JP2019525009A - 電気化学的方法、装置及び組成物 - Google Patents

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Abstract

本開示は、対向電荷のソースと第1の電極との間に第1の電流を誘導することを含む方法を提供し、第1の電流は、電解質を通る。第2の電流は、第1の電極にわたって誘導され、第2の電流は、第1の電流に対して横断方向であり、第2の電流は、第1の電極にわたって相対論的電荷を誘導する。

Description

関連出願の相互参照
本特許協力条約(PCT)特許出願は、参照により本明細書に組み込まれる、2016年7月13日出願の仮出願第62/361,650号、名称「Electrochemical Methods,Devices and Compositions」に対する優先権を主張する。
本開示の態様は、電気化学に関し、特に材料ボンディング、表面補修、電気めっき、腐食及び電気触媒に関する。
溶接などの従来の材料溶融技術には、重大な制限がある。例えば、ほとんどの溶融技術は、熱的制約又は電気的制約を有する材料に対して適用することができない。具体的な一例では、支持梁は、従来の溶接に必要な温度に加熱したとき、たわみやすくかつ不具合を起こしやすい。別の例では、壊れやすい電子機器及び揮発性化学物質の近傍の物体は、そのような壊れやすい機器又は材料から隔てられるまで、従来の手段(製錬、ロウ付け及び溶接)により、溶融、再溶融又は修復することができない。これらの方法はまた、連続した均一な特性を必要とする金属材料上で使用することができない。
溶接は、ブロートーチ、電気アーク又は他の手段を用いて表面を融点まで加熱することにより金属片を共に溶融するため、及び押圧、鍛造などにより金属片を一体化させるための、一般的な方法である。金属は、機械加工可能又は溶接可能のいずれかである傾向があり、製造業において幅広い難題をもたらしている。例えば、多数の改良合金が機械加工可能であるが、従来の溶接は、合金の精密な粒状構造を変化させ、合金の特性を損なうであろう。溶接かつ熱処理された継ぎ目は、応力及びひずみ分布、熱伝導、静電気散逸などの結果をもたらす、それらの材料特性に対して変化を経験する。したがって、従来の溶接は、工業的に関連する全ての金属とは適合しない。
別法として、電着は、大抵は、表面特性を改変するために、基材の上に1種の金属の薄層をコーティングするための加工である。電着は、金属表面を溶融させるための溶接の高温を必要としないが、電着から得られる金属の薄層は、金属片を機械的に強く又は耐久的に接合かつ一体化することができない。
このような問題を念頭に置いて、特に、本開示の態様が着想された。
以下の実施形態及びその態様は、例示的かつ説明的であり、範囲が限定されないことを意味する、システム、ツール及び方法によって記載かつ説明される。様々な実施形態において、上述の問題のうちの1つ以上が軽減又は解消されているが、他の実施形態は、他の改善に関する。
対向電荷のソースと第1の電極との間に第1の電流を誘導することを含む方法が、本明細書で提供され、その第1の電流は、電解質を通る。第2の電流は、第1の電極にわたって誘導される。第2の電流は、第1の電流に対して横断方向であり、第2の電流は、相対論的(relativistic)電荷を第1の電極にわたって誘導する。方法は、第1の電極からの遠方界放射を低減するための信号キャンセルを適用することを更に含んでもよい。
本開示はまた、対向電荷のソースと第1の電極との間に電界を誘導することを含む方法を提供し、その電界は、電解質を通る力線を有する。電位は、第1の電極の表面にわたって誘導される。誘導電位は、表面に近接する力線を屈曲させ、これにより、電解質からの金属が屈曲した力線の経路に従って進み、その金属が表面上に堆積する。
本開示は、電解質と電極の表面との間の化学ポテンシャルの存在下で、電極の表面にわたって電位を誘導することを含む方法を更に提供する。誘導電位は、電極の表面を相対論的に(relativistically)帯電させる。
本開示は、金属粒子、金属イオン及びこれらの組み合わせからなる群から選択された1種以上の金属種を含む腐食性電極を提供する。腐食性電極は、腐食性電極と第1の電極との間に電解質を通して第1の電流が印加されたときに溶解し、それにより、1種以上の金属種を電解質中に懸濁させる。
対向電荷のソースと、電解質を通して対向電荷のソースと電気的に接続されている第1の電極と、を備える装置が、本明細書で提供され、ここで、第1の電流が、対向電荷のソースと第1の電極との間の電解質を通して誘導され、第2の電流が、第1の電極にわたって誘導され、第2の電流は、第1の電流に対して横断方向であり、第2の電流は、第1の電極にわたって相対論的電荷を誘導する。
本開示はまた、対向電荷のソースと、電解質を通して対向電荷のソースと電気的に接続されている第1の電極と、を含む装置を提供してもよい。対向電荷のソースと第1の電極との間に電界が誘導される。電界は、電解質を通る電気力線を有する。第1の電極の表面にわたって電位が誘導される。誘導電位は、表面に近接する力線を屈曲させ、これにより、電解質からの金属が屈曲した力線の経路に従って進み、その金属が表面上に堆積する。
本開示は、電極を提供し、ここで、電解質と電極の表面との間の化学ポテンシャルの存在下で、電極の表面にわたって電位が誘導される。誘導電位は、電極の表面を相対論的に帯電させる。この電極は、本明細書に記載の任意の方法又は装置における第1の電極であってもよい。
本開示は、電源及び電力変調器(power modulator)を含む主制御ユニットと、電極アプリケータユニットであって、少なくとも1つの対向電荷のソースと、電極アプリケータユニットを通して電解質を流すための複数のチャネルと、を含み、主制御ユニットと接続されている、電極アプリケータユニットと、主制御ユニットと接続された集電ケーブルと、主制御ユニットに接続された電力制御ユニットと、を備える装置を更に提供する。電力制御ユニットは、第1の電極と少なくとも1つの対向電荷のソースとの間に、電解質を通して第1の電流を印加し、電力制御ユニットは、第1の電極にわたって第2の電流を誘導し、第2の電流は、第1の電流に対して横断方向であり、第2の電流は、第1の電極にわたって相対論的電荷を誘導する。
本開示は、対向電荷のソースと、電極と、電極に接触する電解質であって、この電解質を通って対向電荷のソースと電極との間に第1の電流が流れる、電解質と、電極に結合される波形発生装置であって、この波形発生装置は、電流の存在下で電極にわたって電気波形を誘導する、波形発生装置と、を備える、器具を提供する。
本開示は、対向電荷のソースと電極との間に第1の電流を印加することと、電極にわたって電気波形を印加することであって、電気波形は、0mA/cm2より大きく300mA/cm2未満のエネルギー密度と、35kHz〜10GHzの周波数と、を有する、ことと、を含む、方法を提供する。
追加の実施形態及び特徴は、以下の記載において部分的に説明され、明細書の検証時に当業者には部分的に明らかとなるか、又は本明細書で論じられる実施形態の実施によって理解されてもよい。特定の実施形態の更なる理解は、本開示の一部を形成する明細書及び図面の残りの部分を参照することによって実現されてもよい。
例示的な実施形態は、図面の参照図において説明される。開示される実施形態及び図は、制限するのではなく説明に役立つことが意図される。
対向電荷のソース120と、電解質140を通して対向電荷のソース120と電気的に接続されている第1の電極110と、を備える装置100を示す図である。第1の電流130は、対向電荷のソース120と第1の電極110との間の電解質140を通して誘導される。第2の電流150は、第1の電極110にわたって誘導され、第2の電流150は、第1の電流130に対して横断方向であり、第2の電流150は、第1の電極110の表面111にわたる相対論的電荷112を誘導する。装置はまた、対向電荷のソース120と電気的に接続161され、第1の電極110と電気的に接続162、163される、電源160を備える。 図1Aの挿入図(inset)であり、対向電荷のソース120が腐食性電極である実施形態を示す図である。第1の電流130が腐食性電極120と第1の電極110との間に電解質140を通して誘導されるとき、腐食性電極120由来の金属122は、金属種(M+)124として電解質140中に放出される。 第1の電極110を示す図であり、電位250は、電解質140と第1の電極110の表面111との間の化学ポテンシャル230の存在下で、第1の電極110の表面111にわたって誘導される。誘導された電位250は、第1の電極110の表面111を相対論的に帯電112させる。 記載の方法のフロー図である。ワークピースは、第1の電流(320)を誘導し、第2の電流(330)を誘導する前に、前処理(例えば、表面洗浄、粗面化(roughening)など)されてもよい(310)。電気化学プロセスが未完了の場合(340)、第1の電流及び/又は第2の電流を変調してもよい(350)。電気化学プロセスが完了した場合(340)、プロセスを終了する(350)。 第1の電極110における容量性電荷分離410を示す図である。電気力線135は、負電荷(電子、420)の方に向かう黒矢印で表される。 第1の電極110の表面111の平滑領域430及び粗面領域440での、電子420における電子分布450を示す図である。 本明細書に記載の方法の操作により充填される形状を備えるいくつかの第1の電極を示す図である。図5Aでは、第2の電流150は、第1の部分113と第2の部分114との間にボイド500を有する第1の電極110を横断する。第2の電流150は、第1の電極110上に相対論的電荷112を生成し、これにより、金属は、第1の縁部115及び第2の縁部116に結合されて、ボイド500内の隙間520を埋める。 本明細書に記載の方法の操作により充填される形状を備えるいくつかの第1の電極を示す図である。図5Bは、図5Aに類似したプロセスを示し、ボイド500は、第1の電極110における高アスペクト比の形状である。 本明細書に記載の方法の操作により充填される形状を備えるいくつかの第1の電極を示す図である。図5Cでは、第1の電極110の粗い表面111が充填される。 本明細書に記載の方法の操作により充填される形状を備えるいくつかの第1の電極を示す図である。図5Dは、図5Aの挿入図であり、ボイド500における、電解質140内の金属540と第1の縁部115の金属縁部510との間の新しい金属−金属結合530の形成を示す。 第1の電極110の2つの部分113、114の間のボイド500の内部の電界600を示す図である。図6Aは、第2の電流150を用いないプロセス、すなわち、従来の電着を示す。 第1の電極110の2つの部分113、114の間のボイド500の内部の電界600を示す図である。図6Bは、不均一な表面でのDCオフセットがない、第2の電流150の印加を示す。 第1の電極110の2つの部分113、114の間のボイド500の内部の電界600を示す図である。図6Cは、ボイド500に対する第2の電流150の角度151、152、153を示す。矢印611、612、613は、誘導成長の方向を示す。 正弦波の第2の電流150による電子分布を示す図である。 第1の電極110の電界135における第2の電流150の効果を示す図であり、表面電子420が、一定の非相対論的速度(図8A)で移動している場合である。 第1の電極110の電界135における第2の電流150の効果を示す図であり、表面電子420が、連続加速(図8B)で移動し、相対論的電荷112を付与する場合である。 2周期にわたる2ボルトピークツーピーク(Vpp)及び2Hzでの理想波形変動の特性を示す図である。これらの変動は、インピーダンスを考慮していない。(*)小規模のバンプは、信号発生装置によって生成される高調波及び波形の完全性に依存する。(†)ノイズは、真の周期/周波数を持たず、実際の特性は、信号発生装置及びノイズの種類に大きく依存する。 主制御ユニット(MCU)1020及び電極アプリケータユニット1010を有する装置1000を示す図である。 図11A及び図11Bは、ガン型又はワンド型のアプリケータ1100を、代表的な断面図(図11A)で、また上面図(図11B)で、電極アプリケータユニット1010の一実施形態として示す図である。 パッチ型アプリケータ1200を、上面図(図12A)で、電極アプリケータユニット1010の一実施形態として示す図である。 パッチ型アプリケータ1200を、側面図(図12B)で、電極アプリケータユニット1010の一実施形態として示す図である。 電極アプリケータユニット1010の一実施形態としてグローブ型アプリケータ1300を示す図である。 飽和CuSO4(aq)由来の25℃、30mA/cm2での堆積を示す図である。具体的には、図14Aは、第2の電流を用いることなく行われた、すなわち、従来の電着であった)。 飽和CuSO4(aq)由来の25℃、30mA/cm2での堆積を示す図である。図14Bは、5MHz、10Vppの正弦波の波形を有する第2の電流の下で行われた。 1.25M CuSO4(aq)電解質に由来する25℃及び15mA/cm2で1時間での銅の堆積を示す図である。具体的には、図15Aでは、第2の電流が印加されていない、すなわち、従来の電着であった。 1.25M CuSO4(aq)電解質に由来する25℃及び15mA/cm2で1時間での銅の堆積を示す図である。図15Bでは、1MHzの第2の電流が27dbm(50Ω)で印加された。 第2の電流を用いずに行われてもよい、電気化学回路パルス付着方式を示す図である。 図17A〜図17Lは、電気化学的腐食と、それに続く亀裂充填及び平面堆積を示す図である。図17Aは、表面が切り込み1710及び水平刻み目1720を有する電極1700を示す。図17B及び図17Cは、電気化学的腐食及び粗面化を示す。図17D〜図17Lは、平滑な平面をもたらす、第2の電流を用いる電気化学プロセスの結果を示す。 1.25M CuSO4(aq)中で25℃にて、第2の電流を7kV/30mA(最大限度)、34kHz(対向電極なし)で用いる、本来平滑なCu/FR1面の表面粗面化を示す図である。図18Aは、試料を200倍の倍率で示す。 1.25M CuSO4(aq)中で25℃にて、第2の電流を7kV/30mA(最大限度)、34kHz(対向電極なし)で用いる、本来平滑なCu/FR1面の表面粗面化を示す図である。図18Bは、同一の試料を2000倍の倍率で示す。 0.5%CuSO4を伴うCu粉末(平均直径約10μm)を含有する押圧ペレットから形成された腐食性電極を示す図である。 ペレットの全体像を提示する。図19Bは、表面を800倍に拡大した顕微鏡視野の図である。より明るい領域は、10μmのCu粉末であり、より暗い領域は、CuSO4である。ペレットを80kpsiで30分間押圧した。 ワンド型アプリケータ1100及び補助リード2030、2035線を備える溶接装置として機能するユニット2000を要約する図である。 下方のワークピースが位相オフセットとして0°のφを有するときの、塩水中での電着及び横断電流の両方についての、シミュレートした電場の結果を示す図である。 下方のワークピースが位相オフセットとして180°のφを有するときの、塩水中での電着及び横断電流の両方についての、シミュレートした電場の結果を示す図である。 0°のφでの堆積中の電場振動の極小及び極大を示す図である。 180°のφでの堆積中の電場振動の極小及び極大を示す図である。 別々のチャネルで送られた横断電流右、横断電流左及び電着電流を示す図である。 元の横断電流信号を、横断電流右、横断電流左及び電着が組み合わせられた新規組み合わせ信号と比較した図である。 横断電流に対して組み合わせた左信号及び右信号を示す図である。 組み合わせた横断電流電着信号に元の横断電流信号を比較したときに、接合される2つのピース間の接合部の内側に付与される並列電流が同じであることを示す図である。 等価インピーダンスが並列に印加される横断電流及び電着信号から推測されることを示す方程式である。 等価インピーダンスを用いてChA及びChBについて算出された電位を示す図である。 金属が隙間の底部からよりも隙間の内側に面する縁部でより速く成長する、ワークピース内の隙間を示す電子顕微鏡写真である。この成長は、弱い継ぎ目及び不良な結合をもたらす。 ワークピース内の隙間の2つの側の不良な接合を示す電子顕微鏡写真である。 接合されたピース間の隙間がどのようなものであったかに注目した、横断電流を用いて銅が堆積されたワークピースの底部のSEM画像である。 隙間が並べられたことを示すように注目した、横断電流を用いて銅が堆積されたワークピースの底部のSEM像である。 二次電子検出器から生成された、表面テクスチャ間のコントラストを示す図である。 後方散乱電子検出器から生成された、異なる元素の原子量における相対的な差異間のコントラストを示す図である。 図35及び図36の試料に関する元素分析を示す図である。図37Aの元素マッピングは、2つの領域にわたって均一な銅分布を示す。 図35及び図36の試料に関する元素分析を示す図である。全体として、酸素濃度は低い(図37C及び図37D)が、酸素レベルは、底部領域でわずかに高かった(図37B)。 図35及び図36の試料に関する元素分析を示す図である。全体として、酸素濃度は低い(図37C及び図37D)が、酸素レベルは、底部領域でわずかに高かった(図37B)。 図35及び図36の試料に関する元素分析を示す図である。全体として、酸素濃度は低い(図37C及び図37D)が、酸素レベルは、底部領域でわずかに高かった(図37B)。 イオン液体から鉄層に埋め込まれたアルミニウム粒子を示す図である。試料の垂直断面を分析した。図38Aは、存在する元素を示す。 イオン液体から鉄層に埋め込まれたアルミニウム粒子を示す図である。図38Bは、鉄、アルミニウム及び炭素の信号の合成であり、鋼鉄基板の表面でのアルミニウム及び鉄の共堆積を示す。 イオン液体から鉄層に埋め込まれたアルミニウム粒子を示す図である。図38Cは、それぞれ鉄、アルミニウム及び炭素の二次元元素マップである。 イオン液体から鉄層に埋め込まれたアルミニウム粒子を示す図である。図38Dは、それぞれ鉄、アルミニウム及び炭素の二次元元素マップである。 イオン液体から鉄層に埋め込まれたアルミニウム粒子を示す図である。図38Eは、それぞれ鉄、アルミニウム及び炭素の二次元元素マップである。 銅上にイオン液体から堆積させた、およそ1:1のアルミニウム−鉄合金を示す図である。図39Aは、試料の走査電子顕微鏡写真である。 銅上にイオン液体から堆積させた、およそ1:1のアルミニウム−鉄合金を示す図である。図39Bは、それぞれ試料中のアルミニウム及び鉄の二次元元素マップである。 銅上にイオン液体から堆積させた、およそ1:1のアルミニウム−鉄合金を示す図である。図39Cは、それぞれ試料中のアルミニウム及び鉄の二次元元素マップである。 銅上にイオン液体から堆積させた、およそ1:1のアルミニウム−鉄合金を示す図である。図39Dは、試料中に存在する元素を示す。 5:4(mol/mol)鉄−亜鉛合金がイオン液体から堆積されたことを示す図である。 5:4(mol/mol)鉄−亜鉛合金がイオン液体から堆積されたことを示す図である。 5:4(mol/mol)鉄−亜鉛合金がイオン液体から堆積されたことを示す図である。 5:4(mol/mol)鉄−亜鉛合金がイオン液体から堆積されたことを示す図である。 5:4(mol/mol)鉄−亜鉛合金がイオン液体から堆積されたことを示す図である。 5:4(mol/mol)鉄−亜鉛合金がイオン液体から堆積されたことを示す図である。 5:4(mol/mol)鉄−亜鉛合金がイオン液体から堆積されたことを示す図である。図40Gは、試料中の元素分布を示す。 5:4(mol/mol)鉄−亜鉛合金がイオン液体から堆積されたことを示す図である。図40Hは、電子顕微鏡写真(図40A)と、鉄(図40B)、亜鉛(図40C)、炭素(図40D)、塩素(図40E)及び酸素(図40F)の二次元元素含有量との電子顕微鏡合成写真を示し、合金を形成する亜鉛及び鉄の共堆積を示す。 炭素布に結合された銅の写真であり、従来の電着に由来するもの(図41A)である。 炭素布に結合された銅の写真であり、横断電流を用いる開示された方法に由来するもの(図41B)である。 開示された方法に従って銅によりニッケル<200>と接合させた銅<110>を示す写真である。 本開示の方法に従って銅によりAl7075 T6と接合させた黄銅を示す写真である。 黄銅区分とアルミ区分との間の継ぎ目の拡大図である。 継ぎ目における堆積の追加の回数後のワークピースを示す写真である。 図44A〜図44Eは、開示された方法を用いて異なる条件下で銅により接合された銅製ワークピースを示す図である。図44A及び図44Bは、接合部に対して平行な横断電流により接合された銅シートを示す。図44C及び図44Dは、接合部に対して垂直の横断電流により接合された銅シートを示す。この場合、光沢のある仕上がりが得られたが、接合部は、より大きな曲げ疲労を示した。この場合、光沢のある仕上がりが得られたが、接合部は、より大きな曲げ疲労を示した。図44Eは、接合部にできるだけ近い横断電流を用いず、5VのDCオフセットにより堆積させたサンプルを示し、良好な強度及び荒仕上げを示した。 1GHzの横断電流下でワークピースにわたる計算電気エネルギー分布(V/m)を示した図であり、赤領域及び青領域は、逆の極性の電場強度を示す。 1GHzの横断電流下でワークピースにわたる計算電気エネルギー密度時間平均(J/m3)を示す図であり、赤色が最大密度であり、暗青色が最小密度である。 1.35GHzの横断電流下でワークピースにわたる計算電気エネルギー密度時間平均(J/m3)を示す図であり、赤色が最大密度であり、暗青色が最小密度である。 1.6GHzの横断電流下でワークピースにわたる計算電気エネルギー密度時間平均(J/m3)を示す図であり、赤色が最大密度であり、暗青色が最小密度である。 220MHzの横断電流下でワークピースにわたる計算電気エネルギー密度時間平均(J/m3)を示す図であり、赤色が最大密度であり、暗青色が最小密度である。 480MHzの横断電流下でワークピースにわたる計算電気エネルギー密度時間平均(J/m3)を示す図であり、赤色が最大密度であり、暗青色が最小密度である。
本明細書において、表面上に金属を電気化学的に結合し又は再配置する方法、装置及び組成物が提供される。一般的には、本方法及び装置は、対向電荷のソースと第1の電極との間に電解質を通して第1の電流を誘導することにより動作する。電解質は、第1の電極の表面に隣接し、電極−電解質界面を形成し、電解質からの金属が、第1の電極の表面と接触して、電気化学プロセス中に新たな金属−金属結合を形成する。
第1の電極は、表面上の金属と電解質からの金属との間に新たな金属−金属結合が形成され、典型的には、カソードとして荷電されるワークピースでもよい。第2の横断電流が第1の電極にわたって誘導されると、表面の電子は、それらの電界の前方圧縮及び後方膨張を受ける。この圧縮及び膨張は、光の速度で電子の中心から外側に伝播する相対論的電荷を生成する。ついで、相対論的電荷は、第1の電流の力線を曲げ、金属を電解質から導き、亀裂及び割れ目、ピット及びボイド並びにワークピース上の高アスペクト表面形状において、新たな金属−金属結合を形成する。
対照的に、亀裂を有する金属部品の例では、従来の電着は、部品の上面を覆い、亀裂を覆ってドームを形成し、永久亀裂を埋める。本明細書に記載された方法は、明らかに、隙間を充填し、亀裂を取り除き、平坦な継ぎ目及び平坦な裏面を有するワークピースを形成する。更に、亀裂の境界における金属は、機械的に堅牢な方法で電解質からの金属に結合し得る。別の実施形態では、本明細書に開示された方法は、ワークピースに穿孔されたスルーホールを充填し、任意の適切な従来のプロセスから多くの工程を取り除く。他の実施形態では、金属は、ネガ型上に電鋳されてもよい。従来、成形セグメント間の境界に問題が生じていた。ここに開示された方法により、これらの成形セグメントが機械的に強い結合で接合される。
逆の効果は、適切な横断電流を選択し、充填効果を抑止することにより達成することができる。例えば、電流は、材料がワークピース内の隙間に入るのを防止するように選択されてもよく、一方で、電流は、堆積におけるより良好な付着のためにワークピースの領域を粗くするために、ワークピースの領域を腐食するように選択されてもよい。
記載された方法及び装置は、対向電荷のソースと第1の電極との間に電界を誘導することにより動作してもよく、ここで、電界は、電解質を通る。第1の電極は、検討された技術に従って、材料堆積、結合、研磨、めっき又は腐食のような何らかの作業が行われるワークピースでもよい。
電位は、第1の電極の表面にわたって誘導される。誘導された電位は、表面に近接する力線を曲げ、これにより、電解質からの金属は、曲げられた力線の経路をたどって、金属を表面に堆積させる。1つの特定の例では、誘導された電位は、力線に影響を及ぼす。これらの曲がった力線は、最終的には、交差する表面の部分に対して90度で、不規則性を含む表面と交差する。別の見方をすれば、第1の電流の曲がった力線は、電解質からの金属が表面上に堆積し、表面に結合される際に、電解質からの金属の軌道を変化させ、これにより、金属は、その接近時に90度で表面全体に到達する確率が低くなり、むしろ輪郭、不規則性に適合し、表面上を均す挙動を示す。
横断電流の誘導された電位は、その電圧、アンペア数及び周波数を含む波形を調整することにより制御され得る。複数の波形を組み合わせて、ワークピースの表面を構成する異なる機構又は物質に同調させることも可能である。金属結合の程度は、リアルタイムでモニターすることができ、これにより、横断電流及び第1の電流は、ワークピース上での金属結合、電解研磨又は他の電気化学プロセスを継続するために調節され得る。この電気化学プロセスは、逆に実行することもでき、ワークピースを腐食させて、金属種を電解質中に送る。いずれの実施形態からも、本方法及び装置は、従来の金属融合技術又は以前から知られている電着方法からの根本的な離脱を表わす。
具体的には、従来の金属接合技術は、基材の材料特性とは異なる材料特性を有する接着剤を使用する。時には、シート状の金属が、強度のためにクリンピング又はリベットと組み合わされた高度な接着剤を使用することにより接合されるが、これらの方法は、薄い基材に限定される。溶接のような融合技術は、接合部で金属を溶融するための、熱及び/又は圧力のために大量の電力を使用する。
溶接技術は扱いにくく、危険である。多くの抵抗溶接プロセスは、溶接領域から酸素を除去するために不活性シールドガスを必要とする。ガス圧縮は、非常に効率が悪く、エネルギー集約的であり、産業用電力消費の10%までを占める。過熱を避けるために、溶接は、単一のスポット又は、十分に間隔が空いている場合にのみ、複数のスポットに制限される。また、抵抗溶接は、強いUV放射、致命的な電圧及び電流、有毒なフューム、ノイズ及び可燃性の懸念も含む。
溶接は、それが適用され得る金属に対して厳しい制限を有する。異なる金属を溶接することにより、同じベース金属を有する合金のグレードが異なる場合であっても、継ぎ目における亀裂及び接着不良がもたらされる。Zn及びCuを含む約10%の他の元素を含有する航空機グレードのアルミニウム(7075−T6)のような、多くのグレードの一般的な金属は、強い熱に対して異なって応答する他の元素の濃度が小さいために、溶接不能である。
溶接が失敗するが、それ自体の制限がないわけではない場合、従来の電着が使用される場合がある。従来の電着は、金属表面張力、接触抵抗及び蓄積応力抵抗(例えば、図6Aに示される)のために、隣接するワークピース間に機械的に強い結合を形成しない。また、従来の電着は、大型の、典型的には、水性のめっき溶液の浴及び、アノードとワークピース(金属めっきされる浸漬された導電性カソード)との間に印加される直流を利用する。めっき浴は、均一な反応物濃度、アノードとワークピースとの間の適切な間隔及びめっきされる物体の周囲の完全な周辺アノード境界を維持して、均一な電界及び物体の全ての側面上の均一なめっきを確実にするために、小さなワークピースでさえも非常に大きな体積(数百ガロン)のものでなければならない。
従来の堆積が起こるにつれて、溶解した金属種の濃度は、電極表面に近づくにつれて低下する。トレンチ及びボイドのような領域は、それほど対流を受けない。それらは、開放表面と比較して、より低い反応物濃度及びより遅い堆積速度を有する。これが起こると、同電荷の反発が大きくなる。正の金属イオンが溶液中に豊富に存在し、2つの隣接する負に帯電した縁部を中和する限り、各縁部で堆積する金属は、電気的に接触するまで、互いに向かって成長し得る。しかしながら、2つの縁部が互いに成長しても、それらの間には、結合は形成されない。それらは、元の表面が互いに当接するまで成長し得るが、元の隙間は、機械的弾性を妨げる弱い破損として依然として存在する。
金属イオンの濃度が低下すると、各縁部の負電荷は中和されず、2つの縁部は互いに反発する。粗い堆積物では、接触が悪いため、縁部は、それらが最初に電気接触する時点では粗い。総接触面積は小さい。この幾何学的形状は、共に成長する金属縁部間の接触抵抗の原因となり、強力な機械的接触の形成に対するエネルギー障壁をもたらす。各縁部に蓄積された異なる応力を克服するためのエネルギーも増加する。
従来の電気めっき中に、より多くの材料が、平坦な表面上よりも湾曲した領域上に偏って堆積する。平滑で均一な仕上げが通常望まれるため、この影響を低減するために、電気めっきプロセスには、化学的及び工学的制御を組み込まなければならない。制御は、通常、低電流密度でめっきプロセスを実行することと、複数の分布アノードを使用して、電界密度をシフトさせることと、有機添加剤を使用することと、を伴う。
従来の電着及びめっきについて、好ましい結果を達成するために、表面を前処理しなければならない。酸を使用し、研磨により、ワークピース表面をきれいにし、新たに堆積した材料が結合するのを妨げかねない、元から存在する酸化物を除去する。粗い堆積を避けるために、低電流密度が使用される。これらの工程は、従来の電気めっき及び堆積における化学資源及び時間のかなりの部分を表わす。
本開示は、上記された図面を参照しながら、この詳細な説明を参照することにより理解することができる。説明を明確にするために、様々な図面における特定の要素は、一定の縮尺で描かれておらず、概略的に又は概念的に表されてもよく、又はそうでなければ、実施形態の特定の物理的構成に正確に対応していなくてもよいことに留意されたい。
I.方法
導入並びに従来のプロセスに関する問題及び制限を考慮して、本明細書において、表面上に金属を堆積及び再配置するための電気化学器具及び方法が提供される。図1に、本明細書で検討された方法を実施するための例示的な装置を示す。図3に、本開示に係る例示的な方法を示す。図1及び図3を参照すると、ワークピース110は、第1の電流を誘導し(320)、第2の電流を誘導する(330)前に、前処理(例えば、表面クリーニング、粗面化など)され(310)てもよく、第2の電流の誘導(330)は、ワークピースを通過する交流又は非DC電流でもよい。電気化学プロセスが不完全である場合(340)、第1の電流及び/又は第2の電流を変調してもよい(350)。電気化学プロセスが完了した場合(340)、プロセスは終了する(360)。反応の完全性は、分光法及び顕微鏡検査を含む当業者に公知の任意の方法並びに、リアルタイムで堆積をモニタリングする本明細書に新たに開示された方法により評価され得る。
図1をより詳細に参照して、装置100は、対向電荷のソース120と、電解質140を通って対向電荷のソース120と電気的に接続している第1の電極110(ワークピースでもよい)とを含む。第1の電流130は、対向電荷のソース120と第1の電極110との間の電解質140を通して誘導される。第2の電流150は、第1の電極110にわたって誘導され、第2の電流150は、第1の電流130に対して横断方向であり、第2の電流150は、第1の電極110の表面111にわたる相対論的電荷112を誘導する。一部の実施形態では、装置は、対向電荷のソース120と電気的に接続161しており、第1の電極110と電気的に接続162、163している電源161を含む。2つ以上の物理的な電力供給源を含み得る電源は、第1の電流130及び第2の電流150を提供及び制御し得る。
代替的に、本開示に係る方法は、図2に係る装置において企図されてもよい。この実施形態では、第1の電極110は、電解質140と表面111との間の化学ポテンシャル230の存在下で、その表面111にわたって誘導される電位250を有する。誘導された電位250は、第1の電極110の表面111を相対論的に帯電112させる。誘導された電位は、表面に近接した力線を曲げ、これにより、電解質からの金属が、曲がった力線の経路をたどって、金属を材料表面上に堆積させ、結合させる。
A.第1の電極(例えば、ワークピース)
検討された多くの可能性のある例において、第1の電極は、1つ以上のワークピース又は電気化学プロセスにおけるカソードであることもできる。第1の電極は、例えば、別個の金属片を接合又は結合している場合、2つ以上の別個の片を含んでもよい。
第1の電極において、負の電荷は、電解質に最も近い表面で隔離され、一方、正の電荷は、第1の電極の最も遠い表面に押し出される。第1の電極は、電流(例えば、第1の電流又は横断電流)が印加される場合、電気的又は化学ポテンシャルが第1の電極にわたって誘導される場合、負電荷及び正電荷で分極される。本開示に係る方法は、ワークピース上での電子密度を操作して、金属堆積などを導く。
第2の電流の影響のない分極されたワークピースの電荷密度は、基材の平滑性及び粗さの作用を示す図4A及び図4Bを参照して理解され得る。負に荷電した側440は、より高い密度の電子420を有し、電子420自体は、それらの個々の電界の等しい反発460により、表面111全体にわたって均一に分布する。この反発効果460は、表面111における電子の位置の接線(tangential point)に平行に生じる。そのため、平滑表面430は、最も均一な電荷分布となり(図4A)、一方、粗いトポグラフィのような任意の湾曲では、電荷密度が増加する(図4B)。曲率440が増加するにつれて、局部的な電子の反発力は面内でより小さくなり、より近接することが可能となる(図4B)。
引き続き図4A及び図4Bを参照して、電気力線(electric field line)135は、対向電荷のソース120から始まり、第1の電極110の負に荷電した表面111で終わり得る。表面111は、電流又は誘導された電位の作用下で負に荷電する。電子420は、全ての方向に電界を有し(図4A)、一方、電子−電子反発460は、表面111に平行に生じる(図4B)。電子分布450により、電気力線135は、表面111の接線に垂直に終端し、その元のベクトル(137)から逸脱して、曲線440でこの挙動を維持する。第1の電極の非平面領域における電荷密度の増加により、平滑領域に対してより大きな電気化学的活性がもたらされる。平滑領域430内の電子420間の距離Aは、凹凸領域440内の電子420間の距離Bよりも大きい。
ワークピースは、表面での電子分布に影響を及ぼすボイド及び隙間を有する場合がある。ここから図5A、図5B及び図5Dを参照して、第1の電極110は、金属縁部510を有するボイド500を有し得る。相対論的電荷112は、金属−金属結合530を電解質140からの金属540と金属縁部510との間に形成して、ボイド500を充填することができる。様々な態様において、ボイド500は、第1の電極における亀裂、割れ目又は破損である場合がある。図5Aのボイド500は、第1の電極110の第1の部分113と第1の電極110の第2の部分114との間の隙間520の形態であり、第1の部分113は、金属縁部510の第1の縁部115を有し、第2の部分114は、第1の縁部114に近接する金属縁部510の第2の縁部116を有する。相対論的電荷112により、金属−金属結合530が、第1の縁部114からの金属と電解質140からの金属540との間及び第2の縁部116からの金属と電解質140からの金属540との間に形成され得る。結合された金属は、隙間520を架橋して、第1の部分114と第2の部分との一体化された電極を形成する。
図5Bに、図5Aに類似するプロセスを示し、この場合、ボイド500は、第1の電極110における高アスペクト比の形状である。ここでもまた、ボイド500は、第1の電極110の第1の部分113と、第1の電極110の第2の部分114との間に隙間520を形成し、第1の部分113は、金属縁部510の第1の縁部115を有し、第2の部分114は、第1の縁部115に近接する金属縁部510の第2の縁部116を有する。相対論的電荷112により、金属−金属結合530(図5Dに示される)が、第1の縁部115からの金属と電解質140からの金属540との間及び第2の縁部116からの金属と電解質140からの金属540との間に形成される。結合された金属は、閉鎖隙間結合での方法により隙間520を架橋して、第1の部分113と第2の部分114との一体化された電極を形成し、金属は、隙間内及び隙間にわたって結合される。
図5Cにおいて、第1の電極110の粗い表面111は、電解質から結合された金属により充填され得る。相対論的電荷112により、金属−金属結合530が、表面111からの金属と電解質140からの金属540との間に形成される。電解質とワークピースの表面との間には化学ポテンシャルが存在する。この文脈において、第1の電流を印加しない横断電流は、いくらかの堆積を駆動させることができるが、第1の電流と横断電流との組み合わせは、溶解又は腐食により失われるよりも多くの金属を堆積させるのにより効果的である。
上記されたボイドの静電環境は、図5Aの構造に適用される従来の電着プロセスを示す図6Aを参照して、図5Aの構造に適用される本明細書に記載されたプロセスを示す図6Bとは対照的に理解され得る。最初に図6Aを参照して、従来の電着のように、第2の電流150がないと、第1の電極110内のボイド500は、同様の電荷を有し、反発600を受ける。この相互作用により、強力な結合をエネルギー的に好ましくないものにする接触及び蓄積応力抵抗がもたらされ、これにより、電解質からの金属は、ボイド500へのその道を容易に見つけられないであろう(図6A)。金属の堆積は、ボイド500の内部で依然として起こり得るが、対向電荷のソース120に最も近い表面118、119上での成長と比較して遅いであろう。
対照的に、ここから本開示に係る方法を使用した図6Aを参照すると、第1の電極110にわたって第1の部分113から第2の部分114へ流れる第2の電流150により、ボイド500内に平面電界を誘導する。誘導された電位は、処理又は結合される領域にわたって標的化することができ、電位は、ワークピース全体にわたって誘導される必要はない。第2の電流150のこの電界は、第1の電流に対して横断方向である。堆積する金属種は、第2の電流150により方向転換され、対向電荷のソース120に最も近い第1の電極110の表面118、119上に直ちに堆積する代わりに、接合500を充填する。
図6Cに、第2の電流150がボイド500に対して印加され得る可能性のある角度151、152、153を示す。矢印611、612、613は、誘導成長の方向を示す。角度151及び矢印611は、電着電流を変調するのみであり、横断電流による処理に関する開示された効果を示さないであろう。角度152及び矢印612は、従来の電着と比較して隙間内のいくらかの追加の成長を促進するが、ボイド500内の成長を直角に(squarely)標的とする角度153及び矢印613ほど大きくはない。実際には、第2の電流を印加し、伝播させることは複雑である。結果は、角度だけでなく、周波数、電力及び第2の電流の他の特性によっても決まる。
B.電解質
本明細書に記載された方法及び装置は、電解質を使用する。一般的には、電解質は、金属を含み、同金属は、第1の電極に堆積され、結合される新たな材料の供給源である。特に、電解質は、金属と、水、アンモニウム塩、金属塩化物、金属硫酸塩、イオン性液体、イオノゲル及びそれらの任意の組み合わせからなる群から選択される1つ以上の種とを含んでもよい。電解質がアンモニウム塩を含む場合、アンモニウム塩は、三級アンモニウム塩、四級アンモニウム塩又はそれらの組み合わせでもよい。
1.溶媒
一般的には、電解質は、1つ以上の溶媒を含む。溶媒は、水、有機溶媒又はイオン性液体を含んでもよい。特に、非水溶液は、深い共晶溶媒、イオン性液体、室温イオン液体(RTIL)、イオノゲル及びイオン伝導性及び金属溶解を支持する他の有機溶媒を含み得る。
有機溶媒が存在する場合、有機溶媒は、極性プロトン性溶媒、極性非プロトン性溶媒、非極性溶媒又はそれらの組み合わせであり得る。極性プロトン性溶媒の適切な例としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−プロパノール、イソブタノール、n−ブタノール、s−ブタノール、t−ブタノールなどのようなアルコール;プロピレングリコールのようなジオール;ギ酸、酢酸などのような有機酸;トリメチルアミン又はトリエチルアミンなどのようなアミン;ホルムアミド、アセトアミドなどのようなアミド;及び上記の組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない。
適切な極性非プロトン性溶媒の非限定的な例としては、アセトニトリル、ジクロロメタン(DCM)、ジエトキシメタン、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAC)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、N,N−ジメチルプロピオンアミド、1,3−ジメチル−3,4,5,6−テトラヒドロ−2(1H)−ピリミジノン(DMPU)、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン(DMI)、1,2−ジメトキシエタン(DME)、ジメトキシメタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、1,4−ジオキサン、N−メチル−2−ピロリジノン(NMP)、ギ酸エチル、ホルムアミド、ヘキサメチルホスホラミド、N−メチルアセトアミド、N−メチルホルムアミド、塩化メチレン、ニトロベンゼン、ニトロメタン、プロピオニトリル、スルホラン、テトラメチル尿素、テトラヒドロフラン(THF)、2−メチルテトラヒドロフラン、トリクロロメタン及びそれらの組み合わせが挙げられる。
非極性溶媒の適切な例としては、アルカン及び置換アルカン溶媒(シクロアルカンを含む)、芳香族炭化水素、エステル、エーテル、それらの組み合わせなどが挙げられるが、これらに限定されない。利用され得る具体的な非極性溶媒としては、例えば、ベンゼン、酢酸ブチル、t−ブチルメチルエーテル、クロロベンゼン、クロロホルム、クロロメタン、シクロヘキサン、ジクロロメタン、ジクロロエタン、ジエチルエーテル、酢酸エチル、ジエチレングリコール、フルオロベンゼン、ヘプタン、ヘキサン、酢酸イソプロピル、メチルテトラヒドロフラン、酢酸ペンチル、酢酸n−プロピル、テトラヒドロフラン、トルエン及びそれらの組み合わせが挙げられる。
有機溶液を含む電解質は、多くの場合、より高い粘度を示し、これは、より遅い分子拡散を引き起こし得るが、向上した粒子懸濁能の利益を得る。また、有機溶媒を有する電解質は、水(約1.23V)と比較して、非常に大きな電気化学的ウインドウ(2V〜6V)を示す場合もある。有機溶媒は、水系についての100℃の限界を上回るより高い動作温度範囲を有することもある。一般的には、有機溶液は、堆積中に金属と共堆積しない。また、有機溶媒は、純粋なFe及びAlを含むより反応性の高い金属の堆積も可能にする。少なくともこれらの理由から、一部の電解質は、有機溶媒を含んでもよい。
他の実施形態では、電解質は、室温イオン液体(RTIL)のようなイオン液体を含んでもよく、同イオン液体は、融点が周囲温度未満である比較的不揮発性の高度に調整可能な溶融塩である。RTILは、低粘度(10〜100cP)、低融点、一定範囲の密度及び比較的小さいモル体積を有する溶媒である。一般的には、RTILは、カチオン及びアニオンからなる。
RTIL中のカチオンとしては、イミダゾリウム、ホスホニウム、アンモニウム及びピリジニウムを挙げることができるが、これらに限定されない。特定の実施形態では、RTILは、イミダゾリウムカチオンを含む;すなわち、RTILは、イミダゾリウム系イオン液体である。各カチオンは、式[Rmim]又は[R2mim](式中、「mim」は、イミダゾリウムを指す)を有するイミダゾリウムのような1つ以上のR基により置換されていてもよい。R基は、1つ以上のn−アルキル、分枝アルキル、アルケニル、例えば、ビニル又はアリル、アルキニル、フルオロアルキル、ベンジル、スチリル、ヒドロキシル、エーテル、アミン、ニトリル、シリル、シロキシ、オリゴ(エチレングリコール)、イソチオシアネート及びスルホン酸を含み得る。特に、R基は、メチル又はエチルから選択されるアルキルでもよい。
RTILは、1つ、2つ、3つ又はそれ以上のオリゴ(エチレングリコール)のようなオリゴ(アルキレングリコール)置換基により官能基化されている場合がある。代替的に、オリゴ(アルキレングリコール)は、メチレングリコール又はプロピレングリコールでもよい。RTIL上の隣接ジオール置換基は、より大きな水溶解性及び可能性のある水混和性を提供し得る。重合性RTILは、スチレン、ビニル、アリル又は他の重合性基からのカチオンにおける1つ以上のR基を選択して提供され得る。
RTILにおける適切なカチオンの例としては、1−エチル−3−メチルイミダゾリウム([EMIM])、1−ヘキシル−3−メチルイミダゾリウム([HMIM])、1−ビニル−3−エチル−イミダゾリウム([VEIM])、1−アリル−3−メチル−イミダゾリウム([AMIM])、1−ヘキシル−3−ブチル−イミダゾリウム([HBIM])、1−ビニル−3−メチルイミダゾリウム([VMIM])、1−ヒドロキシウンデカニル−3−メチルイミダゾリウム([(C11)OH]MIM)、テトラブチルホスホニウム([P4444])、1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)−アルキルイミダゾリウム([(dhp)MIM])及びそれらの組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない。例えば、カチオンは、1−エチル−3−メチルイミダゾリウム([EMIM])でもよい。カチオンは、1−ヘキシル−3−メチルイミダゾリウム([HMIM])でもよい。カチオンは、1−ビニル−3−エチル−イミダゾリウム([VEIM])でもよい。カチオンは、1−アリル−3−メチル−イミダゾリウム([AMIM])でもよい。カチオンは、1−ヘキシル−3−ブチル−イミダゾリウム([HBIM])、1−ビニル−3−メチルイミダゾリウム([VMIM])でもよい。カチオンは、1−ヒドロキシウンデカニル−3−メチルイミダゾリウム([(C11OH)MIM])でもよい。カチオンは、テトラブチルホスホニウム([P4444])でもよい。また、カチオンは、1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)−アルキルイミダゾリウム([(dhp)MIM])であってもよい。
RTILにおける適切なアニオン(X)としては、塩化物(Cl)、臭化物(Br)、ヨウ化物(I)、トリフレート(OTf)、ジシアナミド(DCA)、トリシアノメタニド(TCM)、テトラフルオロボレート(BF4)、ヘキサフルオロホスフェート(PF6)、タウリネート(taurinate)(Tau)及びビス(トリフルオロメタン)スルホンイミド(TSFI)が挙げられるが、これらに限定されない。例えば、アニオンは、トリフレート(OTf)でもよい。アニオンは、ジシアナミド(DCA)でもよい。アニオンは、トリシアノメタニド(TCM)でもよい。アニオンは、テトラフルオロボレート(BF4)でもよい。アニオンは、ヘキサフルオロホスフェート(PF6)でもよい。アニオンは、タウリネート(Tau)でもよい。アニオンは、ビス(トリフルオロメタン)スルホンイミド(TFSI)でもよい。
記載されたカチオンとアニオンとの任意の組み合わせが、適切なRTILを形成し得る。適切なRTILの例としては、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムビス(トリフルオロメタン)スルホンアミド([EMIM][TFSI])、1−ヘキシル−3−メチルイミダゾリウムビス(トリフルオロメタン)スルホンアミド([HMIM][TFSI])、1−ビニル−3−エチル−イミダゾリウムビス(トリフルオロメタン)スルホンアミド([VEIM][TFSI])、1−アリル−3−メチル−イミダゾリウムビス(トリフルオロメタン)スルホンアミド([AMIM][TFSI])、1−ヘキシル−3−ブチル−イミダゾリウムビス(トリフルオロメタン)スルホンアミド([HBIM][TFSI])、1−ビニル−3−メチルイミダゾリウムビス(トリフルオロメタン)スルホンアミド([VMIM][TFSI])、1−ヒドロキシウンデカニル−3−メチルイミダゾリウムビス(トリフルオロメタン)スルホンアミド([(C11OH)MIM][TFSI])、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムトリシアノメタニド([EMIM][TCM])、テトラブチルホスホニウムタウリネート([P4444][Tau])、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムジシアナミド([EMIM][DCA])、1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)−アルキルイミダゾリウムジシアナミド([(dhp)MIM][DCA])、1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)−3−アルキルイミダゾリウムテトラフルオロボレート([(dhp)MIM][BF4])、1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)−3−アルキルイミダゾリウムビス(トリフルオロメタン)スルホンイミド([(dhp)MIM][TFSI])、1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)−3−アルキルイミダゾリウムヘキサフルオロホスフェート([(dhp)MIM](PF6))又はそれらの組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない。特に、室温イオン液体は、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムクロリド(EMIC)でもよい。例示的なRTILを、以下の表1に更に示す。
表1.例示的なRTIL
他の実施形態では、電解質は、2016年10月13日に出願され、「Metal Deposits,Compositions,Methods for Making the Same」と題された同時係属中の米国出願第15/293,096号に開示されたイオン性液体又は組成物を含んでもよい。同出願の開示全体は、全ての目的でその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
電解質は、水とRTILとの混合物を含んでもよい。このような混合物については、体積比は、約99:1〜約1:99水/RTIL、例えば、約99:1〜約95:5水/RTIL、約95:5〜約90:10水/RTIL、約90:10〜約85:15水/RTIL、約85:15〜約80:20水/RTIL、約80:20〜約75:25水/RTIL、約75:25〜約70:30水/RTIL、約70:30〜約65:35水/RTIL、約65:35〜約60:40水/RTIL、約60:40〜約55:45水/RTIL、約55:45〜約50:50水/RTIL、約50:50〜約55:45水/RTIL、約55:45〜約45:65水/RTIL、約45:65〜約40:60水/RTIL、約40:60〜約35:65水/RTIL、約35:65〜約30:70水/RTIL、約30:70〜約25:75水/RTIL、約25:75〜約20:80水/RTIL、約20:80〜約15:85水/RTIL、約15:85〜約10:90水/RTIL、約10:90〜約5:95水/RTIL又は約5:95〜約1:99水/RTILでもよい。特に、モル比は、約70:30〜約20:80水/RTIL、約60:40〜約30:70水/RTIL又は約40:60水/RTILでもよい。別の例では、電解質は、大気から吸収される水のような微量の水のみを含有してもよい。すなわち、電解質は、実質的に非水性でもよい。
電解質は、0℃より高い温度かつ約250℃より低い温度、例えば、約+0℃〜約10℃、約10℃〜約20℃、約20℃〜約30℃、約30℃〜約40℃、約40℃〜約50℃、約50℃〜約60℃、約60℃〜約70℃、約70℃〜約80℃、約80℃〜約90℃、約90℃〜約100℃、約100℃〜約110℃、約110℃〜約120℃、約120℃〜約130℃、約130℃〜約140℃、約140℃〜約150℃、約150℃〜約160℃、約160℃〜約170℃、約170℃〜約180℃、約180℃〜約190℃、約190℃〜約200℃、約200℃〜約210℃、約210℃〜約220℃、約220℃〜約230℃、約230℃〜約240℃、約240℃〜約250℃、約250℃〜約260℃、約260℃〜約270℃、約270℃〜約280℃、約280℃〜約290℃又は約290℃〜約300℃を有してもよい。
電解質のpHは、実施形態に応じて変化し得る。異なる金属及び複合材は、典型的には、溶液中で安定な混合物を維持するためのpH要件を有する。界面活性剤の湿潤特性は、第1の電極/電解質界面におけるその存在を維持する。したがって、界面活性剤は、プロトン消費及び基材上の金属水酸化物沈殿による、界面と電解質バルクとの間に生じる劇的なpH勾配に対して緩衝もし得る。
電解質の誘電率は、波が媒体を通ってどのように伝播するかに関連する。定数が高いほど、波はより圧縮され、その移動時間はより遅くなる。低い誘電率は、光の速度付近の高速移動を可能にする。電解質は導電性であり、波が伝播するにつれて波からエネルギーを取り出し、散逸させる。電流のパラメータは、誘電率も考慮するように調整される。水中では、約80の誘電率だと、光の約11%の速度となる。RTILが約40の誘電率を有し、空気は、約1の定数を有する。
2.金属
一般的には、電解質は、金属を含む。金属は、溶解又は懸濁させた金属マイクロ若しくはナノ粒子のような金属粒子又は溶解させた金属塩のような分子金属イオンでもよい。適切な金属の例としては、亜鉛、カドミウム、銅、ニッケル、クロム、スズ、金、銀、白金、鉛、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、鉄、コバルト、インジウム、ヒ素、アンチモン、ビスマス、マンガン、レニウム、アルミニウム、ジルコニウム、チタン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、タングステン及びモリブデンが挙げられるが、これらに限定されない。2つの金属を有する適切な合金の例としては、金−銅−カドミウム、亜鉛−コバルト、亜鉛−鉄、亜鉛−ニッケル、黄銅(銅と亜鉛との合金)、青銅(銅−スズ)、スズ−亜鉛、スズ−ニッケル及びスズ−コバルトが挙げられるが、これらに限定されない。
一部の実施形態では、電解質は、金属粒子を含む。所望の組成、結晶化度及び結晶構造の金属粒子の堆積により、特定の堆積パラメータへの依存が少ない状態で、第1の電極上に堆積された材料と同一又は実質的に類似の特性が提供され得る。各金属粒子は、何百万もの予め形成された金属結合をもたらし、その結果として、従来の電着と比較して、結合堆積物を完成させるために第1の電流から必要とされるエネルギーが比例して少なくなる。また、粒子体積も、結合堆積速度を劇的に加速させる。少なくともこれらの理由のために、粒子の同時堆積は、本明細書に開示された方法の時間及びエネルギー効率を改善する。
対照的に、従来の電着は、個々の金属原子が液体を通って金属表面に移動して1つずつ堆積しなければならないため、非常に遅い。理論に制限されるものではないが、金属粒子が第1の電極と電気的に接触している場合、溶解した金属種も、金属粒子が完全に吸蔵されるまで、金属粒子の上及び周囲にレンガ及びモルタル様式で堆積する。しかしながら、吸蔵前に、金属粒子自体は、その表面原子が還元可能な状態にない限り、第1の電極に化学的に結合しない。このように、分子種を堆積させることにより、吸蔵される代わりに、金属粒子が表面から押し離される。吸蔵された金属粒子は、それらと表面との間に捕捉された電解質を有する場合がある。この多孔性は、堆積物の機械的完全性に有害である。従来の電着は、稀に、10vol%超の金属粒子を吸蔵する。
金属粒子の組成は、第1の電極の組成と一致してもよい。Al及びFeのような2つ以上の元素の金属粒子が、所望の化学量論で混合されて、合金を得ることができる。混合金属粒子は、電解質に難溶性である、又は、金属状態への還元が電解質の電気化学ポテンシャルウインドウの外側にある元素を同時堆積させてもよい。例えば、アルミニウムは、EMIC中で分子還元可能であるが、鉄はそうではない。セラミック粒子又はポリマー粒子を、金属粒子と共堆積させて、基材金属単独の範囲外の堆積特性又は変更性を得ることができる。
誘電性ポリマーの粒子は、堆積物の誘電特性を改変するために、又は、表面粗さ(分子種が誘電性粒子の周囲及び導電性粒子の上に堆積し、後者の粗さにつながる)のおそれを増大させることなく堆積速度を向上させるために、同時堆積されてもよい。
電解質は、金属塩を含んでもよい。電気化学技術分野で公知の任意の金属塩が、この方法に適している。
3.添加剤
電解質は、酸、塩基、塩、界面活性剤、増粘剤、バッファー、イオン化可能な有機化合物及び繊維を含むがこれらに限定されない、1つ以上の添加剤を更に含んでもよい。特に、電解質は、粘度を調節し、液体電解質中に安定に懸濁された微粒子の質量を増加させる増粘剤を含み得る。
一部の実施形態では、電解質は、繊維を含んでもよい。繊維は、第1の電極と対向電荷のソースとの間に印加される電荷あたりの時間あたりに、第1の電極上に電着される質量を増加させ得る。電解質内に懸濁された繊維は、堆積された材料の機械的特性を調節するために、第1の電極において金属と共堆積され得る。炭素、ケイ素又は他の材料に基づく繊維は、引張強度、延性又は他の特性を改変し得る。
他の実施形態では、電解質は、界面活性剤を含んでもよい。界面活性剤が存在する場合、界面活性剤は、ドデシル硫酸ナトリウム(SDS)、ラウリル硫酸アンモニウム又はポリエチレングリコールのようなブロックコポリマーであり得る。特に、ドデシル硫酸ナトリウムをアルカリと混合して、界面活性剤と表面との間の吸着強度を低下させ得る。代替的に、アルカリ含量を増加させることなくこの効果を達成するために、SDSのイオン性硫酸塩頭部基は、スルファメートにより置き換えられてもよい。
極性溶液において、臨界ミセル濃度(CMC)を上回る界面活性剤の濃度は、ミセルを生じ、同ミセルは、微粒子を封入して、それらの有効溶解度及び質量負荷を増加させ、水誘導不動態化及び腐食の酸化作用から懸濁粒子を隔離し得る。また、界面活性剤は、樹状核形成及び成長を緩和して、第1の電極をわたる、より均一な堆積をもたらすこともできる。界面活性剤は、第1の電極の表面エネルギーを減少させ、水素気泡の除去を促進して、堆積材料中に形成され得るピット及びポアを回避し得る。また、界面活性剤は、Fe+3のようなより酸化された種の蓄積を抑制することにより光沢を付けることもでき、これにより、研磨された表面を提供するのに通常必要とされる後処理の必要性が取り除かれる。
懸濁又は溶解させた粒子を酸化から保護する一方で、界面活性剤シェル自体が、電着に対するエネルギー障壁となり得る。電荷移動が粒子表面に到達し得るように、界面活性剤を分解するための追加の過電圧が必要となる場合がある。導電性主鎖を有する長鎖及び短鎖界面活性剤は、界面活性剤に関連する過電圧を低下させ得る。
電解質中の添加剤の濃度範囲は変えることができ、また変わるであろう。一般的には、電解質中の添加剤の濃度は、約10-2mol/L〜約10-5mol/L、例えば、約10-2mol/L〜約10-3mol/L、約10-3mol/L〜約10-4mol/L又は約10-4mol/L〜約10-5mol/Lの範囲であり得る。
界面活性剤が存在する場合、電解質内の界面活性剤の濃度は、他の添加剤の濃度よりもはるかに高くなる場合がある。添加剤が第1の電極上の堆積物に包含され得る界面活性剤である場合、界面活性剤の最小濃度と界面活性剤の平均鎖長とのバランスをとることにより、電解質中の界面活性剤濃度を最少化すべきである。長鎖中性界面活性剤は、典型的には、溶液の粘度を増大させるのにより効果的であるが、封入粒子の拡散移動度を減少させ得る。短鎖イオン性界面活性剤は、支持溶液のイオン伝導性を高めながら、封入粒子の拡散移動度を高めることができる。
C.対向電荷のソース
本開示の方法及び装置は、対向電荷のソースも含み得る。対向電荷のソースが存在する場合、図1Aを参照して、対向電荷のソース120は、第1の電極110に対向する電極である場合があり、この場合、第1の電流130は、第1の電極110と対向電荷のソース120との間に誘導される。対向電荷のソースは、一般的には、本明細書に記載された電気化学プロセスのためのアノードを提供する。
一部の実施形態では、対向電荷のソースは、第1の電流の誘導中に一般的に安定である非腐食性電極であり得る。すなわち、非腐食性電極は、それと電解質との間の化学ポテンシャル又は対向電荷のソースと第1の電極との間の電位のために、電解質中に金属を溶解又は放出しない。
非腐食性電極の適切な例としては、Pt、Au、ホウ素ドープダイヤモンド又は白金化若しくは金被覆導電性基材が挙げられるが、これらに限定されない。適切な可溶性電極としては、Fe、Al、Cu又は合金及び複合材を含む任意の他の導電性金属が挙げられるが、これらに限定されない。電極は、定期的な交換並びに保守及び再構成を容易にするために交換式でもよい。ここでは対向電荷のソースとして提示されているが、非腐食性電極は、カソード及び基準電極を含む他の能力の電極であってもよい。
他の実施形態では、対向電荷のソースは、腐食性電極でもよく、同腐食性電極は、第1の電流が腐食性電極と第1の電極との間に電解質を通して印加されると溶解し、1つ以上の金属種を電解質中に懸濁させる。図1Bを参照して、腐食性電極が、可能性のある対向電荷のソースとして描かれている。第1の電流130が腐食性電極120と第1の電極110との間に電解質140を通して誘導されると、腐食性電極120からの金属122は、金属種(M+)124として電解質140内に放出される。電極が腐食している時、例えば、電解質に溶解した金属塩由来の更なる金属が、電解質中に存在し得る。他の例では、腐食性電極から放出される金属種が、唯一の金属源である。
様々な実施形態では、腐食性電極は、金属粒子、金属イオン及びそれらの組み合わせからなる群から選択される1つ以上の金属種を含んでもよい。腐食性電極を溶解させることにより、新たな金属が電解質中に放出され、その濃度が本方法の期間を通して維持される。腐食性電極の溶解から新たな金属が供給され得るため、電解質の金属担持能力はあまり重要でなくなる。金属前駆体は、配合された対向電荷のソースの第1の電極付近の電解質への制御された腐食により供給される。
腐食性電極は、1つ以上のセラミック粒子又は誘電性ポリマーを更に含んでもよい。腐食性電極は、金属粒子を、結合剤を用いて又は用いずに、固定体に一緒にプレスすることにより形成され得る。腐食性電極は、任意の数の熱合成法、圧力合成法又は化学合成法により作製され得る。一例では、腐食性電極は、金属粉末を、ガンフィード型アプリケータ用のロッドのような電極形状にプレスすることにより、又は、パッチ型アプリケータ用のディスクペレットとして作製され得る。一部の例では、金属及び/又は複合材粉末がバイアル中で混合され、水圧プレスでダイの内側に添加され、一緒にプレスされ、腐食性アノードとして使用するための金属ペレットとして取り出され得る。
腐食性電極は、1つ以上のサイズ及び幾何形状の粒子を含んでもよい。堆積中、対向電荷のソースの腐食は、より高い電流密度が使用される場合、プレスされた粒子の粒界に沿って主に生じ、ほぼ元の寸法で、溶液へのそれらの放出を引き起こし得る。このようにして溶解された粒子は、表面活性化され、溶液中に単に混合された粒子よりも電解質中で高い溶解度を示す。1−エチル−3−メチルイミダゾリウムクロリド(EMIC)中のAl4Cl7のような、堆積について電気活性である金属種の周囲層を有する粒子は、より容易に同時堆積される。
金属粒子は、第1の電極の粒径に対して選択された粒径を有してもよい。金属粒子の粒径は、電解質中に懸濁されたままであり、重力の影響を回避し、又は、堆積物の特性に対する粒径の影響を制御するのに十分に小さくあり得る。より大きな粒子は、より遅いプロセスからより硬い金属をもたらす。より小さい粒子は、より速い堆積から、より延性のある、より軟らかい金属をもたらす。粒界における不一致が大きいほど、破損点を規定する。
粒径は、基材の粒径に合わせて選択することができ、基材間の連続的な均一性を高めるのに役立つ。新たな金属は、金属線に沿って、ワークピースの隙間を強く充填する。ポアは、堆積時に閉じられる。前者の隙間は、細長い粒子構造及び高アスペクト比により規定される新たな材料と重ね合わされる。この形態は、横断電流の波形により構成される。
一部の実施形態では、金属粒子は、粗い又は非対称な寸法を有してもよい。他の実施形態では、金属粒子は、球形の寸法及び均一な表面エネルギーを有してもよい。更に他の実施形態では、金属粒子は、第1の電極にわたって誘導される第2の電流と整列する細長い寸法を有してもよく、第2の電流は、第1の電流に対して横断方向であり、第2の電流は、第1の電極にわたって相対論的電荷を誘導する。
理論に制限されるものではないが、粗い粒子又は非対称粒子は、溶液中により容易に懸濁される場合があり、対称粒子よりも高い収率で同時堆積され得る。均一な表面エネルギーを有する球状粒子は、堆積物の全体的な仕上げがより予測可能であり、制御が容易であるように、共堆積してもよい。細長い粒子自体は、第2の電流の電界又は磁界と整列し、指向性成長を促進し、2つの第1の電極間の隙間をより迅速に架橋し得る。
D.第1の電流(電界)
本明細書に記載された方法を使用し、図1Aを参照して、第1の電流130は、対向電荷のソース120と第1の電極110との間の電解質140を通した誘導電流である。第1の電流130は、対向電荷のソース120と第1の電極110との間の電解質140を通した電界の結果であり得る。第1の電流により、ワークピースが正味の負電荷を有するように、ワークピースが分極される。この負電荷により、電解質からの溶解及び懸濁した金属イオン及び粒子との電荷移動反応がもたらされ、ワークピースの表面上での金属との新たな金属−金属結合がもたらされる。
第1の電流は、その電力、電圧、アンペア数、周波数、持続時間及び他のパラメータが変調され得る。第1の電流は、パルスめっき又は逆パルスめっきスキームを使用して誘導されてもよく、この場合、パルス電力は、第1の電流を通じた第1の電極への定電流、動電流、定電位及び動電位電力のシーケンスに印加される。このようなパルスは、反復シーケンスで印加され得る。
ワークピースのより短い分極パルスにより、ワークピース/電解質界面における金属種の比較的安定した濃度バランスが維持され得る。電解質中の溶解金属塩及び懸濁金属粒子は、異なる拡散速度を有し、電気泳動に異なるエネルギーを必要とする。金属種がワークピースの表面に近づくにつれて、金属塩及び金属微粒子の濃度は、バルク電解質と比較して不均衡になる。金属塩は、金属粒子よりも素早く拡散するため、より速い速度で表面に到達し、より堆積しやすいであろう。より短い分極パルスにより、これらの金属種が電気化学プロセス中に平衡化されるのが可能となる。
第1の回路を通るパルスめっき又は逆パルスめっきスキームにより、表面が滑らかなり、堆積が遅れる。パルスめっきでは、典型的には、正弦波ではなくオン−オフパルスが使用される。オフサイクルにより、新たな電解質がワークピース上の形状へと拡散するのが可能となる。オンサイクルにより、ワークピース上への堆積が駆動される。パルスめっきの主な利点は、パルスのオフサイクルにより、表面近くの電解質の対流のための時間を長くするのが可能となることである。これにより、オンサイクル中の粗い領域でのより速い消耗にもかかわらず、表面にわたるより均一な濃度の新たな反応物が回復し得る。ON期間中、粗い領域は、平滑な領域よりも高い電荷密度を依然として受けるため、パルスめっきの利点には限界がある。反対の極性のパルスのシーケンスにより、より多くの数の金属−金属結合を促進することによって、堆積された金属の付着及び機械的強度が向上し得る。
パルスは、動的電流又は電位傾斜率を含んでもよく、例えば、パルスは、約0mA〜約2mAの約5mA/μsで印加され、続けて、約2mA〜約0mAの−0.2mA/μsで印加される。パルスは、極性の均一な又は不均衡な変化を含んでもよく、例えば、パルスは、約−1.5V〜約1.5V又は約−1.5V〜約0.7Vの下限及び上限を有する。これらのパルスは、電気めっき電源(同電源は電源160でもよい)又は電気化学プロセスのためのDC電流を生成するのに使用される逆パルス整流器から生成されてもよい。
使用される場合、パルスめっきは、規定された期間、例えば、水性電解質については1〜1000マイクロ秒にわたって生じさせる。周期は静的でもよく、この場合、同じ時間間隔が各パルスの間隔をあけ、又は、周期は動的でもよく、この場合、期間は、各パルス間で変化する。この期間の長さは、より粘性のある電解質について、より長い場合がある。
例えば、図3を参照して、第1の電極を前処理することは、第1の電極の表面を電解質内に腐食させるために、第1の電極を正に分極すること(310)を含んでもよい。ついで、前処理に続けて、負の分極を行ってもよく、同負の分極により、先の工程で腐食されたより多くの材料が第1の電極上に電着される(320)。ついで、負の分極に続けて、負の分極の第1の電流に対して横断方向の第2の電流を誘導させてもよい(330)。電気化学プロセスの完了を評価してもよい(340)。電気化学プロセスが完了していない場合、第1の電流及び/又は第2の電流を変調し、所望の材料を堆積させる一方で、優れた表面浸透が推定される(350)。電気化学プロセスが完了した場合、プロセスを終了する(360)。
同様のシーケンスにより、第1の電極上に既に堆積された粒子の表面から材料を連続的に腐食及び再堆積させることもできる。このアプローチにより、表面が均質化され、堆積粒子の表面境界全体にわたる結合が増大され得る。このようにして、パルスの最初のシーケンスにより、第1の電極の表面がクリーニングされ得る。
パルスの最終シーケンスは、第1の電極の表面を不動態化(又は酸洗い)するように影響を受け得る。電解研磨が使用される場合、耐食性仕上げを有する堆積された材料を残してもよい。パルス電力により、堆積金属の格子歪み及び表面粗さが減少してもよい。約1ミリメートル以上の厚さを有する堆積物については、数マイクロメートルの堆積物後の破損が最終的により多くの材料で充填されるため、格子歪みの緩和はあまり重要ではない。
E.第2の(横断)電流(誘導された電位)
本明細書に記載された方法に従って、図1A、図2及び図6Bを参照して、第2の電流150(この電流は、誘導された電位250からのものであり得る)は、第1の電極110の表面111を通って及び/又は、第1の電極110の表面111にわたって印加されて、表面電子420に影響を及ぼし、第1の電流130、電解質140又は対向電荷のソース120のパラメータを変更することなく、堆積物中に好ましい特性を誘導し得る。表面111での電子450は、その電界の前方圧縮及び後方膨張を受ける。この圧縮及び膨張は、光の速度で電子の中心から外側に伝播する相対論的電荷112を生成する。ついで、相対論的電荷は、第1の電流130の力線を曲げ、金属を電解質から導き、第1の電極上に新たな金属−金属結合を形成する。
別の見方をすると、誘導された電位は、表面に近接する力線を曲げるため、電解質からの金属が曲がった力線の経路をたどって、金属を表面上に堆積させる。曲がった力線は、最終的には、交差する表面の部分の近くにおいて90度付近で、表面での不規則性を含めて、表面と交差する。誘導された電位下の堆積点と、誘導された電位のない堆積点との間の差は、通常は充填されない表面の割れ目及び粗い領域に向かう力線のシフトである。
第2の電流は、二次元成長(平滑性及び均一性);結晶化度及び形態のような粒子特性;エネルギー的に困難な表面上に誘導される核形成;金属における多孔性の減少;基材上への接着;及び制御された線形結晶成長を含むがこれらに限定されない、電気めっき及び電着プロセスの多くの態様を強化し得る。したがって、堆積した金属の特性は、熱、圧力なしに又はシステムの構成要素若しくは通常の堆積パラメータを変更することなしに変更させ得る。
しかしながら、第2の電流又は横断電流は、電気めっき又は電着の単なる改善を上回る。これは、金属種をワークピースの表面に駆動するのに使用される第1の電流とは全く異なる電流である。本電気化学的方法を使用して達成される結果は、従来の電気めっき又は電着技術では不可能である。
横断電流のいくつかの利益を、図7に示す。この例では、第2の電流150は、第1の電極110の表面111にわたるバイポーラな正弦波形の形態にある。横断電流がなければ、電子420は、この検討の目的で静止しているとみなされるが、その理由は、電子は実際には動いているが、それらの正味の動きは、式2のように比較的遅く、かつ、電極抵抗率及び電解質対流電界効果の結果として不均一であるからである。このため、相対論的効果は存在しない。第2の電流150は、相対論的変化112をもたらし、電子420を、印加された電界の方向700A、700Bに表面111にわたって移動させる。第2の電流(VTC)が正である場合、電子420は、右側(700A)に向かって加速し、VTCが負である場合、電子は、左側(700B)に向かって加速する。表面111における電子420の位置のこのシャッフリングは、電子分布を変化させ、したがって、局所電荷密度を変化させる。VTCの波形が0に近づくと、電子同士が集まったり、又は、通常よりも遠くに押し離されたりする場合がある。前者において、表面111上の平滑な点430は、より大きな曲率440を有する点で通常見られる電荷密度を受ける場合がある。同様に、湾曲点440における電荷密度は、それらの通常の値から低下し得る。
ついで、この電子分布の変化により、表面に近づく金属原子の挙動が変化する。従来、電荷密度は、ワークピースの不規則性の周囲でより大きく、ついで、同不規則性により、金属の層が不規則性を更に蓄積するのが促進される。その代わり、開示された方法では、原子は、横断電流が存在しない場合に大きな電荷密度を有するであろう領域が典型的な電荷密度よりも低い電荷密度を有し、横断電流が存在しない場合に小さな電荷密度を有する領域が典型的な電荷密度よりも大きい電荷密度を有するため、平滑な表面を生成するための経路をたどるように促進される。横断電流の波形の周波数は、多くのサイズの不規則性が調節され得るように、いくつかの値を通って掃引され得る。
第2の電流は、交流電流(AC)又はAC電流とAC電流が印加される直流電流(DC)オフセットとの組み合わせから選択されてもよい。第2の電流がACの第2の電流とDCの第2の電流とを組み合わせる場合、DCの第2の電流は、電解質の電気化学的破壊よりも少ない量だけACの第2の電流をオフセットし得る。
DCを単独で使用する場合、DCは、第1の電極の表面上で一定速度で電子を移動させるが、電子を加速させて表面で相対論的電荷を発生させることはない。図8Aに示されたように、一定速度で移動する電子420は、均一な間隔及び一定の電界ベクトルを維持する。第1の電極110に印加されるDCオフセットした第2の電流150は、第1の電極110のバルク及び表面に一定速度で電子の正味の流れを引き起こし、全ての深さで磁場を誘導する。バルク磁界は相殺されるが、表面磁界は、導体の外側を伝播する。その結果として、DCオフセットした第2の電流は、第1の回路130下での第1の電極110の陰極分極から電気力線150に弱くしか影響を与えない。
DCオフセット(例えば、0.5V)は、横断電流がゼロに中心を置くのを避け、これにより、ワークピースの裏側において、隙間の一方の側がより多くの堆積を有し、隙間の他方の側がより多くの腐食を有するであろう。事実上、DCオフセットは、隙間の一方の側をアノードのようにより頻繁に作用させ、隙間の他方の側をカソードのように作用させる。隙間は充填されるであろう。
一定速度の電子では、それらの電界は、表面に対して接線方向に収縮し、電界強度は、Lienardの概念に従って、垂直方向に大きくなる。
式中、γは、収縮定数であり、vは、電子の速度であり、cは、光速(3×108m/s)である。ここで、電子速度は、非相対論的であるため、この効果の程度は小さい。
しかしながら、ACの第2の電流が使用される場合、規則的又は一定の電荷加速が誘導される(図8B)。加速下では、電子は、その電界の前方圧縮810及び後方膨張820を受け、同電界は、光の速度で電子の中心から外側に伝播する。「相対論的電荷」という用語は、第1の電極の表面における光の速度又はその近傍におけるこの一定の加速度を指す。これまで、電子加速とその効果は、電気化学プロセスでは検討されていなかった。加速度のベクトルは波形と共に変化する。これは、電子加速のため、この段落の最後の文章を更に修飾するのに役立つであろう。
再度図8Aを参照して、第1の電極110の陰極分極による電気力線135は、電子の電磁界の対称性により、表面111の接線に対して垂直である。電子の電磁場が電荷の移動によりもはや対称的でなくなると、分極力線は、比例的にシフトされる(137、図8B)。第1の電極110に流入又は第1の電極110から流出する電解質中の金属(M+)は、これらの分極力線の経路135をたどる。第2の電流150を使用する電界シフト効果は、イオン性反応物の拡散速度及び反応速度論と同様の期間にわたって維持され得る。
ワークピースがボイドを有する場合、第2の電流は、ボイド内に電位降下を導入するためにDCオフセットを有してもよい。2つのワークピースが電気的に接触していない場合、DCオフセットは、電解質の安定性を考慮して適用される。ほとんどの電解質は、+/−6V付近の安定性ウインドウを有する。ワークピースが電気的に接触している場合、電流が電解質を通過する電荷に完全に依存することなく回路を完成させ得るため、DCオフセットは、電解質を損傷することなくはるかに大きくなり得る。電気的接触は、堆積の対象となる領域内にある必要はなく、DCオフセットは、最大+/−200Vを含めて、+/−6Vをはるかに超え得る。隙間の幾何学的形状も、DCオフセットの範囲に影響を及ぼし得る。
この電解の強度V/mは、金属イオンを第1の電流からボイドに再ルーティングするために、第1の電流の電界より強くてもよい。DCオフセットは、二乗平均平方根(VRMS)における電圧又は二乗平均平方根(IRMS)における電圧に相関し得るが、電圧ピークツーピーク(Vpp)又は電流ピークツーピーク(Ipp)は、バイポーラなものであり得る。このDCオフセットは、ボイド内部での横断方向の成長をもたらし、また、隙間内の金属−金属結合の形成をもたらす。蒸着の過電位がより大きいと、多くの場合、付着性が改善される。一般的には、接合されるワークピースが既にいくつかの点の電気的接触を有する場合、ETCは、EEDよりもはるかに大きくなり得る。ETCは、横断電流信号ソースからの横断電流の電界である。EEDは、電着信号ソースの電界である。より大きい過電圧は、堆積金属の粒径も大きくすることができ、系によっては、付着が損なわれる場合がある。
第1及び第2の電流は、正にバイアスされた第1の電極が正の電流効率及び正の正味質量利得を受け続けるように(すなわち、第1の電流の方向が反転せず、第1の電極が対向電荷のソースにならないように)、共に変調され得る。また、第2の電流は、ボイドの内側でボトムアップ成長が起こるように、別個に変調されることができ、この現象は、有機添加剤(例えば、レベリング剤)を用いない従来の電着では知られていない。更なる検討については、実施例8を参照のこと。
電解質中の金属粒子の導電性及び誘電性挙動は、第2の電流が電気泳動(FEP)又は誘電泳動(FDP)力に影響を及ぼすかどうかに影響を及ぼし得る。例えば、10μmの誘電性粒子について、付与される動電磁場は、同じサイズの導電性粒子により感じられるものより最大5桁強くすることができる。10nmの粒子では、状況は逆になる。両方とも周波数依存性であり、粒子速度は、粒子を取り囲むイオン雲にどれだけのエネルギーを蓄積できるか(すなわち、「誘電率」)に基づき得る。周波数がkHz範囲に大きくなるにつれて、そのエネルギーは、通常、実質的に減少する。
金属粒子と第1の電極との間に蓄積されたエネルギーを減少させることにより、粒子ライディング及び閉塞気孔率が低下する。理論に制限されるものではないが、金属粒子が第1の電極の表面に近づくにつれて、電気化学二重層に蓄積されたエネルギーは、接線方向に分布する。ETCは、EEDと競合する。金属粒子と第1の電極の表面との間の二重層障壁が低減される。また、電界は、表面に対して接線方向の動電速度も付与し、同速度により、粒子が表面に垂直に接近するにつれて、平行な揺れが引き起こされる。両メカニズムにより、本明細書に記載された方法に従って、粒子閉塞により生成される堆積物の多孔性を低下させる。
F.波形
第2の電流(又は誘導された電位)は、周期的又は非周期的波形、例えば、正弦波、三角波、鋸波及び任意の数の他の可能性のある波形並びにそれらの組み合わせである。各種の波形は、表面電荷に摂動を付与する。いくつかの波形を組み合わせて、第2の電流を規定することもできる。異なる波形は、多重波形として重ね合わされた場合でも、表面に対して異なる効果を有する。
図9に、本方法で使用される最も一般的な基本波形及びそれらの特性の例を示す。波形及びその可変パラメータ(電流、電圧、周波数及び持続時間)は、第2の電流に影響を及ぼすように制御されてもよい。波形は、第1の電極の表面にわたる電位を誘導して、電荷を第1の電極にわたって移動させる。理論に制限されるものではないが、時間的に一定な電圧は、電荷を固定的なベクトルで移動させる。ついで、電荷の移動により、第1の電極上の隙間又は粗い形状間の電場が誘導され、第1の電極の表面に磁場Hが誘導される。経時的に電圧を変化させることにより、比例して連続的な電荷の加速が生じ、同加速により、表面に磁界及び電界の両方(H、E)が誘導される。「バンプ」は、三角波の頂点(指向性バンプ)又は極性変化(極性バンプ)のような電荷のベクトルにおける急激な変化である。両方とも図9では、スルー又は漸近点として現れる。「相対電力」は、同一のピーク電圧の異なる波形が電極表面にわたってどのように電力を供給するかを説明する。電気化学プロセスでは、電位は、反応に熱力学的に重要であるが、電力は、時間及び表面積に関係するため、電圧は、電力の代わりに、制約として扱われてもよい。
印加波形は、1つ以上の周波数の高調波に基づく多数の波形の組み合わせから形成されていてもよく、当該1つ以上の周波数において、電解質又は第1の電極は、当該1つ以上の周波数の吸収を示す。波形は、ワークピース上の接触点間の電位差から導入される位相オフセットを含んでもよい。2つの異なる電気的接触ソースが2つの別個の横断電流チャネルに使用される場合、2Dシミュレーションに示されるように、それらのチャネルの信号は位相オフセットされ得る(実施例8を参照のこと)。
波は、全方向に進み、反射し、信号にピークを生じさせる。非対称反射は、信号差を生じさせ、指紋のような粗さを使用して、サンプルを一意的に識別することを可能にする。波形は、隙間を通って電界又は磁界として流れる。パターンは、複雑になる可能性がある。オフセットのために、接触点の波形間の複合差は、エネルギーを超えて隙間内で受ける電流を増幅し得る。粗さが変化すると、エネルギーの分布も変化する。粗さが平滑になると、表面全体にわたるエネルギーの分布がより均一になる。このトポグラフィの変化は、反射又は透過型のインピーダンスにより測定され得る。
位相オフセットは、0°と180°との間でもよい。0°オフセットについては、電流は、パルスめっきに類似する。実施例8及び図21を参照のこと。45°のオフセットでは、電流密度は、隙間内で影響を受ける。電流の大きさは、対数的に変動する。図7及び図8を参照のこと。溶解した金属原子は、電界に従う。大きさ及び極性は、オフセットの差により生じる。電流密度(V/m)は、隙間が閉じるにつれて高くなる。
また、第2の電流(又は誘導された電位)は、0°と180°との間の位相オフセット、例えば、表面上の2つの電気的接触間の約90°の位相オフセットも有してもよい。ここで、強いベクトルが表面で感じられる。いくつかの第1の電流ベクトルにより、表面に対して平行に移動し、堆積中の腐食が可能となる。堆積された材料の顕微鏡分析から、結晶性堆積ではなく非晶質の球状ポケットが示された。
135°のオフセットでは、第1の電流ベクトルは、ワークピースから離れるように指向し、堆積された材料を減少させ、光沢のある仕上げを生成する。180°のオフセットは、可能性のある最大の電位差である。ワークピースにおける隙間は、隙間充填に焦点を合わせた場について大きな変化を示した。実施例8及び図22を参照のこと。堆積された材料が粗い場合、エネルギーは、平滑な堆積を促進するであろう方法では表面に提供されなかった。このため、第2の電流の波形は単純すぎ、堆積された材料が粗くではなく平滑になるように変調される必要があった。種々の実施形態では、第2の電流(又は誘導された電位)は、電解質中の成分の拡散速度と同様の周期を有してもよい。
電源は、複数の正弦波信号(アナログ高調波)の重ね合わせから構築された時間依存性電圧として波形を印加してよい。一部の波形発生器は、高調波の数を増やして、波形の摂動の大きさを小さくしてもよい。Vpeakが数十ボルトである場合でも、マイクロボルトの重ね合わされた摂動は、第2の電流に影響を及ぼし得る。ノイズ信号は、主にバンプから構成され、一定の荷電速度又は加速の繰り返し周期は存在しない。正弦波波形と同じVpeakを有するノイズは、2Hzの正弦波波形よりも多くの電磁波放射(EMR)を送出するであろう。正弦波信号の正弦波周波数は、一例では、2Vppで20Hz又は2Hzで10Vであり、20Hz信号とほぼ同じEMRを提供し、利得及び抵抗のような放射体からの影響を考慮しない。
第2の電流が第1の電極にわたって印加されると、電子は、正味の速度で第1の電極の表面にわたって電界に向かって移動する。「ドリフト速度」vDと呼ばれるこの材料依存速度は、約mm/s〜約μm/sである。
式中、Iは、電流(アンペア)であり、nは、媒体中の体積電荷キャリア密度(e-/m3)であり、Aは、磁束面積(m2)であり、Qは、キャリアの電荷(1.6×10-19C/e-)である。一定速度の電子は、Lienard概念により、第1の電極の表面に対して接線方向に収縮されたその電界と、表面に対して垂直に膨張されたその電界とを有する。vDに関して、v<<cである場合、歪みは無視できる。
したがって、第2の電流からの一定の電子速度は、加速の効果と比較して、第1の電極の表面上に制限される。kHz未満の周波数では、インピーダンスは単純化され得る。オームの法則により、波形の電圧/時間曲線に基づく電流の流れが決定される。現実世界の第1の電極については、第1の電極を通るvDは、幾何学的形状に大きく依存し、したがって、表面全体にわたって不均一になるであろう。
電子の加速により生成される電荷は、vDよりもはるかに速く、光の速度に近い相対論的に第1の電極を横切って伝播する。交流の第2の電流下では、平均vDは、0であり、一方、伝播速度はほぼ以下の通りとなる。
式中、kは、電解質中の材料の誘電率である。電荷は、第1の電極の表面上を移動し、そのバルク内では移動しないため、第2の電流により生成される信号伝播は、第1の電極−電解質界面に沿って移動する。電解質の誘電率も、伝播速度に影響を及ぼす。例えば、水は、80.4の誘電率を有し、VPは、依然として3.35×107m/sであり、電解質を通る物質移動よりも劇的に速い。
移動粒子のEMRの電力は、Lamorの式を使用して近似させ得る。
式中、μoは、自由空間の透磁率(4π×10-7N/A2)であり、αは、電荷の加速であり、ドリフト速度が光速よりはるかに遅い場合には妥当な近似である。
第2の電流がなければ、荷電粒子は、電磁場を放射し、同電磁場は、その中心から≧1/r2の距離rで消散する。対照的に、運動中の同じ粒子の電磁場は、約1/rとして消散する。このため、第2の電流の下での電子の電磁場は、クーロンの法則により、はるかに強い。
式中、Erは、点電荷に対する全方向の電界半径であり、Eθは、Erに対して垂直な電界であり、εoは、自由空間の誘電率(8.85×10-122/Nm2)である。Eθは、加速時の電荷に特有であり、電着において第2の電流の影響を担う。Eθは、非相対論的速度で加速のない荷電粒子に対しては無視できる。
EMRは、加速度に依存し、電子の速度には依存せず、加速度は、印加波形の周波数に依存する。同様に、第1の電極/電解質界面で利用可能な電力に依存する。正弦波の第2の電流に供給される電力は、次式により説明され得る。
式中、Rpeak及びIpeakはそれぞれ、波形のピーク抵抗及び電流である。PTCは、放射電力(Prad)と、オーム損失により消費される電力(Pohm)とに分割され得る。
ACの第2の電流は、バルク抵抗を増加させ、抵抗がより小さい第1の電極の表面に、より多くの電力を送る。この現象は、「表皮効果」と呼ばれる。
式中、fは、周波数であり、μは、電極の透磁率であり、σは、その導電率である。SDは、PD=PTC/eである第1の電極の表面からのおおよその深さを説明する。ACの第2の電流は、特に、1GHzを上回るより高い周波数では、第2の電流電力をより効率的に使用する。
粗さは、≧1MHzの周波数で、計算された表皮深さを超えてもよい。このような粗さの結果、第1の電極上のvDのベクトルが変化し、vPに従って移動するEMRが減衰する。
式中、YRMSは、粗さによる電極の修正された減衰定数であり、Yは、材料の元の減衰定数であり、RRMSは、RMSの粗さである。Hammerstadモデルにおけるこの関係から、最も平滑な表面では1だけ、最も粗い表面では2倍だけ粗さによる減衰が増加することが実証されている。電力散逸は、粗い形状間のマイクロフィールド形成により生じ、界面電気化学プロセスにより吸収され得る。実施例9も参照のこと。適切な波形により、第2の電流からの電界は、曲率における第1、第2及び第3の電界に影響を及ぼす。第2及び第3の電界により、対流電荷移動が生じる。第2の電流の周波数は、印加電力の表皮深さに基づいて決定されてもよい。一般的には、横断電流により、より均一な微小電流及びマクロ電流分布が生じる。
EMRは、Pe-ごとに第1の電極/電解質界面で発生し、vPごとに表面から放射する。界面から0からある距離RNFまでのエネルギーは、放射性及び反応性の両方である。
式中、Dは、電気化学的に活性な第1の電極の最大寸法又は第2の電流を印加する電極間の距離であり、λTCは、第2の電流の波長である。この領域は、反応性の近接場であり、その中で、Eθ及びErは、EMRの磁界と同相である。4分の1周期毎にEとHとの間でエネルギーが交換されるので、電界は、容量性挙動を示す一方で、磁界は、誘導性挙動を示す。近接場領域内では、電気化学分極力線及びそれらと反応する電解質中の任意のイオン種は、これらの周波数依存容量性及び誘導性電界に供される。
別の考察は、波形周期によりスルーレートが決定され、したがって、10μVppの10Vppと比較した効力が決定されることである(図9)。理論に制限されるものではないが、ある領域にわたって第2の電流により誘導される電界の影響は、その領域にわたる電界の勾配、又は「スルーレート」ΔV/Δx(xは、空間又は時間ドメインでもよい)により決まり得る。表面に垂直なピークの大きさは決して同じではないが、高電位、低周波数波形は、特定のポイント又は時間、特に、バイポーラなバンプにおいて、低電位、高周波数波形と同じスルーレートを有する場合がある。高周波数では、正弦波の特徴でさえ漸近的に見える場合がある。
位相オフセットは、第1の電極にわたる第2の電流の効果を調整し得る別の制御変数である。例えば、170°〜180°だけ位相がずれた2つの等しい正弦波は、信号生成回路全体にわたって互いにほとんど打ち消し合う。第2の電流電力は、同時に起こる電着に局所的な効果を有するより少ない打ち消しのため、粗い及び/又は非対称な領域でより強い。堆積された材料により摩耗が充填され、第1の電極に対して対称性が回復されると、第2の電流電力は自己相殺する。表面欠陥が除去される前に相殺が実質的に増加する場合、より大きな位相オフセットが適用されてもよい。重畳信号キャンセルを使用する利益は、大きな電力及び複雑な波形を有する単一の第2の電流と比較して、第1の電極からの遠距離場放射電力を低減することである。
本明細書に記載された装置の各構成要素は、異なる速度での電荷移動を容易にする。AC周波数が速すぎる場合、より遅いプロセスは影響を受けない場合がある。同様に、より低いAC周波数は、劇的により速い期間にわたって生じるプロセスに影響を及ぼさない。約Hz及び約kHzの第2の電流周波数は、電解質中のイオン性反応物のようなイオン性置換反応に影響を及ぼし得る。より高い周波数は、ほぼvPで陰極分極力線を変え得るが、反応物の移動は、これらの変化に同時に応答するには遅すぎ、代わりに、電気通信及び計算内のエイリアシングと同様に、ある確率で応答するであろう。約kHz〜約MHzの周波数は、極性分子の回転モーメントに合わせられる。約100MHzを超えると、多くの水性電解質は、伝導を停止し、代わりに容量的に振る舞う。高周波波形をより低い波形の上に重畳するような任意の波形は、これらの効果を均衡させる。このような波形は、系の変化に応じて、電気化学的プロセスの間に変更される変数により定義され得る(フィードバックループ)。例えば、適切に対応するオシロスコープにより、第2の電流をモニタリングして、電気化学プロセス中の現象又は段階的な変化を観察し、信号をトラブルシューティングし、洗練し、又は、感覚フィードバック(位相シフト、減衰など)を与えてもよい。
G.本方法の適用
本明細書に記載された方法は、腐食、電解研磨及び電池内の電気化学プロセスを含む、多くの電気化学、金属堆積、及び金属結合用途に適用し得る。
1.腐食プロセス
ほとんどの腐食プロセスは、材料の直近の環境との反応性の意図しない結果である。塩水に定期的に曝露される船舶、石油リグ及び他の船舶は、局所的な電位差により常に腐食する。他の電解質と接触する金属、例えば、強酸を貯蔵する金属タンク又はミネラルに富む水を含む金属パイプ。金属は、電解質中にゆっくりと腐食し、電解質汚染及び金属部品の構造劣化をもたらす。スチールフレーム建造物、船舶、石油リグ、タンク、パイプ及び大きな寸法アスペクト比を有する他の構造物は、電解質の流れにより表面にわたって誘導される電位降下を受け得る。金属と電解質との間の電位差及び隣接する金属(Cu、Zn及びFe)間の電位差は、電解質の移動に関係なく存在する。
望ましくない腐食を避けるために、構造体全体に負の電位を印加して、構造体を腐食電位より低いDC電位に維持する場合もある。この方法は、「印加電流陰極保護」又は「ICCP」と呼ばれる。ICCPは腐食を低減するが、その有効性は、近くのアノードの配置により制限される。ICCPの全体的な有効性は、脆弱な表面全体に電荷をより良好に分布させる方法により高め得る。代替的には、アノードを適切に配置できない状況では、横断電流が、より効果的であり得る。
本明細書に記載された方法を使用することにより、第2の電流は、2つ以上のガルバニック反応性金属(例えば、塩水中のZn被覆Fe上のCuワイヤ)間の接合部における腐食を低減し得る。この例では、第1の(堆積)電流は使用されない。これらの条件下で、第2の電流は、第1の電極の表面上の粒界から離れて電荷を分布させ、その表面における腐食性の孔食を回避し得る。実施例7も参照のこと。
直線腐食というわずかな例外を除いて、表面にわたる材料の予測可能に遅くかつ比較的均一な損失は、孔食による孤立した領域で生じる加速された腐食よりもはるかに少ない。任意の被覆の保護特性は、外装の1つのくぼみにより回避されてしまう。孔食は、被覆の損傷点で始まり、金属は、この1つのアクセスを通して周囲の無傷の被覆の下から腐食する。ピットの表面積が大きくなるにつれて、腐食速度が増大し、遅くかつ均一な損失の代わりに、構造的に損なわれた領域が急速に生成される。電気化学的対策は、このプロセスを回避するものではなく、代わりに、腐食電圧未満の保護領域における表面電圧を低下させることにより直線腐食を抑制する。しかしながら、電力要求及び有効性は、周囲環境の変動により著しく変化し得る。
これらの制限のために、1つのくぼみさえも防止する自己回復被覆は、被覆の他の特性にかかわらず、開発の重要な領域である。未だにそれらの化学配合では、2つを分離できず、有効な解決策は、本質的にケースバイケースであり、開発が遅い。開示されたプロセスは、孔食を劇的に抑制し、最も費用の掛かる形態の腐食を抑制するために、必要に応じて、表面被覆又は従来の電気化学的耐腐食系を用いて又はこれらを用いずに展開され得る。
2.電解研磨
従来の電解研磨は、表面に正の電位を印加して粗い形状を腐食させ、より平滑な表面とする、腐食プロセスの一種である。有利に、粗い領域は、平滑な領域より速く腐食する。従来の電気めっきは望ましくない粗さを生じるため、蓄積した粗さを除去し、平滑な仕上げを提供するために、従来の電気めっきの後に、多くの場合、電解研磨が使用される。電解研磨の電流密度は通常低く、かつ/又は、パルス状である。これにより、全体的なプロセス時間を犠牲にして、平滑な仕上げが維持される。より高い電流密度が印加されると、金属の粒界に沿ってより急速に腐食が起こり、金属の塊が表面のバルクから剥離し、表面粗さを増加させてしまう。
従来の電気めっきプロセスにおいて望ましくない粗さが蓄積されるのに代えて、粗さは、y方向を振動させながら、z方向における均一性について生成される十分に計算された波形又は本明細書に開示された方法を使用するAC成分により直接対処され得る。目標は、ベクトルの大きさを揺動及び変更することによりz方向の変動を制御又は最小化しながら、y方向の振動を維持することである。このようにして、表面形状の平坦化が、従来のプロセスで見られるような、垂直に構築する形状なしに促進される。堆積電流は、ワークピース表面に対する全体的な電界強度が一定であることを確実にするために、横断電流に対して変調されるが、平行電界強度はふらつく場合がある。第1及び第2の電流は共に調整されてもよく、これにより、弱い及び強い電界が補完される。堆積電流及び横断電流は、同じ電気接合部を通過してもよい。全電極信号がパルスめっきのように見える場合があるが、それは、開示された効果を生成するためにワークピースに入れられる異なる信号を考慮していない。実施例9を参照のこと。
本明細書に記載された方法を使用することにより、第2の電流は、電流をより良好に分布させる。塊内及び粒界に沿った表面腐食を避けながら、より高い電流密度を流し得る。電解研磨により、従来技術の方法で見られる剥離なしに、縁部及び粗い形状を腐食させることによって、ほぼ平滑な表面がもたらされる。DC電界は、電着を促進するのに必要とされる電界の反対方向に印可されてもよい。すなわち、堆積を促進するDC電界は、ワークピースに対して負に分極されている場合には、そのDC電界の極性を逆にすることにより、腐食が促進されるため、ワークピースが電解研磨される。本明細書に開示された方法により、電解研磨が加速されてもよい。
ワークピースの裏側も、DCオフセットなしで電解研磨されてもよい。一組の堆積電極が、ワークピースの裏側に配置されてもよい。従来の電着では、金属の大部分は、隙間のボイド空間に面する縁部上に置かれる。材料の最も薄い量しか隙間の中心に堆積されず、その結果、接合が不良となる。開示された方法を使用すると、反対の効果が優勢となり、縁部では腐食が優先されるが、隙間では堆積が優先される。金属は、ボイド空間全体を充填する。
3.電池
本明細書において、電池のような電気化学セルを充電する方法も提供される。これらの方法により、ほとんどの電池にとって共通の故障原因である樹枝状成長が抑制され、逆転される。
電池は、一般的には、イオン伝導性障壁、多くの場合、電解質で飽和された液体又はポリマー膜により分離された、対向電荷のソースと第1の電極層との繰り返し単位を含む。これらの層は、複数のユニットが電池の体積を占めることができるように薄く作られ、積み重ねられた各ユニットにより電池の利用可能な電力が増加する。これらの部品が薄くなるにつれて、それらは、より脆くもなる。更に、電極が薄くなるにつれて、表面全体でより大きなオーム降下が生じ、充電/放電サイクル中の電荷密度の均一性が低下する。
例えば、リチウム電池は、典型的には、金属酸化物電極(Mは、典型的に、鉄、コバルト、マンガンである)と、金属集電体上に被覆された炭素電極とを有する。金属酸化物は、リチウム金属を安定化するのに添加される。金属酸化物電極は、Mxyとして開始し、炭素は、原子Li浸出グラファイトとして開始する。放電(すなわち、装置に電力を供給するための電池の通常の使用)中に、Li+イオンは、炭素から膜を通って移動し、Mxyにインターカレートして、LiMxyになる。充電中、Li+イオンは、逆の経路をたどり、その代わりに、炭素中にインターカレートする。理想的な条件下では、全てのLi+イオンが、空のFexy部位又は炭素部位を発見し、別のLi+イオンが既に吸収されている部位を発見しない。Li+イオンが、Li0形態の更なるLi+及び3D堆積物の上に堆積しようとする場合、問題が生じる。Li0の凝集は、爆発の危険性を生じ、粗さを生じさせる。具体的には、Li0が対向電極に到達すると、電池が短絡する場合があり、Li0堆積中に形成された樹枝状結晶が、電池の2つの半電池を分割する膜を傷つける場合がある。
その後の充電/放電サイクルにより、リチウムは、増大した粗さで堆積する。リチウム金属電池(Li箔アノード)及びリチウムイオン電池(Liイオンがグラファイト/箔アノードにインターカレートされる、この場合、箔は多くの場合銅である)は両方とも、電池の充電サイクル中にリチウム樹枝状結晶の成長の問題がある。Liイオンアノードは数百サイクルにわたって安定であり得るが、樹枝状結晶は、Li金属中で直ちに発達する。一旦形成されると、樹枝状結晶は、電池のコロンビア効率を低下させ、イオン膜を傷つけ、樹枝状結晶がアノードと接触した場合、電池を短絡させる。一般的には、樹枝状結晶が形成され、この樹枝状結晶は、電解質膜を穿孔し又は不可逆的に傷つける。樹枝状成長が対向電極に達すると、ついで、電池は永久的に短絡され、回復することができない。
両タイプのリチウムイオン電池は、リチウムが電解質と化学的に反応するにつれて、アノードと電解質の界面に固体電解質中間相を形成する。中間相は、界面に集まる不溶性反応生成物を含む層である。Liイオンは、アノードから中間相を通過しなければならない。中間相は、一般的には、より高いインピーダンスを有するため、アノードにわたる固体電解質中間相の不均一性により、アノードにわたる不均一な電流分布が生じ得る。この不均一性は、Li濃度が高い中間相を通るチャネルの形成を促進する。これらのチャネルは、樹枝状結晶の形成を導く。横断電流により、表面全体にわたって均一な電流分布が強化され、固体電解質中間相全体にわたってLi濃度がより均一に分布され、均一な電気的挙動を有するアノード/電解質界面が維持され得る。
この検討は、リチウムイオン電池(グラファイトに含浸されたリチウム)を例示しているが、本明細書で開示された方法は、リチウム金属電池及び鉛酸電池を含む他の電池タイプにも等しく適用される。純粋なリチウム金属は、はるかに高い(〜5倍)エネルギー容量を有するが、樹枝状結晶の成長を制御する方法についての教示は当技術分野にはない。これらの電池は、典型的には、10回の充放電サイクルしか持続しない。故障は瞬間的であり、広く使用されているリチウムイオン電池よりも深刻である。本明細書に記載された方法により、リチウム金属電池における樹枝状結晶成長が制御され、これらの電池が実用的になり、リチウムイオン電池よりも優れたエネルギー密度を有する電池への市場が開かれる。この方法は、樹枝状結晶の形成を停止させるために、充電サイクル毎に実行されるであろう。電解質は、再充電時の回復プロセス中にリチウム金属の均一な堆積を可能にするように選択される。
鉛酸電池に関して、本明細書に記載された方法は、電気化学セルの構成及びその電気化学を考慮して改変される。リチウム系電池とは異なり、アノード及びカソードの両方が再充電される必要がある。既存のセルは、2つのポートしか有さないため、横断電流は、セルの遠い壁から反射して入口ポートに戻るように計算された1つのポートに送られる必要がある。横断電流の波形は、鉛酸電池のアノード及びカソード上の異なるサイズの樹枝状結晶と共振するように、いくつかの周波数を通して掃引されるであろう。
電力容量の増加に伴って電池が小さくなるにつれて、これらの問題は増幅され、重大な設計上の制約をもたらす。リチウム又は任意の他の化学的性質を有する電池の寿命及び性能は、溶解及び堆積中の金属電荷キャリア種の平滑性及び均一性を向上させることにより大幅に延長させることができる。そして、再充電速度は、従来の電池のように電池の寿命を損なうことなく、向上され得た。
本明細書に記載された方法は、明らかなオーム降下を伴う電極上の電荷均一性を向上させる手段を提供する。これにより、発熱電池故障を引き起こし得る熱勾配及びホットスポットが低減する。更に、これにより、電池が個々に劣化し、異なる速度で劣化するときに生じる、スタック内の個々の電池間の性能のバラつきが低減されるであろう。この構成は、電池システムの種類毎に異なる。
II.装置
また、本開示は、本明細書に記載された方法を実施するための装置も提供する。図1A及びその他に示されたように、装置100は、対向電荷のソース120と、第1の電極(例えば、ワークピース)110とを備える。ただし、ワークピースは、装置の一時的な部分である。対向電荷のソース120及び第1の電極は、電解質140を通して電気的に接続されている100。装置1000は、電源160のような電流発生源を含み、対向電荷のソース120と第1の電極110との間に電解質140を通して第1の電流130を誘導する。電流源は、対向電荷のソース120及び第1の電極110への接続を含む。電流源又は別の電源も電極に接続され、第1の電極にわたる第2の電流150(本明細書では「横断」電流と呼ぶことがある)を誘導する。第2の電流150は、第1の電極110において横断方向であるか、又は、何等かの方法で第1の電流130を横切る。第2の電流150は、第1の電極にわたって相対論的電荷を誘導するように制御される。
ここで図10を参照して、本開示は、主制御ユニット(MCU)1020及び電極アプリケータユニット1010を有する装置1000を更に提供する。MCU1020は、電源160と電力変調器165とを含み、これらにより、対向電荷のソース120と第1の電極110との間に電解質140を通して第1の電流130が誘導される。また、MCU1020は、ワークピース110の表面111を通して第2の電流150を誘導するための電力も供給する。電極アプリケータユニット1010は、少なくとも1つの対向電荷のソース120と、電極アプリケータユニット1010を通して電解質140を流すための複数のチャネル145とを含む。電極アプリケータユニット1010は、主制御ユニット1020に接続されている集電ケーブル161を通じて主制御ユニット1020に接続され、また、主制御ユニット1020に接続された電力制御ユニット1030に接続されている。電力制御ユニット1030は、第1の電極110と少なくとも1つの対向電荷のソース120との間に、電解質140を通して第1の電流130を印加する。また、電力制御ユニット1030は、第1の電極110にわたって第2の電流150も誘導し得る。本明細書の他の箇所に記載されたように、第2の電流150は、第1の電流130に対して横断方向であり、第1の電極110にわたって相対論的電荷を誘導するように制御されてもよい。
電解質140は、結合システム1000内に含まれる必要はない。電解質140は、線形抵抗器として機能してもよい。対向電荷のソース120がワークピース110の表面111から離れて保持されるほど、電解質140を通過する電荷の抵抗が大きくなり、ワークピース110における電流密度が小さくなる。他の例では、本方法は、電力制御ユニット1030において制御された電流モードにより実施されてもよく、この場合、結合システム1000は、アプリケータ1010が移動されるときに、電圧を増加させて、ワークピース100の表面111において選択された電流密度を維持する。
結合システムについて、1つ以上のアプリケータ1010が、図10に概略的に示されたように、また図11〜図13における種々の代替的な実施形態に示されたように、新たな材料を供給し、第1の電極に電流を供給する。アプリケータ1010は、第1の電流130及び第2の電流150のためのいくつかの接触と、アプリケータ1010の本体を通る電解質140の流体の流れのためのチャネル145と、補助電気部品とを含んでもよい。アプリケータ1010は、一体化された加熱ユニット146及び/又は冷却ユニット147、又はより一般的には、内部の電解質140の温度を制御する温度制御ユニットを有してもよい。アプリケータ1010とMCU1020とは、電力及びセンサのための配線161並びに流体が一方から他方へ流れるのを可能にする配管169により接続され得る。
装置1000は、配線を介してMCU1020に接続されており、第1の電極に取り付けるためのリード線を有する集電ケーブル161を更に備えてもよい。動作条件下では、基材110は、作用電極となる。
装置1000は、第1の電流130及び第2の電流150に電力を供給する電力制御ユニット1100を更に備えてもよい。
本装置は、本明細書に記載された任意の電解質を使用してもよい。電解質140は、タンク167又は他の形態の容器に貯蔵されてもよく、これらは、一体化されていても又は取り外し可能でもよい。タンクが存在する場合、タンク167は、電解質140をアプリケータ1010に供給する。構成に応じて、ポンプ168を配置して、電解質140をタンク167から配管169を通って送出し又は何等かの方法で送り出し、所望に応じてワークピース上に分布させるために、電解質140を循環させてもよい。このような構成では、電解質140は、アプリケータ1010を通して分配されてもよい。
A.主制御ユニット
図10を参照して、主制御ユニット(MCU)1020は、電源160、プロセッサ又は実行可能命令若しくは制御シーケンスを形成するソフトウェアを含むメモリ若しくは他の有形記憶媒体と通信している他の計算コンポーネント164、コンピュータ制御電力変調器165及び補助電子機器166を収容していてもよい。主制御ユニット1020において、プロセッサ164は、コンピュータ可読媒体に格納された命令を実行するように構成されている。電力変調器165及び電源160は、プロセッサ164により制御されてもよい。
MCU1020は、第1の制御システム、堆積/腐食用の発電発生サブシステム、第2の電流用の電力発生サブシステム及びセンサ系フィードバックサブシステムのような1つ以上の更なる電気部品を含んでもよい。第1の制御システムが存在する場合、第1の制御システムは、化学及び動作条件のためのユーザ入力を受容し、サブシステムを制御して、第1及び第2の電流のための電力を供給する。第1の制御システムは、複雑なシステムについてはデジタル、又は、より少ない化学的要件を有する単純なシステムについてはアナログとしてもよい。コンピュータ制御は、最も広い範囲の材料、感覚フィードバック、データ記録及び複雑な堆積条件に使用されてもよい。
堆積電力サブシステムは、低い内部反射で安定したmA及びmV制御を有さなければならない。サブシステムは、DC電力及び約1Hz〜約1kHzのAC電力を供給してもよい。サブシステムは、センササブシステムからのセンサ入力に対して電圧を印加するようにプログラム可能でもよい。電流は、印加のための第1の電極の面積に対して、チャネルあたりに約0mA/cm2〜約200mA/cm2の範囲でもよい。電流は、印加のための第1の電極の面積に対して、チャネルあたりに約0mA/cm2〜約300mA/cm2の範囲であってもよい。複数のチャネル及び/又は高速スイッチングは、第1の電極の2つの部分を接合する際、又は、MCU1020が複数の領域での結合を制御する際のような、必要な際に使用されてもよい。
堆積電力サブシステムは、変調された第1の電流を用いて電力を印加してもよい。電流制御された電力は、電流密度(A/cm2)を達成してもよく、これにより、電解質の金属から第1の電極の表面上への所望の質量流束を達成してもよい。電位制御された電力は、第1の電極/電解質界面における基材原子の酸化還元状態を達成してもよい。例えば、わずかに負の電位が、第1の電極に印加されて、表面原子の金属状態を確実にし、表面を付着のために準備し得る。第1の電極における正極性の電位制御は、第1の電極の表面を腐食させてもよい。例えば、MCU1020は、標準水素電極(SHE)に対して、0.8V以上で1.6V未満の電位を作用させて、腐食性孔食なしに鋼表面を腐食させ得る。これは、著しい粗面化を生じることなく、第1の電極の表面上に堆積された層の浸透深さを大きくするのに有用であろう。また、電位制御は、電解質からの金属に基づく第1の電流の電位により堆積された合金又は複合材の化学量論も制御してもよい。
例えば、Fe及びMn種の両方を含有するイオン性液体電解質では、MCUは、Fe/Fe+に対して−0.3Vの電位を2秒間、続けて、Fe/Fe+に対して−0.9Vの電位を2秒間もたらし得る。第1の電位は、Feが堆積するための活性化エネルギーを上回るが、Mnの堆積を駆動するには不十分である。第2の電位は、Mn0生成の活性化エネルギーを超えるため、両種が同時に電着する。過電位(すなわち、活性化エネルギーを超えて印加される電位)は、各種の相対的な堆積速度に影響を及ぼす。本明細書で教示されたように、金属種を変更し、適切な電圧を選択することにより、他の合金が使用されてもよい。実施例13におけるFeZn合金を参照のこと。
MCU1020は、DC又はACを印加し、コンピュータが出力を変調することを可能にするフィードバック測定値を取得し得る。例えば、電力制御ユニット(PCU)1030は、DCモードで動作して、第1の電極110と対向電荷のソース120との間の開回路電位(OCP)を測定してもよいため、電位が、OCPに対して印加されてもよい。また、MCU1020は、DC電流を使用して、第1の電極の表面における電気化学二重層の動的キャパシタンスを測定し得る。二重層キャパシタンスは、動作中の第1の電極110の表面積111における変化を比例的に示してもよいため、このような読取りは、MCU1020が、第2の電流150を変更し、又は、新たな材料が第1の電極110に加えられる際に指定される電流密度(A/cm2)を維持するのを可能にしてもよい。抵抗/インピーダンス測定値を得るために、MCU1020により、ACが印加され得る。例えば、MCU1020は、1〜100mVで約100kHz以下の周波数のACを素早く印加して、線形インピーダンス応答を測定し、第1の回路のバルク導電率に関するフィードバックを得ることができる。基準電極148がアプリケータ1020に存在する場合、追加のより低い周波数が、第1の電極/電解質界面をモニタリングし得る。
MCU1020は、フィードバックを得るために、これらの修正を堆積シーケンスに周期的に介在させてもよい。コンピュータ164は、このフィードバックをモデル及びユーザ指定の動作パラメータと比較して、印加電力駆動堆積及び第2の電流を調節してもよい。
例えば、1,000回の腐食/堆積パルス反復後(又は数秒毎)に、MCU1020は、10mV、500kHzの正弦波AC波を、第1の電流130の先のパルスのDC電位に重畳して、システムインピーダンスを測定してもよい。測定時間は、記録された周波数及び波の周期の数並びにコンピュータが記録された信号を印加波形に対して分析するための処理時間(合計約10〜50μs)により決まるであろう。インピーダンスが、収集された最後のデータ点に対して増加した場合、コンピュータ164は、この増加が、使用及び時間に伴う電解質のイオン伝導性の予測される漸進的損失と相関するかどうかを決定してもよい。そうであれば、後のパルスの電流/電位の大きさは、電解質140の付加的なイオン抵抗を克服するために大きくされてもよい。シーケンス全体は、更新されたパラメータを使用して繰り返されてもよい。そうでない場合には、MCU1020は、1つ又は2つのより低い周波数でインピーダンス/キャパシタンスを測定して、表面の状態を調べる。そして、ユーザが電源をオンにした直後と、電源がオフにされた直後に再び、MCU1020は、システムのOCPを測定して、第1の電極表面111の酸化還元状態を推定してもよい。
第2の電流電力サブシステムが存在する場合、第2の電流電力サブシステムは、可変出力インピーダンス、広帯域周波数範囲(0〜GHz)、DCオフセット能力及び波形生成を有する複数のチャネルを有してもよい。内部増幅及び減衰は、より大きな作業領域に対してMCUを可能にし、μV又はより小さな摂動を適用してもよい。別々のチャネルは、それらの出力信号を互いに対して変調してもよい。
センサ電力サブシステムが存在する場合、センサ電力サブシステムは、基準、pH、導電率、信号インピーダンス及び減衰のようなパラメータ並びに電極が第1の電極の表面に接触しているか否かについての電極からのフィードバック/フィードフォワードの処理を可能してもよい。また、それらは、温度センサからのフィードバックを処理し、必要なときにチップチャンバ加熱のための電力も供給しなければならない。これらのシステムは、第1の制御システムにフィードバックを提供し、これにより、第1の制御システムは、堆積及び第2の電流回路を調節し得る。
MCU1020は、オンボードインターフェースを有してもよく、又は、別個のソフトウェアを通してプログラムするために外部コンピュータに接続していてもよい。また、本明細書に記載された任意の装置は、第1の電極からの遠方界放射を低減するための信号キャンセラを更に含んでもよい。
B.アプリケータ
ここから図10〜図13を参照して、ガン型アプリケータ(図11)、パッチ型アプリケータ1200(図12)又はグローブ型アプリケータ1300(図13)を含む多くの設計が、電極アプリケータユニット1010(図10)に使用され得る。一般的には、アプリケータ1010は、対向電荷のソース120と電解質140との間の完全な回路130を介して、第1の電極110との少なくとも1つのイオン接触を含んでもよい。この一般的な設計には、電気的接触点に空間的に近接した第1の電極110との1つ以上の電気的(非イオン)接触点、例えば、2つ以上の接触点、電解質を収容及び分配するのに十分な容量のリザーバ167、腐食性電極、対向電荷のソース120、基準電極(RE)148及びプロセスから生じる他の構造的異常の平滑化又は解決のために印加される第2の電流150のためのz軸振幅の電磁入力及びフィードバック修正を可能にするであろう長手方向受信アンテナを含むが、これらに限定されない、多くの変形例が想定される。他のプロセスは、1つの接触点、特に、高周波数を使用してもよい。
ガン又はワンドアプリケータは、図11Aの代表的な断面図及び図11Bの上面図に示すものと同様の印加システムを有してもよい。アプリケータ1100の基部1110は、腐食性電極用のフィードスルー又は交換式非腐食性の対向電荷のソース1120用の座部を有してもよい。本明細書に記載された任意の腐食性電極が使用されてもよい。シールは、第1の電極を電気的に分極する。シールは、回路に関する限り、接触の幾何学的形状が広い面積を囲んでいても、1つの接点を画定した。基部1100は、1120から分離した電極1130も有してもよい。電極1130は、対向電荷のソース1120を通る電位を変化させることなく、第1の電流を全て変更又は安定化するための対向電荷の並列ソースでもよい。このようにして、共堆積は、全体の堆積プロセスとは独立して制御されてもよい。
逆パルス堆積プロセス又は第1の電極の腐食が選択される場合には、電極1130は、カソードでもよく、これにより、対向電荷のソース1120での還元は必須ではない。代わりに、電極1130は、基準電極(例えば、図10における148)でもよく、又は、別個の基準電極が、アプリケータ1100上の同様の位置に配置されてもよい。電極1130は、単一の表面でもよいし、又は、方向制御を有する複数の表面でもよい。電解質は、1つ又は複数の対向するチャネル1140、1145を介してシステムを通って循環させてもよい。アプリケータ1100は、新たな電解質及び消耗した電解質のための1つ以上のチャネル1150、1155を含んでもよい。
アプリケータ1100は、先端1160を介して第1の電極に接触し、第1の電極にわたる第2の電流を誘導する2つの対向電荷のソース1120を含んでもよい。対向電荷のソース1120は、キャップ1170、1175を介して第1の電極に電気的に接触している。キャップ1170、1175は、第2の電流の局所電流密度を大きくするのが望ましい場合、炭素若しくは軟質金属パッド又はより硬質の金属ピンを含んでもよい。
アプリケータ1100内の流れ及び電極の幾何学的形状は、二次元的に対称でもよい。代替的に、流れパターンは、アプリケータの中心を下って先端1160に向かう電解質流入、続けて、アプリケータ1100の外周に沿った流出を含んでもよい。
交換可能な先端1160は、電解質のための空間を提供する。先端1160は、表面と接触した際に、チャネル1150、1155から電解質を隔離するために、その開口部の周囲に密封材料を有してもよい。チャネル1150、1155は、同じように分極され、第1の電極に接続された別個のリード線と共に又は別個のリード線なしに使用されてもよい。キャップ1170、1175は、電解質を酸素及び水分から隔離してもよい。
ガン又はワンドアプリケータ1100の先端1160は、固定されていてもよいし、又は、取り外し可能でもよい。第一に、先端1160の開口部の面積及び幾何学的形状は、接触する第1の電極の表面積、したがって、新たな材料が電着される面積を決定するであろう。第二に、先端1160の面積及び幾何学的形状は、電解質の表面張力を利用して、先端体積が満杯であるときに、流体が開口部から排出されることに影響を及ぼしてもよい。先端1660又はアプリケータ1100の本体は、高周波数超音波トランスデューサ、低周波数バイブレータ又は任意の関連する機構を含む、電解質用の攪拌器を含んでもよい。先端は、指向性使用のために設計されてもよい。スクープ状の先端は、先端が第1の電極の表面を横切って案内されるときに、電解質をアプリケータ内に押し戻すために、第1の電極表面の剪断力を使用してもよい。
基部又は先端は、第1の電極の表面近くの熱流束をモニタリングするために、化学的に耐性のある熱電対又は熱抵抗器(サーミスタ)を収容してもよい。先端は、非平面の表面に対する一貫した接触を容易にし、先端開口部の境界を離れる過剰な電解質に対するシールを提供するために、半可撓性材料で構成されてもよい。また、この接合部における流体の挙動は、電解質の粘度及び先端開口部の直径を選択して電解質を拘束することによっても制御してもよい。
先端は、第1の電極の表面に接触して、ホットスポットにおける電解質によるエネルギー吸収を最小限にすることにより第2の電流を分配する誘電メッシュを含んでもよい。誘電メッシュは、金属メッシュ、ポリマー中の金属メッシュ又は誘電ポリマーメッシュでもよい。金属内層が存在する場合、金属内層は、ワークピースから生じる無線周波数の容量結合のための導電性表面を提供する。金属内層も有効接地面であり、一方、ポリマー外層は、金属内層を堆積又は腐食から保護する。
メッシュが存在する場合、メッシュは、電解質と第1の電極の表面との間の物質輸送の何等かの遅れを避けるために、約1mm〜約1μmの多孔性を有してもよい。また、メッシュは、スリットなどの開口部も有してもよく、この開口部は、第1の電極の接合部又は隙間上に配向され得る。対向電荷のソースの材料は、第1の電極の材料組成によく似たものであってもよい。
図10及び図11を参照して、先端1160は、第1又は第2の種類の基準電極(RE)148を含んでもよい。REを使用した短い単一データポイントフィードバック測定は、貴金属であるPt、Pd、Au、Agなどを含み得る第1の種(RE1)のREを使用してもよい。これらの基準電極により、REの表面状態が比較的安定している間に、高速電位測定値が記録されてもよい。より長い時間領域にわたるREの分極により、RE1の表面状態がより過渡的になるにつれて、測定されたフィードバック電位がドリフトするのが可能となる。より長い期間にわたってフィードバックを得るために、RE2は、溶液中で連続的に分極されている間、定常状態電位を維持する必要がある。RE2の例は、Ag/AgClであろう。
パッチ型アプリケータ1200により、図10、図12A及び図12Bを参照して、新たな金属が堆積されるであろう第1の電極110の領域上にパッチ1200を接着することによって、新たな金属堆積が達成され得る。パッチは、第1の電極110に取り付けるための接着剤又は磁気領域1210を有してもよい。パッチの中央には、金属箔のような導電性裏面層で構成された差込み式の電気化学的活性領域1220を設けてもよい。種々の実施形態では、この裏面層は、対向電荷のソース120を提供する腐食性又は非腐食性電極のものでもよい。インセットの残りの容量には、電解質140が充填されていてもよい。電解質140は、ゲルのような高粘度のものでもよいし、又は、スポンジ若しくは多孔性膜内の低粘度のものでもよい。本明細書に記載された任意の電解質が使用されてもよい。活性領域1220の周囲は、シリコーン、ラテックス又は類似の材料製の連続シールを有してもよい。このシールが存在する場合、このシールは、第1の電極110との電気的な接触を提供する補助接触パッド1230、1235から電解質140を隔離してもよい。
2つの接触パッド1230、1235が、図12A及び図12Bに示されており、活性領域1220の周囲の任意の向きでより多くの接触パッドが使用されてもよい。パッド1230、1235は、第1の電極110の電気化学的活性領域1220に第1の電流130を提供し、処理領域にわたって第2の電流150を提供する。パッチ1200は、電気化学プロセスが一度により大きな領域にわたって生じ得るように、所望される限り長くてもよく、又は、任意の幾何学的形状でもよい。電力は、電源/制御ユニット1030につながっていてもよいケーブル1240を介してパッチに供給されてもよく、又は、パッチ1200は、オンボードの電池及び単純な制御回路により給電されてもよい。リード線1241、1242は、ケーブル1240をパッド1230、1235に接続している。また、表面に接触する単一の電気的接触点も使用されてもよい。
ここから図13を参照して、アプリケータ1300は、着用可能なグローブ1310に一体化され、手動関節運動による触覚感覚フィードバックを可能にしてもよい。対向電荷の腐食性又は非腐食性ソースは、第1の電極ホルダ1320に固定されてもよく、又は、指の先端全体が、対向電荷のソースを提供してもよい。類似する対向電荷のソース1330、1335は、最も近い指の先端にあってもよい。第1の回路は、第1の電極ホルダ1320、第1の電極及び対向電荷のソース1330、1335の間で完結し、一方、第2の回路は、対向電荷のソース1330、1335及び第1の電極を通って完結する。各回路は、接合部又は隙間1350につながるワイヤ1340、1342、1343により給電されてもよく、接合部又は隙間1350は、電源/制御ユニット又はオンボードの電池/制御システムにつながるワイヤ1360に接続されている。ユーザは、第1の電極ホルダ1320を関節運動させて、堆積領域を制御し、一方、第2の電流のベクトルを制御するために、対向電荷のソース1330、1335の相対位置を変化させ得る。他の指又は複数のグローブが使用されてもよい。
これらの構成において、アプリケータ1010は、加熱ユニット146又は冷却ユニット147を更に含んでもよい。これらのユニット146、147は、電極アプリケータユニット1010のチャネル145内の電解質130の温度を調節する。
III.ソフトウェア
本開示は、本明細書に記載された装置を動作させ、本明細書で説明される方法を実行するためのソフトウェアを更に包含する。
例えば、MCUは、鋼、Cu、Ni及びZnのような一般的な材料を、各材料に適した電解質と共に使用するようにプログラムされていてもよい。MCUは、より複雑な合金及び複合材の効率的な電着を調節するために、強化されたプログラミングにより修正されてもよい。
MCUは、有線又は無線のネットワーキング又はコンピュータリンク接続を有してもよい。これらの接続により、センサデータログがコンピュータ可読媒体にロードされてもよい。この接続により、本方法の動作中のコンピュータ制御、ライブ遠隔モニタリング及び複数のMCU間の通信が容易になってもよい。この接続により、異なる基材材料及び電解質のための動作パラメータ及びモデルを含むソフトウェアアップデートが受信されてもよい。例えば、当事者Aは、特別な動作パラメータを有する電解質を作成し、他のユーザのためにMCUにロードされ得るコンピュータモデルを作成してもよい。
ソフトウェアは、MCUが、ユーザからの最小の入力内で動作中に堆積及び第2の電流機能を制御することを可能にしてもよい。パラメータは、最初にMCUに入力されてもよく、又は、定期的に変更して、プロセスを精緻化してもよい。これにより、動作中のユーザフィードバックは、プロセスの開始及び停止に大部分が制限される。
IV.金属堆積物
また、本開示は、電着により形成された非晶質金属堆積物も提供する。また、金属堆積物は、他の結晶面よりも多くの頻度で1つの結晶面も示してもよい。
金属堆積物の接着を促進するために、吸着層が、ワークピース上に堆積されてもよい。「吸着原子(adatom)」は、完全な結合を形成するために全ての電子を放棄していない。むしろ、原子は、新たな層にぶつかるまで動き回り、層ごとの成長を促進する。本明細書に記載された方法は、新たな材料のトップダウン堆積だけでなく、セルフレベリング原子を促進する。
粒径は、堆積速度を選択することにより調節されてもよい。一般的には、より遅い堆積により、より大きい粒径がもたらされ、より速い堆積により、より小さい粒径がもたらされる。一方の領域における堆積がより厚く、勾配の他方の端部において堆積がより薄くなるように、ワークピースを横切って勾配をかけてもよい。
また、本開示は、炭素繊維織物及びKevlar(商標)布のような半導体及び非導電性ワークピース上にめっきするための方法も提供する。炭素繊維は、最小限に導電性であるが、本明細書に記載された方法により直接金属化され得る。Kevlar(商標)のような他の布地は、金属イオンを含浸させることにより金属化前に処理されてもよい。任意の織物材料が適切である。例えば、綿布に、NiCl2を一晩含浸させてもよい。布地は、直線状、硬質及び/又は応力分散のものでもよい。一般的には、金属化は、従来のエポキシ処理を置き換える。
例えば、自転車は、アルミニウムで金属化された炭素繊維フレームを使用してもよい。フレックスは、フレームにおいて定義されてもよい。炭素繊維の形状により、一定範囲の形状及び重量負荷分布が可能となる。
別の例では、身体防護具は、Dupont(商標)Kevlar(登録商標)のようなパラフェニレンテレフタルアミド(パラアラミド)繊維の1つ以上の金属化層から形成されてもよい。従来の身体防護具は、弾丸要件を満たすために、従来のKevlar(登録商標)の7〜9層の代わりを必要とする。金属化の付加的な重量を考慮しても、新たな身体防護具はより薄く、より軽く、より長い持続時間の快適な着用が可能となる。装甲車には、Kevlar(登録商標)が、パネルに成形され、金属化されて、車体を形成してもよい。再度、身体防護具と同様に、車両パネルは、より薄く、より軽量でありながら、発射体及び他の武器から同等の保護を提供する。
以下の記号及び略語は、本開示の全体にわたって使用される。
実施例1−制御された電荷分布による平滑性及び均一性
この実施例では、表面の湾曲又は不規則性において電荷密度がどのように大きくなるかを実証する。この効果を測定するために、マッチング基材を、従来の電着を使用し又は開示された方法下で処理した。ついで、基材同士を比較した。
まず図14A及び図14Bを参照して、2つの15mm×18mmの銅電極を、2つのリードアタッチメント1410、1420、堆積領域1420、及び5つの0.8mm幅のスロット1450を有するFR1回路基板(非導電性フェノール樹脂を覆う銅の薄層)から機械加工した。リードアタッチメント1410は、スロット1450の第1の側1422上にあった。第2のリードアタッチメント1415は、スロット1450の第2の側1421上にあった。スロット1450は、ワークピース内のボイドとして機能し、これにより、電流の流れを、スロット1450の両側における電位降下により遮断した。
図14Aに、第2の電流を用いない30mA/cm2での銅の電着の結果、すなわち、従来の電着での結果を示す。より暗い領域1425が、電荷が蓄積する堆積領域1420の頂部に向かって発達した。これらのより暗い領域は、銅のより粗い堆積及び酸化銅の増加に起因する。
図14Bに、30mA/cm2において、10ボルト ピークツーピーク(Vpp)で5MHzの第2の電流をリードアタッチメント1410、1415間に印加し、銅を電着させて得られた別のワークピースを示す。図14Bでは、図14Aと同じ電着条件を使用したが、今回は、すぐ上に導入された電流の属性を有する第2の電流を、ワークピースにわたって印加した。
第2の電流の有無による銅成長の顕微鏡レベルでの比較を、図15A及び図15Bに示す。図15Aに、従来の堆積を使用して、1.25M CuSO4(水溶液)から形成された堆積物の電子顕微鏡写真を示す。この電子顕微鏡写真には、表面で粗い成長を示し、顕微鏡からの電子ビームが散乱した。多孔性縁部が外側に成長し、一方で同時に、ボイドが充填された。図15Aに見られる成長は、動力学的粗面化から生じ、核形成速度が実際の成長速度に対して高かった場合に生じた。より長い堆積期間では、これらの縁部は、ボイドが充填されるよりも速く伝播し、より多くの樹枝状形態がもたらされた。
図15Bに、図15Aと同じ条件下で、1MHzで−27dbmの第2の電流をワークピースに印加した際に形成された堆積物の電子顕微鏡写真を示す。比較を容易にするために、図15A及び図15Bは、同じサイズスケールで設定した。全ての測定可能な多孔性は表面上で消失し、成長は、制限された核形成(非樹枝状成長)で進行し、続けて、二次元表面が完成した。パラメータがわずかに異なった場合、反対の効果が観察された。また、図15Bにおいて、堆積の電流効率は、第2の電流によっては変わらないままであった。第2の電流は、核形成速度を低下させ、一方で、成長の全体的な速度は、二次元膨張として一貫したままであった。第2の電流の電界は、完全な電荷移動を伴う即時の核形成の代わりに、吸着された金属の表面拡散速度を向上させた。したがって、表面のエントロピーは、通常よりも低かった。結晶化度を、所望の堆積物特性を達成するために、第2の電流を調節することにより制御することができる。
従来、不規則性は、より遅い堆積電流密度、化学添加剤(レベリング剤/光沢剤)、大きな電気めっき浴又は全ての側面上のアノードにより管理される。代わりに、第2の電流を印加することにより、これらの従来の実施への依存を低減する、又は、回避するための単純な手段を提供した。第2の電流により与えられる電荷の均一な分布により、縁部及び点で通常観察される不均衡な成長が減少した。その結果として、成長の均一性は、アノードの相対位置に依存することが少なくなった。
図14B及び図15Bで使用された方法下で、第1の電極の表面上で電子の高周波数移動を誘導することにより、電荷は、図14A及び図15Aにおける従来の電着を使用するよりも、表面全体にわたってより均一に分布し、その結果として、ワークピースの表面全体にわたって均一な堆積物がもたらされた。表面分布電荷は、一緒に動作する複数の機構から生じた。平均して、電極は、均一に分極され、表面近くの反応物種の均一な濃度分布をもたらした。
電着金属の付着は、酸素又は水分の存在下で金属表面上に自然酸化物層が形成されるため、困難であった。これらの層は、従来、強酸を使用し、金属表面をエッチングして除去され、その後、新たな金属が堆積されるが、いずれの点でも相当な酸素がシステムに入ることは許容されない。機械的に強い結合の形成は、高エネルギープロセスである。これは、堆積された層が基材上でのみ成長して後に容易に剥離し得る理由の一部であり、2つの第1の電極の縁部が堆積と共に成長するが、後の取り扱いでばらばらになる場合がある理由の一部である。
可逆的又は半可逆的腐食を支持する電解質化学を使用することにより、強酸による処理を、最初に表面酸化物層を溶液中で腐食させて、第1の電極の表面で裸の金属を露出させることにより回避した。腐食系表面露出を、第1の電極と対向電荷のソースとの間の第1の電流により、又は、対向電荷のソースとは独立して、第1の電極を流れる第2の電流のみにより行ってもよい。
図16に示されたように、DC又は交流AC/パルス腐食第1電流を使用した従来の表面前処理なしに、基材上への金属の優れた付着も得られた。期間Aの間、パルスを、中性電位と腐食誘発電位との間で交互にした。≧100mA/cm2での腐食により、粒界に沿った腐食を介して基材の塊片の放出が促進された。パルスは、均一又は不均一なデューティサイクルの定義されたパルス長と、破線により示されたDCオフセットとを有した。一旦、期間Aの間に表面が粗くなると、DCオフセットを、期間Bにわたってより還元電位に遷移させ、これにより、酸化電流に対する還元電流の比を、ゆっくりと大きくした。期間Cの間、パルスを、完全に中性又は還元にした。還元パルスの最終的な大きさは、その後に堆積電流を維持した大きさに等しかった。
期間Cの持続時間を、期間Aの間に著しい粗面化が生じた場合に延長してもよい。パルスの周波数を、通常、約1Hz〜約1kHz(著しい分極抵抗を有する表面ではより低い)とした。比較的遅い質量輸送速度のために、より速い周波数は無効になる。代わりに、DC電流を、期間A及びCのみに使用してもよい。DC電流に適したシステムの例は、水溶液中の最も非反応性の金属又はイオン性液体中の反応性の金属を含み、最も高度に酸化された金属種は、金属状態に還元可能なままである。
期間Bは、第1の電極上の厚いパッシベーション層を減少させるのに有効であった。従来のパルス堆積法又は逆パルス堆積法は、Fe、Al及びTiのようなより多くの反応金属上の不パッシベーション層を除去するには十分ではない。例えば、不動態化されたニッケル表面上で、パッシベーション層には、外側金属境界の上に酸化ニッケルと水酸化ニッケルとの混合物が含まれた。電荷を、完全に還元する前に、各酸化状態を通ってこの層を横断させる必要がある。対照的には、Auのような非不動態化表面上への堆積は、比較的単純な吸着及び電荷移動工程により行われた。
実施例2−表面修復
この実施例では、第1の電極の表面を再接合する際の第2の電流の有効性を実証する。図17A〜Lに、1cm2の銅電極1700上での表面平滑化の進行を示す。図17Aは、再接合プロセスが始まる前に、剪断により中央1710を切断した、一連の最初の画像である。いくつかの水平インプリント1720を、図17Aにおいてラベル付けし(同じインプリントが、図17Jまでの他の図においても明白である)、剪断後にワークピースを真っ直ぐにするために使用されるプライヤから明らかである。第1の電極、この場合、剪断された銅サンプルを、電解質(周囲温度で1/2飽和CuSO4(aq))を通る対向電荷のソースの観点から見る。
プロセスの開始時に、Cu表面に、化学的前処理を行わなかった(図17A)。亀裂充填の実証のために表面を粗くするために、銅ワークピース(第1の電極)を、100mAの第1の電流に数分間曝露した(図17B)。この高い電流密度では、第1の電極からの金属は、第1の電極の外縁から始まって、主に小さな塊で腐食した。数分後、第1の電極の表面は、実質的に粗くなった(図17C)。この粗面化は、表面酸化物を除去し、堆積した金属の付着を促進するために必要とされるよりはるかに多かったが、極端な粗さにより、第2の電流の効果の有用な視覚が提供された。
第1の電流を、対向電荷のソースから電解質を通して、15mA(−0.5V)で印加し、一方、2つの第2の電流を、銅ワークピース(第2の電極)にわたって印加した(図17D)。第1の横断電流(TC1)は、剪断から等距離のワークピース上に配置されたリード間で1MHz 3Vpp(50オーム)での正弦波とした。第2の横断電流(TC2)は、第1の横断電流と同じ属性を有するが、90°だけ位相をずらした。二次元成長が、図17D〜17Iの一連の画像に示されたように、ワークピースの表面に対して対向電荷のソースを垂直に位置決めしたにもかかわらず優勢であった。粗さの縁部における通常の電荷密度は回避された。代わりに、水平インプリント1520が充填され、図17K及び図17Lに示されたように、充填された後に消失するまでの順序でも示されている。処理が進行するにつれて、元の平滑な表面が回復し、剪断及びインプリントが充填された、比較的平滑なワークピースが得られた(図17J〜図17L)。第1の電極1700の表面の大部分が修復されると、残りの谷は、平坦な底部を有し、谷が電解質からの金属と谷の壁の金属との間に形成された新たな金属−金属結合で充填されるまで、成長が垂直に進行した。
適切な波形及びパラメータを、充填効果を誘導するように選択すべきである。この実施例を、固定された電圧、周波数、及び位相オフセットでの単純な正弦波により行った。パラメータ設定が動的であり、感覚フィードバックの場合のように、経時的に変化する表面に適応することができる場合、第1の電極の表面形状を、同時に充填し、平滑にし得る。堆積及びボンディングに影響を及ぼし得る他の要因は、他の要因の中でも、ワークピースにわたる電流を誘導するリードの位置及びワークピースに対する対向電荷のソースの位置である。
第2の電流がない場合、サンプルは、従来の電着の結果のみを実証したであろう。例えば、図17C以降では、堆積により、平滑化及び充填の代わりに粗さが伝播されたであろう。
実施例3−第2の電流制御付着
この実施例では、第2の(横断)電流を、第1の電流下での堆積又は腐食がなくても、単独で使用することができることを実証する。第2の電流のみを、高電位及び適度な周波数で使用して、十分高いスルーレートを達成した。図18A及び図18Bは、横断電流により生じた腐食に基づく表面粗化を示すワークピースの電子顕微鏡写真である。特に、30mAに制限された、34kHzでの7kVの比較的高い電圧により、5秒未満で著しい表面粗化が引き起こされた。表面は、パッシベーション層を有し、このパッシベーション層を、いくらかの金属と共にワークピースから除去した。このプロセスは、材料のより微細な除去に向けて影響を受ける場合があり、又は、このプロセスは、ワークピースと対向電荷のソースとの間の第1の電流を使用し、若しくは、第2の電流をより高い周波数若しくはより高い電力に変調することにより、腐食を増加させ得る。従来の表面前処理は、第2の電流を印加するとき、特に、最も高度に酸化された金属種が電解質中で還元可能なままである場合には不要であった。
横断電流により、電着中に現れ得る多孔性のレベルが低下した。また、この効果により、基材界面における堆積物の質を改善することによって、新たな材料がより良好に付着した。エピタキシャル成長により、堆積金属の新たな層がワークピースの結晶方位をとるようになった。このメカニズムを制御することにより、良好な付着が促進され、層及び基材が同じ材料であるか、又は、類似の格子間隔を有する2つの材料である場合に有用であった。2つの結晶学的に異なる材料では、強制的なエピタキシャル成長により、界面に蓄積された著しい歪みが生じるおそれがあり、亀裂を生じやすいであろう。ここで、横断電流を、堆積中の歪みの軽減を可能にしながら、表面を粗くするか、又は、多孔性を低減するように変調した。
実施例4−加圧粉体腐食性電極
加圧粉体腐食性電極も調査した。図19Aは、加圧粉体で形成された腐食性電極の写真である。腐食性電極は、様々なサイズ、幾何学的形状、組成及び導電性又は誘電体の混合粒子を含む対向電荷のソースでもよい。腐食性電極は、金属粒子と共にCuSO4を含み、これらを一緒に、動作中に溶解した電極として電解質を補充するためにプレスした。図19Bは、図19Aの腐食性電極を使用して形成された堆積物の電子顕微鏡写真である。
実施例5−コンピュータシステムを使用した結合
本明細書に説明されたコンピュータシステムを使用した結合を例示するために、図20の装置2000を参照する。AlCl3−EMICを含有する電解質を、主制御ユニット(MCU)2010又はアプリケータ1100の貯留部に充填する。MCU2010を、Al−Fe電解質/腐食性電極の組み合わせのために選択された第1の電流電力方式及び第2の電流電力方式を適用するようにプログラムする。装置2000は、壁プラグ2015のような外部電源から給電される。
更に図20を参照して、オペレータは、集電ケーブル2040の2つのリード線2030、2035を、第1の電極110の両方の部分113、114に取り付けて、第1の回路のための第1の電極110を分極させ、また、第1の電極110の表面を通して2つのリード線2030、2035間に第2の電流を印加してもよい。部分113、114を、第1の電極110にわたるより均一な電荷分布を確実にするために、互いに対して又は互いに直接接触させて配置する。ユーザ2050は、図11に示されたように、アプリケータ1100の先端1170、1175に組み込まれた対向電荷のソースのためのリード線2030、2035を省いてもよい。代替的に、ユーザ2050は、リード線2030、2035の両方を使用して、幅広い第2の電流を検証し、一方で、アプリケータ1100の対向電極が先端の領域にわたって第2の電流を局所化することを検証してもよい。
電解質は、約0.5μm〜約1μmの平均直径を有し、アルミニウムの2又は3原子層で被覆された多分散Fe粒子を含む。また、電解質は、EMICと共に約1:1のモル比で、溶解したAlCl3を含有する。堆積化学のより詳細については、実施例12を参照のこと。
アプリケータ内には、幅1cm、高さ1cmのペレットにプレスされた同じAl/Fe粒子を含む対向電荷のソースとしての腐食性電極が存在する。この電極が腐食すると、電解質のAl/Fe粒子濃度が補充される。各粒子がAl被覆されることにより、そうでない場合には、EMIC中のFeについて不可能であるような、電気活性のある、還元可能な表面を有した状態での溶解が可能となる。
材料の寸法及び組成は、80℃を下回る温度で安定である。したがって、オペレータは、堆積を促進するために、アプリケータの内部温度を60℃に設定してもよい。MCU2010のソフトウェアは、温度を考慮に入れてもよく、印加電力を自動的に調節してもよい。
オペレータ2050は、アプリケータ1100を操作して、第1の電極110の部分113、114の接合部500を、先端からの電解質と直接接触させてもよい。アプリケータ1100を操作することにより、オペレータ2050は、アプリケータ1100上の1つ以上の制御装置1180を作動させてもよい。これらの制御装置は、MCU2010を制御するソフトウェアで指定された電力シーケンスを実行してもよい。このシーケンスには、第1の電極を正に分極し、表面上のパッシベーション層を除去するための電流が含まれてもよい。この工程に続けて、1kHz及び10dbmの矩形波の第2の電流と5VのDCオフセットとにより、第1の電極を負にDC分極してもよい。この横断電流の波形により、溶解したAl及びAl−Fe粒子の堆積中に平滑性が付与される。また、横断電流により、堆積のために第1の電極110の2つの部分113、114により画定される隙間が活性化される。
キャパシタンス及びインピーダンス系のフィードバック測定から、堆積環境の変化をMCUに通知してもよい。フィードバックから、ワークピースと対向電荷のソースとの間の電界に懸濁又は溶解した固体を検出し得る。フィードバックから、ワークピース上の表面積の減少を検出することができ、これは、表面が平滑化されたことを示す。また、フィードバックから、接合部が新たに堆積された材料により閉じられたことも検出し得る。フィードバックから、MCUが印加電位及び電流密度を自動的に調節することが可能となる場合がある。
隙間が充填されると、DCオフセットは、0Vに低下し、一方、第2の電流は、1MHz及び−60dbmに切り替わり、接合部上の後の層に平滑性を付与し続ける。オペレータ2050は、このようにして、全ての回路を通る電解質及び電力の流れを開始、停止、又は調節してもよい。接合部500を、ワークピース110の2つの元の部分113、114と類似又は同じ化学的及び物理的特性を有する堆積材料により置き換える。
実施例6−化学薬品タンクの修復
本開示の方法は、数トンの化学薬品を貯蔵するタンクの外側の亀裂を修復するのに使用されてもよい。開示された方法により、タンク内の化学物質に引火又は反応する恐れのある、これらの修理に通常使用される熱間加工(溶接、ろう付け、切断)の危険性が回避される。また、タンクは、修復のために使用を停止する必要がなく、生産時間の損失を回避し、環境への曝露を最小限に抑える。
本方法を実施するために、亀裂の表面を洗浄して、塗料、グリース及び汚れを除去する。表面が清浄な状態で、作業者は、亀裂上にアプリケータパッチを適用する。パッチは、約100nm〜約300nmの直径を有するFe粒子を含有する粘性Fe電解質と、対向電荷のソースとしてのFe腐食性電極と、追加のFe粒子とを含む。タンクの合金に適合させるために、他の金属種を電解質に含めてもよい。パッド上の2つの接点を、亀裂の両側に配置し、これにより、第2の電流が、クラックの長さに対して横断方向に伝播する。パッチ及びいくつかの他の同様のものにより、タンク上の他の亀裂を被覆してもよい。全てのパッチが、遠隔制御可能なMCUに接続される。
作業員は、タンク付近を離れ、MCUを安全に遠隔制御する。MCUは、電気化学回路を通して腐食粗面化工程を最初に適用するようにプログラムされる。粗面化された表面を、新たな金属堆積のために下塗り(prime)する。次に、MCUは、4GHzで10dbmの第2の電流及び0.5VのDCオフセットにより、ゆっくりした堆積を続ける。第2の電流周波数は、タンク内に貯蔵された危険な化学物質を刺激しないが、十分に速いために選択される。電力は、亀裂を横切る散逸により失われる。電力を、この散逸を補償するために10dbmに設定する。
更に、電解質中のFe粒子は、亀裂の幅を充填するのに十分に小さい。Fe粒子は、横断電流、それが誘導する電位、波形における0.5VのDCオフセットの電気泳動力により方向付けられる。いくつかの例では、特に、4GHzのような荷電種の移動度を超える高周波数では、Fe粒子が大き過ぎて、高周波数で振動しない場合がある。しかしながら、横断電流は、依然として、粒子の鋭い縁部及び基材において中和作用(VAVE約0)を誘導し得る。結果として、荷電種は、表面形状に関係なく、より均一に堆積するように方向付けられる。
修復を、必要なエネルギーのみをタンクに印加することにより行い得る。修復が完了すると、作業者は、パッチをタンクから取り出す。開示された方法は、従来の危険な高温作業と比較して容易かつ安全であるため、修復を、より頻繁に行い得る。作業者又はその同僚は、修復の質を評価し、データレビュー後の標準及びプロセス管理を維持し得る。また、堆積された金属の品質及び特性は、従来の溶接よりもはるかに高く、堆積のための金属種の選択によりタンク基材に良好に適合し、従来の熱間加工修復で可能であるよりも均一である。
実施例7−腐食防止法
この実施例では、熱交換器の寿命を大きく延ばす腐食抑制システム(CSS)を説明する。長さ12’’の銅合金配管(外径1/2’’)は、80℃の排水を浄水システムから熱交換器に輸送する。この排水は、逆浸透システムの飲用水流からの溶解アンモニア及び金属イオンを含む高塩水(120g/kg)である。配管の内面は、銅合金を腐食から保護する自己回復性ポリマー被覆で薄くライニングされている。ライニングは、銅合金への排水の熱伝達に最小限にしか影響を及ぼさない。ライニングがなければ、塩及びアンモニアにより、銅合金が酸化及び腐食されるであろう。腐食により孔食が生じると、配管は、非常に破損しやすくなるであろう。
排水が配管を通って流れると、CSSは、配管の長さに沿って横断電流をモニタリングし、通過させる。このモニタリングモードでは、横断電流は、0dbm、50kHzでの正弦波形として印加され、5分毎に100周期でパルス化され、休止相が続く。自己回復性ポリマーは、配管にわたる横断方向の電界強度を均一に分布させる。電界は、横断電流の通過により生じる。排水の導電率により、この電界が減衰する。配管の外側は、1の誘電率を有する空気に対して開放され、一方、ポリマーは2.2の値を示す。これらのパラメータは、インピーダンス測定のベースラインを規定する。ライニングの完全性、温度、流体組成及び排水の流量の変化は、横断電流で測定されたベースラインインピーダンスの逸脱から検出される。
自己回復性ポリマーの温度及び圧力の限界付近での数日間の連続操作後に、ライニングに欠陥が生じ、これにより、排水が銅合金に直接接触し得る。通常、ポリマーの下の銅合金は、欠陥において腐食してくぼみ、システムの機械的完全性を損なうであろう。しかしながら、CSSにより、排水が銅合金に直接接触した時のインピーダンス信号の急激な増加により生じるベースラインインピーダンスの変化から欠陥が検出される。これに応答して、CSSは、周期的横断電流を使用するモニタリングモードから、0.2dbm及び30MHzでの連続横断電流を使用する修復モードに切り替わる。修復モードのより高い電力により、信号減衰が補償される。連続横断電流のより高い周波数が、腐食反応の速度を上回り、これにより、腐食の進行が停止され、欠陥が修復される。横断電流の波長は、配管の長さよりも短くなるように選択される。正弦波形の極性対称性は、欠陥付近の電子及びイオンの流れを乱し、通常は腐食を促進するであろう。欠陥における平均電位はゼロのままであるので、正味の変化は、横断電流において誘導されない。
腐食が安定化されると、周囲のポリマーはそれ以上損なわれない。欠陥における自己回復性ポリマーは、例えば、排水中の溶質により触媒される内部水素結合を介して回復し得る。一旦回復すると、自己回復性ポリマーは、再度、排水から銅合金を隔離する。インピーダンス信号は、ベースラインに戻る。CSSは、パルス化された横断電流を使用して、修復モードからモニタリングモードに切り替わる。
実施例8−結合方法の二次元コンピュータシミュレーション
二次元コンピュータシミュレーションにより、横断電流により誘導される電荷分布を、オフセットなし又は180°オフセットで調査した。このシミュレーションから、ワークピースの物理的トポグラフィの粗さと同様に、横断電流が電界の不均一性を誘導したことを明らかにした。これらの不均一性は、均一な堆積に対して逆効果であろう。電着と横断電流とを一緒に調節することにより、電界全体を劇的に増加させることなく、このシミュレートされた効果を克服した。
図21を参照して、シミュレートされた装置2100は、2つのアノード2120A、2120Bと、2つのセグメント(2110A、2110B)になったカソードワークピースとを含み、セグメント2110A、2110Bの間には、隙間2150があった。ワークピース2110A、2110Bは、電解質2140を通してアノード2110A、2110Bと電気的に接続していた。このシミュレーションにおいて、電解質2140は、塩水とし、「導電率(2)」パラメータは、5とし、時間は、9.75μsとし、スライスは、電界ノルム(V/m)とし、電着と横断電流との間の相対角度(phi)は、0°とした。矢印2133は、電気力線である。
図21のこのシミュレーションは、ワークピースの左領域2110A及び右領域2110Bの両方が均一にパルスされた従来のパルスめっきに類似している。ここでは、横断電流は、アノード2120A、2120Bにパルスを与えることなく、ワークピース2110A、2110Bにパルスを与える。電気力線2133の大きさは、矢印の長さにより示される。表面にわたる電界は、特に、z軸に沿って均一であった。
低い電荷密度を、青色で示し、強い電荷密度を、赤色で示す。電荷密度2122、2125は、アノード2120A、2120Bとワークピース2110A、2110Bとの間、特に、アノード2120Aの角2121、2123及びアノード2120Bの角2124、2126で最大である。隙間2150にはほとんど電荷密度が見られなかった。電気力線2133は、ワークピース2110A、2110Bに対して垂直であった。図23を参照して、振動の最小値と最大値は、約450V/mと約1050V/mとの間であった。
図22を参照して、シミュレートされた装置2200は、2つのアノード2220A、2220Bと、2つのセグメント(2210A、2210B)になったカソードワークピースとを含み、セグメント2210A、2210Bの間には、隙間2250があった。ワークピース2210A、2210Bは、電解質2240を介してアノード2210A、2210Bと電気的に接続していた。図21のシミュレーションと同様に、電解質2240は、塩水とし、「導電率(2)」パラメータは、5とし、時間は、9.75μsとし、スライスは、電界ノルム(V/m)とした。図22のシミュレーションでは、電着と横断電流との間の相対角度(phi)は、180°とし、ここで、ワークピースの左領域2210A及び右領域2210Bは、左の電圧が右の電圧と同じ大きさであるが反対の極性を有するようにパルスを受けた。矢印は、ワークピースの上方2233A及びワークピースの裏側2233Bの電気力線である。
電界2233Aは、y軸に沿って非常に強かった。横断電流が全期間にわたって循環すると、ワークピース2210A、2210Bの上の電着場の矢印2233Aの大きさは、特に、z軸に沿って不均一になった。この挙動は、y軸に沿った電界強度が均一な堆積を支援したとしても、均一な堆積に対して働いた。また、電界2233Bは、隙間2250の近くのワークピース2210A、2210Bの裏側にも誘導された。電荷密度2222、2225は、アノード2220A、2220Bとワークピース2210A、2210Bとの間で、特に、アノード2220Aの角2221、2223及びアノード2220Bの角2224、2226において最大であった。電荷密度は、隙間2250においても見られ、この場合、電気力線2233Aは、隙間2250の近くでワークピース2210A、2210Bに向かって曲がった。
図24を参照して、最大値を、6000V/m超に増加させた。z軸に沿ったこのように高い電界強度により、ワークピース上に粗さが生じ、酸化及び酸素吸着によりバーンアウトが生じる場合がある。一方で、電着を横断電流に対して逆変調することにより、横断電流が増加しても、ワークピースに垂直な電界強度を安定させ得る。この変調により、堆積の平均速度を下げることなく、より平滑な堆積をもたらされる。
実施例9−銅金属結合法を使用した結合方法
この実施例では、銅を銅及び鋼のワークピースと接合することを示し、電着と横断電流とが信号発生器においてどのように組み合わされるかを分析する。1つの実験では、厚さ0.08’’の銅シートの2つの5’’×1’’片を、それらの最長寸法に沿って接合した。関連する実験では、−300mAの電着電流を使用して、2片の鋼を接合した。従来の電着法及び本明細書に開示された結合法を使用して調製したサンプル同士を比較した。
誘電率が約2の高密度ポリエチレン(HDPE)アプリケータを使用した。電解質は、添加剤を含まないCuSO4の飽和水溶液とした。2つの銅アノード(5’’×0.54’’×0.125’’)を、隔離バッグなしに使用した。電着を、横断電流に対する電着電流のAC波形変調ありで、また、なしで進行させた。横断電流が存在する場合、横断電流を、120mAの振幅を有する正弦波形で印加して、表面に平行な電界を平衡させた。カソードにおける横断電流及び電着の等価インピーダンスは、組み合わされた場合、2.4オームであった。
図25を参照して、右側横断電流を、電気接点であるチャネルA(ChA)を介して、右側ワークピースに印加した。左側横断電流を、チャネルB(ChB)を介して左側ワークピースに印加した。ChA及びChBには、100kHzにおいて180°の位相オフセットで2つの等しい横断電流が含まれた。ChA−ChB信号の強度が上がるにつれて、電着電流は減少し、これにより、表面に対して垂直な全電流は、許容可能な公差内にとどまり、粗い堆積物を生成した。
電着電流を左右のチャネルにおける横断電流と組み合わせた場合、合成波形を得た。図26において、元の横断電流を新たな合成波形と比較した。ChAとChBとの差は、両波形で同じであった。電界のベクトルは、π−2πと比較して、0−πで変化した。この変化から、開示された方法の信号が、記載された電界変化を有さない従来のパルスめっきで使用される信号と区別された。ここでは、正味の電流は負のままであり、連続電着を容易にした。
図27を参照して、信号は、スカラ解釈における従来のパルスめっきと間違えられる可能性があった。しかしながら、この解釈は、電着及び横断電流から生じる信号成分のベクトルを考慮していない。従来のパルスめっきでは、アノードは、カソードと同じであるが反対の極性のパルスを受ける。対照的に、開示された結合法では、アノードは、図27においていくらかのパルスのみを受けた。具体的には、アノードは、組み合わせていない電着電流のパルスのみを受けた。
図28を参照して、2つのワークピース間の接合部の内側に付与された並列電流は、元の左右の横断電流及び組み合わせた横断−電着信号に比べて同じであった。電着電流及び横断電流の波形を修正することにより、接合におけるデューティサイクルを変更してもよい。例えば、80%正電流及び20%負電流のデューティサイクルにより、接合の一方の側から接合の他方の側への接合内部の材料の堆積が促進される。このデューティサイクルを、正と負との電流のバランスにより接合部の他方側からのより多くの成長が促進されるように、プロセス中に徐々に変化させてもよい。
図29を参照して、横断電流Z2と電着電流Z3とを並列に印加したときの等価インピーダンスZ1を仮定した。横断電流は、AC信号発生器、ケーブルのインピーダンス及び主に電極の低インピーダンスのために、6オームのインピーダンスで動作した。電着電流は、電解質の抵抗、横断電流と電着信号とを組み合わせたバイアスティーのインピーダンス及び全ての電極における分極抵抗のために、4オームのインピーダンスで動作した。図30において、ChA及びChBについて計算された電位は、等価インピーダンスを使用した。正確な電位は、ハードウェア、温度、濃度及び電解質のpHにより変化した。
接合された銅ワークピースの元の長さ5’’のサンプルを半分に切断して、堆積された金属の付着強度を評価した。図31及び図32に、アノードに面する縁部における金属の成長を加速させた、従来通りに処理された銅サンプルの底部のSEM画像を示す。2つのワークピース間の隙間は充分に充填されておらず、継ぎ目は弱かった。図33及び図34に、本明細書に開示された結合法により処理された銅サンプルの底部のSEM画像を示す。隙間内の強い電界により、金属が、隙間を平坦かつ均一に充填した。この平坦な幾何学的形状は、従来達成された凸状の幾何学的形状よりもはるかに強かった。堆積された金属中の細長い金属粒子は、横断電流からの電界と整列した。表面に対して垂直な電界強度に制御された横断電流に対して電着電流を変調し、一方で、表面に対して平行な電界強度が変動するのを可能にする。更に、横断電流により、ワークピースのアノードに面する縁部で通常起こるであろう金属の加速された堆積が抑制された。この抑制により、隙間が金属で満たされる前に頂部で締め付けられて閉じられることが防止され、結果として、従来の公知の方法よりもはるかに優れた接合強度が得られる。
実施例10−入射−反射法
この実施例では、反射横断電流(rTC)を生成するために、ワークピースの表面上での入射横断電流(iTC)の反射を実証した。iTC及びrTCシグナルは相互作用して、開示された結合法を使用する堆積に影響を及ぼした。
両面が銅箔で被覆されたFR1回路基板からサンプルを準備した。電着は、回路基板の両側の2つの銅アノードを使用して、−1Vで起こった。横断電流を、回路基板の各側の電気接点を介して2つのチャネルを通して印加した。両方のチャネルから、180°の位相オフセットで100kHz及び1.5Vppにおいて、横断電流を印加した。回路基板の2つの側は、直接の電気的接触を有さなかった。
入射横断電流(iTC)は、回路基板の左側から発生した。電着及び電解質がiTCからエネルギーを吸収したため、iTC信号は、回路基板の表面にわたって移動するにつれて変化した。iTC内の残りの吸収されなかったエネルギーは、回路基板の右側に遭遇するまで表面にわたって移動し続けた。iTCは反射して戻り、反射横断電流(rTC)を生成した。iTCがrTCに遭遇すると、それらのエネルギーは、池の波紋のように重なり合った。重畳により一点においてより多くのエネルギーを提供された場合、電着は、電気化学反応の速度の関数としてその点において増加した。iTCの周波数及び電力を、ワークピースの表面にわたる均一な電界を促進するために非線形に掃引し得た。代替的に、iTCの周波数及び電力は、ワークピースの表面上の特定の形状又はトポグラフィを標的とし得た。
図35及び図36を参照して、堆積された銅は、回路基板の銅とは異なる仕上がり、テクスチャ及び形態を有した。図35は、二次電子検出器(SED)から生成され、表面テクスチャ間のコントラストを示す。図36は、後方散乱電子検出器(BSD)から生成され、異なる元素の原子量における相対的な差異間のコントラストを示す。SEDから、2つの領域が微細なテクスチャにおいて異なることが示されたが、より広い形態は、領域間で類似していた。BSDから、平均元素組成が異なる領域が示された。
図37A〜図37Cでは、銅の純度が均一であったが、形態及び核形成は、わずか数ミクロン離れた領域間で異なっていた。図37Aにおける元素マッピングから、2つの領域にわたって均一な銅分布が示された。全体として、酸素濃度は低かった(図37C及びD)が、酸素レベルは、底部領域でわずかに高かった(図37B)。この濃度差は、より狭い面積がバルク中により多くの酸素を堆積したためではなく、代わりに、表面積が増大した粗さのためにより広くなったためである。したがって、より広い表面積及びより多くの酸素が、底部領域で検出器に曝された。
実施例11−Al−Fe堆積
この実施例では、粒子の共堆積によるイオン液体からの困難な合金の堆積の成功を実証した。粒子は、溶液又は腐食性アノードから生じた。腐食性アノードは、堆積中により多くの粒子が吸蔵されるため、好ましいソースであった。
イオン性液体は、トリメチルアミン塩酸塩(TMA−HCl)と尿素の1:20モル比とした。アノードは、約0.5μm〜約2μmの平均直径を有するAl粒子と、約10μm〜約1mmの平均直径を有するFe粒子とを有するAl−Fe複合材料とした。いくつかのサンプルにおいて、Feシートアノードも、電解質中に混合されたAl粒子と共に使用した。カソード基材は、鋼クーポン(3/4’’×3/4’’)とした。溶液温度は、約100℃〜約150℃とした。−1.4Vの電着電流を使用した。
図38Aは、鉄、アルミニウム及び炭素を示す堆積物の垂直断面の元素分析である。図38Bは、鉄、アルミニウム及び炭素シグナルの走査型電子顕微鏡合成写真であり、鋼基材(黄色及び青色)の表面におけるアルミニウム(オレンジ色)及び鉄(黄色)の共堆積を示す。図38C〜図38Eは、鉄(図38C)、アルミニウム(図38D)及び炭素(図38E)それぞれの二次元元素マップである。
実施例12−アルミニウム腐食性アノードからの堆積
この実施例では、ここでは金属ソースとして腐食性アノードを使用するFe−Al合金の別の堆積を実証した。この実施例では、電解質は、モル比約1:1のエチルメチルイミダゾリウム(EMIC)及びAlCl3を含有するイオン液体とした。この電解質中の活性種は、Al2Cl7であった。Alを溶液に溶解させ、鉄は、腐食性粒子アノード又はプレートアノードに由来した(上記実施例11を参照のこと)。ワークピースは、銅(1/2’’×3/4’’)とした。溶液温度は、30℃とした。電着電流は、−1.6V±0.2Vとした。
図39Aは、堆積の走査型電子顕微鏡写真である。図39B及び図39Cはそれぞれ、サンプル中のアルミニウム及び鉄の二次元元素マップであり、イオン性液体から銅ワークピース上に堆積された約1:1のアルミニウム−鉄合金を示す。図39Dは、サンプルが鉄、アルミニウム、銅、炭素、酸素及び塩素を含有したことを確認する元素分析である。
実施例13−Fe−Zn合金堆積
この実施例では、加圧粉体電極を使用したイオン性液体からのZn−Fe合金堆積を実証した。モル比1:2の塩化コリンと尿素とから、イオン性液体を調製した。堆積用の亜鉛及び鉄のソースは、アノード及び溶解塩に由来した。試験されたアノードは、鉄アノード、亜鉛アノード又は加圧粉体若しくは他の調製物から形成されたZn−Feアノードとした。0.2M ZnCl2溶液をイオン液体中で調製した。0.3MまでのFeCl3も、この溶液に添加した。ワークピースは、軟鋼(3/4’’×3/4’’)とした。溶液温度は、85℃とした。電着電流は、−1.8Vとした。
図40A〜図40Hに、5:4(mol/mol)の鉄−亜鉛合金がイオン性液体から堆積されたことを示す。図40Hに、電子顕微鏡写真(図40A)と、鉄(図40B、黄色)、亜鉛(図40C、淡青色)、炭素(図40D、シアン)、塩素(図40E、緑色)及び酸素(図40F、暗青色)の二次元元素含有量との電子顕微鏡合成写真を示し、合金を形成するための亜鉛及び鉄の共堆積を示す。図40Gに、サンプル中の元素分布を示し、サンプルが鉄、亜鉛、炭素、酸素及び塩素を含有したことを示す。
実施例14−織布ワークピース上への銅めっき
この実施例では、従来の電着による炭素布への銅結合(図41A)と、横断電流を使用する開示された結合法(図41B)とを比較した。各サンプルについて、<110>結晶面を有する銅(3’’×1’’×0.032’’)を、3k織布織炭素繊維布(3’’×1’’)に接合させた。電解質は、CuSO4飽和水溶液とした。アノードも、Cu<110>とした。結合電流密度は、0.6+/−0.02mA/mm2とした。横断電流が存在する場合、横断電流を、180°位相オフセット、5Vpp、100kHz、鋸波形を使用して、2つのチャネルを通して印加した。1つのチャネルを、銅ワークピース用に構成し、もう1つのチャネルを、炭素布用に構成した。
図41Aを参照して、炭素布4115と銅ワークピース4110との間の接合部4150は、より遠くの領域4151、4152ほど多くの新たな銅を受け取らなかった。接合部4150は、下にある炭素布4115の織り目が依然として見える隙間を有した。したがって、2つのワークピース4110、4115間の継ぎ目は非常に弱かった。接合4151、4152付近の堆積は粗かった。銅ワークピース4110上への堆積はより滑らかであり、銅ワークピース4110の<110>結晶相とよりほぼ一致した。
結合中に横断電流を印加した図41Bを参照して、炭素布4115と銅ワークピース4110との間の接合部4155は、十分な新たな銅を受け取った。接合4155は、隙間を有さなかった。下にある炭素布4155の織り目は見えなかった。したがって、2つのワークピース4110、4115間の継ぎ目は、元の銅ワークピース4110と同様の強度を有した。更に、接合部4155に隣接する領域4156及び4157も、新たな銅の厚い堆積物を有した。ワークピース4110、4115の両方にわたる堆積は平滑であり、銅ワークピース4110の<110>結晶相とほぼ一致した。
この実施例の結合方法を、織布パラアラミド合成繊維(Dupont(商標)Kevlar(登録商標))のような非導電性織布ワークピースにも適用し得る。Kevlar(登録商標)は、銅のように導電性ではなく、又は、炭素のように半導電性ではないため、織布ワークピースは、更なる加工の前に、NiCl2(aq)のような金属塩をまず含浸させる。綿布又はポリエステル布のような任意の非導電性織布ワークピースは、この方法で前処理されてもよい。処理された織布ワークピースは、アルミニウム、チタン若しくは別の金属又は合金を堆積するために記載された方法を使用して処理される。Kevlar(登録商標)又は他の非導電性ワークピースは、金属化が布地を所定の位置に固定するように、堆積前にパネルに成形されるか、又は、型に成形されてもよい。
実施例15−別個のワークピースを接合する更なる実施例
A.銅とニッケルとの接合
銅<110>ワークピース(3’’×1’’×0.032’’)を、銅を使用してニッケル<200>(約2.5’’×1’’×0.062’’)に接合した。電解質は、CuSO4飽和水溶液とした。アノードも、Cu<110>とした。電着電流密度は、0.6mA/mm2とした。横断電流を、2つのチャネルを通して印加した。ここで、一方のチャネルを、銅ワークピースに構成し、他方のチャネルを、ニッケルワークピースに構成した。横断電流を、5Vpp及び100kHzでの180°位相オフセットで、鋸波波形において印加した。これらは、実施例14での銅−炭素布と同じ横断電流条件のパラメータであった。
図42を参照して、ニッケル4215と銅ワークピース4210との間の接合部4250は、十分な新たな銅を受け取った。接合部4250は、隙間を有さなかった。したがって、2つのワークピース4210、4215の間の継ぎ目は、機械的に強かった。更に、接合部4250に隣接する領域4251及び4252も、新たな銅の厚い堆積物を有した。接合部4250は、最も新たな材料を受け取ったが、ワークピース4210、4215の両方を横切る堆積は平滑であった。
ニッケル4215と銅ワークピース4211との間の厚さの差異及び導電性の類似性は、おそらく、接合部4250が、銅4110と炭素布4115との間の接合部4155(図41B、実施例14)と同じくらい強くなかったことの原因となった。ニッケルワークピース4215の厚さは、銅ワークピース4211の厚さの2倍であったが、銅4211とニッケル4215との間の導電率は、銅対炭素繊維の導電率より近かった。接合部において大きな電位差を維持しながら、表面に対して垂直な電着場におけるスパイクを減少させるために、Vppを小さくすることができた。電着電流に対する横断電流の位相オフセットを、90°に小さくすることができた。また、この低減により、ニッケルワークピースの縁部での電流密度におけるスパイクのサイズも小さくなるであろう。縁部、特に、既により厚いニッケル縁部におけるより速い成長を抑制するために、周波数を、MHz領域に大きくすることができた。
B.黄銅とアルミニウムとの接合
別の実験では、黄銅(3’’×1’’×0.032’’)を、銅により、アルミニウム合金7075 T6(約2.5’’×1’’×0.032’’)に接合させた。電解質は、CuSO4飽和水溶液とした。水性電解質を使用したため、結合前にアルミニウムを、亜鉛で被覆した。アノードは、Cu<110>とした。電極の間隔は、1mmである。電着電流密度は、0.36+/−0.02mA/mm2で1時間とした。横断電流を、10Vpp/1App及び100Hzで1つのチャネルを介して印加した。
図43Aの写真を参照して、アルミニウム4215と黄銅ワークピース4310との間の接合部4350は、十分な新たな銅を受け取った。接合部4350は、隙間を有さなかった。したがって、2つのワークピース4310、4315間の継ぎ目は、機械的に強かった。更に、接合部4350に隣接する領域4351及び4352も、新たな銅の厚い堆積物を有した。接合部4350が最も新たな材料を受け取ったが、ワークピース4310、4315の両方を横切る堆積は平滑であった。図43Bは、接合部4350を拡大したものである。接合部4350に隣接する領域4351、4352は、堆積中の電解質中の対流からの波紋を示す。
図43Cに、1.21+/−0.02mA/mm2で更に1時間電着した後の、アルミニウム4215と黄銅ワークピース4310との間の接合部4350を示す。横断電流を、1.5Vpp/50mApp及び100Hzで、1つのチャネルを介してフォワードランプ波形で印加した。この波形は、電解質中の荷電種の拡散に予想以上に強く影響した。約3.3の電流密度の増大で電着回路に、電力がシフトした。横断電流は、約18mWPEAKに低下した。電着と横断電流とのこの組み合わせにより、接合部4350及び接合部付近の領域4351、4352における堆積の粗さが増大した。
C.銅シートの接合
この実施例では、開示された結合法を使用して、異なる条件下で、銅により接合された銅ワークピースを示す。銅シート(5’’×2’’)を、半分に切断し、材料を堆積させ、ついで、それらの接合部に沿って曲げて、機械的強度を検査した。接合部の両軸に沿った垂直剪断及び曲げ。
図44A及び図44Bに、接合部に対して垂直な横断電流により接合された銅シートを示す。サンプルを、ワークピースの両側にアノードを有するように準備した。結合電流は、0.60+/−0.02mA/mm2及び0.15+/−0.02mA/mm2とした。横断電流を、接合部から約0.75インチのワークピース中央に構成された1つのチャネルを通して印加した。横断電流は、20Vpp/800ミリアンペアピークツーピーク(mApp)及び100Hzでの正弦波形を有した。処理を、15時間行った。これらのサンプルは、機械的に強く、わずかに鈍い仕上がりを有した。
図44C及び図44Dに、光沢のある仕上げを生成したが、より大きな曲げ疲労を示した条件下で接合させた銅シートを示す。アノードを、ワークピースの両側に配置した。結合電流は、0.60+/−0.02mA/mm2及び0.15+/−0.02mA/mm2とした。横断電流を、5VのDCオフセット、100Hzの周波数で、10Vpp/66マイクロアンペアピークツーピーク(μApp)の正弦波形により、1つのチャネルを通して15時間印加した。
図44Eに、良好な強度及び粗い仕上げを有するサンプルを示す。電着電流は、0.60+/−0.02mA/mm2とした。横断電流を、5VのDCオフセット、100Hzの周波数で、10Vpp/66μAppでの正弦波形により、1つのチャネルを通して15時間印加した。
D.Fe−Sn合金による鋼同士の接合
更なる実施例では、2片の軟鋼(5’’×1’’×0.032’’)を、腐食性粒子アノードからのFe−Snにより接合させる。Teflon(商標)アプリケータを使用して、横断電流を、1つのチャネルを通して10MHzで8時間印加する。
実施例16−アルミニウムワークピースのニッケルゲル電解質による接合
この実施例では、結合プロセス中の電子密度に対する横断電流の周波数の影響を調べる。
それぞれ1’’×5’’×0.032’’の2片のアルミニウムを、硫酸ニッケル(NiSO4)ゲル電解質を使用して接合する。アルミニウムワークピースの縁部を、自然酸化アルミニウム層にかかわらず、ニッケル付着を促進するために、堆積前に亜鉛処理する。Teflon(商標)アプリケータは、ワークピース間の接合部上に電解質を保持し、15dbm未満の損失で10GHzまでの周波数に横断電流を送出する。アプリケータは、ニッケルアノードと、ワークピースとの2つの電気接点とを含む。同接点は、ワークピース間の接合部の両側に1cm未満で各ワークピースに置かれる。位相整合された横断電流を、1.42Vppで各ワークピースの長さの中間点に印加する。横断電流を、望ましくない連続的な無線周波数を発生させることなく、強力な接合に影響を及ぼすのに十分な、0.1秒間オン及び0.5秒間オフでサイクルさせる。
粘性電解質により、従来の浴の外側にニッケルを堆積させ、水よりも少ない減衰にて、より低い導電率で横断電流を伝播させる。横断電流の伝播速度は、電解質の実効誘電率(約25)の高速インピーダンス測定に基づいて、6×109cm/秒と算出される。
図45に、アプリケータ4530における、アルミニウムワークピース4510、4511を含む装置4500についての瞬間の電界強度を示す。アプリケータ4530は、「原点」を画定する。1GHzの横断電流のエネルギー分布により、ノード4513、4515及びアンチノード4512、4514、4516を有する定在波が生成される。電着又は横断電流に対するDCオフセットがない場合、電着は、赤色領域4512、4516で起こり、腐食は、赤色領域4512、4516の反対の極性を有する青色領域4514で起こる。DCオフセットが横断電流のVpp以下である場合、Vppは変化しない。
図46に、アプリケータ4630における、アルミニウムワークピース4610、4611を含む装置4600での1GHzの横断電流についての時間平均エネルギー密度を示す。アプリケータ4630は、「原点」を画定する。定在波は、ノード4613、4615及びアンチノード4612、4614、4616を有する。横断電流のVppがDCオフセットの電圧より高い場合、アンチノード4612、4614、4616においてより、ノード4613、4615で、多くの堆積又は腐食が生じる。
図47を参照して、横断電流を、装置4700内での1.35GHzの周波数で、アプリケータ4730において、ワークピース4710、4711に印加する。アプリケータ4730は、「原点」を画定する。定在波は、ノード4713、4715、4717、4719及びアンチノード4712、4714、4716、4718、4720を生成する。
図48を参照して、横断電流を、装置4800内での1.6GHzの周波数で、アプリケータ4530において、ワークピース4810、4811に印加する。アプリケータ4530は、「原点」を画定する。定在波は、ノード4813、4815、4817、4819、4821、4823及びアンチノード4812、4814、4816、4818、4820、4822、4824を生成する。
図49を参照して、横断電流を、装置4900内での220MHzの周波数で、アプリケータ4530にて当接するワークピース4910、4911に印加する。アプリケータ4530は、「原点」を画定する。横断電流波と接合部の長さとの比により、原点4914におけるワークピースが、低インピーダンスを伴う電気的短絡のように挙動する。ワークピース4912、4916の端部は終端し、開回路のように挙動し、エネルギー蓄積を生じる。接合部の長さは、横断電流波長の半分に相当し、第2の周波数は、横断電流波長の1全周期に相当する。
図50を参照して、横断電流を、装置5000内での480MHzの周波数で、アプリケータ4530においてワークピース5010、5011に印加する。アプリケータ4530は、「原点」を画定する。原点5014におけるワークピース5010、5011は、局所的なエネルギー蓄積と共に、インピーダンスの大きな増加を受ける。縁部5012、5016における高いエネルギー密度は、1λにおいてより弱い。
比較すると、1.33GHzの横断電流に対するアンチノード分布が、堆積に好ましい(図47)。1GHzは、広すぎて強すぎ(図45)、1.6GHzの横断電流のエネルギー分布は、不均一すぎる(図48)。1GHzを超えると、周期的な横断電流により、接合部に沿った堆積点の速度を人為的に変化させ、平行電界強度が大きくなり、高電流密度領域が妨げられる。1、1.33又は1.6GHzの周波数では、横断電流原点は、時間の100%のアンチノードに相当する。そこでは、原点におけるワークピース表面がアンチノードを受けないように、横断電流信号を回転させてもよい。より高い周波数の横断電流により、エネルギーがより良好に分配されるため、2つのワークピース間のより強い結合が生じる場合があり、一方、より低い周波数により、再分配金属を生じさせ得る。
実験室サンプルでは、接合部の両側のアンチノードは同一ではない。電極上の位相の差は、これらの非対称性から生じる。これらの差は、新たな金属が堆積されるにつれて変化する。横断電流をサイクルさせることは、人為的な粗いスポットの形成を避けるのに役立つ。
横断電流をいくつかの周波数にシフトさせると、定在波が変化し、これにより、ノード及びアンチノードが、ワークピースの異なる位置に当たる。ついで、腐食及び堆積処理は、ワークピースの表面にわたって分散される。平滑な仕上げは、特に、高周波数で、電着信号の変調なしに、堆積物上で達成される。
実施例17−電池の修復
この実施例では、開示された方法を使用して、電池の修復を調べる。リチウム金属コインセルを、無水で酸素を含まない不活性アルゴン雰囲気下でグローブボックス内で構築する。アノードは、Li箔を含み、電解質は、エチレンカーボネートとジメチルカーボネートとの1:1混合物であり、LiPF6を0.2M〜1.0Mの濃度で溶解させる。電池制御ユニットからコインセルにインピーダンス調節ACエネルギーを送出するために、コインセルを、充電−放電セルにロードする。充電及び放電のサイクル(析出及び溶解)の両方の間に、横断電流信号を、標準的な充電/放電電位にわたって印加する。両プロセスは、固体電解質中間相を通したLi拡散を含む。充電−放電セルとコインセルとの間に電気接点を形成する。
一例では、中心の1mmピンが、アノード表面に接触している。ピンを、コインセルのアノード表面と等しい半径を有する厚さ1mmの導電性リングの内側の中心に置く。ピンとコインセルとの間の空間を、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)ディスクにより満たす。これらの3つの部品は、充電−放電セル内のコインセルのアノード面と直接接触している。横断電流信号は、ピンにおいて生じる。リングは、接地又は第2の横断電流チャネルに接続していてもよい。誘電性PTFEにより、AC信号の均一な伝播が容易になる。
別の例では、ピン及びリングの両方が、別々の横断電流チャネルであり、180°位相オフセットでの2.4GHzの横断電流を提供する。ピンにおいて、−12dbmの正弦波が発生し、リングに沿って、−8dbmの正弦波が発生する。2分間にわたり、各チャネルでの電力が逆転し、干渉パターンが移動し、表面上で電流密度を掃引し、固体電解質中間相を通るイオンの横方向移動が促進される。この掃引により、固定イオンチャネルの形成が妨げられる。
更に別の例では、ピンにおける横断電流チャネルは、繰り返し波形を使用しない。代わりに、ピンからの入射エネルギーとアノードの外縁からの反射エネルギーとの間の一定の強め合う及び弱め合う干渉を補償する連続可変波形が放出される。強め合う干渉の領域では、局所的な電位は、Liの堆積又は溶解のための熱力学的境界を超える。弱め合う干渉の領域は、この境界を越えないため、堆積又は溶解は少なくなる。横断電流信号が変化すると、これらの強め合う点及び弱め合う点の位置は、リチウムイオンのイオン移動度と同様の制御された速度で変化する。
ピン接触により、充電−放電セルからの横断電流(入射ACエネルギー)は、Li箔の中心から外縁まで放射状に均一に分布する。入射エネルギーの波長がアノードの半径と比較して長い場合、AC電位は、表面全体にわたってほぼ同じである。波長がアノードの寸法に類似している場合、反射は、エネルギー密度及び表面電位の変化に影響を及ぼす。
充電プロセス中に、Liイオンが電解質から固体電解質中間相を通って移動し、Liアノード上に堆積すると、電磁場は、箔表面に平行に大きくなる。この増加は、固体電解質中間相におけるLi+イオンの横方向の移動を助ける。固体電解質中間相の均一性は、より多くの充電/放電サイクルにわたって安定性を達成するために、より良好に維持され得る。
いくつかの実施形態を説明してきたが、本開示の趣旨から逸脱することなく、様々な修正、代替構造及び均等物が使用され得ることが、当業者により認識されるであろう。また、開示された実施形態が不必要に曖昧になるのを避けるために、いくつかの周知のプロセス及び要素については説明していない。したがって、上記の説明は、本文書を限定するものとして解釈されるべきではない。
当業者であれば、開示された実施形態が、例えば、限定ではなく教示することを理解するであろう。したがって、上記の説明又は図面に示された事項は、例示として解釈されるべきであり、限定的な意味ではない。これらの特許請求の範囲は、記載された全ての一般的及び特定の特徴並びに言葉の問題として、それらの間にあると言うことができる本方法及びシステムの全ての記述を網羅すべきである。
例示的な実施形態
本明細書に開示される方法及び器具の例示的な実施形態を以下に列挙する。
1.
対向電荷のソースと第1の電極との間に第1の電流を誘導することであって、第1の電流は、電解質を通る、ことと、
第1の電極にわたって第2の電流を誘導することであって、第2の電流は、第1の電流に対して横断方向であり、第2の電流は、第1の電極にわたって相対論的電荷を誘導する、ことと、を含む、方法。
2.第1の電極は、作用電極である、請求項1に記載の方法。
3.電解質は、金属を含み、第1の電極は、金属縁部を有するボイドを有し、相対論的電荷は、電解質からの金属と金属縁部との間に金属−金属結合を形成させ、それによりボイドを充填させる、請求項1又は2に記載の方法。
4.ボイドは、第1の電極における亀裂、割れ目又は破損である、請求項3に記載の方法。
5.ボイドは、第1の電極の第1の部分であって、金属縁部の第1の縁部を有する、第1の部分と、第1の電極の第2の部分であって、第1の縁部に近接する金属縁部の第2の縁部を有する、第2の部分との間に隙間を形成し、相対論的電荷は、第1の縁部からの金属と電解質からの金属との間、及び第2の縁部からの金属と電解質からの金属との間に金属−金属結合を形成させ、それにより、結合された金属は、隙間を架橋して第1の部分と第2の部分との一体化された電極を形成する、請求項3に記載の方法。
6.対向電荷のソースは、第1の電極に対向する電極である、請求項1〜5に記載の方法。
7.電解質は、金属と、水、アンモニウム塩、金属塩化物、金属硫酸塩、イオン液体、イオノゲル及びこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される1種以上の化学種と、を含む、請求項1〜6に記載の方法。
8.電解質は、イオン液体を含み、イオン液体は、室温イオン液体である、請求項7に記載の方法。
9.室温イオン液体は、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムクロリドである、請求項8に記載の方法。
10.電解質は、金属粒子を含む、請求項1〜9に記載の方法。
11.第2の電流は、交流(AC)の第2の電流、又は、ACの第2の電流と直流(DC)の第2の電流との組み合わせから選択される、請求項1〜10に記載の方法。
12.第2の電流は、ACの第2の電流とDCの第2の電流との組み合わせであり、DCの第2の電流は、電解質の電気化学的破壊よりも少ない量だけACの第2の電流をオフセットする、請求項11に記載の方法。
13.第2の電流は、1つ以上の周波数の高調波に基づく複数の波形を含む波形を有し、当該1つ以上の周波数において、電解質又は第1の電極は、当該1つ以上の周波数の吸収を示す、請求項1〜12に記載の方法。
14.第2の電流は、開始周波数(onset frequency)電圧と出力アンペア数との間で、約90度の位相オフセットを有する、請求項13に記載の方法。
15.第1の電極からの遠方界放射を低減するための信号キャンセルを適用することを更に含む、請求項1〜14に記載の方法。
16.第2の電流は、電解質中の成分の拡散速度と同様の周期を有する、請求項1〜15に記載の方法。
17.
対向電荷のソースと第1の電極との間に電界を誘導することであって、この電界は、電解質を通る力線を有する、ことと、
第1の電極の表面にわたって電位を誘導することであって、誘導電位は、表面に近接する力線を屈曲させ、これにより、電解質からの金属が屈曲した力線の経路に従って進み、その金属が表面上に堆積する、ことと、を含む、方法。
18.第1の電極は、作用電極である、請求項17に記載の方法。
19.第1の電極は、金属縁部を有するボイドを有し、誘導電位は、電解質からの金属と金属縁部との間に金属−金属結合を形成させ、それによりボイドを充填させる、請求項17〜19に記載の方法。
20.ボイドは、第1の電極における亀裂、割れ目又は破損である、請求項19に記載の方法。
21.ボイドは、第1の電極の第1の部分であって、金属縁部の第1の縁部を有する、第1の部分と、第1の電極の第2の部分であって、第1の縁部に近接する金属縁部の第2の縁部を有する、第2の部分との間に隙間を形成し、相対論的電荷は、第1の縁部からの金属と電解質からの金属との間、及び第2の縁部からの金属と電解質からの金属との間に金属−金属結合をもたらし、それにより、結合された金属は、隙間を架橋して第1の部分と第2の部分との一体化された電極を形成する、請求項19に記載の方法。
22.対向電荷のソースは、第1の電極に対向する電極である、請求項17〜21に記載の方法。
23.電解質は、水、第四級アンモニウム塩、金属塩化物、イオン液体、イオノゲル及びこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される1種以上の化学種を含む、請求項17〜22に記載の方法。
24.電解質は、イオン液体を含み、イオン液体は、室温イオン液体である、請求項23に記載の方法。
25.室温イオン液体は、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムクロリドである、請求項24に記載の方法。
26.電解質は、金属粒子を含む、請求項17〜25に記載の方法。
27.第2の電流は、交流(AC)の第2の電流、又は、ACの第2の電流と直流(DC)の第2の電流との組み合わせから選択される、請求項17〜26に記載の方法。
28.誘導電位は、1つ以上の周波数の高調波に基づく複数の波形を含む波形を有し、当該1つ以上の周波数において、電解質又は第1の電極は、当該1つ以上の周波数における吸収を示す、請求項17〜27に記載の方法。
29.誘導電位は、開始周波数と出力アンペア数との間で、約90度の位相オフセットを有する、請求項28に記載の方法。
30.第1の電極からの遠方界放射を低減するための信号キャンセルを適用することを更に含む、請求項17〜29に記載の方法。
31.誘導電位は、電解質中の成分の拡散速度と同様の周期を有する、請求項17〜30に記載の方法。
32.電解質と電極の表面との間の化学ポテンシャルの存在下で、電極の表面にわたって電位を誘導することであって、誘導電位は、電極の表面を相対論的に帯電させる、ことを含む、方法。
33.相対論的電荷は、電解質からの金属と表面上の金属との間に金属−金属結合を形成させる、請求項32に記載の方法。
34.電極は、金属縁部を有するボイドを有し、相対論的電荷は、電解質からの金属と金属縁部との間に金属−金属結合をもたらし、それによりボイドを充填させる、請求項33に記載の方法。
35.ボイドは、電極の第1の部分であって、金属縁部の第1の縁部を有する、第1の部分と、電極の第2の部分であって、第1の縁部に近接する金属縁部の第2の縁部を有する、第2の部分との間に隙間を形成し、相対論的電荷は、第1の縁部からの金属と電解質からの金属との間、及び第2の縁部からの金属と電解質からの金属との間に金属−金属結合を形成させ、それにより、結合された金属は、隙間を架橋して第1の部分と第2の部分との一体化された電極を形成する、請求項34に記載の方法。
36.電解質は、金属と、水、第四級アンモニウム塩、金属塩化物、イオン液体、イオノゲル及びこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される1種以上の化学種と、を含む、請求項32〜35に記載の方法。
37.電解質は、金属粒子を含む、請求項32〜36に記載の方法。
38.誘導電位は、交流(AC)誘導電位、又は、AC誘導電位と直流(DC)誘導電位との組み合わせから選ばれる、請求項32〜37に記載の方法。
39.誘導電位は、AC誘導電位とDC誘導電位との組み合わせであって、DC誘導電位は、電解質の電気化学的破壊よりも少ない量だけAC誘導電位をオフセットする、請求項38に記載の方法。
40.誘導電位は、1つ以上の周波数の高調波に基づく複数の波形を含む波形を有し、当該1つ以上の周波数において、電解質又は電極は、当該1つ以上の周波数における吸収を示す、請求項32〜39に記載の方法。
41.誘導電位は、開始周波数と出力アンペア数との間で、約90度の位相オフセットを含む、請求項40に記載の方法。
42.電極からの遠方界放射を低減するための信号キャンセルを適用することを更に含む、請求項32〜41に記載の方法。
43.誘導電位は、電解質中の成分の拡散速度と同様の周期を有する、請求項32〜42に記載の方法。
44.第1の電極は、接合部を満たす(meeting a junction)少なくとも2つのガルバニック反応性金属を含み、第2の電流は、接合部における腐食を低減する、請求項1〜43に記載の方法。
45.第2の電流は、第1の電極の表面上の粒界から離れて電荷を分布させ、第1の電極の表面における腐食性の孔食を回避する、請求項44に記載の方法。
46.第1の電流は、第1の電極の表面における粗い形状を腐食させるのに十分な正の電位を有する、請求項1〜43に記載の方法。
47.第1の電流には、低電流密度、パルス電流密度、又は低電流密度とパルス電流密度との組み合わせが適用される、請求項46に記載の方法。
48.電解質からの金属は、第1の電極の表面上にある空の部位又は対向電荷のソースに結合し、既に結合している金属には結合しない、請求項1〜31に記載の方法。
49.対向電荷のソースと第1の電極との間に膜が配置され、対向電荷のソースは、LiMxyを含み、第1の電極は、炭素又はLi0と、Li+を含む電解質からの金属と、Li0を含む以前結合した金属と、を含む、請求項48に記載の方法。
50.金属粒子、金属イオン及びこれらの組み合わせからなる群から選択された1種以上の金属種を含む腐食性電極であって、
腐食性電極は、腐食性電極と第1の電極との間に電解質を通して第1の電流が印加されたときに溶解し、それにより、1種以上の金属種を電解質中に懸濁させる、腐食性電極。
51.1つ以上のセラミック粒子又は誘電性ポリマーを更に含む、請求項50に記載の腐食性電極。
52.腐食性の対向電荷のソースは、固体となるように互いに押し付けられることにより形成されている、請求項50又は51に記載の腐食性電極。
53.金属粒子は、第1の電極の粒径に対して選択された粒径を有する、請求項50〜52に記載の腐食性電極。
54.粗い又は非対称な寸法を有する金属粒子を含む、請求項50〜53に記載の腐食性電極。
55.球形の寸法及び均一な表面エネルギーを有する金属粒子を含む、請求項50〜54に記載の腐食性電極。
56.第1の電極にわたって誘導される第2の電流と整列する細長い寸法を有する金属粒子を含み、第2の電流は、第1の電流に対して横断方向であり、第2の電流は、第1の電極にわたって相対論的電荷を誘導する、請求項50〜55に記載の腐食性電極。
57.対向電荷のソースは、請求項50〜56に記載の腐食性電極である、請求項1〜31に記載の方法。
58.
対向電荷のソースと、
電解質を通して対向電荷のソースと電気的に接続されている第1の電極と、を備える装置であって、
第1の電流が、対向電荷のソースと第1の電極との間の電解質を通して誘導され、
第2の電流が、第1の電極にわたって誘導され、第2の電流は、第1の電流に対して横断方向であり、第2の電流は、第1の電極にわたって相対論的電荷を誘導する、装置。
59.第1の電極は、作用電極である、請求項58に記載の装置。
60.電解質は、金属を含み、第1の電極は、金属縁部を有するボイドを有し、相対論的電荷は、電解質からの金属と金属縁部との間に金属−金属結合を形成させ、それによりボイドを充填させる、請求項58又は59に記載の装置。
61.ボイドは、第1の電極における亀裂、割れ目又は破損である、請求項60に記載の装置。
62.ボイドは、第1の電極の第1の部分であって、金属縁部の第1の縁部を有する、第1の部分と、第1の電極の第2の部分であって、第1の縁部に近接する金属縁部の第2の縁部を有する、第2の部分との間に隙間を形成し、相対論的電荷は、第1の縁部からの金属と電解質からの金属との間、及び第2の縁部からの金属と電解質からの金属との間に金属−金属結合を形成させ、それにより、結合された金属は、隙間を架橋して第1の部分と第2の部分との一体化された電極を形成する、請求項60に記載の装置。
63.対向電荷のソースは、第1の電極に対向する電極である、請求項58〜62に記載の装置。
64.電解質は、金属と、水、第四級アンモニウム塩、金属塩化物、イオン液体、イオノゲル及びこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される1種以上の化学種と、を含む、請求項58〜63に記載の装置。
65.電解質は、イオン液体を含み、イオン液体は、室温イオン液体である、請求項64に記載の装置。
66.室温イオン液体は、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムクロリドである、請求項65に記載の装置。
67.電解質は、金属粒子を含む、請求項58〜66に記載の装置。
68.第2の電流は、交流(AC)の第2の電流、又は、ACの第2の電流と直流(DC)の第2の電流との組み合わせから選択される、請求項58〜67に記載の装置。
69.第2の電流は、ACの第2の電流とDCの第2の電流との組み合わせであり、DCの第2の電流は、電解質の電気化学的破壊よりも少ない量だけACの第2の電流をオフセットする、請求項68に記載の装置。
70.1つ以上の周波数の高調波に基づく複数の波形を含む波形を有する第2の電流を提供する波形発生器を更に含み、当該1つ以上の周波数において、電解質又は第1の電極は、当該1つ以上の周波数の吸収を示す、請求項58〜69に記載の装置。
71.第1の電極からの遠方界放射を低減するための信号キャンセラを更に含む、請求項58〜70に記載の装置。
72.第2の電流は、電解質中の成分の拡散速度と同様の周期を有する、請求項58〜71に記載の装置。
73.
対向電荷のソースと、
電解質を通して対向電荷のソースと電気的に接続されている第1の電極と、を備える装置であって、
対向電荷のソースと第1の電極との間に電界が誘導され、この電界は、電解質を通る力線を有し、
第1の電極の表面にわたって電位が誘導され、誘導電位は、表面に近接する力線を屈曲させ、これにより、電解質からの金属が屈曲した力線の経路に従って進み、その金属が表面上に堆積する、装置。
74.第1の電極は、作用電極である、請求項73に記載の装置。
75.第1の電極は、金属縁部を有するボイドを有し、誘導電位は、電解質からの金属と金属縁部との間に金属−金属結合を形成させ、それによりボイドを充填させる、請求項73〜75に記載の装置。
76.ボイドは、第1の電極における亀裂、割れ目又は破損である、請求項75に記載の装置。
77.ボイドは、第1の電極の第1の部分であって、金属縁部の第1の縁部を有する、第1の部分と、第1の電極の第2の部分であって、第1の縁部に近接する金属縁部の第2の縁部を有する、第2の部分との間に隙間を形成し、相対論的電荷は、第1の縁部からの金属と電解質からの金属との間、及び第2の縁部からの金属と電解質からの金属との間に金属−金属結合をもたらし、それにより、結合された金属は、隙間を架橋して第1の部分と第2の部分との一体化された電極を形成する、請求項75に記載の装置。
78.対向電荷のソースは、第1の電極に対向する電極である、請求項73〜77に記載の装置。
79.電解質は、水、第四級アンモニウム塩、金属塩化物、イオン液体、イオノゲル及びこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される1種以上の化学種を含む、請求項73〜78に記載の装置。
80.電解質は、イオン液体を含み、イオン液体は、室温イオン液体である、請求項79に記載の装置。
81.室温イオン液体は、1−エチル−3−メチルイミダゾリウムクロリドである、請求項80に記載の装置。
82.電解質は、金属粒子を含む、請求項73〜81に記載の装置。
83.第2の電流は、交流(AC)の第2の電流、又は、ACの第2の電流と直流(DC)の第2の電流との組み合わせから選択される、請求項73〜82に記載の装置。
84.1つ以上の周波数の高調波に基づく複数の波形を含む波形を有する誘導電位を提供する波形発生器を更に含み、当該1つ以上の周波数において、電解質又は第1の電極は、当該1つ以上の周波数における吸収を示す、請求項73〜83に記載の装置。
85.第1の電極からの遠方界放射を低減するための信号キャンセラを更に含む、請求項73〜84に記載の装置。
86.誘導電位は、電解質中の成分の拡散速度と同様の周期を有する、請求項73〜85に記載の装置。
87.第1の電極であって、電解質と第1の電極の表面との間の化学ポテンシャルの存在下で、第1の電極の表面にわたって電位が誘導され、誘導電位は、第1の電極の表面を相対論的に帯電させる、第1の電極。
88.相対論的電荷は、電解質からの金属と表面上の金属との間に金属−金属結合を形成させる、請求項87に記載の第1の電極。
89.第1の電極は、金属縁部を有するボイドを有し、相対論的電荷は、第1の電解質からの金属と金属縁部との間に金属−金属結合をもたらし、それによりボイドを充填させる、請求項88に記載の第1の電極。
90.ボイドは、第1の電極の第1の部分であって、金属縁部の第1の縁部を有する、第1の部分と、第1の電極の第2の部分であって、第1の縁部に近接する金属縁部の第2の縁部を有する、第2の部分との間に隙間を形成し、相対論的電荷は、第1の縁部からの金属と電解質からの金属との間、及び第2の縁部からの金属と電解質からの金属との間に金属−金属結合を形成し、それにより、結合された金属は、隙間を架橋して第1の部分と第2の部分との一体化された電極を形成する、請求項89に記載の第1の電極。
91.電解質は、金属と、水、第四級アンモニウム塩、金属塩化物、イオン液体、イオノゲル及びこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される1種以上の化学種と、を含む、請求項87〜90に記載の第1の電極。
92.電解質は、金属粒子を含む、請求項87〜91に記載の第1の電極。
93.誘導電位は、交流(AC)誘導電位、又は、AC誘導電位と直流(DC)誘導電位との組み合わせから選ばれる、請求項87〜92に記載の第1の電極。
94.誘導電位は、AC誘導電位とDC誘導電位との組み合わせであって、DC誘導電位は、電解質の電気化学的破壊よりも少ない量だけAC誘導電位をオフセットする、請求項93に記載の第1の電極。
95.誘導電位は、1つ以上の周波数の高調波に基づく複数の波形を含む波形を有し、当該1つ以上の周波数において、電解質又は電極は、当該1つ以上の周波数における吸収を示す、請求項87〜94に記載の第1の電極。
96.誘導電位は、電解質中の成分の拡散速度と同様の周期を有する、請求項87〜95に記載の第1の電極。
97.
電源及び電力変調器を含む主制御ユニットと、
電極アプリケータユニットであって、少なくとも1つの対向電荷のソースと、電極アプリケータユニットを通して電解質を流すための複数のチャネルと、を含み、主制御ユニットと接続されている、電極アプリケータユニットと、
主制御ユニットと接続された集電ケーブルと、
主制御ユニットに接続された電力制御ユニットであって、電力制御ユニットは、第1の電極と少なくとも1つの対向電荷のソースとの間に、電解質を通して第1の電流を印加し、電力制御ユニットは、第1の電極にわたって第2の電流を誘導し、第2の電流は、第1の電流に対して横断方向であり、第2の電流は、第1の電極にわたって相対論的電荷を誘導する、電力制御ユニットと、を備える装置。
98.主制御ユニットは、コンピュータ可読媒体に格納された命令を実行するためのコンピュータを更に含む、請求項97に記載の装置。
99.電力変調器及び電力制御ユニットは、コンピュータによって制御される、請求項98に記載の装置。
100.主制御ユニットは、電解質貯蔵タンクと、少なくとも1つのポンプと、電解質貯蔵タンク、少なくとも1つのポンプ、及び電極アプリケータユニットに接続されている配管と、を更に含み、これにより、配管を介して電解質貯蔵タンクから電極アプリケータユニットの複数のチャネルへ電解質を流す、請求項97〜99に記載の装置。
101.電極アプリケータユニットは、電極アプリケータユニットのチャネル内で電解質の温度を調節するための加熱ユニット又は冷却ユニットを更に含む、請求項97〜100に記載の装置。
102.集電ケーブルは、第1の電極に取り付けるためのリード線を更に含む、請求項97〜101に記載の装置。
103.少なくとも1つの対向電荷のソースは、請求項50〜56に記載の腐食性電極を含む、請求項56〜86又は97〜102に記載の装置。
104.装置は、請求項1〜49に記載の方法を実施する、請求項56〜86又は97〜102に記載の装置。

Claims (32)

  1. 対向電荷のソースと、
    電極と、
    前記電極に接触する電解質であって、前記電解質を通って前記対向電荷のソースと前記電極との間に第1の電流が流れる、電解質と、
    前記電極に結合される波形発生装置であって、前記波形発生装置は、前記電流の存在下で前記電極にわたって電気波形を誘導する、波形発生装置と、を備える、器具。
  2. 電気波形は、第2の電流である、請求項1に記載の器具。
  3. 前記電気波形は、前記電極にわたる電位である、請求項1に記載の器具。
  4. 前記電気波形は、正弦波、矩形波、三角波、ランプ波、鋸波及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項1に記載の器具。
  5. 前記電気波形は、1つ以上の周波数の高調波に基づく複数の波形を含み、前記1つ以上の周波数において、前記電解質又は前記電極は、前記1つ以上の周波数の吸収を示す、請求項1に記載の器具。
  6. 前記電気波形は、前記電解質中の成分の拡散速度に合わせた周期を有する、請求項1に記載の器具。
  7. 前記電気波形は、前記第1の電流の存在下で、前記電極に近接する電気力線を屈曲させ、前記電解質から前記電極上への金属の堆積、及び前記電極から前記電解質への金属の腐食に影響を及ぼす、請求項1に記載の器具。
  8. 前記電気波形は、前記電極を相対論的に帯電させ、前記電解質から前記電極上への金属の堆積、及び前記電極から前記電解質への金属の腐食に影響を及ぼす、請求項1に記載の器具。
  9. 前記電気波形は、前記第1の電流に対して0°〜180°のオフセットを有する、請求項1に記載の器具。
  10. 前記電気波形は、0mA/cm2より大きく300mA/cm2未満のエネルギー密度を有する、請求項1に記載の器具。
  11. 前記電気波形は、35kHz〜10GHzの周波数を有する、請求項1に記載の器具。
  12. 前記電気波形は、100kHz〜5GHzの周波数を有する、請求項1に記載の器具。
  13. 前記電気波形は、−100dbm〜100dbmの電力を有する、請求項1に記載の器具。
  14. 前記電気波形は、1〜40ボルトピークツーピーク(Vpp)の電圧を有する、請求項1に記載の器具。
  15. 前記電気波形は、−6Vより大きく6V未満の直流オフセット電圧によりオフセットされる、請求項1に記載の器具。
  16. 前記電気波形は、前記第1の電流に対して0°〜180°のオフセットと、0mA/cm2より大きく300mA/cm2未満のエネルギー密度と、35kHz〜10GHzの周波数と、100dbm〜100dbmの電力と、1〜40ボルト ピークツーピーク(Vpp)の電圧と、を有する、請求項1に記載の器具。
  17. 前記電極と電気的に接続されている一対のチャネルを更に含み、前記一対のチャネルを通して、前記第1の電流及び前記電気波形が組み合わされて前記電極に印加される、請求項1に記載の器具。
  18. 対向電荷のソースと電極との間に第1の電流を印加する、ことと、
    前記電極にわたって電気波形を印加することであって、前記電気波形は、0mA/cm2より大きく300mA/cm2未満のエネルギー密度と、35kHz〜10GHzの周波数と、を有する、ことと、を含む、方法。
  19. 前記電気波形は、前記第1の電流に対して0°〜180°のオフセットを有する、請求項18に記載の方法。
  20. 前記電気波形は、−100dbm〜100dbmの電力を有する、請求項18に記載の方法。
  21. 前記電気波形は、1〜40ボルトピークツーピーク(Vpp)の電圧を有する、請求項18に記載の方法。
  22. 前記電気波形は、−6Vより大きく6V未満の直流オフセット電圧を含む、請求項18に記載の方法。
  23. 前記電気波形は、正弦波、矩形波、三角波、ランプ波、鋸波及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項18に記載の方法。
  24. 前記電気波形は、1つ以上の周波数の高調波に基づく複数の波形を含み、前記1つ以上の周波数において、前記電解質又は前記電極は、前記1つ以上の周波数の吸収を示す、請求項18に記載の方法。
  25. 前記電気波形は、前記電解質中の成分の拡散速度と同様の周期を有する、請求項18に記載の方法。
  26. 前記電気波形は、前記第1の電流の存在下で、前記電極に近接する電気力線を屈曲させ、前記電解質から前記電極上への金属の堆積、及び前記電極から前記電解質への金属の腐食に影響を及ぼす、請求項18に記載の方法。
  27. 前記電気波形は、前記電極を相対論的に帯電させ、前記電解質から前記電極上への金属の堆積、及び前記電極から前記電解質への金属の腐食に影響を及ぼす、請求項18に記載の方法。
  28. 前記第1の電流及び前記電気波形を組み合わせた後に、一対のチャネルを通して前記電極に印加することを更に含む、請求項18に記載の方法。
  29. 前記電極は、炭素布である、請求項18に記載の方法。
  30. 前記炭素布は、単結晶面を呈する金属の層で被覆されている、請求項29に記載の方法。
  31. 前記第1の電流を印加する前又は前記電気波形を印加する前に、電極に金属を含浸することを更に含む、請求項18に記載の方法。
  32. 前記電極は、パラアラミド繊維である、請求項31に記載の方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2021066174A1 (ja) * 2019-10-04 2021-04-08
JP2022546786A (ja) * 2020-08-04 2022-11-09 寧徳新能源科技有限公司 電子設備、電気化学デバイスに使用される充電方法、端末及び記憶媒体

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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CL2018000114A1 (es) * 2018-01-15 2018-05-11 Robledo Juan Pablo Bustos Sistema para inyectar corriente alterna en los electrodos extremos de celdas electrolíticas, de manera que la corriente alterna circula en serie desde el primer hasta el ultimo electrodo y desde un el electrodo mientras la corriente continua circula en paralelo desde los ánodos a los cátodos
US11011782B2 (en) 2018-03-29 2021-05-18 Rensselaer Polytechnic Institute Methods for self-heating induced healing of metal dendrites
CN111005051B (zh) * 2018-10-08 2022-03-22 株洲中车时代电气股份有限公司 金属件表面复合涂层的制备方法
WO2020097214A1 (en) * 2018-11-06 2020-05-14 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Healing and morphogenesis of structural metal foams and other matrix materials
WO2020144142A1 (en) * 2019-01-07 2020-07-16 UCL business Limited Method of enhancing electrochemical cell performance
US11613825B2 (en) * 2019-05-28 2023-03-28 Battelle Memorial Institute Composition and method embodiments for plating metal coatings
CN110380119B (zh) * 2019-06-11 2021-05-14 深圳市比克动力电池有限公司 电池电解液用添加剂、锂离子电池电解液、锂离子电池
JP2021003761A (ja) * 2019-06-26 2021-01-14 株式会社荏原製作所 光学式表面監視装置の洗浄方法
CN110670107B (zh) * 2019-09-19 2021-09-03 中山大学 碳化钛纳米片/碳纳米管电磁屏蔽薄膜及其制备方法
US11610860B2 (en) * 2019-09-19 2023-03-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Wire bonding apparatus and wire bonding method
US11299814B2 (en) * 2019-10-30 2022-04-12 City University Of Hong Kong Method for treating a surface of a metallic structure
CN111646634B (zh) * 2020-05-11 2022-08-26 南京岱蒙特科技有限公司 一种超声耦合光电芬顿活化过硫酸盐水处理系统和处理水的方法
GB202007853D0 (en) * 2020-05-26 2020-07-08 Univ College Dublin Nat Univ Ireland Dublin Improved electroforming
KR102460219B1 (ko) * 2020-05-29 2022-11-03 엡실론 주식회사 금속 분말의 제조 방법
CN111826691B (zh) * 2020-08-21 2021-09-21 东北大学 一种溶剂化离子液体制备锌钽合金的方法
US20220255057A1 (en) * 2021-02-11 2022-08-11 Pure Lithium Corporation Modulation of Electroplated Surface Features Based on Monitored Electrical Noise
JP2024510269A (ja) * 2021-03-18 2024-03-06 イオントラ インコーポレイテッド 電池を起点及び終点とした電池加熱用供給電流及び放電信号を制御するためのシステム及び方法
CN113758987B (zh) * 2021-08-12 2024-03-19 上海大学 一种基于磁场效应测定阴极反应速率控制步骤的方法
CN114808076B (zh) * 2022-05-18 2023-07-14 南通海星电子股份有限公司 一种弯曲性能良好电极箔的制备方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5039381A (en) * 1989-05-25 1991-08-13 Mullarkey Edward J Method of electroplating a precious metal on a semiconductor device, integrated circuit or the like
JP2001123291A (ja) * 1999-10-25 2001-05-08 Hitachi Ltd めっき方法及び装置
JP2002362046A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 平版印刷版用支持体の製造方法
JP2003100790A (ja) * 2001-09-25 2003-04-04 Sharp Corp 半導体集積回路、その製造方法および製造装置
JP2009242861A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Nec Electronics Corp めっき方法、半導体装置の製造方法およびめっき処理システム
US20100122908A1 (en) * 2008-11-18 2010-05-20 Spansion Llc Electroplating apparatus and method with uniformity improvement
JP2011066447A (ja) * 1999-05-03 2011-03-31 Freescale Semiconductor Inc 半導体ウェハ上に銅層を形成する方法
JP2011195898A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Fuji Electric Co Ltd 電解めっき装置

Family Cites Families (114)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US15017A (en) * 1856-06-03 Improvement in self-registering ships compasses
US1582617A (en) 1925-06-22 1926-04-27 James A Walsh Process of electroplating metals
US3482217A (en) 1963-08-20 1969-12-02 William J Finney Electrolytic methods and apparatus for storage of information
US3431480A (en) * 1966-06-14 1969-03-04 Us Navy Method for increasing the discharge capacity of silver electrode storage batteries
US3923550A (en) * 1970-10-09 1975-12-02 Aga Ab Method and apparatus for avoiding dendrite formation when charging accumulator batteries
US3769181A (en) 1971-07-21 1973-10-30 Richardson Chemical Co Method of simultaneously electroplating and machining a metal surface
US4159231A (en) 1978-08-04 1979-06-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Interior Method of producing a lead dioxide coated cathode
US4608138A (en) 1984-02-16 1986-08-26 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Electrolytic method and apparatus
EP0368470A1 (en) * 1988-10-14 1990-05-16 Alcan International Limited Methods for depositing finish coatings on substrates of anodisable metals and the products thereof
JP2547886B2 (ja) * 1990-05-09 1996-10-23 隆久 増沢 パルス電流による電解加工法及びその装置
US5558757A (en) * 1991-12-31 1996-09-24 Atotech Deutschland Gmbh Process for improving the coating of electrolytically treated work pieces, and arrngement for carrying out the process
US5275711A (en) 1992-06-19 1994-01-04 At&T Bell Laboratories Rotating cylinder-throwing power electrode
CZ81397A3 (en) 1995-07-18 1997-11-12 Philips Electronics Nv Process and apparatus for electrochemical machining of electrically conducting object in electrolyte and electric power source
DE19547948C1 (de) 1995-12-21 1996-11-21 Atotech Deutschland Gmbh Verfahren und Schaltungsanordnung zur Erzeugung von Strompulsen zur elektrolytischen Metallabscheidung
JP2868470B2 (ja) 1996-07-09 1999-03-10 茨城日本電気株式会社 パドル回転式めっき方法およびめっき装置
US5731101A (en) 1996-07-22 1998-03-24 Akzo Nobel Nv Low temperature ionic liquids
JPH10229271A (ja) 1997-02-17 1998-08-25 Murata Mfg Co Ltd 電子装置の製造方法
JP3405517B2 (ja) 1997-03-31 2003-05-12 ティーディーケイ株式会社 電気めっき方法及び装置
US6174425B1 (en) 1997-05-14 2001-01-16 Motorola, Inc. Process for depositing a layer of material over a substrate
US6004440A (en) 1997-09-18 1999-12-21 Semitool, Inc. Cathode current control system for a wafer electroplating apparatus
US6391166B1 (en) 1998-02-12 2002-05-21 Acm Research, Inc. Plating apparatus and method
EP0998366B1 (en) * 1998-04-06 2003-01-29 Philips Electronics N.V. Method of and arrangement for electrochemical machining
EP0991795B1 (en) 1998-04-21 2006-02-22 Applied Materials, Inc. Electro-chemical deposition system and method of electroplating on substrates
CN1180133C (zh) 1998-10-14 2004-12-15 法拉第技术公司 应用调制电场在小深孔中的金属电淀积法
US6946065B1 (en) 1998-10-26 2005-09-20 Novellus Systems, Inc. Process for electroplating metal into microscopic recessed features
JP3394209B2 (ja) 1999-03-16 2003-04-07 セイコーインスツルメンツ株式会社 接合方法および接合装置
JP3737366B2 (ja) 1999-03-19 2006-01-18 東京エレクトロン株式会社 半導体装置及びその製造方法
US6368965B1 (en) 1999-03-26 2002-04-09 Advanced Micro Devices, Inc. Method for low stress plating of semiconductor vias and channels
JP3255145B2 (ja) 1999-04-06 2002-02-12 日本電気株式会社 めっき装置
JP4288010B2 (ja) 1999-04-13 2009-07-01 セミトゥール・インコーポレイテッド 処理流体の流れ具合を向上させる処理チャンバを備えた加工物処理装置
GB9925024D0 (en) * 1999-10-23 1999-12-22 Ultra Systems Limited Electrochemical machining
US8475636B2 (en) 2008-11-07 2013-07-02 Novellus Systems, Inc. Method and apparatus for electroplating
EP1276582A2 (en) 2000-04-18 2003-01-22 Koninklijke Philips Electronics N.V. Method of controlling an electrochemical machining process
FR2808291B1 (fr) 2000-04-26 2003-05-23 Mofratech Procede electrolytique d'oxydation pour l'obtention d'un revetement ceramique a la surface d'un metal
JP4439081B2 (ja) 2000-05-31 2010-03-24 日本電解株式会社 電解銅箔の製造方法とそれに用いる装置
US20050284751A1 (en) 2004-06-28 2005-12-29 Nicolay Kovarsky Electrochemical plating cell with a counter electrode in an isolated anolyte compartment
US7273535B2 (en) 2003-09-17 2007-09-25 Applied Materials, Inc. Insoluble anode with an auxiliary electrode
US7112121B2 (en) * 2000-08-30 2006-09-26 Micron Technology, Inc. Methods and apparatus for electrical, mechanical and/or chemical removal of conductive material from a microelectronic substrate
US20020145826A1 (en) 2001-04-09 2002-10-10 University Of Alabama Method for the preparation of nanometer scale particle arrays and the particle arrays prepared thereby
KR20030013046A (ko) 2001-08-06 2003-02-14 주식회사 미래소재 양극-음극-교반기 결합 일체형 전기도금장치
JP2003064499A (ja) 2001-08-20 2003-03-05 Mizuno Corp ゴルフクラブヘッドのめっき方法
US6723219B2 (en) 2001-08-27 2004-04-20 Micron Technology, Inc. Method of direct electroplating on a low conductivity material, and electroplated metal deposited therewith
JP3695703B2 (ja) 2001-10-25 2005-09-14 株式会社日立製作所 電気めっき方法、電気めっき装置及び半導体装置の製造方法及び製造装置
JP2003268597A (ja) 2002-03-18 2003-09-25 Fujitsu Ltd めっき膜の製造装置及び製造方法
US6797144B2 (en) 2002-05-08 2004-09-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Method for reducing surface defects in an electrodeposition process
JP2004047788A (ja) 2002-07-12 2004-02-12 Fujikura Ltd 半導体装置の製造方法および半導体製造装置
BR0315457B1 (pt) 2002-11-29 2012-06-26 eletrodo negativo para bateria secundária não-aquosa, processo de produção de eletrodo negativo, e bateria secundária não-aquosa.
DE10259362A1 (de) 2002-12-18 2004-07-08 Siemens Ag Verfahren zum Abscheiden einer Legierung auf ein Substrat
KR100925618B1 (ko) 2002-12-27 2009-11-06 주식회사 포스코 불용성 양극을 이용한 전기주석도금방법
JP2004263218A (ja) 2003-02-28 2004-09-24 Toppan Printing Co Ltd パターンめっき方法
US7041203B2 (en) * 2003-04-11 2006-05-09 John Timothy Sullivan Apparatus and method for generating and using multi-direction DC and AC electrical currents
US6884335B2 (en) 2003-05-20 2005-04-26 Novellus Systems, Inc. Electroplating using DC current interruption and variable rotation rate
JP2007507615A (ja) 2003-09-30 2007-03-29 アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド 基板表面に金属メッキを行う間にマルチアノード構造への電流の分配を自動制御するための方法及びシステム
JP2005171317A (ja) 2003-12-11 2005-06-30 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc めっき装置及びめっき方法
JP3785173B2 (ja) 2004-01-13 2006-06-14 Tdk株式会社 基板に電解めっきを施すめっき方法及びめっき装置
KR20050094083A (ko) 2004-03-22 2005-09-27 홍정표 균일두께의 도금층을 갖게 하는 전기도금방법 및 그도금장치
US20050261565A1 (en) * 2004-05-18 2005-11-24 Micron Medical Products Discretely coated sensor for use in medical electrodes
US7628902B2 (en) 2004-06-28 2009-12-08 Boise State University Electrochemical deposition method utilizing microdroplets of solution
US7563348B2 (en) 2004-06-28 2009-07-21 Lam Research Corporation Electroplating head and method for operating the same
JP2006089810A (ja) 2004-09-24 2006-04-06 Noge Denki Kogyo:Kk 補助陰極を使用したウエハーのめっき装置及び方法
JPWO2006038335A1 (ja) 2004-10-01 2008-05-15 国立大学法人大阪大学 電気化学的析出方法、電気化学的析出装置及び微細構造体
JP2006117963A (ja) 2004-10-19 2006-05-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd めっき装置、半導体基板および金属膜の形成方法
JP4201813B2 (ja) * 2004-11-05 2008-12-24 日本パーカライジング株式会社 金属の電解セラミックコーティング方法、金属の電解セラミックコーティング用電解液および金属材料
US20060163055A1 (en) 2005-01-27 2006-07-27 International Business Machines Corporation Apparatus for direct plating on resistive liners
JP2006283151A (ja) 2005-04-01 2006-10-19 Toshiba Corp 半導体製造方法及び半導体製造装置
JP2006328470A (ja) 2005-05-25 2006-12-07 Tousetsu:Kk 電気めっき装置
KR101311815B1 (ko) 2005-06-03 2013-10-22 보드 오브 리전츠 오브 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템 단일 패러데이 전극에서의 전기발생 화학발광 및 전기화학
TW200704789A (en) 2005-06-30 2007-02-01 Nippon Mining Co Sn-plated copper alloy bar having excellent fatigue characteristics
JP3881687B1 (ja) 2005-08-05 2007-02-14 新光電気工業株式会社 めっき金属の充填方法及びめっき金属の充填装置
JP4453840B2 (ja) 2006-02-03 2010-04-21 Tdk株式会社 電極組立体およびめっき装置
KR100783467B1 (ko) 2006-02-24 2007-12-07 삼성전기주식회사 내부 관통홀을 가지는 인쇄회로기판 및 그 제조 방법
JP2007234750A (ja) 2006-02-28 2007-09-13 Olympus Corp 接合構造体及びその製造方法
JP2007308783A (ja) 2006-05-22 2007-11-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電気めっき装置およびその方法
US20080035489A1 (en) 2006-06-05 2008-02-14 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Plating process
JP4976120B2 (ja) 2006-06-14 2012-07-18 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社 ウェハーめっき方法
JP2008025000A (ja) 2006-07-24 2008-02-07 Tousetsu:Kk 電気めっき方法及びその装置
US9822461B2 (en) 2006-08-16 2017-11-21 Novellus Systems, Inc. Dynamic current distribution control apparatus and method for wafer electroplating
TW200829726A (en) 2006-11-28 2008-07-16 Basf Ag Method and device for electrolytic coating
KR100917278B1 (ko) 2006-12-27 2009-09-16 (주)이모트 연속전주법을 이용한 이차전지 음극집전판의 전주 도금 방법
US20080202922A1 (en) * 2007-02-22 2008-08-28 Ting Zhong Hybrid electro-deposition of soft magnetic cobalt alloy films
US7837841B2 (en) 2007-03-15 2010-11-23 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatuses for electrochemical deposition, conductive layer, and fabrication methods thereof
US20080253922A1 (en) * 2007-04-13 2008-10-16 General Electric Company Method for roughening metal surfaces and article manufactured thereby
JP4977046B2 (ja) 2008-01-21 2012-07-18 Jx日鉱日石金属株式会社 エッジオーバーコート防止装置及びそれを用いた電気めっき材の製造方法
JP4857317B2 (ja) 2008-02-26 2012-01-18 新光電気工業株式会社 スルーホールの充填方法
FR2930785B1 (fr) * 2008-05-05 2010-06-11 Alchimer Composition d'electrodeposition et procede de revetement d'un substrat semi-conducteur utilisant ladite composition
US20130112564A1 (en) * 2008-05-15 2013-05-09 Solopower, Inc. Electroplating Solutions and Methods For Deposition of Group IIIA-VIA Films
JP5515257B2 (ja) 2008-09-12 2014-06-11 日産自動車株式会社 双極型二次電池
US8333941B1 (en) 2008-10-18 2012-12-18 Stc.Unm Spray pyrolysis synthesis of mesoporous NbRuyOz as electrocatalyst supports in fuel cells
DE102009023769A1 (de) * 2009-05-22 2010-11-25 Hübel, Egon, Dipl.-Ing. (FH) Verfahren und Vorrichtung zum gesteuerten elektrolytischen Behandeln von dünnen Schichten
KR20100131279A (ko) 2009-06-05 2010-12-15 (주)코선 저전류부 도금두께 균일화를 위한 랙
JP5282675B2 (ja) 2009-06-23 2013-09-04 日立電線株式会社 プリント配線板用銅箔およびその製造方法
KR20120101290A (ko) 2009-06-26 2012-09-13 후지필름 가부시키가이샤 광반사 기판 및 그 제조 방법
JP5631113B2 (ja) 2009-08-25 2014-11-26 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. ケイ化ニッケルの向上した形成方法
TWI507573B (zh) 2010-04-15 2015-11-11 Corning Inc 剝除氮化物塗膜之方法
KR101351896B1 (ko) 2010-06-28 2014-01-22 주식회사 엘지화학 케이블형 이차전지용 음극 및 이를 구비하는 케이블형 이차전지
KR101693217B1 (ko) 2010-07-20 2017-01-05 주식회사 케이엠더블유 전기도금 장치
CN101899695B (zh) * 2010-07-30 2012-05-09 福建师范大学 一种两步电镀制备镀镍铝极耳的方法
US9062388B2 (en) 2010-08-19 2015-06-23 International Business Machines Corporation Method and apparatus for controlling and monitoring the potential
JP5238795B2 (ja) 2010-11-19 2013-07-17 シャープ株式会社 電子放出素子及びその駆動方法
DE102011106294A1 (de) 2011-07-01 2013-01-03 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur wiederlösbaren, stoffschlüssigen Verbindung mindestens zweier Körper und dessen Verwendung sowie entsprechende Verbundsysteme
US9062952B2 (en) * 2011-08-08 2015-06-23 Lawrence Livermore National Security, Llc Methods and systems for electrophoretic deposition of energetic materials and compositions thereof
US20130220819A1 (en) 2012-02-27 2013-08-29 Faraday Technology, Inc. Electrodeposition of chromium from trivalent chromium using modulated electric fields
JP5722813B2 (ja) 2012-03-02 2015-05-27 Jx日鉱日石金属株式会社 電解銅箔及び二次電池用負極集電体
EA028083B1 (ru) 2012-05-21 2017-10-31 Блэклайт Пауэр, Инк. Энергетическая система ciht
US9534308B2 (en) 2012-06-05 2017-01-03 Novellus Systems, Inc. Protecting anodes from passivation in alloy plating systems
KR101935364B1 (ko) * 2012-09-26 2019-01-07 삼성전자주식회사 2차 전지의 충전 장치 및 충전 방법
US9909228B2 (en) 2012-11-27 2018-03-06 Lam Research Corporation Method and apparatus for dynamic current distribution control during electroplating
US10062928B2 (en) * 2014-04-23 2018-08-28 The University Of Akron Method for charging batteries
EP3029178A1 (en) * 2014-12-05 2016-06-08 ATOTECH Deutschland GmbH Method and apparatus for electroplating a metal onto a substrate
CN205152362U (zh) * 2015-11-10 2016-04-13 合肥华耀电子工业有限公司 一种双向脉冲可调电镀电源
US11145861B2 (en) * 2016-04-22 2021-10-12 The Regents Of The University Of Michigan Method of improved performance in metal electrodes for batteries
US11139509B2 (en) * 2016-07-13 2021-10-05 Iontra LLC Apparatus, system and method for dendrite and roughness suppression in electrochemical structures
WO2018013868A1 (en) 2016-07-13 2018-01-18 Alligant Scientific, LLC Electrochemical methods, devices and compositions
CN111712966A (zh) * 2018-01-12 2020-09-25 英奥创公司 用于抑制电化学结构中的枝晶和粗糙度的设备、系统和方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5039381A (en) * 1989-05-25 1991-08-13 Mullarkey Edward J Method of electroplating a precious metal on a semiconductor device, integrated circuit or the like
JP2011066447A (ja) * 1999-05-03 2011-03-31 Freescale Semiconductor Inc 半導体ウェハ上に銅層を形成する方法
JP2001123291A (ja) * 1999-10-25 2001-05-08 Hitachi Ltd めっき方法及び装置
JP2002362046A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd 平版印刷版用支持体の製造方法
JP2003100790A (ja) * 2001-09-25 2003-04-04 Sharp Corp 半導体集積回路、その製造方法および製造装置
JP2009242861A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Nec Electronics Corp めっき方法、半導体装置の製造方法およびめっき処理システム
US20100122908A1 (en) * 2008-11-18 2010-05-20 Spansion Llc Electroplating apparatus and method with uniformity improvement
JP2011195898A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Fuji Electric Co Ltd 電解めっき装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2021066174A1 (ja) * 2019-10-04 2021-04-08
WO2021066174A1 (ja) * 2019-10-04 2021-04-08 旭化成株式会社 非水系リチウム蓄電素子
JP7301995B2 (ja) 2019-10-04 2023-07-03 旭化成株式会社 非水系リチウム蓄電素子
JP2022546786A (ja) * 2020-08-04 2022-11-09 寧徳新能源科技有限公司 電子設備、電気化学デバイスに使用される充電方法、端末及び記憶媒体
JP7443350B2 (ja) 2020-08-04 2024-03-05 寧徳新能源科技有限公司 電子設備、電気化学デバイスに使用される充電方法、端末及び記憶媒体

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