KR100558403B1

KR100558403B1 - 광 조사장치

Info

Publication number: KR100558403B1
Application number: KR1020010070716A
Authority: KR
Inventors: 아다치히데히코
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2000-11-14
Filing date: 2001-11-14
Publication date: 2006-03-10
Also published as: TW515912B; JP2002148555A; KR20020037703A; JP3832230B2

Abstract

본 발명은 2개의 셔터 날개로 이루어지는 셔터를 가지고, 셔터가 닫힌 상태인 경우에 차광 기능을 발휘함과 동시에, 열린 상태인 경우에 광원 램프로부터의 광을 반사하여 피처리물의 처리를 행할 수 있고, 또한 셔터 날개를 정지할 때의 충격이 없는 또는 매우 작은 광 조사장치를 제공하는 것으로서, 봉 형상의 광원 램프를 구비하고, 2개의 셔터 날개로 이루어지는 셔터와, 해당 셔터 날개의 각각을 닫힌 위치와 열린 위치 사이에서 회전시켜 구동하는 셔터 날개 구동수단으로 구성되고, 닫힌 상태에서 차광 기능을 가지고, 열린 상태에서 반사 기능을 가지는 셔터 기구를 구비하고, 각각의 셔터 날개의 회전 중심축은 셔터가 열린 상태에 있을 때는 각각의 셔터 날개의 반사 미러가 광원 램프에 대해 대칭으로 됨과 동시에, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때는 각각의 셔터 날개의 첨단부가 서로 겹치도록, 열린 상태에 있을 때의 반사 미러의 대칭축에 대해 비대칭이 되는 위치에 배치되어 있다.

Description

광 조사장치{Light irradiation apparatus}

도1은 본 발명의 광 조사장치의 구성의 일례를 개략적으로 도시하는 설명도로, 셔터 기구가 열린 상태에 있는 경우를 도시한다.

도2는 도1의 광 조사장치에 있어서, 셔터 기구가 닫힌 상태에 있는 경우를 나타내는 설명도이다.

도3은 도1의 광 조사장치에 있어서의 회전 링크와 연접봉의 연결부분을 나타내는 설명도이다.

도4는 원판 및 요동 아암의 각각의 운동의 상관 관계를 나타내는 설명도이다.

도5는 본 발명의 광 조사장치의 구성의 다른 예를 개략적으로 도시하는 설명도이다.

도6은 본 발명의 광 조사장치의 구성의 또 다른예를 개략적으로 도시하는 설명도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 광 조사장치 11 : 램프 하우스

11A : 상부실 11B : 하부실

12 : 광 조사구 12A : 출사창

13 : 칸막이 판 15 : 광원 램프

20 : 셔터 기구 21A, 21B : 셔터 날개

22A, 22B : 셔터 날개 구동수단 23A, 23B : 회전 중심축

S : 광 반사면의 대칭축 25 : 원판

26A, 26B : 연접봉 27A, 27B : 요동 아암

29 : 연접봉과 요동 아암의 연결점

30 : 돌기부 31 : 스토퍼

35 : 구동원 36 : 회전축

40 : 보조 반사 미러

본 발명은 셔터기구를 가지는 광 조사장치에 관한 것으로, 자세하게는 닫힌 상태에서는 차광 셔터로서 기능하고, 열린 상태에서는 반사 미러로서 기능하는 셔터기구를 가지는 광 조사장치에 관한 것이다.

자외광을 조사하는 광원 램프를 구비한 광 조사장치를 이용하여 예컨대 피처리물의 보호막, 접착제, 도료, 잉크, 포토 레지스트 등에 대해 자외광을 조사함으로써, 경화, 건조, 용융 혹은 연화(軟化)처리 등을 행하는 것이 각 분야에서 폭넓게 행해지고 있다. 여기서, 자외광을 조사하는 광원 램프로는 단시간에 피처리물의 처리를 행할 수 있는 것으로부터 출력이 크고, 예컨대 봉 형상의 고압 수은 램프나 메탈할로겐화 램프 등의 방전 램프가 적합하게 사용되고 있다.

이러한 광 조사장치에서, 광원 램프가 짧은 사이클로 반복하여 점등 또는 소등시킬 수 없는 경우, 해당 광원 램프와 동등 또는 그 이상의 길이를 가지는 셔터와, 이를 구동하는 구동수단으로 이루어지는 셔터장치가 형성되고, 피처리물에 대해 자외광을 조사하지 않는 경우에는 셔터가 닫힌 상태로 되고, 피처리물에 대해 자외광을 조사하는 경우에는 셔터가 열린 상태로 되어 사용된다. 이러한 셔터장치에 있어서는 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에, 광원 램프로부터의 광이 새지 않는 것이 필요하다.

광 조사장치에 이용되는 셔터장치에 관해서는 종래부터 다양한 구성의 것이 제안되고 있고, 예컨대 실공평 6-12826호 공보에는 각각이 광원 램프에 평행한 축의 주위에 회전 가능하게 된 상태에서 광원 램프에 대해 대칭으로 배치된 2개의 장판상(長板狀) 미러로 이루어지는 셔터와, 장판상 미러의 각각에 형성된 구동기구로 구성되고, 셔터가 열린 상태에 있을 때에 반사 거울의 기능을 발휘하고, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에 차광 셔터의 기능을 발휘하는 광 조사기의 셔터 장치가 개시되어 있다.

이 셔터장치에 있어서는 장판상 미러의 각각의 첨단부에 각각 형상이 다른 차광 편부(片部)가 형성되어 있고, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에, 각각의 장판상 미러의 차광 편부를 중합한 상태로 되어, 누광이 방지되는 구성으로 되어 있다.

그러나, 이러한 셔터 장치에서는 차광 편부를 형성함으로써, 장판상 미러의 구조가 복잡해짐과 동시에, 차광 편부의 형상이 각각의 장판상 미러에서 다르기 때 문에, 2개의 장판상 미러에 대해 동일한 것을 이용할 수 없어, 결국 제조 비용이 비싸게 되어, 유리하게 제조할 수 없다.

한편, 셔터를 열린 상태에서 닫힌 상태로 이행시키는 경우에는 셔터가 닫힌 상태에 있을 때의 누광을 방지하면서, 또한 각각의 장판상 미러의 차광 편부끼리 충돌하는 것을 방지하기 때문에, 셔터 부재를 어느 정도 높은 위치 정밀도로 정지시키는 것이 요구된다.

이러한 요구에 대해, 예컨대 특허 제3031843호 공보에는 회전 가능하게 된 2개의 셔터 부재로 이루어지는 셔터를 구비하고, 한쪽 셔터 부재의 회전축이 구동 모터에 연결되는 동시에, 다른쪽 셔터 부재의 회전축이 예컨대 섹터 기어를 통해 한쪽 셔터 부재의 회전축에 연결되고, 종동측으로 되는 다른쪽 셔터 부재의 회전축의 회전 범위를 규제하는 한쌍의 스토퍼가 형성된 셔터장치가 개시되어 있다.

이 셔터장치에 의하면, 종동측의 셔터 부재에 부착된 섹터 기어가 스토퍼에 충돌하여, 셔터가 열린 상태 또는 닫힌 상태에 있어서의 소정의 위치에 셔터 부재를 정지시킬 수 있다.

그러나, 이러한 셔터 장치에 있어서는 셔터 부재는 등속도로 회전되는 구동 모터의 회전속도로 구동되기 때문에, 셔터의 개폐 동작시마다, 셔터 부재의 섹터 기어가 구동 모터의 회전속도로 스토퍼에 충돌함으로써, 섹터 기어가 스토퍼에 충돌할 때의 충격이 그대로 셔터 부재에 전달된다. 이에 따라 특히, 셔터 부재의 내면에 형성되는 반사 미러가 유리판에 유전체막을 증착하여 자외광만을 반사하도록 제작한 콜드 미러인 경우에, 파손될 염려가 있다.

또한, 최근에는 자외광 조사량의 정확한 제어나 스루 풋(throughput, 처리량)의 향상이라는 관점에서 셔터의 개(열림) 동작 또는 폐(닫힘) 동작을 예컨대 0.1∼0.3초 동안이라는 단시간중에 완료하는 것이 요구되고 있다. 이러한 경우에는 구동 모터의 회전속도를 빠르게 하면 좋지만, 회전속도의 증가에 따라 상기 섹터 기어가 스토퍼에 충돌하여 정지할 때 셔터 부재에 전달되는 충격도 커지기 때문에, 셔터 부재에 있어서의 반사 미러가 파손되기 쉬워진다.

본 발명은 이상과 같은 사정에 따라 이루어진 것으로, 그 목적은 2개의 셔터 날개로 이루어지는 셔터를 구비한 셔터기구를 가지고, 셔터 날개에 특별한 차광용 부재를 설치하지 않아도, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에 광원 램프로부터의 광을 확실하게 차광할 수 있고, 또한 셔터가 열린 상태에 있을 때에 광원 램프로부터의 광을 반사하여, 피처리물의 처리를 행할 수 있는 광조사 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 다른 목적은 셔터 날개를 정지할 때의 충격이 없는 또는 매우 작은 광 조사장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 광 조사장치는 봉 형상의 광원 램프를 구비하고, 각각, 해당 광원 램프와 평행한 축의 주위에 회전 가능하게 배치된 2개의 셔터 날개로 이루어지는 셔터와, 해당 셔터 날개의 각각을 닫힌 위치와 열린 위치 사이에서 회전시켜 구동하는 셔터 날개 구동수단으로 구성되고, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에는 광원 램 프로부터의 광을 차광하고, 셔터가 열린 상태에 있을 때에는 해당 셔터 날개의 각각의 내면에 있어서의 반사 미러에 의해 광원 램프로부터의 광을 반사하여 조사하는 셔터 기구를 가지는 광 조사장치에 있어서,

각각의 셔터 날개의 회전 중심축은 셔터가 열린 상태에 있을 때는 각각의 셔터 날개에 있어서의 반사 미러가 광원 램프에 대해 대칭이 됨과 동시에, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에는 각각의 셔터 날개의 첨단부가 서로 겹치도록 열린 상태에 있을 때의 반사 미러의 대칭축에 대해 비대칭이 되는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 광 조사장치에 있어서, 셔터 날개 구동수단은 180°의 각도범위에서 회전하는 회전 링크를 포함하는 링크기구로 이루어지고, 해당 회전 링크의 회전 운동을 요동 운동으로 변환하여 셔터 날개에 전달함으로써, 해당 셔터 날개를 회전 중심축 주위에 회전시키는 것을 특징으로 한다.

상기의 구성에 의하면, 각각의 셔터 날개의 첨단부의 회전 반경이 다르므로, 셔터의 개폐동작에 있어서, 각각의 셔터 날개를 동시에 회전시킨 경우라도 각각의 셔터 날개의 첨단부가 서로 간섭하지 않는 상태를 용이하게 실현할 수 있음과 동시에, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때는 2개의 셔터 날개의 첨단부가 서로 겹치기 때문에, 특별한 차광용 부재를 이용하지 않고, 셔터 날개만으로 누광을 확실히 방지할 수 있다.

또한, 셔터 날개 구동수단이 상기와 같은 구성임에 따라 회전 링크의 회전 각도가 180°에 접근함에 따라, 각각의 셔터 날개는 그 구동속도가 점차 감속되어 정지하기 때문에, 정지시의 충격이 0 또는 매우 작아져 셔터 날개의 반사 미러 등이 파손되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

<발명의 실시 형태>

이하, 도면을 참조하여, 본 발명에 관해 상세하게 설명한다.

도1 및 도2는 본 발명의 광 조사장치의 구성의 일례를 개략적으로 도시하는 설명용 단면도로, 셔터가 열린 상태에 있는 경우 및 셔터가 닫힌 상태에 있는 경우의 광원 램프에 수직인 단면을 각각 나타내고 있다.

이 광 조사장치(10)는 하측방으로 개구하는 광 조사구(12)를 가지고, 칸막이 판(13)에 의해 상하로 구획된 상부실(11A) 및 하부실(11B)을 형성하는 램프 하우스(11)를 구비하고 있고, 하부실(11B)의 중앙부의 상측방 위치에는 봉 형상의 광원 램프(15)가 광 조사구(12)에 대해 평행(지면에 대해 수직인 방향)하게 신장되는 상태로 배치되어 있다.

도면에서 광 조사구(12)에는 석영창(12A)이 형성되어 있는데, 이는 필수 구성요건은 아니다.

이 광 조사장치(10)에는 광원 램프(15)의 길이와 동등 또는 그 이상의 길이를 가지고, 광 반사면을 가지는 2개의 셔터 날개(21A, 21B)로 이루어지는 셔터와, 이들 셔터 날개(21A, 21B)의 각각을 닫힌 위치와 열린 위치 사이에서 회전시켜 구동하는 셔터 날개 구동수단(22A, 22B)으로 이루어지는 셔터기구(20)가 형성되어 있고, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때는 광원 램프(15)로부터의 광을 차광하는 셔터기능을 가지고, 셔터가 열린 상태에 있을 때에는 광원 램프(15)로부터의 광을 반사하여 광 조사구(12)로 향해 조사하는 반사기능을 가진다. 여기에, 셔터에 대해 「열린 상태」란 도1에 도시하는 바와같이 2개의 셔터 날개(21A, 21B)가 모두 열린 위치에 있는 상태를 말하고, 「닫힌 상태」란 도2에 도시하는 바와같이 2개의 셔터 날개(21A, 21B)가 모두 닫힌 위치에 있는 상태를 말한다.

2개의 셔터 날개(21A, 21B)는 셔터가 열린 상태에 있을 때에, 전체가 예컨대 홈통상태로 되도록 광원 램프(15)에 대해 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 광 반사면이 대칭 배치되어 있고, 각각, 광원 램프와 평행한 회전 중심축(23A, 23B)의 주위에 회전 가능하게 되어 있다.

각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 내면에 있어서의 광 반사면은 자외광만을 반사하도록 설계된 예컨대 이산화티타늄(TiO₂)의 박층과 이산화실리콘(SiO₂)의 박층이 석영판에 교대로 적층되어 이루어지는 유전체 다층 증착막에 의해 형성되어 있다.

한쪽 셔터날개(21A)의 회전 중심축(23A)과 다른쪽 셔터 날개(21B)의 회전 중심축(23B)이란 셔터가 열린 상태에 있을 때의 광 반사면의 대칭축(S)에 대해 비대칭으로 되는 위치에 배치된다. 이에 따라 도2에 도시하는 바와같이 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에, 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 첨단부가 상하방향으로 상호 겹치는 상태로 된다.

도시하는 예에서는 다른쪽 셔터 날개(21B)의 회전 중심축(23B)을 통과하는 직선(D)이 다른쪽 셔터 날개(21B)의 광 반사면과 직교하는 점을 P로 할 때, 다른쪽 셔터 날개(21B)의 회전 중심축(23B)이 직선(D)의 방향으로, 한쪽 셔터 날개(21A)의 회전 중심축(23A)과 대칭의 위치에서 외측방으로 변위된 상태로 되어 있다. 즉, 한쪽 셔터 날개(21A)의 회전 중심축(23A)에서 점 Q의 광 반사면까지의 거리를 ha, 다른쪽 셔터 날개(21B)의 회전 중심축(23B)에서 점(P)의 광 반사면까지의 거리를 hb로 할 때, hb> ha의 관계를 만족하고 있다. 여기에, 한쪽 셔터 날개(21A)의 광 반사면상의 점(Q)은 다른쪽 셔터 날개(21B)의 광 반사면상의 점(P)과 동일하게 설정된 것이다.

한쪽 셔터 날개(21A)를 회전시키기 위한 셔터 날개 구동수단(22A)은 램프 하우스(11)의 상부실(11A)에 설치된 예컨대 구동 모터나 로터리 액츄에이터 등으로 이루어지는 구동원(도3의 35)과, 이 구동원의 회전축(36)에 부착된 180°의 각도 범위에서 왕복 회전하는 회전 링크인 원판(25)과, 이 원판(25)에 일단이 회전 자유롭게 연결된 연접봉(26A)과 이 연접봉(26A)의 타단에 회전 자유롭게 연결된 요동 아암(27A)으로 구성되어 있고, 요동 아암(27A)에 고정적으로 한쪽 셔터 날개(21A)가 연결되어 4절 링크기구를 형성하고 있다.

또한, 다른쪽 셔터 날개(21B)를 회전시키기 위한 셔터 날개 구동수단(22B)에 대해서도 동일한 구성으로 되어 있고, 동일 부재는 A대신에 B를 이용한 부호로 표시되어 있다.

원판(25)은 양쪽 셔터 날개 구동수단(22A, 22B) 사이에 공유되어 있는데, 도3에 도시하는 바와같이 각각의 셔터 날개 구동수단(22A, 22B)의 연접봉(26A, 26B)은 원판(25)에 대해 수직인 방향(도면에서 오른쪽)으로 상호 다른 레벨 위치에 지지되어 있고, 양자는 간섭하지 않는다.

또한, 원판(25)과 연접봉(26A)의 연결점의 위치는 도4에 도시하는 바와같이 원판(25)의 180°의 회전 운동에 의한, 연접봉(26A)과 요동 아암(27A)의 연결점(29)의 요동 각도(α)가 회전 중심축(23A)에 대해 90°이하가 되도록 설정되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 다른쪽 셔터 날개(21B)에 대해서도 동일하다. 이에 따라 셔터 날개(21A, 21B)를 정지시킬 때의 충격을 확실하게 저감시킬 수 있음과 동시에, 셔터 날개(21A, 21B)의 각각이 상기 요동 각도(α)만큼 회전함으로써, 셔터를 열린 상태로부터 닫힌 상태로, 또는 닫힌 상태로부터 열린 상태로 이행시킬 수 있다.

원판(25)에는 그 외주 가장자리보다 반경 방향 외측으로 돌출하는 봉 형상 또는 평판상의 돌기부(30)가 형성됨과 동시에, 한쌍의 스토퍼(31, 31)가 원판(25)의 회전 중심축(구동원의 회전축(36))에 대해 이루는 각도가 180°로 되는 상태, 즉 스토퍼(31, 31)의 레벨 위치가 원판(25)의 회전 중심축과 거의 일치하는 상태로 배치되어 있고, 돌기부(30)가 스토퍼(31)에 충돌함으로써 원판(25)의 회전 범위가 규제되는 구성으로 되어 있다.

이하, 상기의 광 조사장치(10)의 동작에 대해 설명한다.

도1에 도시하는 바와같이, 셔터가 열린 상태에 있을 때에 광원 램프(15)로부터의 광은 광원 램프(15)로부터 직접 또는 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 광 반사면에 의해 반사되고, 광 조사구(12)를 통과해 조사된다.

그런데, 셔터가 열린 상태에 있을 때는 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 광 반사면에 의해 광원 램프(15)로부터 조사되는 광 중, 광 조사구(12) 방향 이외의 광 이 반사되어 광 조사구(12)로부터 조사되므로, 광원 램프(15)로부터의 광의 이용율을 높일 수 있음과 동시에, 2개의 셔터 날개(21A, 21B)의 광 반사면이 광원 램프(15)에 대해 대칭으로 배치되어 있으므로, 균일한 조도 분포로 광을 조사할 수 있다.

셔터를 열린 상태(도1)로부터 닫힌 상태(도2)로 이행시키는 경우에는 우선, 구동 모터(35)가 작동됨으로써 원판(25)이 구동 모터(35)의 회전축(36)을 중심으로 하여 등속도로 180°의 각도범위에 걸쳐 회전되고, 이에 따라, 각각의 요동 아암(27A, 27B)이 각각의 연접봉(26A, 26B)을 통해 구동되고, 그 일단부가 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 회전 중심축(23A, 23B)을 중심으로 하여 90°요동되고, 이에 따라, 각각의 셔터 날개(21A, 21B)가 각각의 회전 중심축(23A, 23B)을 중심으로 하여 열린 위치에서 닫힌 위치로 회전된다.

각각의 요동 아암(26A, 26B)에는 원판(25)의 180°의 등속 원운동이 90°이하의 원호 운동으로 변환되어 전달되고, 그 구동속도가 원판(25)의 회전 각도에 따라 변화하면서 구동된다. 이에 따라 각각의 셔터 날개(21A, 21B)가 그 구동 속도를 변화시키면서 회전된다.

구체적으로는 원판(25)의 회전 각도가 0°에서 90°에 도달하기 까지 즉 각각의 셔터 날개(21A, 21B)가 각각의 열린 위치로부터 열린 위치와 닫힌 위치의 중간 위치에 도달하기까지 동안은 원판(25)의 회전 각도가 커짐에 따라 요동 아암(26A, 26B) 및 셔터 날개(21A, 21B)의 구동속도가 빨라지고, 원판(25)의 회전 각도가 90°에 도달한 시점에서 이들 구동속도가 최고속으로 된다.

그리고, 원판(25)의 회전 각도가 90°를 넘으면, 회전 각도가 커짐에 따라 요동 아암(26A, 26B) 및 셔터 날개(21A, 21B)의 구동속도가 점차로 느려지고, 회전 각도가 180°에 도달한 시점, 즉 원판(25)의 돌기부(30)가 스토퍼(31)에 충돌한 시점에서 이들 구동 속도가 0으로 되고, 도2에 도시하는 바와같이 소정 닫힌 위치에 있어서 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 첨단부가 상하 방향으로 서로 겹치는 상태에서 정지한다.

또한, 셔터를 닫힌 상태로부터 열린 상태로 이행하는 경우에는 구동 모터(35)를 상기의 이행 동작의 경우와 역방향으로 구동시키면 되고, 셔터를 열린 상태로부터 닫힌 상태로 이행하는 경우와 마찬가지로, 각각의 셔터 날개(21A, 21B)는 각각 구동속도를 변화시키면서 소정의 열린 위치까지 구동된다.

상기의 광 조사장치(10)에 의하면, 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 첨단부의 회전 반경이 서로 다르기 때문에, 셔터의 개폐 동작에 있어서, 각각의 셔터 날개(21A, 21B)를 동시에 회전시켜도 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 첨단부가 서로 간섭하지 않는 상태를 용이하게 실현할 수 있음과 동시에, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에는 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 첨단부가 서로 겹치기 때문에, 셔터 날개(21A, 21B)만으로 누광을 확실하게 방지할 수 있다. 그 결과, 종래예에 있어서의 차광 편부와 같은 특별한 차광용 부재가 불필요하게 되므로, 셔터 기구(20)의 구조의 간소화를 도모할 수 있음과 동시에, 2개의 셔터 날개(21A, 21B)의 기본구조의 공통화 등을 도모할 수 있고, 구성부품수 및 제조공정수를 감소시켜, 셔터 기구(20)를 가지는 광 조사장치를 유리하게 제조할 수 있다.

또한, 원판(25)을 구동시키면, 각각의 요동 아암(27A, 27B)의 첨단부가 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 회전 중심축(23A, 23B)을 중심으로 하는 원호 궤도상을 가감속되어 구동되므로, 요동 아암(27A, 27B)에 연결된 각각의 셔터 날개(21A, 21B)는 그 구동속도를 변화시키면서 각각의 회전 중심축(23A, 23B)을 중심으로 하여 회전되고, 구동속도가 서서히 감속되어 최종적으로 정지하므로, 셔터 정지시에 각각의 셔터 날개(21A, 21B)에 가해지는 충격을 없앨 수 있어, 파손 등의 불량이 생기는 것을 방지할 수 있음과 동시에, 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 이동량이 원판(25)의 회전각도 범위의 크기에 따라 규제되므로, 각각의 셔터 날개(21A, 21B)를 높은 위치 정밀도로 정지시킬 수 있다.

따라서, 셔터의 개 동작 또는 폐 동작을 단시간에 행하기 위해, 구동 모터 등의 회전속도를 동일하게 해도 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 내면에 있어서의 반사 미러 등이 파손하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 관해 설명했는데, 본 발명에 있어서는 다양한 변경을 가할 수 있다.

예컨대, 각각의 셔터 날개의 회전 중심축을 셔터가 열린 상태에 있을 때의 반사 미러의 대칭축에 대해 비대칭으로 배치하는 수단으로는 도5에 도시하는 바와같이 한쪽 셔터 날개(21A)의 회전 중심축(23A)의 레벨 위치(도5의 상하방향의 위치)를 다른쪽 셔터 날개(21B)의 회전 중심축(23B)의 레벨 위치보다 상측방으로 변위시켜도 된다. 동 도면에서 H는 변위량을 나타낸다.

또한, 셔터 날개의 형상은 상기의 실시예의 것에 한정되지 않고, 도6에 도시 하는 바와같이, 평판상의 것을 이용할 수 있다. 그리고, 도6에 도시하는 실시예에 있어서도, 도5에 도시하는 실시예와 마찬가지로 한쪽 셔터 날개(21A)의 회전 중심축(23A)의 레벨 위치(도면의 상하방향의 위치)가 다른쪽 셔터 날개(21B)의 회전 중심축(23B)의 레벨 위치보다 H만큼 상측방으로 변위하고 있으므로, 각각의 셔터 날개(21A, 21B)의 첨단부의 회전 반경 크기가 상호 다르고, 양쪽의 셔터 날개(21A, 21B)가 동시에 회전해도 셔터 날개(21A, 21B)의 첨단끼리는 간섭하지 않고, 셔터가 닫힌 상태로 되었을 때에 각각의 셔터 날개의 첨단부가 충돌하지 않고 서로 겹치는 상태에서 정지된다. 도6에서 40은 보조 반사 미러이다.

상기 실시예에서는 2개의 셔터 날개(21A, 21B)를 1개의 구동원(35)에 의해 구동시켰는데, 1개의 셔터 날개에 대해 1개의 구동원을 형성하는 구성으로 해도 된다. 단, 이 경우에는 2개의 셔터 날개가 동기하여 구동하도록 구동원의 동작을 제어할 필요가 있다.

또한, 셔터 날개 구동기구를 구성하는 개개의 링크(기계 요소)는 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 회전 링크로서, 원판 대신에 봉 형상부재나 평판상 부재 등을 이용하는 것도 가능하다. 이 경우에는 일단부에 구동 모터 등의 회전축을 연결하고, 타단부에 연접봉을 회전 가능하게 연결하면 된다.

또한, 요동 아암과 셔터 날개의 2개의 링크(기계 요소)가 일체로 형성된 것이어도 되고, 이 경우에는 회전 운동의 중심축이 되는 위치를 고정하여 배치하면 된다.

이상에서 본 발명의 광 조사장치는 피처리물에 있어서의 보호막, 접착제, 도 료, 잉크, 포토레지스트 등의 경화, 건조, 용융 혹은 연화 처리 등을 행하기 위한 처리장치로서 적합하게 이용할 수 있다.

본 발명의 광 조사장치에 의하면, 2개의 셔터 날개의 첨단부의 회전 반경이 서로 다르기 때문에, 셔터의 개폐 동작에 있어서, 각각의 셔터 날개를 동시에 회전시켜도 각각의 셔터 날개의 첨단부가 서로 간섭하지 않는 상태를 용이하게 실현할 수 있음과 동시에, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때는 2개의 셔터 날개의 첨단부가 서로 겹쳐지기 때문에, 특별한 차광용 부재를 이용하지 않고 셔터 날개만으로 누광을 확실히 방지할 수 있다.

그 결과, 종래예에 있어서의 차광 편부와 같은 특별한 차광용 부재가 불필요해 지므로, 셔터 기구의 구조의 간소화, 구성 부품수 및 제조 공정수의 감소, 2개의 셔터 날개의 기본구조의 공통화 등을 도모할 수 있어, 셔터 기구를 가지는 광 조사장치를 유리하게 제조할 수 있다.

본 발명의 광 조사장치에 의하면, 회전 링크의 회전 각도가 180°에 접근함에 따라 각각의 셔터 날개는 그 구동속도가 점차로 감속되어 정지되므로, 정지시의 충격이 0 또는 매우 작아지고, 셔터 날개의 반사 미러 등이 파손되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

Claims

봉 형상의 광원 램프를 구비하고, 각각 해당 광원 램프와 평행한 축의 주위에 회전 가능하게 배치된 2개의 셔터 날개로 이루어지는 셔터와, 해당 셔터 날개의 각각을 닫힌 위치와 열린 위치 사이에서 회전시켜 구동하는 셔터 날개 구동수단으로 구성되고, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에는 광원 램프로부터의 광을 차광하고, 셔터가 열린 상태에 있을 때에는 해당 셔터 날개 각각의 내면에 있어서의 반사 미러에 의해 광원 램프로부터의 광을 반사하여 조사하는 셔터 기구를 가지는 광 조사장치에 있어서,

각각의 셔터 날개의 회전 중심축은, 셔터가 열린 상태에 있을 때에는 각각의 셔터 날개의 반사 미러가 광원 램프에 대해 대칭이 됨과 동시에, 셔터가 닫힌 상태에 있을 때에는 각각의 셔터 날개의 첨단부가 서로 겹치도록, 열린 상태에 있을 때의 반사 미러의 대칭축에 대해 비대칭으로 되는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사장치.
제1항에 있어서, 셔터 날개 구동수단은 180°의 각도범위에서 회전하는 회전 링크를 포함하는 링크 기구로 이루어지고, 해당 회전 링크의 회전운동을 요동 운동으로 변환하여 셔터 날개에 전달함으로써, 해당 셔터 날개를 회전 중심축의 주위에 회전시키는 것을 특징으로 하는 광 조사장치.