JP2019516125A - リソグラフィ・マシンの露光に用いるシャッタ・デバイスおよびその使用方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1)予熱または環境制御によって、高圧水銀ランプの出力光パワーを安定させる。
2)露光時間を算出し、露光を有効にするためにシャッタを開き、そして同時にタイマをスタートさせる。
3)露光時間の満了に応じて、露光を無効にするためにシャッタを閉める。
S1)シャッタ羽根、回転モータ、コントローラおよび支持体を組立てるステップであって、シャッタ羽根は、回転中央と、回転中央と関連して配置される少なくとも1つの開放部と、少なくとも1つのシールド部とを含む、ステップ、そして、
S2)露光有効領域および露光無効領域を形成するためにシャッタ・デバイスが開閉されるように、シャッタ羽根を回転させるためにコントローラの管理下で回転モータを起動させるステップ、
を含む、フォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法を提供する。
[実施形態1]
[実施形態2]
[実施形態3]
[実施形態4]
11…回転中央
12…開放部
13…シールド部
131…空洞部分
132…スキャン遮光部分
2…回転モータ
3…支持体
4…結合ブロック
5…減速機
6…光ビーム
Claims (18)
- フォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスであって、シャッタ羽根、回転のために前記シャッタ羽根を駆動するための回転モータ、前記回転モータと電気的に接続されるコントローラ、および前記回転モータを支持するための支持体、を含み、前記シャッタ羽根は、回転中央と、前記回転中央と関連して配置される少なくとも1つの開放部と、少なくとも1つのシールド部とを含み、前記回転中央は、前記回転モータに連結され、露光を有効におよび無効にするために前記シャッタ・デバイスが開閉されるように、前記回転モータは、前記シャッタ羽根を回転するように駆動する、フォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- 前記シャッタ羽根の前記回転中央と前記回転モータとの間に結合ブロックが配置される、請求項1に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- 前記回転モータと前記結合ブロックとの間に減速機が配置される、請求項2に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- 前記支持体は、前記減速機に固定して接続される、請求項3に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- 前記シャッタ羽根は、1つの開放部および1つのシールド部を含み、前記開放部および前記シールド部の各々は180度の中心角を有する、請求項1に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- 前記シャッタ羽根は、前記回転中央に関して左右対称に2つの開放部、および、前記回転中央に関して左右対称に2つのシールド部を含み、前記開放部および前記シールド部の各々は90度の中心角を有する、請求項1に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- 前記シャッタ羽根は、3つの開放部および3つのシールド部を含み、前記3つの開放部および前記3つのシールド部は、前記回転中央の周りに互いにずれていて、前記開放部および前記シールド部の各々は60度の中心角を有する、請求項1に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- 前記シールド部は、内側の空洞部分および、前記回転中央に関して前記内側の空洞部分と同心である外側のシールド部分を含む、請求項1に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- 前記空洞部分は扇形であり、前記シールド部分は環状の形である、請求項8に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- 露光有効領域および露光無効領域を形成するために前記回転モータによる前記シャッタ羽根の駆動の間、前記回転モータおよび/または前記シャッタ羽根は、ゼロ以外の速度で回転する、請求項1に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイス。
- フォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法であって、
S1)シャッタ羽根、回転モータ、コントローラおよび支持体を組立てるステップであって、前記シャッタ羽根は、回転中央と、前記回転中央と関連して配置される少なくとも1つの開放部と、少なくとも1つのシールド部とを含む、ステップ、そして、
S2)露光有効領域および露光無効領域を形成するために前記シャッタ・デバイスが開閉されるように、前記シャッタ羽根を回転させるために前記コントローラの管理下で前記回転モータを起動させるステップ、
を含む、フォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法。 - 前記シールド部は、内側の空洞部分および、前記回転中央に関して前記内側の空洞部分と同心である外側のシールド部分を含む、請求項11に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法。
- 前記空洞部分は扇形であり、前記シールド部分は環状の形である、請求項12に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法。
- ステップS2において、露光有効領域および露光無効領域を形成する間、そして前記コントローラの管理下での前記回転モータの起動後に、前記シャッタ羽根は、加速−一定速度−減速−静寂−加速サイクルを経験させられる、請求項11に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法。
- 前記シャッタ羽根の加速および減速は、前記シャッタ・デバイスの閉鎖状態の間、達成され、一方、前記シャッタ・デバイスの開放状態の間、前記シャッタ羽根は一定速度で回転する、請求項14に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法。
- ステップS2において、露光有効領域および露光無効領域を形成する間、そして前記コントローラの管理下での前記回転モータの起動後に、前記シャッタ羽根は、加速−一定速度−減速−一定速度−加速サイクルを経験させられる、請求項11に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法。
- 前記シャッタ羽根の加速および減速は、前記シャッタ・デバイスの閉鎖状態の間、達成され、一方、前記シャッタ・デバイスの開放状態の間、前記シャッタ羽根は一定速度で回転する、請求項16に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法。
- 前記回転モータが加速後に回転する一定速度は、前記回転モータが減速後に回転する一定速度の10倍以上である、請求項16に記載のフォトリソグラフィ・マシンによる露光に用いるシャッタ・デバイスの使用方法。
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