JP2020013853A - インダクタ部品 - Google Patents
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Abstract
Description
樹脂を含む第1磁性層及び第2磁性層と、
第1主面が前記第1磁性層と密着し、第2主面の上方に前記第2磁性層が配置された焼結体の基板と、
前記第2磁性層と前記基板との間に配置されたスパイラル配線と
を備える。
前記第1磁性層及び前記第2磁性層は、樹脂に含有された金属磁性粉を含み、
前記基板は、フェライトの焼結体である。
前記基板の前記第2主面上に配置された絶縁層をさらに備え、
前記スパイラル配線は、前記絶縁層上に形成されている。
前記スパイラル配線は、スパイラル形状の第1導体層と、前記第1導体層上に配置され、前記第1導体層に沿った形状の第2導体層とを有し、
前記第1導体層の厚みは、0.5μm以上である。
前記スパイラル配線は、スパイラル形状の第1導体層と、前記第1導体層上に配置され、前記第1導体層に沿った形状の第2導体層とを有し、
前記第1導体層のNi含有率は、5.0wt%以下である。
前記スパイラル配線は、スパイラル形状の第1導体層と、前記第1導体層上に配置され、前記第1導体層に沿った形状の第2導体層とを有し、
前記第1導体層の側面のテーパー角度は、前記第2導体層の側面のテーパー角度よりも大きい。
同一平面上で隣り合う前記スパイラル配線は、互いに対向する側面を有し、前記各側面の少なくとも一部は、前記第2磁性層と接しており、
隣り合う前記スパイラル配線の間には、絶縁層が配置されている。
(構成)
図1Aは、インダクタ部品の第1実施形態を示す透視平面図である。図1Bは、図1AのX−X断面図である。
上記で記載したように、第1導体層が無電解めっきで形成されていない場合、第1磁性層11への触媒付与プロセス、無電解めっきプロセス(シード層形成工程)や、無電解めっきで形成された導体層をエッチングするプロセス(シード層除去工程)による第1磁性層11への影響を無くすことができる。具体的には、第1磁性層11は、磁性粉を含有するが、この磁性粉が第1導体層形成時の前処理やプロセスで使用されるめっき液、エッチング液などによって除去されてしまうことを抑制することができる。したがって、上記のとおり、第1導体層が無電解めっきで形成されていない特徴を有する場合、第1磁性層11の透磁率低下や強度低下を抑制することができる。
例えば、第1導体層211の側面211aのテーパー角度は30.0°、第2導体層212の側面212aのテーパー角度は1.2°である。この際、Z方向を基準(0°)として、テーパー形状になる場合の角度を正、逆テーパー形状になる場合の角度を負とする。また、テーパー角度は、正確には、第1導体層211、第2導体層212のそれぞれの厚みの上下20%を除いた80%分の領域で測定すればよい。
また、好ましくは、第1導体層211の線幅は、第2導体層212の線幅と異なる。第1導体層211の線幅は、第1導体層211の幅の最大値をいい、第2導体層212の線幅は、第2導体層212の幅の最大値をいう。これによれば、様々な形状を形成する導体層の形成方法の組合せを採用でき、スパイラル配線21の設計自由度が増す。
また、第1導体層211の線幅は、第2導体層212の線幅よりも大きいことが好ましく、これによれば、スパイラル配線21が、底面側は太く、天面側は細い順テーパー形状となり、スパイラル配線21の側面付近に第2磁性層12を充填しやすくなる。
なお、図2の線幅、テーパー角度の関係に限られず、例えば、第1導体層211の線幅またはテーパー角度が、第2導体層212の線幅またはテーパー角度よりも小さくてもよい。
次に、インダクタ部品1の製造方法について説明する。
図4は、インダクタ部品の第2実施形態を示す断面図である。第2実施形態は、第1実施形態とは、絶縁層および磁性層の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第1実施形態と同じ構成であり、第1実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。
図5Aは、インダクタ部品の第3実施形態を示す透視平面図である。図5Bは、図5AのX−X断面図である。第3実施形態は、第1実施形態とは、スパイラル配線の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、第3実施形態において、第1実施形態と同一の符号は、第1実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
図6Aは、インダクタ部品の第4実施形態を示す透視平面図である。図6Bは、図6AのX−X断面図である。第4実施形態は、第1実施形態とは、スパイラル配線の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、第4実施形態において、他の実施形態と同一の符号は、第1実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
図7Aは、インダクタ部品の第5実施形態を示す透視平面図である。図7Bは、図7AのX−X断面図である。第5実施形態は、第4実施形態とは、絶縁層の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、第5実施形態において、他の実施形態と同一の符号は、第1実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
11 第1磁性層
12 第2磁性層
15 絶縁層
21 第1スパイラル配線
22 第2スパイラル配線
21C〜24C 第1〜第4スパイラル配線
25 ビア導体
31 第1柱状配線
32 第2柱状配線
41 第1外部端子
42 第2外部端子
50 被覆膜
51 第1垂直配線
52 第2垂直配線
61 基板
61a 第1主面(下面)
61b 第2主面(上面)
61c 側面
200 露出部
200a 露出面
210C,220C 側面
Claims (20)
- 樹脂を含む第1磁性層及び第2磁性層と、
第1主面が前記第1磁性層と密着し、第2主面の上方に前記第2磁性層が配置された焼結体の基板と、
前記第2磁性層と前記基板との間に配置されたスパイラル配線と
を備える、インダクタ部品。 - 前記基板は、磁性体である、請求項1に記載のインダクタ部品。
- 前記第1磁性層及び前記第2磁性層は、前記樹脂に含有された金属磁性粉を含み、
前記基板は、フェライトの焼結体である、請求項1または2に記載のインダクタ部品。 - 前記第1磁性層及び前記第2磁性層は、さらにフェライト粉を含む、請求項3に記載のインダクタ部品。
- 前記第1磁性層の厚みと前記第2磁性層の厚みの合計は、前記基板の厚みよりも大きい、請求項1から4の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記第1磁性層の厚みと前記第2磁性層の厚みは、いずれも、前記基板の厚みよりも大きい、請求項5に記載のインダクタ部品。
- 前記第1磁性層の電気抵抗率及び前記第2磁性層の電気抵抗率は、前記基板の電気抵抗率より高い、請求項1から6の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記基板の前記第1主面と前記第2主面を接続する側面の少なくとも一部は、前記第1磁性層又は前記第2磁性層に覆われている、請求項1から7の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記基板は、クラック部を有する、請求項1から8の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記基板の前記第2主面上に配置された絶縁層をさらに備え、
前記スパイラル配線は、前記絶縁層上に形成されている、請求項1から9の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記絶縁層上に配置された第2絶縁層をさらに備え、
前記スパイラル配線は、前記第2絶縁層に被覆されている、請求項10に記載のインダクタ部品。 - 前記スパイラル配線は、前記基板の前記第2主面上に配置されている、請求項1から9の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記スパイラル配線は、スパイラル形状の第1導体層と、前記第1導体層上に配置され、前記第1導体層に沿った形状の第2導体層とを有し、
前記第1導体層の厚みは、0.5μm以上である、請求項1から12の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記スパイラル配線は、スパイラル形状の第1導体層と、前記第1導体層上に配置され、前記第1導体層に沿った形状の第2導体層とを有し、
前記第1導体層のNi含有率は、5.0wt%以下である、請求項1から13の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記スパイラル配線は、スパイラル形状の第1導体層と、前記第1導体層上に配置され、前記第1導体層に沿った形状の第2導体層とを有し、
前記第1導体層の側面のテーパー角度は、前記第2導体層の側面のテーパー角度よりも大きい、請求項1から14の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記スパイラル配線は、積層方向に複数配列され、前記複数のスパイラル配線は、直列接続されている、請求項1から15の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記スパイラル配線は、同一平面上に複数配置され、
同一平面上で隣り合う前記スパイラル配線は、互いに対向する側面を有し、前記各側面の少なくとも一部は、前記第2磁性層と接しており、
隣り合う前記スパイラル配線の間には、絶縁層が配置されている、請求項1から15の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記スパイラル配線は、前記インダクタ部品の積層方向に平行な側面から外部に露出している露出部を有する、請求項1から17の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記露出部の露出面の厚みは、前記スパイラル配線の厚み以下で、かつ、45μm以上である、請求項18に記載のインダクタ部品。
- 前記露出面は、酸化膜である、請求項19に記載のインダクタ部品。
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