JP2001123291A - めっき方法及び装置 - Google Patents
めっき方法及び装置Info
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- JP2001123291A JP2001123291A JP30198599A JP30198599A JP2001123291A JP 2001123291 A JP2001123291 A JP 2001123291A JP 30198599 A JP30198599 A JP 30198599A JP 30198599 A JP30198599 A JP 30198599A JP 2001123291 A JP2001123291 A JP 2001123291A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は電解めっきを行うめっき装置に関し、
被めっき物であるウエハが給電されていない状態でめっ
き液に触れた際の、ウエハ表面のエッチング及び腐食を
防ぐことを課題とする。 【解決手段】ウエハに対し常時微弱電圧を印加できる定
電圧電源及び陰極電極と、水洗槽などの前処理槽，後処
理槽でめっき処理槽と同様に給電を行える定電圧電源を
設けることで課題を解決する。また、定電流電源と定電
圧電源の出力を並列接続することにより定電圧電源の出
力のオン／オフ制御を必要とせず、電源の制御を容易に
する。 【効果】上記解決手段により、ウエハ表面のエッチング
及び腐食を防ぐことができた。また、電源の制御が容易
にできた。
被めっき物であるウエハが給電されていない状態でめっ
き液に触れた際の、ウエハ表面のエッチング及び腐食を
防ぐことを課題とする。 【解決手段】ウエハに対し常時微弱電圧を印加できる定
電圧電源及び陰極電極と、水洗槽などの前処理槽，後処
理槽でめっき処理槽と同様に給電を行える定電圧電源を
設けることで課題を解決する。また、定電流電源と定電
圧電源の出力を並列接続することにより定電圧電源の出
力のオン／オフ制御を必要とせず、電源の制御を容易に
する。 【効果】上記解決手段により、ウエハ表面のエッチング
及び腐食を防ぐことができた。また、電源の制御が容易
にできた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電解めっきを行う
めっき方法及びめっき装置に関する。
めっき方法及びめっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のめっき方法及び装置においては、
被めっき物に対してめっき処理槽でのみ給電を行ってい
た。関連するものとして、特開平10−330987号公報があ
る。
被めっき物に対してめっき処理槽でのみ給電を行ってい
た。関連するものとして、特開平10−330987号公報があ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、被め
っき物のめっき処理槽への投入時、めっき処理槽からの
払出時及び水洗処理などの前処理，後処理時に、被めっ
き物に給電が行われていない状態で被めっき物がめっき
液またはめっき液の混じった液体と触れることについて
配慮がされておらず、被めっき物がエッチングまたは腐
食される問題があった。
っき物のめっき処理槽への投入時、めっき処理槽からの
払出時及び水洗処理などの前処理，後処理時に、被めっ
き物に給電が行われていない状態で被めっき物がめっき
液またはめっき液の混じった液体と触れることについて
配慮がされておらず、被めっき物がエッチングまたは腐
食される問題があった。
【０００４】本発明の目的は被めっき物のエッチング及
び腐食を防止することにある。
び腐食を防止することにある。
【０００５】本発明の他の目的はエッチング及び腐食防
止用の定電圧電源の制御を容易にすることにある。
止用の定電圧電源の制御を容易にすることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明によるめっき装置はめっき処理槽で被めっ
き物に給電を行う定電流電源と、被めっき物に常時給電
を行う定電圧電源と、被めっき物または被めっき物を装
着するめっき治具と定電圧電源の陰極を接続する陰極電
極と、定電流電源と定電圧電源に共通な陽極電極及び電
線を設け、被めっき物に対し常時給電を行えるようにし
たものである。定電圧電源は常時微弱電圧を出力してい
る。それによって定電流電源が出力を行っていない状態
で被めっき物の一部がめっき液に触れても非常に遅い析
出速度でめっきが施されることになるので、被めっき物
がエッチングまたは腐食されることがない。
に、この発明によるめっき装置はめっき処理槽で被めっ
き物に給電を行う定電流電源と、被めっき物に常時給電
を行う定電圧電源と、被めっき物または被めっき物を装
着するめっき治具と定電圧電源の陰極を接続する陰極電
極と、定電流電源と定電圧電源に共通な陽極電極及び電
線を設け、被めっき物に対し常時給電を行えるようにし
たものである。定電圧電源は常時微弱電圧を出力してい
る。それによって定電流電源が出力を行っていない状態
で被めっき物の一部がめっき液に触れても非常に遅い析
出速度でめっきが施されることになるので、被めっき物
がエッチングまたは腐食されることがない。
【０００７】また、この発明によるめっき装置は前処理
槽及び後処理槽で被めっき物に給電を行う定電圧電源を
設け、めっき処理槽以外の処理槽で被めっき物に対し給
電を行えるようにしたものである。定電圧電源は常時微
弱電圧を出力している。それによって前処理槽及び後処
理槽で被めっき物がめっき液の混じった液体に触れる
と、非常に遅い析出速度でめっきが施されることになる
ので、被めっき物がエッチングまたは腐食されることが
ない。
槽及び後処理槽で被めっき物に給電を行う定電圧電源を
設け、めっき処理槽以外の処理槽で被めっき物に対し給
電を行えるようにしたものである。定電圧電源は常時微
弱電圧を出力している。それによって前処理槽及び後処
理槽で被めっき物がめっき液の混じった液体に触れる
と、非常に遅い析出速度でめっきが施されることになる
ので、被めっき物がエッチングまたは腐食されることが
ない。
【０００８】上記他の目的を達成するために、定電流電
源と定電圧電源の陽極を共通としている。それにより被
めっき物がめっき液に触れると、被めっき物に対して定
電流電源と定電圧電源が並列接続されていることにな
る。定電圧電源は常時微弱電圧Ｖ１を出力しているが、
定電流電源が出力を開始すると定電流電源の出力電圧Ｖ
２はＶ１に対しＶ２＞Ｖ１の関係があるため被めっき物
に対しカットオフの状態となる。それによって定電圧電
源の出力のオン／オフ制御を特別に行わなくてもよく、
電源の制御が容易になる。
源と定電圧電源の陽極を共通としている。それにより被
めっき物がめっき液に触れると、被めっき物に対して定
電流電源と定電圧電源が並列接続されていることにな
る。定電圧電源は常時微弱電圧Ｖ１を出力しているが、
定電流電源が出力を開始すると定電流電源の出力電圧Ｖ
２はＶ１に対しＶ２＞Ｖ１の関係があるため被めっき物
に対しカットオフの状態となる。それによって定電圧電
源の出力のオン／オフ制御を特別に行わなくてもよく、
電源の制御が容易になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１によ
り説明する。
り説明する。
【００１０】符号１はめっき液Ｍを貯えためっき処理
槽、２は陽極電極、３は定電流電源、４は定電圧電源、
５は定電流電源の陰極電極、６は微弱電圧印加電極（定
電圧電源の陰極電極）、７は被めっき物であるウエハＷ
１を装着しためっき治具、８はめっき治具の陰極電極、
９はめっき治具微弱電圧印加電極、１０は定電流電源の
オン／オフ制御部、Ｓは電源オン／オフ信号である。
槽、２は陽極電極、３は定電流電源、４は定電圧電源、
５は定電流電源の陰極電極、６は微弱電圧印加電極（定
電圧電源の陰極電極）、７は被めっき物であるウエハＷ
１を装着しためっき治具、８はめっき治具の陰極電極、
９はめっき治具微弱電圧印加電極、１０は定電流電源の
オン／オフ制御部、Ｓは電源オン／オフ信号である。
【００１１】本実施例の特徴となる構成は常時微弱電圧
を出力している定電圧電源４、及び移動中のウエハに電
圧を印加できる陰極電極６を備えたことである。
を出力している定電圧電源４、及び移動中のウエハに電
圧を印加できる陰極電極６を備えたことである。
【００１２】次にめっき治具７をめっき処理槽１に投入
する際及びめっき処理槽１から払出す際の状態について
図２により説明する。
する際及びめっき処理槽１から払出す際の状態について
図２により説明する。
【００１３】定電流電源３は陰極電極５とめっき治具の
陰極電極８が接触することによってウエハＷ１に給電を
行うことができるが、めっき治具７をめっき処理槽１に
投入する際、陰極電極５とめっき治具の陰極電極８が接
触する前にウエハＷ１がめっき液Ｍに触れてしまい、定
電流電源３はウエハＷ１に給電を行うことができない。
同様にめっき治具７をめっき処理槽１から払出す際、ウ
エハＷ１がめっき液Ｍに触れた状態で陰極電極５とめっ
き治具の陰極電極８が離れてしまい、定電流電源３はウ
エハＷ１に給電を行うことができない。このとき定電圧
電源４は陰極電極である微弱電圧印加電極６から微弱電
圧を出力しているので、ウエハＷ１は非常に遅い速度で
めっきが施されることになり、ウエハＷ１表面のエッチ
ング及び腐食が防げる。
陰極電極８が接触することによってウエハＷ１に給電を
行うことができるが、めっき治具７をめっき処理槽１に
投入する際、陰極電極５とめっき治具の陰極電極８が接
触する前にウエハＷ１がめっき液Ｍに触れてしまい、定
電流電源３はウエハＷ１に給電を行うことができない。
同様にめっき治具７をめっき処理槽１から払出す際、ウ
エハＷ１がめっき液Ｍに触れた状態で陰極電極５とめっ
き治具の陰極電極８が離れてしまい、定電流電源３はウ
エハＷ１に給電を行うことができない。このとき定電圧
電源４は陰極電極である微弱電圧印加電極６から微弱電
圧を出力しているので、ウエハＷ１は非常に遅い速度で
めっきが施されることになり、ウエハＷ１表面のエッチ
ング及び腐食が防げる。
【００１４】また、定電流電源３と定電圧電源４はウエ
ハＷ１と陽極電極２に対して並列接続されており、定電
圧電源は常時微弱電圧Ｖ１を出力している。定電流電源
が出力を開始すると定電流電源の出力電圧Ｖ２はＶ１に
対しＶ２＞Ｖ１の関係があるため、ウエハＷ１に対しＶ
２が支配的となりＶ１はカットオフ状態となって影響を
持たなくなる。
ハＷ１と陽極電極２に対して並列接続されており、定電
圧電源は常時微弱電圧Ｖ１を出力している。定電流電源
が出力を開始すると定電流電源の出力電圧Ｖ２はＶ１に
対しＶ２＞Ｖ１の関係があるため、ウエハＷ１に対しＶ
２が支配的となりＶ１はカットオフ状態となって影響を
持たなくなる。
【００１５】それによって定電圧電源は定電流電源のよ
うに出力のオン／オフを行う制御部１０を持たなくてよ
く、電源の制御が容易になる。
うに出力のオン／オフを行う制御部１０を持たなくてよ
く、電源の制御が容易になる。
【００１６】以下、本発明の他の実施例を図３により説
明する。
明する。
【００１７】符号１１は洗浄水などの液体Ｌを貯えた前
処理槽または後処理槽、１２は陽極電極、１３は定電圧
電源、１４は定電圧電源の陰極電極である微弱電圧印加
電極、１５はウエハＷ２を装着しためっき治具、１６は
めっき治具の陰極電極、１７はめっき治具微弱電圧印加
電極である。
処理槽または後処理槽、１２は陽極電極、１３は定電圧
電源、１４は定電圧電源の陰極電極である微弱電圧印加
電極、１５はウエハＷ２を装着しためっき治具、１６は
めっき治具の陰極電極、１７はめっき治具微弱電圧印加
電極である。
【００１８】本発明の特徴となる構成は、前処理槽及び
後処理槽にめっき処理槽と同様の陽極電極１２及び陰極
電極である微弱電圧印加電極１４と、常時微弱電圧を出
力している定電圧電源１３を備えたことである。
後処理槽にめっき処理槽と同様の陽極電極１２及び陰極
電極である微弱電圧印加電極１４と、常時微弱電圧を出
力している定電圧電源１３を備えたことである。
【００１９】次に前処理槽及び後処理槽での処理につい
て説明する。
て説明する。
【００２０】前処理槽及び後処理槽に貯えられた洗浄水
などの液体Ｌには、ウエハＷ２やめっき治具１５に付着
しためっき液が混じっており、この液体Ｌに電圧が印加
されない状態のウエハＷ２が触れると、ウエハＷ２はめ
っき液に触れたときと同様にエッチングまたは腐食され
る。このとき定電圧電源１３が微弱電圧を出力している
と、ウエハＷ２は非常に遅い速度でめっきが施されるこ
とになり、ウエハＷ２表面のエッチング及び腐食が防げ
る。
などの液体Ｌには、ウエハＷ２やめっき治具１５に付着
しためっき液が混じっており、この液体Ｌに電圧が印加
されない状態のウエハＷ２が触れると、ウエハＷ２はめ
っき液に触れたときと同様にエッチングまたは腐食され
る。このとき定電圧電源１３が微弱電圧を出力している
と、ウエハＷ２は非常に遅い速度でめっきが施されるこ
とになり、ウエハＷ２表面のエッチング及び腐食が防げ
る。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、めっき処理槽及び前処理槽，後処理槽での
ウエハ表面のエッチング及び腐食を防止できるという効
果を奏する。また、電源の制御が容易になるという効果
を奏する。
ているので、めっき処理槽及び前処理槽，後処理槽での
ウエハ表面のエッチング及び腐食を防止できるという効
果を奏する。また、電源の制御が容易になるという効果
を奏する。
【図１】本発明の一実施例のめっき装置めっき処理槽部
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】図１の補足図である。
【図３】本発明の一実施例のめっき装置前処理槽部，後
処理槽部概略構成図である。
処理槽部概略構成図である。
１…めっき処理槽、２，１２…陽極電極、３…定電流電
源、４，１３…定電圧電源、５…陰極電極、６，１４…
微弱電圧印加電極、７，１５…めっき治具、８，１６…
めっき治具陰極電極、９，１７…めっき治具微弱電圧印
加電極、１０…電源オン／オフ制御部、１１…前処理槽
または後処理槽、Ｗ１，Ｗ２…ウエハ、Ｍ…めっき液、
Ｓ…電源オン／オフ信号、Ｌ…液体。
源、４，１３…定電圧電源、５…陰極電極、６，１４…
微弱電圧印加電極、７，１５…めっき治具、８，１６…
めっき治具陰極電極、９，１７…めっき治具微弱電圧印
加電極、１０…電源オン／オフ制御部、１１…前処理槽
または後処理槽、Ｗ１，Ｗ２…ウエハ、Ｍ…めっき液、
Ｓ…電源オン／オフ信号、Ｌ…液体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近藤 祥 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 及川 玄 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 椎名 宏美 茨城県日立市弁天町三丁目10番２号 日立 協和エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 竹内 昌巳 茨城県日立市弁天町三丁目10番２号 日立 協和エンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 4K024 AB01 BA01 BB11 BB12 BC06 CA06 CA07 CB05 CB08 GA01 GA04
Claims (3)
- 【請求項１】被めっき物をめっき液中に浸漬させて電気
めっきを行うめっき方法において、被めっき物に常時微
弱電圧を印加できることを特徴とするめっき方法。 - 【請求項２】被めっき物をめっき液中に浸漬させて電気
めっきを行うめっき装置において、被めっき物の前処理
槽及び後処理槽に給電電極を設け、給電できることを特
徴とするめっき装置。 - 【請求項３】請求項１において、めっき処理槽で被めっ
き物へ給電する定電流電源と、被めっき物へ常時微弱電
圧を印加する定電圧電源を設け、これらの電源の出力は
被めっき物に対して並列に接続され、電源の出力のオン
／オフ制御は定電流電源についてのみ行い、定電圧電源
の出力は常時オンであることを特徴とするめっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30198599A JP3984767B2 (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30198599A JP3984767B2 (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | めっき装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001123291A true JP2001123291A (ja) | 2001-05-08 |
| JP3984767B2 JP3984767B2 (ja) | 2007-10-03 |
Family
ID=17903506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30198599A Expired - Lifetime JP3984767B2 (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3984767B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008041516A1 (fr) * | 2006-10-02 | 2008-04-10 | S.E.S. Co., Ltd. | procÉdÉ d'ÉlectrodÉposition |
| JP2008111197A (ja) * | 2008-01-18 | 2008-05-15 | Ses Co Ltd | 電気めっき方法 |
| JP2009249653A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Ses Co Ltd | 電気めっき方法 |
| WO2011033916A1 (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法および記憶媒体 |
| JP2013541412A (ja) * | 2010-09-13 | 2013-11-14 | ヒェメタル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 表面をコーティングする方法と、この方法でコーティングされた対象物の使用 |
| KR20190060757A (ko) * | 2016-07-13 | 2019-06-03 | 아이온트라 엘엘씨 | 전기화학 방법, 디바이스 및 조성물 |
| JP2019533768A (ja) * | 2016-11-14 | 2019-11-21 | タタ、スティール、アイモイデン、ベスローテン、フェンノートシャップＴａｔａ Ｓｔｅｅｌ Ｉｊｍｕｉｄｅｎ Ｂｖ | コーティングされていない鋼ストリップをめっき層で電気めっきする方法 |
-
1999
- 1999-10-25 JP JP30198599A patent/JP3984767B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008041516A1 (fr) * | 2006-10-02 | 2008-04-10 | S.E.S. Co., Ltd. | procÉdÉ d'ÉlectrodÉposition |
| JP2008111197A (ja) * | 2008-01-18 | 2008-05-15 | Ses Co Ltd | 電気めっき方法 |
| JP2009249653A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Ses Co Ltd | 電気めっき方法 |
| WO2011033916A1 (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法および記憶媒体 |
| JP2013541412A (ja) * | 2010-09-13 | 2013-11-14 | ヒェメタル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 表面をコーティングする方法と、この方法でコーティングされた対象物の使用 |
| US9539611B2 (en) | 2010-09-13 | 2017-01-10 | Chemetall Gmbh | Method for coating surfaces and use of the articles coated using said method |
| KR20190060757A (ko) * | 2016-07-13 | 2019-06-03 | 아이온트라 엘엘씨 | 전기화학 방법, 디바이스 및 조성물 |
| JP2019525009A (ja) * | 2016-07-13 | 2019-09-05 | イオントラ リミテッド ライアビリティ カンパニー | 電気化学的方法、装置及び組成物 |
| KR102501328B1 (ko) * | 2016-07-13 | 2023-02-20 | 아이온트라 엘엘씨 | 전기화학 방법, 디바이스 및 조성물 |
| JP7358238B2 (ja) | 2016-07-13 | 2023-10-10 | イオントラ インコーポレイテッド | 電気化学的方法、装置及び組成物 |
| JP2019533768A (ja) * | 2016-11-14 | 2019-11-21 | タタ、スティール、アイモイデン、ベスローテン、フェンノートシャップＴａｔａ Ｓｔｅｅｌ Ｉｊｍｕｉｄｅｎ Ｂｖ | コーティングされていない鋼ストリップをめっき層で電気めっきする方法 |
| JP7066707B2 (ja) | 2016-11-14 | 2022-05-13 | タタ、スティール、アイモイデン、ベスローテン、フェンノートシャップ | コーティングされていない鋼ストリップをめっき層で電気めっきする方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3984767B2 (ja) | 2007-10-03 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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