を印加する
半導体素子の製造方法。 - 請求項7に記載された半導体素子の製造方法であって、
前記第2のバイアス電位から前記第1のバイアス電位にかけて多段的にバイアス電位を減少させる
半導体素子の製造方法。
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