JP2019504815A - ガラスを薄くするための方法 - Google Patents

Abstract

ガラスシートをエッチング処理に供することでガラスシートの厚さを減少させる方法を含む、ガラスを薄くするための方法を提供する。該方法は、ガラスシートを、ガラスシートの初期厚さがガラスシートの最終所定厚さに減少するまで、搬送経路に沿って複数回エッチングゾーンに通過させる工程と、ガラスシートを、エッチングゾーンに毎回通過させた後に洗浄する工程とを含む。

Description

関係出願の相互参照

本願は、２０１６年１月２９日に提出された米国仮特許出願第６２／２８８７７３号に米国特許法第１１９条に基づく優先権の恩典を主張するものであり、同出願の内容は、その全文が引用により本明細書に組み込まれている。

本開示は、概してガラスを薄くするための方法であって、より詳細には、ガラスシートをエッチング処理に供することでガラスシートの厚さを減少させる方法に関する。

ガラスシートは、一般的に、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などの様々なディスプレイの用途に用いられる。

ガラスシートは、スロットドロー、フロートドロー、ダウンドロー、フュージョンダウンドローおよびアップドローなどの様々なガラス成形技術によって形成することができる。いくつかの用途において、様々な既存のガラス成形技術により容易に達成し得る厚さよりさらに薄い厚さを有する極薄ガラスシートを提供することが望ましい場合がある。例えば、厚さが３００マイクロメートル以下、２００マイクロメートル以下、１００マイクロメートル以下、７５マイクロメートル以下、または、５０マイクロメートル以下の極薄ガラスシートは、厚さが３００マイクロメートル超の比較的厚いガラスシートに比して、高い可撓性を有することができる。極薄ガラスシートは、従って、相対的に厚いガラスシートに発生し得る許容不可能なレベルの応力を生じることなく、相対的に小さい曲げ半径を達成することができる。したがって、極薄ガラスシートは、特に、ガラスシートの曲げや折り込みを含む様々なディスプレイ用途などの適用に適している場合がある。

極薄ガラスシートを製造する場合に、最初に、従来のガラス成形技術を用いて高品質のガラスシートを生成することが知られている。初期の厚さのガラスシートは、次いで、最終的な所望の厚さを有する極薄ガラスシートを達成するために初期の厚さを減少させる処理技術に供することができる。ガラスシートを薄くする既存の技術は、多くの場合、垂直槽処理でガラスシートを垂直にエッチングし、その後ガラスシートを機械研磨して、厚さの均一性を向上させ（例えば、厚さ変動を減少させる）、かつガラスシートの光学的特性を向上させる工程を含む。しかしながら、これらの既存の処理技術を用いてガラスシートの初期厚さを減少させつつ、片や特定の用途において望ましい相対的に厳格な公差制御、厚さ変動の低減、および光学的透明度のパラメータの向上をも充足させることは、困難あるいはいくつかの例において、不可能な場合がある。

本開示は、予め形成されたガラスシートの厚さを減少させて、それ以外の従来のガラス薄化技術では達成され得ない相対的に厳格な公差制御、小さい厚さ変動、高い光学的透明度の、高品質の極薄ガラスシートを得るための方法を提供している。本開示の概念は、以下に述べる１つ以上の例示的な実施形態に従って実施される場合がある。

実施形態１
ガラスシートをエッチング処理に供することによりガラスシートの厚さを減少させる方法であって、該ガラスシートの初期厚さが該ガラスシートの最終所定厚さに減少するまで、該ガラスシートを搬送経路に沿ってエッチングゾーンに複数回通過させる工程と、
該ガラスシートを、該エッチングゾーンを毎回通過した後に洗浄する工程とを含む方法。

実施形態２
該エッチングゾーンが複数のエッチングゾーンを含み、該ガラスシートを、該搬送経路に沿って該複数のエッチングゾーンの各々に複数回を含め少なくとも１回通過させ、該ガラスシートが、各々の該複数のエッチングゾーンを毎回通過した後に洗浄される、実施形態１に記載の方法。

実施形態３
実施形態１または実施形態２の方法であって、該ガラスシートの第１主表面を第１エッチング液に曝露させ、該ガラスシートが該エッチングゾーンを最初に通過する間に、ガラスシートの第２主表面を第２エッチング液に曝露させる工程と、
次いで、該ガラスシートの該第１主表面を該第２エッチング液に曝露させ、該ガラスシートが該エッチングゾーンを次に通過する間に、該ガラスシートの該第２主表面を該第１エッチング液に曝露させる工程とをさらに含む方法。

実施形態４
該第１エッチング液が、該搬送経路上に配置された上部噴霧器から該ガラスシートに供給され、該第２エッチング液が、該搬送経路の下に配置された下部噴霧器から該ガラスシートに供給される、実施形態３に記載の方法。

実施形態５
該上部噴霧器からの該第１エッチング液の第１の流量が、該下部噴霧器からの該第２エッチング液の第２の流量より少ない、実施形態４に記載の方法。

実施形態６
請求項１から５のいずれか１つに記載の方法であって、該ガラスシートの主表面と平行な軸を中心に該ガラスシートを１８０度回転させることで、該エッチングゾーンを連続して２回通過する間に、該ガラスシートを裏返す工程をさらに含む方法。

実施形態７
実施形態６の方法であって、該ガラスシートが該エッチングゾーンを次に通過する前に、該ガラスシートの該主表面と垂直な軸を中心に１８０度回転させることで、該ガラスシートを再配向させる工程をさらに含む方法。

実施形態８
実施形態１から５のいずれか１つに記載の方法であって、該エッチングゾーンを連続して２回通過する間に、該ガラスシートの主表面と垂直な軸を中心に該ガラスシートを１８０度回転させることで、該ガラスシートを再配向させる工程をさらに含む方法。

実施形態９
実施形態１から５のいずれか１つに記載の方法であって、該ガラスシートの主表面と平行な軸を中心に該ガラスシートを１８０度回転させることで、該ガラスシートを裏返す工程と、該エッチングゾーンを連続して毎回通過する間に、該ガラスシートの主表面と垂直な軸を中心に該ガラスシートを１８０度回転させることで、該ガラスシートを再配向させる工程の少なくとも１つをさらに含む方法。

実施形態１０
該最終所定厚さを備える該ガラスシートが、約９８.５以上の像鮮明度（ＤＯＩ）を含む、実施形態１から９のいずれか１つに記載の方法。

実施形態１１
該ガラスシートを機械研磨処理に供せずに該像鮮明度を得る、実施形態１０に記載の方法。

実施形態１２
該ガラスシートの該最終所定厚さの厚さ変動の少なくとも１つが、約３マイクロメートルから約９マイクロメートルであり、該ガラスシートの該初期厚さの第１の厚さ変動と該ガラスシートの該最終所定厚さの第２の厚さ変動との差の絶対値が、約０マイクロメートルから約７マイクロメートルである、実施形態１から１１のいずれか１つに記載の方法。

実施形態１３
該厚さ変動と該第１の厚さ変動と該第２の厚さ変動の少なくとも１つを、該ガラスシートを機械研磨処理に供せずに得る、実施形態１２に記載の方法。

実施形態１４
実施形態１から１３のいずれか１つに記載の方法であって、該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、該ガラスシートの厚さを約２０マイクロメートルから約４０マイクロメートルだけ減少させる工程をさらに含む方法。

実施形態１５
実施形態１から１４のいずれか１つに記載の方法であって、該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで該ガラスシートの該厚さを減少させる工程をさらに含む方法。

実施形態１６
実施形態１から１３のいずれか１つに記載の方法であって、該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、０マイクロメートル超かつ約１５０マイクロメートル以下であり、該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルから約４０マイクロメートルだけ該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約１５マイクロメートル／分の速さで該ガラスシートの該厚さを減少させる工程とをさらに含む方法。

実施形態１７
実施形態１から１３のいずれか１つに記載の方法であって、該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、０マイクロメートル超かつ約１５０マイクロメートル以下であり、該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルから約３０マイクロメートルだけ該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程とをさらに含む方法。

実施形態１８
実施形態１から１３のいずれか１つに記載の方法であって、該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、約１５０マイクロメートル超かつ約３００マイクロメートル以下であり、該エッチング処理を制御して該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルから約３０マイクロメートルだけ、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約１５マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程とをさらに含む方法。

実施形態１９
実施形態１から１３のいずれか１つに記載の方法であって、該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、約１５０マイクロメートル超かつ約３００マイクロメートル以下であり、該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルだけ、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程とをさらに含む方法。

実施形態２０
実施形態１から１３のいずれか１つに記載の方法であって、該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、約３００マイクロメートル超であり、該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、０マイクロメートル超から約３０マイクロメートル未満だけ、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約１５マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程とをさらに含む方法。

実施形態２１
該ガラスシートを該エッチングゾーンに通過させる工程の間に、該ガラスシートを、ハフニウムを約１０％から約２０含有するエッチング液に曝露する、実施形態１から２０のいずれか１つに記載の方法。

実施形態２２
該ガラスシートを該エッチングゾーンに通過させる該工程の間に、該ガラスシートを、ハフニウムを約１５％から約２０％含有するエッチング液に曝露する、実施形態１から２０のいずれか１つに記載の方法。

実施形態２３
該ガラスシートを該エッチングゾーンに通過させる該工程の間に、該ガラスシートを、ハフニウム約１５％を含有するエッチング液に曝露する、実施形態１から２０のいずれか１つに記載の方法。

上記および他の本開示の特徴、態様および実施形態の長所は、添付の図面を参照しつつ開示の以下の詳細な記載を読むことで、さらに理解が深まる。

本明細書に記載の実施形態に従う例示的なガラスエッチング装置の側面の概略図。 本明細書に記載の実施形態に従う例示的なガラスエッチング室の側面切断図の概略図。 本明細書に記載の実施形態に従う図２の例示的なエッチング室の平面切断図。 本明細書に記載の実施形態に従う例示的なエッチング処理に供されるガラスシートに関して得られた像鮮明度値のプロット図。 本明細書に記載の実施形態に従う例示的なエッチング処理に供されるガラスシートに関して得られた像鮮明度値の別プロット図。 本明細書に記載の実施形態に従う例示的なエッチング処理に供されるガラスシートに関して得られた像鮮明度値のさらに別プロット図。 本明細書に記載の実施形態に従う例示的なエッチング処理に供されるガラスシートに関して得られた像鮮明度値のまたさらに別プロット図。

本明細書で用いられる方向を示す用語（例えば、上、下、左、右、前、後ろ、上部、下部）は、描かれた図を参照してのみ作られるものであり、絶対定位を意味することは意図していない。

本開示の主題は、ここで、特許請求される主題の例示的な実施形態が示された添付の図面を参照しつつ、以下により詳細に記載する。可能な場合はいずれも、図面の全体を通じて、同じ参照番号が同一または類似の部分を称する場合に用いられる。しかしながら、特許請求される主題は、多数の異なる形態で例示される場合があり、本明細書に述べられる実施形態に限定されるものと解釈されるべきではない。例示的な実施形態は、本開示が完全かつ完璧なものとなり、当業者に特許請求される主題の範囲を詳細に伝えるように、提供している。

他の特徴の中でも、ガラスは、高い耐傷性、高い強度、高い耐久性および高い光学的透明度を備えて、例えば、民間の電子工学やディスプレイ産業など、様々な用途での使用に適したガラスを実現することができる。そのような用途には、タッチ機能や表示性能を備えた携帯電話、タブレット、ノートパソコン、テレビ、監視装置、他の装置に用いられるカバーガラスを含めることができる。技術の進歩とともに、装置はより薄くより計量にすることができる。さらに、いくつかの用途では、湾曲形状、可撓性、屈曲性、折り畳み可能なガラスが求められる場合がある。極薄ガラスシート（例えば、厚さが３００マイクロメートル以下、２００マイクロメートル以下、１００マイクロメートル以下、７５マイクロメートル以下、または５０マイクロメートル以下）は、特定の用途に提供することができる。他の実施形態において、ガラス（例えば、極薄ガラス）は、化学的に補強することができる。またさらに、いくつかの材料（例えば、ポリマーおよび可塑材）と比較すると、ガラスは、高い光透過性、高い耐摩耗性、そして高い耐溶解性を有しすることができる。

いくつかの実施形態において、ガラスの厚さ、ガラスの厚さの均一性、ガラスの光学的透明度、およびガラスの強度の少なくとも１つを制御することが望ましい可能性がある。例えば、ガラスの厚さは、ガラスの曲り応力と直接関係する可能性があり、ガラスが薄いほど、所与の曲げ半径により曲り応力が低下する結果となる。同様に、ガラスの対応する曲げ剛度は、ガラスの厚さが減少するにつれて、低下する可能性がある。したがって、薄いガラスは、曲り応力や他の誘発応力に供される可撓性ガラスが必要な用途など、様々な用途に望ましいものとなり得る。ガラスは、溶融ガラスを成形体に流し込むことによって一般的に製造できるため、ガラスリボンは、例えば、スロットドロー、フロート、ダウンドロー、フュージョンダウンドロー、またはアップドローなどの様々なリボン成形処理によって形成してもよい。ガラスリボンを、次いで分割することで、所望のディスプレイ用途へのさらなる処理に適したガラスのシートに供給してもよい。形成後、ガラスシートの厚さは、様々な技術を用いて減少（例えば、薄く）させてもよい。本開示は、エッチングの方法および装置に関するものであり、化学製品（例えば、酸、腐食性薬品）をガラスに適用して、材料を除去し、ガラスの厚さを減少させる工程が含まれる。いくつかの実施形態では、エッチングを、エッチング処理の前に処理が施されたガラスシートに行うことができる。他の実施形態では、エッチングを、エッチング処理の前に何の処理も施されていない成形された状態でのガラスシートに行うことができる。

図１には、本明細書に開示のいくつかの実施形態に従うガラスエッチング装置１００を、概略的に示している。ガラスエッチング装置１００は、ガラスシート１１０をエッチング処理１００ａに供することにより、ガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させることができる。ガラスシート１１０は、第１主表面１１１と第２主表面１１２を含むことができ、それら主表面間の距離が、ガラスシート１１０の厚さ１１４を規定する。追加的に、ガラスシート１１０は、エッチング処理１００ａに供される前には初期厚さ１１３を、そして１回またはそれ以上エッチング処理１００ａに供された後には最終所定厚さ１１５を有することができる。ガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させることで、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５は、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３より薄くなり得る。

ガラスシートの厚さ１１０を指すために本明細書で用いられる用語厚さ（例えば、初期厚さ１１３、厚さ１１４、最終所定厚さ１１５）に関しては、別段の記載がない限り、そのような用語は、ガラスシート１１０の平均厚さを指すことを意図したものであると、理解されるべきである。例えば、ガラスシート１１０の第１主表面１１１とガラスシート１１０の第２主表面１１２との間の実際の厚さは、ガラスシート１１０上の９つの位置（例えば、上部左、上部中央、上部右、中間部左、中間部、中間部右、下部左、下部中央、および下部右）で測定し、平均することで、ガラスシート１１０の厚さ（例えば、初期厚さ１１３、厚さ１１４、最終所定厚さ１１５）を決定することができる。さらに、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３の初期厚さ変動やガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５の最終厚さ変動などの厚さ変動は、別段の記載がない限り、ガラスシート１１０の最大寸法と最小寸法との差（例えば、９つの位置のうちの１つから得られた最大実厚さから９つの位置のうちの１つから得られた最小実厚さを減算）と定義される総厚さ変動（ＴＴＶ）に対応していることが理解されるべきである。同様に、均一性は、別段の記載がない限り、最大寸法と最小寸法の合計で割った最大寸法と最小寸法との差に対応することが理解されるべきである。

光学表面の品質は、当該技術で既知のごとく、像鮮明度（ＤＯＩ）の基準に基づいて決定されることができる。像鮮明度は、別段の記載がない限り、正規方向（例えば、鏡の反射角）からの光伝搬の、透過または反射の際の散乱による方向の偏りの定量化を指すことを意図した無名数である。像鮮明度は、表面から反射されたまたは表面を透過して伝送された画像の視覚歪像（例えば、ぼけ）を表すことができる。１００の像鮮明度は、何ら歪曲することなく完全に画像を反射または伝送する表面に対して定義することができ、片やゼロの像鮮明度は、写像性を示さない表面に対して定義することができる。いくつかの実施形態において、不適格な像鮮明度値は、マイクロスケール上で、ガラス上で観察されたオレンジ皮様外観に対応し得る。上記の値のいずれかは、光学的、機械的、あるいは地表徴候測定の装置または技法のいずれか１つ以上によって、取得、測定、収集、さもなければ決定することできる。いくつかの実施形態において、別段の記載がない限り、本明細書に示される特定の像鮮明度値は、Ｒｈｏｐｏｉｎｔ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社（英国イーストサセックス州セントレオナルズオンシー）から販売される小型計器Ｒｈｏｐｏｉｎｔ ＩＱ（ゴニオフォトメータ）から得たものであった。

いくつかの実施形態において、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３は、約１００マイクロメートルから約７００マイクロメートル、例えば約２００マイクロメートルから約７００マイクロメートル、例えば約３００マイクロメートルから約７００マイクロメートル、例えば約４００マイクロメートルから約７００マイクロメートル、例えば約５００マイクロメートルから約７００マイクロメートル、例えば約６００マイクロメートルから約７００マイクロメートルとすることができる。いくつかの実施形態において、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５は、約４０マイクロメートルから７００マイクロメートル未満、例えば約４０マイクロメートルから約６００マイクロメートル、例えば約４０マイクロメートルから約５００マイクロメートル、例えば約４０マイクロメートルから約４００マイクロメートル、例えば約４０マイクロメートルから約３００マイクロメートル、例えば約４０マイクロメートルから約２５０マイクロメートル、例えば約４０マイクロメートルから約２００マイクロメートルとすることができる。さらなる実施形態において、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５は、約４０マイクロメートルから約１５０マイクロメートル、例えば約５０マイクロメートルから約１５０マイクロメートル、例えば約７５マイクロメートルから約１５０マイクロメートル、例えば約１００マイクロメートルから約１５０マイクロメートル、とすることができる。なおさらなる実施形態において、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５は、約４０マイクロメートルから約１００マイクロメートル、例えば約５０マイクロメートルから約１００マイクロメートル、例えば約７５マイクロメートルから約１００マイクロメートルとすることができる。なおさらに別の実施形態において、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５は、約４０マイクロメートルから約７５マイクロメートル、例えば約５０マイクロメートルから約７５マイクロメートル、例えば約４０マイクロメートルから約５０マイクロメートルとすることができる。

本明細書に開示される方法および装置は、本明細書では明示的に開示していない初期の厚さ１１３、範囲、および部分範囲、ならびに最終的所定厚さ１１５、範囲および部分範囲などの任意の初期厚さ１１３から任意の最終所定厚さ１１５を有する任意のガラスを薄くするために使用することができる。

ガラスシート１１０をエッチング処理１００ａに供することによってガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させるための方法および装置など、ガラスを薄くするための方法および装置を、本明細書に開示している。本明細書に開示される方法および装置、ガラスの様々な特徴または特性を制御して、エッチング後の処理（例えば、機械研磨）の有無に関わらず、所望の寸法（例えば、最終所定厚さ１１５）、所望の寸法変動（例えば、厚さの均一性）、そして所望の光学的透明度（例えば、像鮮明度）を有するガラスシート１１０が達成できる、ことが理解されるべきである。例えば、ガラスシート１１０をエッチング処理１００ａに供することによってガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させるための方法および装置などの、ガラスを薄くするための方法および装置は、ガラスシート１１０の初期の厚さ１１３のエッチング前の厚さ変動の許容範囲より少ない、同程度、または超過かつ範囲内とし得るガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５のエッチング後の厚さ変動など、許容水準の厚さ変動と均一性を維持しつつ、ガラスシート１１０から一定量の材料（例えば、ガラス）を除去することができる。

ガラスエッチング装置１００は、投入ステーション１０１、エッチングゾーン１０２ａを含むエッチング室１０２、分離領域１０３、ガラスシート１１０を洗浄１０４ａするための洗浄室１０４、乾燥室１０５、およびガラスエッチング装置１００に直列に配置された抜き取りステーション１０６のいずれか１つ以上を含むことができる。ガラスエッチング装置１００は、所定数のステーション、室、および領域（例えば、投入ステーション１０１、エッチング室１０２、分離領域１０３、洗浄室１０４、乾燥室１０５、ならびに抜き取りステーション１０６）、を有するものと描かれているが、同時に、任意の数のステーション、室および領域（例えば、投入ステーション１０１、エッチング室１０２、分離領域１０３、洗浄室１０４、乾燥室１０５および抜き取りステーション１０６）を、単一のガラスエッチング装置１００に供給して、ガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５を得ることが可能なため、この図が添付の請求項の範囲を制限すべきものではない。例えば、単一のガラスエッチング装置１００は、単独または併用で、複数の投入ステーション１０１、エッチングゾーン１０２ａを含むエッチング室１０２、分離領域１０３、ガラスシート１１０を洗浄１０４ａするための洗浄室１０４、乾燥室１０５、ならびにガラスエッチング装置１００に直列に配置された抜き取りステーション１０６を含むことができる。

更に、複数のガラスエッチング装置１００、あるいはステーション、室および領域（例えば、投入ステーション１０１、エッチング室１０２、分離領域１０３、洗浄室１０４、乾燥室１０５および抜き取りステーション１０６）などのいずれか１つ以上のガラスエッチングの部分を、相互に近接配置して、かつ／または相互に接続して、本明細書に開示されるように、ガラスシート１１０の処理を実行して、ガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５を得ることができることも想定される。このように、いくつかの実施形態では、エッチングゾーン１０２ａは、複数のエッチングゾーンを含むことができ、ガラスシート１１０は、少なくとも１回、複数のエッチングゾーンの各々に通過させることができる。いくつかの実施形態では、ガラスシート１１０を複数のエッチングゾーンの各々に少なくとも１回通過させる工程は、ガラスシート１１０をエッチングゾーン１０２ａに複数回通過させる工程に対応し得る。ガラスシート１１０は、次いで、ガラスシートが複数のエッチングゾーンの各々を毎回通過した後に洗浄１０４ａできる。

したがって、いくつかの実施形態では、ガラスシート１１０は、投入ステーション１０１、エッチングゾーン１０２ａを含むエッチング室１０２、分離領域１０３、ガラスシート１１０を洗浄１０４ａするための洗浄室１０４、乾燥室１０５、および抜き取りステーション１０６のいずれか１つ以上を含む、第１ガラスエッチング装置においてエッチング処理１００ａに供することができる。ガラスシート１１０は、次いで、投入ステーション１０１、エッチングゾーン１０２ａを含むエッチング室１０２、分離領域１０３、ガラスシート１１０を洗浄１０４ａするための洗浄室１０４、乾燥室１０５、および抜き取りステーション１０６のいずれか１つ以上を含む第２ガラスエッチング装置において、別のエッチング処理（例えば、エッチング処理１００ａと同じまたは類似のエッチング処理）に供することができる。例えば、ガラスシート１１０を、第１ガラスエッチング装置のエッチングゾーンに通過させ、次いで、第１ガラスエッチング装置の第１の洗浄ゾーンで洗浄し、次いで、第２ガラスエッチング装置の第２のエッチングゾーンを通過させ、その後、第２のガラスエッチング装置の第２の洗浄ゾーンで洗浄することができる。任意の数の追加のガラスエッチング装置は、第１ガラスエッチング装置、第２ガラスエッチング装置および任意の追加のガラスエッチング装置が、本明細書に開示する例示的なガラスエッチング装置１００のいずれか１つ以上の特徴などの、同じまたは類似の特徴を含み得ることを理解した上で、さらなる実施形態において供給できる。そのような実施形態は、図１に示すように、例えば直列に配置された１つ以上のガラスエッチング装置１００やそれらの一部分を含み、ガラスシート１１０を複数のエッチングゾーンに通過させ、ガラスシートが複数のエッチングゾーンの各々を毎回通過した後に洗浄できるような設定に対応していることが理解され得る。さらに、いくつかの実施形態では、ガラスシート１１０は、本明細書に添付の請求項の範囲を逸脱することなく、複数のガラスエッチング装置のいずれか１つ以上で、１回以上、エッチング処理１００ａに供することができる。

ガラスエッチング装置１００はまた、（ガラスシート１１０をガラスエッチング装置１００に投入することが可能な）投入ステーション１０１から、（ガラスシート１１０をガラスエッチング装置１００から取り出し除去することが可能な）抜き取りステーション１０６に、ガラスエッチング装置１００の水平方向１０９に沿って延伸可能な搬送経路１０８ａを規定するコンベア１０８を含むことができる。コンベア１０８は、エッチング室１０２、分離領域１０３、洗浄室１０４および乾燥室１０５の１つ以上を通過してガラスシート１１０を移動させて、ガラスシート１１０の処理を実行することができる。コンベア１０８は、ベルト、ローラー、ならびにガラスシート１１０を、水平方向１０９にガラスエッチング装置１００を通る搬送経路１０８ａに沿って水平に移動（例えば、搬送、運搬、移送）させるガラスシート１１０の上下に配置されたホイールとを含んでいるため、ガラスシート１１０をエッチング処理１００ａの１つ以上の段階まで供することができる。いくつかの実施形態では、コンベア１０８は、第１主表面１１１およびガラスシート１１０の第２主表面１１２に接触することで、ガラスシート１１０を、ガラスエッチング装置１００を通る搬送経路１０８ａに沿って移動させることができる。他の実施形態では、複数のガラスエッチング装置を、搬送経路１０８ａに沿って（例えば、直列に）配置することができ、コンベア１０８は、ガラスシート１１０を、複数のガラスエッチング装置を通る搬送経路１０８ａに沿って移動させることができる。

さらなる実施形態において、コンベア１０８は、ガラスシート１１０を、ガラスエッチング装置１００を通る搬送経路１０８ａに沿って、搬送経路１０８ａに沿った前方向（例えば、水平方向１０９）に、前方向とは反対の搬送経路１０８ａに沿った逆方向に、そして搬送経路１０８ａに沿った前方向と搬送経路１０８ａに沿った逆方向の任意の組合せに、移動させることができる。例えば、コンベア１０８は、ガラスエッチング装置１００を通過するガラスシート１１０を、搬送経路１０８ａに沿った前方向に移動させることで、ガラスシート１１０を、エッチングゾーン１０２ａを含むエッチング室１０２、次いでガラスシート１１０を洗浄１０４ａするための洗浄室１０４に、順次通過させることができる。ガラスシート１１０が洗浄室１０４で洗浄された後、コンベア１０８を、次いで、例えば、反転させて、ガラスシート１１０を、ガラスエッチング装置１００を通過して、搬送経路１０８ａに沿った前方向とは反対の逆方向に、移動させることができるため、ガラスシート１１０を、例えば、エッチングゾーン１０２ａを含むエッチング室１０２を通過して、反対方向に、再度通過させることができる。いくつかの実施形態では、洗浄室（例えば、洗浄室１０４）は、搬送経路１０８ａに沿って、エッチング室１０２のいずれかの側に供給することができる。例えば、追加の洗浄室（図示せず）を、洗浄室１０４からエッチング室１０２の反対側に供給することができるため、ガラスシート１１０が、コンベア１０８によってエッチング室１０２を通過して逆方向に移動する際に、ガラスシート１１０を、次いで、追加の洗浄室で洗浄することができる。追加の洗浄室は、ガラスシート１１０を洗浄１０４ａするための洗浄室１０４の特徴と同じまたは類似のいずれか１つ以上の特徴を含むことができる。また、コンベア１０８は、ガラスシート１１０の前進と後退の運動を繰り返して、ガラスシート１１０を、エッチングゾーン１０２ａを含むエッチング室１０２、洗浄室１０４、および追加の洗浄室を、１回以上順次通過させ、ガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させて、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５を得ることができる。

投入ステーション１０１は、ガラスシート１１０の搬送が可能なコンベア１０８を支持するフレームとそこを通過してガラスシート１１０がエッチング室１０２内に移動可能な開口とを含むことができる。投入ステーション１０１は、例えば、１つ以上の特徴の入切操作およびガラスエッチング装置１００とエッチング処理１００ａの操作を制御するために、投入ステーション１０１でガラスシート１１０の有無を判定する１つ以上のセンサーを含むこともできる。他の実施形態では、ガラスシート１１０の厚さ１１４を判定するために厚さセンサーを設けることができる。いくつかの実施形態では、厚さセンサーは、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５の厚さが達成されたどうかを検知することができ、厚さセンサーは、次いで、動作を停止させるために、ガラスエッチング装置１００に信号を供給することができるため、最終所定厚さ１１５を有するガラスシート１１０を、ガラスエッチング装置１００から除去することができる。反対に、いくつかの実施形態では、厚さセンサーが、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５の厚さがまだ達成されていないことを検知すると、厚さセンサーは、次いで、ガラスエッチング装置１００に信号を送り、ガラスシート１１０をエッチング処理１００ａに供することによって、ガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させるための操作を開始または継続させることができる。

エッチングゾーン１０２ａを含むエッチング室１０２は、蓋、はね除け、煙を排出する排気口、液を排出するドレン、液体を回収する液溜め、液体を汲み出すポンプ、エッチング室１０２の温度を制御するための加熱および冷却用コイルまたはチューブ、噴霧チューブ、噴霧ノズル、噴霧の圧力を調節するバルブ、噴霧ポンプ、圧力計、噴霧ポンプ用の溶液濾過システム（例えば、メッシュ、スクリーン、フィルター）、温度または液面を判決するセンサー、そして、例えば、噴霧チューブおよび噴霧ノズルを振動させたりまたはコンベア１０８を駆動させる１つ以上のモーターまたはアクチュエーターを含むことができる。エッチング液は、様々な濃度の酸を含む任意の腐食性薬品とすることができる。例えば、エッチング液は、フッ化水素酸（ハフニウム）または任意の他の腐食性薬品、安定剤、そして水を含むことができる。安定剤は、硝酸（ＨＮＯ_３）、硫酸（Ｈ_２ＳＯ_４）、塩酸塩（ＨＣＩ）、または任意の他の適切な安定剤を含むことができる。

図２に戻ると、ガラスエッチング装置１００のエッチングゾーン１０２ａを含むエッチング室１０２の側面切断図が、概略的に示されている。図に示されるように、コンベア１０８は、エッチングゾーン１０２ａを通る搬送経路１０８ａに沿って水平方向１０９にガラスシート１１０を搬送するために、エッチング室１０２を通過して延伸することができる。さらに、対応する上部噴霧ノズル１２１を含む１つ以上の上部噴霧器１２０を搬送経路１０８ａの上に設けることができる。１つ以上の上部噴霧ノズル１２１を含む１つ以上の上部噴霧器１２０は、ガラスシート１１０上に第１エッチング液１２１ａを噴射して、ガラスシート１１０から材料の層を除去しかつガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させることができる。同様に、対応する下部噴霧ノズル１２３を含む１つ以上の下部噴霧器１２２は、搬送経路１０８ａの下に設けることができる。１つ以上の下部噴霧ノズル１２３を含む１つ以上の下部噴霧器１２２は、ガラスシート１１０上に第２エッチング液１２３ａを噴射して、ガラスシート１１０から材料の層を除去しかつガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させることができる。例えば、上部噴霧ノズル１２１を含む１つ以上の上部噴霧器１２０は、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを搬送される時に、ガラスシート１１０の第１主表面１１１が１つ以上の上部噴霧器１２０および対応する上部噴霧ノズル１２１に面した状態で、ガラスシート１１０の第１主表面１１１に第１エッチング液１２１ａを噴射することができる。このように、上部噴霧ノズル１２１は、第１エッチング液１２１ａを、主に最初にガラスシート１１０の第１主表面１１１上に噴射できるように、ガラスシート１１０の第１主表面１１１の方向に配向させることができる。同様に、下部噴霧ノズル１２３を含む１つ以上の下部噴霧器１２２は、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを搬送される時に、ガラスシート１１０の第２主表面１１２が１つ以上の下部噴霧器１２２および対応する下部噴霧ノズル１２３に面した状態で、ガラスシート１１０の第２主表面１１２に第２エッチング液１２３ａを噴射することができる。このようにして、下部噴霧ノズル１２３は、第２エッチング液１２３ａを、主に最初にガラスシート１１０の第２主表面１１２上に噴射できるように、ガラスシート１１０の第２主表面１１２の方向に配向させることができる。

好都合にも、ガラスシート１１０は、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次通過する間、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次前方向／逆方向に通過する間、および／またはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを順次通過する間に、裏返すことにより、エッチング液をガラスシート１１０に適用する際のあらゆる変動を補償することができる。例えば、最大限の努力にもかかわらず、１つ以上の、上部噴霧器１２０、上部噴霧ノズル１２１、下部噴霧器１２２および下部噴霧ノズル１２３が、対応する第１エッチング液１２１ａおよび第２エッチング液１２３ａを、ガラスシート１１０上に不均一なパターンに散布して、ガラスシート１１０の厚さ１１４を不均一に減少させてしまう場合がある。エッチング液のそのような不均一な散布は、少なくとも部分的に、噴霧圧、噴霧ノズル同士の差、噴霧器の回転速度および振動の精度、ならびにエッチング処理１００ａの間に遭遇し得る任意の他の処理上の特徴や変動要素に起因する可能性がある。また、少なくとも、水平エッチング処理１００ａに作用する重力の影響に基づくと、ガラスシート１１０の上向き主表面に適用される第１エッチング液１２１ａならびに第１エッチング液の副生成物（例えば、スラッジ）は、ガラスシート１１０の上向き主表面に、滞り、漂い、残留する傾向を示す場合があり、一方、ガラスシート１１０の下向き主表面に適用される第２エッチング液１２３ａならびに第２エッチング液の副生成物（例えば、スラッジ）は、ガラスシート１１０の下向き主表面から落下および滴る傾向を示す場合がある。

したがって、ガラスシート１１０のエッチングゾーン１０２ａまたは複数のエッチングゾーンの毎回の通過に関して、第１エッチング液１２１ａおよび第１エッチング液の副生成物を対応するガラスシート１１０の上向き主表面に曝露する時間は、第２エッチング液１２３ａおよび第２エッチング液の副生成物を対応するガラスシート１１０の下向き主表面に曝露する時間より長くなる可能性がある。ガラスシート１１０のエッチング液への曝露時間が異なることで、結果的に、ガラスシート１１０の厚さ１１４の減少量が異なる可能性がある。同様に、第１エッチング液１２１ａおよび第１エッチング液の副生成物は、ガラスシート１１０の上向き主表面に滞り、漂い、残留する傾向を示す場合があるため、新しい第１エッチング液１２１ａは、第１エッチング液１２１ａおよび第１エッチング液の副生成物が、ガラスシート１１０の上向き主表面に滞り、漂い、残留する領域では、ガラスシート１１０の上向き主表面との接触が回避される場合がある。反対に、第２エッチング液１２３ａおよび第２エッチング液の副生成物は、ガラスシート１１０の下向き主表面から落下および滴る傾向を示す場合があるため、新しい第２エッチング液１２３ａは、第２エッチング液１２３ａおよび第２エッチング液の副生成物が、ガラスシート１１０の下向き主表面から落下または滴る領域では、ガラスシート１１０の下向き主表面との接触が回避される場合がある。ガラスシート１１０のエッチング液への曝露における差により、結果的に、ガラスシート１１０の厚さ１１４の減少量が異なる可能性がある。このように、ガラスシート１１０を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次通過する間、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次前方向／逆方向に通過する間、および／またはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを順次通過する間に、裏返すことで、ガラスシート１１０の主表面１１１、１１２を、処理の特徴および変動要素に等しく曝露させて、ガラスシート１１０の主表面１１１、１１２へのエッチング液の適用におけるばらつきを最小化することができるため、ガラスシート１１０の光学的透明度や厚さにおける変動を含めて、エッチング処理１００ａを向上させることができる。

さらに、第１エッチング液１２１ａおよび第２エッチング液１２３ａのガラスシート１１０への適用量（例えば、流量）を変化させることで、エッチング液のガラスシート１１０への適用におけるばらつきを最小化させるため、ガラスシート１１０の光学的透明度や厚さにおける変動を含めて、エッチング処理１００ａを向上させることができる。例えば、別の実施形態では、ガラスシート１１０の上向き主表面に滞り、漂い、残留する第１エッチング液１２１ａならびにガラスシート１１０の下向き主表面から落下および滴る第２エッチング液１２３ａを少なくとも部分的に補うために、１つ以上の上部噴霧器１２０からの第１エッチング液１２１ａの第１の流量を、１つ以上の下部噴霧器１２２からの第２エッチング液１２３ａの第２の流量より少なくすることができる。第１エッチング液１２１ａの流量を調節して第２エッチング液１２３ａの流量より少なくすることで、ガラスシート１１０の対応する上向き主表面とガラスシート１１０の下向き主表面とのエッチング液に曝露させる時間の差を考慮することができ、エッチング液をガラスシート１１０に適用する際のいかなるばらつきも最小化されるため、ガラスシート１１０の光学的透明度や厚さにおける変動を含めて、エッチング処理１００ａを向上させることができる。

また、エッチング室１０２の平面切断図を示す図３に示されるように、ガラスシート１１０は、第１主表面１１１、第２主表面１１２、第１側面１３０、第１側面１３０の反対側の第２側面１３２、第１側面１３０に隣接する第３側面１３１、および第３側面１３１の反対側の第４側面１３３を含むことができる。ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを最初に通過する間に、ガラスシート１１０は、図示のように、ガラスエッチング装置１００に供給できるため、第１主表面１１１は、上部噴霧器１２０および対応する上部噴霧ノズル１２１の１つ以上に面して、第１エッチング液１２１ａに曝露され、かつ第２主表面１１２は、下部噴霧器１２２および対応する下部噴霧ノズル１２３（図２に表示、図３では視野外）の１つ以上に面して、第２エッチング液１２３ａに曝露される。ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを最初に通過した後で、かつガラスシート１１０がその後エッチングゾーン１０２ａを２度目に通過する前に、ガラスシート１１０は、手動またはロボットのいずれかによって裏返す（例えば、ガラスシート１１０の主表面と平行な軸を中心に１８０度回転させる）ことができ、次いで、ガラスエッチング装置１００に供給できるため、第１主表面１１１は、下部噴霧器１２２および対応する下部噴霧ノズル１２３（図２に表示、図３では視野外）の１つ以上に面して、第２エッチング液１２３ａに曝露され、第２主表面１１２は、上部噴霧器１２０および対応する上部噴霧ノズル１２１の１つ以上に面して、第１エッチング液１２１ａに曝露される。ガラスシート１１０がその後エッチングゾーン１０２ａを任意の１回以上通過する際に、ガラスシート１１０を再度裏返す（例えば、ガラスシート１１０の主表面と平行な軸を中心に１８０度回転させる）ことができるため、ガラスシート１１０の第１主表面１１１とガラスシート１１０の第２主表面１１２は、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次通過する間に、第１エッチング液１２１ａおよび第２エッチング液１２３ａに別々に曝露（例えば、交互に曝露）される。

他の実施形態では、ガラスシート１１０を、エッチング処理１００ａの間において、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次通過する間、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次前方向／逆方向に通過する間、および／またはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを順次通過する間のいずれか１つ以上で、再配向（例えば、ガラスシート１１０の主表面と垂直な軸を中心に１８０度回転）させて、ガラスシート１１０の主表面の異なる領域（例えば、第１主表面１１１、第２主表面１１２）を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを以前に通過（例えば、直前に通過）した際に主表面の異なる領域を曝露させた噴霧バーおよび噴霧ノズルとは別の噴霧バーおよび噴霧ノズルに曝露させることができる。例えば、搬送経路１０８ａに沿ってエッチングゾーン１０２ａを通過するガラスシート１１０の水平方向１０９については、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを最初に通過する間に、ガラスシート１１０の第１主表面１１１を、１つ以上の上部噴霧器１２０からの第１エッチング液１２１ａに曝露させることができ、ガラスシート１１０の第２主表面１１２は、１つ以上の下部噴霧器１２２からの第２エッチング液１２３ａに曝露させることができる。この最初の通過の間に、ガラスシート１１０の第１側面１３０は、エッチングゾーン１０２ａを通る前縁とすることができ、ガラスシート１１０の第２側面１３２は、エッチングゾーン１０２ａを通る終端とすることができる。２度目の通過の間に、ガラスシート１１０の第１主表面１１１を、再度、１つ以上の上部噴霧器１２０からの第１エッチング液１２１ａに曝露させることができ、ガラスシート１１０の第２主表面１１２を、１つ以上の下部噴霧器１２２からの第２エッチング液１２３ａに曝露させることができるが、ガラスシート１１０を、再配向（例えば、ガラスシート１１０の主表面と垂直な軸を中心に１８０度回転）させることで、２度目の通過の間に、エッチングゾーン１０２ａを通過して、ガラスシート１１０の第２側面１３２を前端とすることができ、ガラスシート１１０の第１側面１３０を終端とすることができる。

他の実施形態では、ガラスシート１１０は、エッチング処理１００ａの間において、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次通過する間に、任意に一回以上、ガラスシート１１０の主表面と垂直な軸を中心にして任意の角度（例えば、１５度、３０度、４５度、９０度、等）で再配向させて、ガラスシート１１０の主表面の異なる領域（例えば、第１主表面１１１、第２主表面１１２）を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを以前に通過（例えば、直前の通過）した間に、主表面の異なる領域を曝露させる噴霧バーおよび噴霧ノズルとは別の噴霧バーおよび噴霧ノズルに、曝露させることができる。

好都合にも、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次通過する間、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次前方向／逆方向に通過する間、および／またはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを順次通過する間に、ガラスシート１１０を少なくとも１回裏返しおよび再配向させることで、エッチング液をガラスシート１１０に適用する際のばらつきを補償することができる。例えば、最大限の努力にもかかわらず、１つ以上の、上部噴霧器１２０、上部噴霧ノズル１２１、下部噴霧器１２２および下部噴霧ノズル１２３が、対応する第１エッチング液１２１ａおよび第２エッチング液１２３ａを、不均一なパターンでガラスシート１１０に散布する場合があり、ガラスシート１１０の厚さ１１４を不均一に減少させてしまうことがある。エッチング液のそのような不均一な散布は、少なくとも部分的に、噴霧圧、噴霧ノズル同士の差、噴霧器の回転速度および振動の精度、ならびにエッチング処理１００ａの間に遭遇し得る任意の他の処理上の特徴や変動要素に起因する可能性がある。このようにして、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次通過する間、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次前方向／逆方向に通過する間、および／またはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを順次通過する間に、ガラスシート１１０を少なくとも１回裏返しおよび再配向させることで、ガラスシート１１０の主表面１１１、１１２を、処理の特徴および変動要素に等しく曝露させることができ、エッチング液をガラスシート１１０に適用する際のばらつきを最小化させるため、ガラスシート１１０の光学的透明度や厚さにおける変動を含めて、エッチング処理１００ａを向上させることができる。

そのような多重通過のエッチング処理１００ａを複数回繰り返すことで、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５が得られるまで、毎回通過する間に、ガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させることができる。ガラスシート１１０の裏返しおよび／または再配向の任意の組合せ（例えば、ガラスシート１１０の主表面と平行な軸を中心に１８０度回転させる工程、ガラスシート１１０の主表面と垂直な軸を中心に１８０度、９０度、等回転させる工程、ガラスシート１１０の主表面と平行な軸を中心に１８０度回転させて、ガラスシート１１０の主表面と垂直な軸を中心に１８０度、９０度、等回転させる工程、等）を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次通過する間、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次前方向／逆方向に通過する間、および／またはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを順次通過する間に、任意の順序で行うことで、ガラスシート１１０の第１主表面１１１（ならびに第１主表面１１１の１つ以上の領域）およびガラスシート１１０の第２主表面１１２（ならびに第２主表面１１２の１つ以上の領域）を、上部噴霧器１２０と対応する上部噴霧ノズル１２１のいずれか１つ以上からの第１エッチング液１２１ａの噴霧ならびに下部噴霧器１２２および対応する下部噴霧ノズル１２３のいずれか１つ以上からの第２エッチング液１２３ａの噴霧のいずれかまたはすべての組合せに曝露させ得ることが理解されるべきである。

いくつかの実施形態では、エッチング室１０２は、任意の数の噴霧器 （例えば上部噴霧器１２０、下部噴霧器１２２）ならびに任意の数の対応する上部噴霧ノズル１２１および下部噴霧ノズル１２３を含むことができる。噴霧ノズル（例えば、上部噴霧ノズル１２１および下部噴霧ノズル１２３の少なくとも１つ）は、噴霧角度が約４５度から約９０度の範囲内である円錐形ノズルとすることができるが、さらなる実施形態においては、別の噴霧角度が提示される場合がある。また、プロセスパラメータを制御するために、１つ以上の噴霧ノズルおよび／または１つ以上の噴霧器を塞ぐかあるいは停止させて、噴霧ノズルおよび噴霧器からのエッチング液の噴霧動作を阻止してもよい。一実施形態では、４機の上部噴霧器１２０を設けることができ、１機を除いて塞ぐことができる。１つの上部噴霧器１２０は４５度の０．５ガロン／分（ｇｐｍ）（１.８９３Ｌ／分）の円錐形ノズルを４本含むことができる。別の実施形態では、４機の下部噴霧器１２２を設けることができる。下部噴霧器１２２のうちの３つは、４本の９０度の０．７５ｇｐｍ（２.８３９Ｌ／分）の円錐形ノズルを含むことができ、下部噴霧器１２２の１つは、６本の９０度の０．７５ｇｐｍ（２.８３９Ｌ／分）の円錐形ノズルを含むことができる。６本のノズルを備えた下部噴霧器１２２は、１つの上部噴霧器１２０と垂直に整列配置させることができる。噴霧器の他の構成および噴霧ノズルが企図されており、それも開示の範囲内と考えられる。

分離領域１０３は、ガラスシート１１０を洗浄１０４ａに供することができる洗浄室１０４にガラスシート１１０が入る前に、ガラスシート１１０から（例えば、第１エッチング液１２１ａ、第２エッチング液１２３ａ）の残留エッチング液を漱ぎまたは除去することができる。分離領域１０３は、ガラスシート１１０を漱ぐためのノズルと、ガラスエッチング装置１００から漱ぎ液およびエッチング液を排出させるドレンを含むことができる。

洗浄室１０４は、噴霧チューブ、噴霧ノズル、ポンプ、注水装置および流量制御弁を含んで、ガラスシート１１０の洗浄１０４ａを達成することができる。噴霧ノズルは、ガラスシート１１０に液体を噴き付けて、ガラスシート１１０からエッチング液およびエッチング液の副生成物（例えば、スラッジ）を洗浄することができる。いくつかの実施形態において、液体は、水および／または洗浄剤（例えば、洗剤）を含むことができる。ガラスシート１１０からエッチング液およびエッチング液の副生成物を洗浄することで、ガラスシート１１０の厚さ１１４の減少を一時的に（例えば、ガラスシート１１０をその後エッチングゾーン１０２ａに通過させることが望ましい場合）、あるいは、永続的に（例えば、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５が得られた場合）一時的に終息させることができる。ガラスシート１１０がその後毎回エッチングゾーン１０２ａを通過するより前に、洗浄室１０４のガラスシート１１０を洗浄１０４ａすることで、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次毎回通過するより前に、ガラスシート１１０の第１主表面１１１およびガラスシート１１０の第２主表面１１２に残留するエッチング液およびエッチング液の副生成物が確実に浄化され、エッチング処理１００ａの質および均一性を向上させることができる。

したがって、ガラスシート１１０を頻回、そしてその後ガラスシート１１０を毎回エッチングゾーン１０２ａを通過するより前に洗浄１０４ａすることで、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次毎回通過する間に、新しいエッチング液を、ガラスシート１１０に均一に接触させることができる。好都合にも、本開示でエッチング処理１００ａに供したガラスシート１１０の厚さのばらつきは、他のエッチング処理（例えば、垂直槽）に比して減少させることができ、その場合、エッチング液およびエッチング液の副生成物（例えば、スラッジ）は、より長い時間、ガラスシート１１０上に残留することができ、新たなエッチング液のガラスシート１１０への接触を阻止し、ガラスシート１１０の厚さ１１４を不均等かつ不均一に減少させてしまうことがある。

乾燥室１０５は、ファン、送風機、およびガラスシート１１０上にガスを送風するタービンを含めて、ガラスシート１１０からリンス液、洗浄液、および残留のエッチング液などの液体を除去することができる。取り出しステーション１０６は、ガラスシート１１０をその上で搬送可能なコンベア１０８を支持するフレームと、ガラスシート１１０がそこを通過して乾燥室１０５から出てくることができる開口とを含むことができる。抜き取りステーション１０６はまた、抜き取りステーション１０６でガラスシート１１０の有無を決定する１つ以上のセンサーを含んで、例えば、１つ以上の特徴の入／切操作、ならびにガラスエッチング装置１００およびエッチング処理１００ａの操作を制御することができる。

また、ガラスエッチング装置１００は、投入ステーション１０１、エッチング室１０２およびエッチングゾーン１０２ａ、分離領域１０３、洗浄室１０４および洗浄１０４ａ、乾燥室１０５、抜き取りステーション１０６、ならびにコンベア１０８のいずれか１つ以上の操作を含む、ガラスエッチング装置１００およびエッチング処理１００ａの１つ以上の操作を制御するコントローラー１０７を含むことができる。例えば、コントローラー１０７は、マイクロコントローラー、プログラマブルロジックコントローラー（ＰＬＣ）、離散コントローラー、回路、コンピューター、あるいは能動的または受動的なユーザーインターフェース等の他の機械式または電子制御の特徴のいずれか１つ以上を含むことができ、それにより、ロボットまたはヒトユーザーは、ガラスエッチング装置１００およびエッチング処理１００ａの操作のいずれか１つ以上を選択、調節、開始、停止、またそれ以外に制御を行うことができる。さらなる実施形態において、ガラスエッチング装置１００は、コントローラーの有無に関わらず、一部または全体的に手動で操作してもよい。

本明細書に記載の主題および機能的な操作の実施形態は、本明細書に開示の構造およびそれらの構造的等価物など、デジタル電子回路、コンピューターソフトウェア、ファームウェア、ハードウェアの任意の１つ以上の組合せなどの、任意の１つ以上において実装可能である。本明細書に記載の主題の実施形態は、１つ以上のコンピュータープログラム製品（例えば、実行するための有形のプログラムキャリア上で、データ処理装置の動作を制御することによって、または制御するためにコード化されたコンピュータープログラムの命令の１つ以上のモジュール等）として実装することができる。有形のプログラムキャリアは、コンピューター可読媒体とすることができる。コンピューター可読媒体は、任意の１つ以上の組合せを含め、機械可読な記憶装置、機械可読な記憶基板、およびメモリー装置の任意の１つ以上とすることができる。

「プロセッサー」または「コントローラー」という用語は、例示的な実施形態として、プログラム可能なプロセッサー、コンピューター、あるいはマルチプロセッサーやマルチコンピューターを含む、データを処理するためのすべての機器、装置および機械を包含することができる。プロセッサーは、ハードウェアに加えて、目的のコンピュータープログラムに実行環境を作成するコード（例えば、任意の１つ以上の組合せを含め、プロセッサーファームウェア、プロトコルスタック、データベース管理システム、およびオペレーティングシステムの任意の１つ以上を含むコード）を含むことができる。

コンピュータープログラム（プログラム、ソフトウェア、ソフトウェアアプリケーション、スクリプト、またはコードとしても既知）は、コンパイルまたは翻訳された言語、あるいは宣言型言語または手続き型言語などの、プログラム言語の任意の形態で書くことができ、独立型プログラムとして、あるいは演算環境での使用に適したモジュール、コンポーネント、サブルーチン、あるいは他のユニットとして、任意の形態で展開することができる。コンピュータープログラムが、ファイルシステムのファイルに必ずしも対応する必要はない。プログラムは、他のプログラムまたはデータ（例えば、マークアップ言語文書に保存される１つ以上のスクリプト）を保持するファイルの一部に、対象とするプログラム専用の単一のファイル、あるいは多重連携型ファイル（例えば、１つ以上のモジュール、サブプログラムまたはコードの一部分を保存するファイル）に、保存することができる。コンピュータープログラムは、１台のコンピューターで、または１つのサイトに位置するか、または複数のサイトに亘って分散し、通信ネットワークによって相互接続された複数のコンピューターで実行されるべく展開することができる。

本明細書に記載される処理および論理のフローは、入力データを操作し出力を生成することによって、機能を果たすための１つ以上のコンピュータープログラムを実行する１つ以上のプログラム可能なプロセッサーによって実施することができる。処理および論理フローはまた、専用論理回路（例えばＦＰＧＡ（フィールドプログラマブルゲートアレイ）またはＡＳＩＣ（特定用途向け集積回路）など）によって実行することができ、装置もまたそれらとして実装することができる。

コンピュータープログラムの実行に適したプロセッサーには、例示的な実施形態として、汎用および専用のマイクロプロセッサー、ならびに任意の種類のデジタルコンピューターの任意の１つ以上のプロセッサーが含まれる。一般的に、プロセッサーは、読出し専用メモリー、ランダムアクセスメモリー、あるいはそれら両方からの命令およびデータを受信する。コンピューターの必須要素は命令を実行するためのプロセッサー、ならびに命令およびデータを保存するための１つ以上の記憶装置である。一般的に、コンピューターはまた、データを保存するための１つ以上の大容量記憶装置、（例えば、磁気ディスク、光磁気ディスクまたは光ディスク）を含む、もしくはそれらからのデータを受信またはそれらにデータを転送する、あるいはその両方を行うために操作可能に接続されている。しかしながら、コンピューターはそのような装置を有する必要はない。

コンピュータープログラムの命令およびデータを保存するために適したコンピューター可読媒体は、不揮発性メモリー、媒体および記憶装置などのすべての形態のデータメモリーを含み、例示的な実施形態として、半導体記憶装置（例えば、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭおよびフラッシュメモリ装置）、磁気ディスク（例えば、内蔵ハードディスクまたは取外し可能ディスク）、光磁気ディスク、そして、ＣＤ-ＲＯＭおよびＤＶＤ-ＲＯＭのディスクを含む。プロセッサーおよびメモリーは専用論理回路により補完されるか、またはその論理回路に組み込むことができる。

ユーザーとの対話処理を行うために、本明細書に記載される主題の実施形態は、ユーザーに情報を表示するための表示装置（例えば、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）モニタ）およびユーザーがコンピューターへの入力を行うことができるキーボードおよびポインティング装置（例えば、マウスまたはトラックボール）を有するコンピューター上で実装することができる。他の種類の装置も同様にユーザーとの対話処理を行うために用いることができ、例えば、ユーザーからの入力は、音響、音声または触覚による入力など、任意の形態で受信できる。

本明細書に記載される主題の実施形態は、バックエンドコンポーネント（例えば、データサーバー）を含む、またはミドルウェアコンポーネント（例えば、アプリケーションサーバー）を含む、あるいはユーザーが本明細書に記載の主題を実装と対話が可能なグラフィカルユーザーインターフェイスまたはウェブブラウザを有するフロントエンドコンポーネント（例えば、クライアントコンピューター）を含む、コンピューターシステムで、
あるいはそのようなバックエンド、ミドルウェア、またはフロントエンドのコンポーネントの１つ以上の任意の組合せで実装することができる。システムのコンポーネントは、通信ネットワーク等のデジタルデータ通信の任意の形態または媒体によって相互接続することができる。通信ネットワークの実施形態は、インターネット等の構内通信ネットワーク（「ＬＡＮ」）および広域通信ネットワーク（「ＷＡＮ」）を含む。コンピューティングシステムは、クライアントおよびサーバーを含むことができる。クライアントおよびサーバーは、概して相互に離れている可能性があり、典型的に通信ネットワークを介して相互対話を行う場合がある。クライアントおよびサーバーの関係は、それぞれのコンピューターで動き、クライアントサーバーと相互関係を有するコンピュータープログラムによって生じ得る。

いくつかの実施形態では、ガラスエッチング装置１００は、チタン、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、およびガラス繊維の少なくとも１つを含む金属およびプラスチックの少なくとも１つから構成することができる。ガラスエッチング装置１００は、これらに限定されるものではないが、入切スイッチ、アナログ表示、デジタル表示、制御電位差計、ステータスライト、インジケーターライト、連動ライト、ならびにその他表示ノブ、スイッチ、センサー、および信号等の追加の特徴を含むことができる。さらに、例えば、ガラスシート１１０を薄くするために用い得る浸水エッチング処理および機械光沢処理と比べると、本明細書に開示されるエッチング処理１００ａは、連続して比較的速いペースでガラスシートを薄くすることができるため、時間の節約、コスト削減ならびに処理生産量の増大が図れる。ガラスエッチング装置１００の前述の特徴は、例示的な特徴であり、本開示の範囲を制限することを意図するものではないことが理解されるべきである。このように、ガラスエッチング装置１００の他の特徴および構成が、本開示において企図され、すでに記載の特徴ならびに本明細書において明示的に示されていない特徴など、任意の同じ、類似、または異なる特徴を含むことができる。

したがって、ガラスエッチング装置１００の特徴および構成が、ガラスシート１１０の大きさ、あるいはガラスシート１１０の所望の寸法特性、光学的透明度、あるいはガラスエッチング装置１００のいずれか１つ以上の特徴および構成の選択、制御、調節、変更および修正を少なくとも一部決定付け得る他の特徴などの任意の他のパラメータに少なくとも一部基づいて、選択、制御、調節、変更、修正できることが理解されるべきである。よって、本明細書に明示的に記載されていないガラスエッチング装置など他のガラスエッチング装置もまた、エッチング処理１００ａを行うための他の実施形態に提供することができる。さらに、本明細書に明示的に記載されていない特徴を含めた本明細書に開示されるガラスエッチング装置１００の任意の特徴は、エッチング処理１００ａの前、間、後に修正、変更、および調節することで、本開示の範囲を逸脱することなく、エッチング処理１００ａに従うガラスを処理するための１つ以上の異なる特徴および構成を含むことができる。

ガラスシート１１０をエッチング処理１００ａに供することでガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させる方法は、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３を、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５に減少できるまで、ガラスシートに１１０を搬送経路１０８ａに沿ってエッチングゾーン１０２ａを複数回通過させる工程と、エッチングゾーン１０２ａを毎回通過した後にガラスシート１１０を洗浄１０４ａする工程とを含むことができる。

該方法は、さらに、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを最初に通過する間に、ガラスシート１１０の第１主表面１１１を第１エッチング液１２１ａに曝露させる工程と、ガラスシート１１０の第２主表面１１２を第２エッチング液１２３ａに曝露させる工程と、次いで、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを次に通過する間に、ガラスシート１１０の第１主表面１１１を第２エッチング液１２３ａに曝露させる工程と、ガラスシート１１０の第２主表面１１２を第１エッチング液１２１ａに曝露させる工程と、を含むことができる。一実施形態において第１エッチング液１２１ａは、搬送経路１０８ａの上に配置された１つ以上の上部噴霧器１２０からガラスシート１１０に供給することができ、第２エッチング液１２３ａは、搬送経路１０８ａの下に配置された１つ以上の下部噴霧器１２２からガラスシート１１０に供給することができる。別の実施形態では、上部噴霧器１２０からの第１エッチング液１２１ａの第１の流量は、下部噴霧器１２２からの第２エッチング液１２３ａの第２の流量より少なくなる可能性がある。

一実施形態において該方法は、さらに、エッチングゾーン１０２ａを連続して２回通過する間、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次前方向／逆方向に通過する間、そして／あるいはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを順次通過する間に、ガラスシート１１０の主表面（例えば、第１主表面１１１、第２主表面１１２）と平行な軸を中心にガラスシート１１０を１８０度回転させることで、ガラスシート１１０を裏返す工程を含むことができる。別の実施形態では、該方法は、さらに、エッチングゾーン１０２ａを次に通過する前に、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを次に前方向／逆方向に通過する前に、そして／またはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを次に通過する前に、ガラスシート１１０の主表面（例えば、第１主表面１１１、第２主表面１１２）と垂直な軸を中心に、ガラスシート１１０を１８０度、９０度等回転させることによって、ガラスシート１１０を再配向させる工程を含むことができる。

さらに別の実施形態では、該方法は、さらに、エッチングゾーン１０２ａを連続して２回通過する間、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次前方向／逆方向に通過する間、そして／あるいはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを順次通過する間に、ガラスシート１１０の主表面（例えば、第１主表面１１１、第２主表面１１２）と垂直な軸を中心にガラスシート１１０を１８０度回転させることで、ガラスシート１１０を再配向させる工程を含むことができる。また別の実施形態では、該方法は、さらに、ガラスシート１１０の主表面（例えば、第１主表面１１１、第２主表面１１２）と平行な軸を中心にガラスシートを１８０度回転させることで、ガラスシート１１０を裏返す工程と、エッチングゾーン１０２ａを連続して毎回通過する間、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを順次前方向／逆方向に通過する間、および／またはガラスシート１１０が複数のエッチングゾーンを順次通過する間に、ガラスシート１１０の主表面（例えば、第１主表面１１１、第２主表面１１２）と垂直な軸を中心にガラスシート１１０を１８０度回転させることで、ガラスシート１１０を再配向させる工程の少なくとも一方を含むことができる。

一実施形態において、最終所定厚さ１１５を含むガラスシート１１０は、約９８.５以上となり得る像鮮明度を含むことができる。別の実施形態では、像鮮明度は、ガラスシート１１０を機械研磨処理に供することなく得ることができる。この用途の目的において、機械研磨法処理とは、ガラスシートの表面と固形物（例えば、ツールの研磨表面、研磨粉）を機械的に係合させて、ガラスシートを表面研磨し、ガラスシートの厚さを減少させるまたはガラスシートの表面平滑性を向上させる処理を意味する。

本明細書に開示の実施形態に従う例示的なエッチング処理１００ａから得られるデータの代表的サンプルを、表１に示している。表１のデータは、華氏９０度の処理温度で、噴霧振動を１つ以上の上部噴霧器１２０の方向１２５に沿わせ、１つ以上の下部噴霧器１２２を２５サイクル／分とし、エッチングゾーン１０２ａへの滞留時間を４分間として、得たものである。表示の初期厚さ１１３のフュージョンドローガラスシートを、１つ以上の上部噴霧器１２０および１つ以上の下部噴霧器１２２の両方から供給されるエッチング液を異なる濃度（例えば、％ＨＦ、％ＨＮＯ３）で、エッチングゾーン１０２ａを複数回（例えば、圧延通過回数）通過させて、７５マイクロメートルまで薄くした。表１の１列目のデータで示されるように、約９８.５以上の像鮮明度値は、ハフニウム１０％と硝酸５％を含むエッチング液を用い、初期厚さ４００マイクロメートルのガラスシートを１５回通過させて、７５マイクロメートルまで薄くした時に得られた。

表１のデータを得るために用いられたデータならびに処理のパラメータは、単に例示的な目的のために設けられたものであり、別段の記載がない限り、本開示の範囲を制限することを意図したものではないことが理解されるべきである。

別の実施形態では、（ｉ）ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５の厚さの変動を、約４マイクロメートルから約９マイクロメートルとすることができ、かつ（ｉｉ）ガラスシート１１０の初期厚さ１１３の第１の厚さ変動とガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５の第２の厚さ変動との差の絶対値を、約０マイクロメートルから約７マイクロメートルとすることができる、という条件の少なくとも１つを達成することができる。さらに別の実施形態では、前記厚さ変動と第１の厚さ変動と第２の厚さ変動の少なくとも１つを、ガラスシート１１０を機械研磨処理に供することなく得ることができる。例えば、本明細書に開示の実施形態に従う例示的なエッチング処理１００ａから得られるデータの代表的サンプルを、表２に示している。表に２に示されるデータは、表示の初期厚さ１１３を有する、異なるガラス組成物（例えば、Ｃｏｒｎｉｎｇ社（ニューヨーク州コーニング市）から販売されるガラスコード２３１９、ＥＡＧＬＥ ＸＧ（登録商標）のフュージョンドローガラスシートを、異なるエッチング液濃度（例えば、ハフニウム濃度）で、エッチングゾーン１０２ａに複数回（例えば、圧延通過回数）通過させて、７５マイクロメートルまで薄くした時に得た。表２のデータで示されるように、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５の厚さ変動（例えば、エッチング後の総厚さ変動の平均）は、約３マイクロメートルから約９マイクロメートルであった。また、総厚さ変動の差分で示される（ｉ）ガラスシート１１０の初期厚さ１１３の第１の厚さ変動（例えば、エッチング前の総厚さ変動の平均）と、（ｉｉ）ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５の第２の厚さ変動（例えば、エッチング後の総厚さ変動の平均）差の絶対値は、約０マイクロメートルから約７マイクロメートルであった。いくつかの実施形態では、ガラスシート１１０の最終厚さの公差と最終厚さの変動が、ガラスシート１１０の初期厚さの公差と初期厚さの変動に少なくとも部分的に基づき得るため、ガラスシート１１０の初期の厚さ１１３をより良好に制御（例えば、小さい変動）することで、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５のエッチング後の厚さの総公差と最終厚さの変動を、同様に減少させることができる。

表２のデータを得るために用いられたデータならびに処理のパラメータは、例示的な目的のために設けられたものであり、別段の記載がない限り、本開示の範囲を制限することを意図したものではないことが理解されるべきである。

一実施形態において、該方法は、さらに、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、約２０マイクロメートルから約４０マイクロメートルだけ減少させる工程を含むことができる。別の実施形態では、該方法は、さらに、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで減少させる工程を含むことができる。

例えば、エッチング液の濃度は、材料をガラスシート１１０から除去可能な速度、およびガラスシート１１０の厚さ１１４を減少可能な速度を含めて、ガラスシート１１０のエッチングが可能な速度を、少なくとも部分的に制御することができる。ガラスシート１１０の組成もまた、少なくとも部分的に、ガラスシート１１０のエッチングが可能な速度を制御することができる。いくつかの実施形態では、エッチング液は、特殊な組成のガラスに適用する場合に、約２０マイクロメートル／分のエッチング速度を達成することが可能なハフニウム２０％と硝酸１０％を含むことができる。他の実施形態では、エッチング液は、特殊な組成のガラスを適用する場合に、約１５マイクロメートル／分のエッチング速度を達成することが可能なハフニウム１５％と硝酸７.５％を含むことができる。さらに別の実施形態では、エッチング液は、特殊な組成のガラスを適用する場合に、約１０マイクロメートル／分のエッチング速度を達成することが可能なハフニウム１０％と硝酸５％を含むことができる。他の実施形態は、ハフニウムと硝酸を２：１の比率で含むエッチング液を用いる場合がある。ハフニウムの濃度は、ガラスシート１１０のエッチングが可能な速度を直接制御することができるため、より高い濃度の酸は、より速い（例えば、急激な）エッチング速度をもたらすことができ、方やより低い濃度の酸は、より遅い（例えば、あまり急激ではない）エッチング速度をもたらすことができる。いくつかの実施形態では、より遅いエッチング速度では、エッチング処理１００ａおける材料の除去がより良好に制御できるようになり、ガラスシート１１０の厚さ変動が小さくなり光学的透明度が向上する結果となるが、方やより速いエッチング速度では、エッチング処理１００ａおける材料の除去が良好には制御できなくなり、ガラスシート１１０の厚さ変動が大きくなり光学的透明度が低下する結果となる。しかしながら、より遅いエッチング速度では、相当量の材料を除去する際の処理時間が長くなるため、処理の能力および生産量が低下する場合があるが、方やより高いエッチング速度では、相当量の材料を除去する際の処理時間が短くなるため、処理の能力および生産量は増大する場合がある。本明細書に開示される装置および方法は、処理時間と処理品質の少なくとも一方にバランスをもたらし、エッチング液に濃度約２０％から約１０％のハフニウムを含めることができる。したがって、いくつかの実施形態では、濃度１０％未満のハフニウムを含むエッチング液は、高品質で薄いガラスシート１１０の製造が可能ではあるが、ガラスシート１１０のエッチング速度は、実用化には遅過ぎる可能性がある速度に設定する場合がある。同様に、いくつかの実施形態では、ハフニウム濃度が２０％を超えるエッチング液は、ガラスシート１１０のエッチング速度をより速く設定することは可能であるが、特殊用途には不適格な質のガラスシート１１０を製造する場合がある。

さらに、エッチング液の温度および／またはエッチングゾーン１０２ａ内の環境を制御することで、ガラスシート１１０のエッチングが可能な速度を制御することができる。例えば、エッチング液の温度は、華氏約１３０度と高く設定される場合がある。他の実施形態では、エッチング液の温度は華氏約９０度に、あるいは華氏約８０度から華氏約１２０度に設定することができる。高い温度は、速いエッチング速度に対応することができる。例えば、一定の酸濃度では、エッチング液の温度を華氏９０度から華氏１２０度に変更することで、ガラスシート１１０のエッチングが可能な速度をほぼ２倍にし得ることに気付くことができる。

また、コンベア１０８の速度もまた、制御できる。いくつかの実施形態において、コンベア１０８の速度は、毎分約２．５４センチメートルから毎分約６３．５センチメートルまで調節することができる。エッチング室１０２の既知の長さおよびガラスシート１１０のエッチングが可能な既知の速度に少なくとも基づく場合、コンベア１０８の速度は、ガラスシート１１０が複数回エッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、目標とする量の材料を除去するように選択できる。既知のエッチング速度は、例えば、エッチング液の化学物質濃度、エッチング液の温度、およびガラスシート１１０の組成に少なくとも一部基づいて決定することができる。したがって、ガラスシート１１０のエッチング室１０２内での滞留時間は、エッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびにガラスシート１１０から選択量の材料を除去して、ガラスシート１１０をエッチング処理１００ａに複数回供した後に最終所定厚さ１１５を有するガラスシート１１０を製造するように、決定および選択することができる。

除去した材料の量、すなわち、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびの、ガラスシート１１０の厚さ１１４の減少は、ガラスシート１１０の厚さ変動および光学的透明度に強い影響を及ぼす可能性がある。例えば、単回通過する間に、過度に多量の材料を除去すると、ガラスシート１１０上にエッチング液の副生成物が過剰に蓄積する可能性があり、新たなエッチング液がガラスシート１１０に接触する能力が低下するため、材料を不均等かつ不均一に除去してしまう結果となる。一方、単回通過する間に、材料の除去が過度に少量であると、ガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５を達成するために、多数回通過させる可能性があり、実用化には処理の時間が長過ぎることになるであろう。したがって、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、ガラスシート１１０を毎回通過した後に、併せてガラスシート１１０を頻回洗浄１０４ａしつつ、ガラスシート１１０の厚さ１１４を約２０から約４０マイクロメートルだけ減少させることで、少なくとも処理時間と処理品質のバランスを取ることができる。したがって、いくつかの実施形態では、エッチングゾーン１０２ａを通過するたびに、ガラスシート１１０の厚さ１１４から２０マイクロメートル未満を除去する場合、高品質で薄いガラスシート１１０の製造は可能であるが、実用化に際してエッチング処理１００ａに時間がかかり過ぎる結果となる場合がある。同様に、いくつかの実施形態では、エッチングゾーン１０２ａを通過するたびに、ガラスシート１１０の厚さ１１４から４０マイクロメートル超を除去する場合、処理時間を速くすることは可能であるが、特殊用途には不適格な品質のガラスシート１１０を製造することがある。

さらなる実施形態において、１つ以上の上部噴霧器１２０および１つ以上の下部噴霧器１２２の噴霧圧は、ゲージ圧で平方インチ当たり約５ポンド（ｐｓｉｇ）（約３４４７３.８Ｐａ）から約３０ｐｓｉｇ（約２０６８４３Ｐａ）に、ともにまたは個別に調節することができる。噴霧圧は、例えば、ガラスシート１１０の主表面からエッチングの副生成物（例えば、スラッジ）を洗い流して、エッチング処理１００ａの均一性を向上させて、ガラスシート１１０の厚さ変動を減少させつつ、ガラスシート１１０の高い光学的透明度の維持が可能となるように、選択することができる。いくつかの実施形態において、低い噴霧圧は、ガラスシート１１０上に加わり付与される衝撃、力、および応力を制限するように選択する場合がある。上部噴霧ノズル１２１および下部噴霧ノズル１２３は、円錐形またはファンパターンのノズル、ならびに特殊な噴霧角度と流量を備えた任意の他のノズルとすることができる。また、１つ以上の上部噴霧器１２０および１つ以上の下部噴霧器１２２の噴霧圧は、それぞれの軸を中心に（例えば、図３にて矢印１２５で示されるように）を中心に、（例えば、モーターの動作によって）回転および振動して、エッチング液をガラスシート１１０に均一に噴霧し、ガラスシート１１０の第１主表面１１１の全体およびガラスシート１１０の第２主表面１１２の全体の完全な被覆を達成することができる。１つ以上の上部噴霧器１２０および１つ以上の下部噴霧器１２２の振動はまた、エッチングの副生成物（例えば、スラッジ）をガラスシート１１０の主表面から除去および洗浄する場合の助力ともなり得る。

また、除去された総材料（例えば、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３とガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５との差）は、ガラスシート１１０の厚さ変動および光学的透明度に影響を及ぼす可能性がある。例えば、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを１回通過する間に現れるガラスシート１１０の厚さ１１４の任意の変動は、順次毎回通過する間に、ガラスシート１１０の厚さ変動に累積的な（例えば、付加的な）影響を及ぼし得るため、エッチング処理１００ａの間に、ガラスシート１１０からより多くの総材料を除去する特定の状況では、累積的影響がさらに高まる可能性があり、最終所定厚さ１１５の最終厚さの変動がさらに増大する結果となる。したがって、エッチング処理１００ａは、ガラスシート１１０から除去される材料の総量に少なくとも一部基づいて、制御することで、エッチング処理１００ａのガラスシート１１０の厚さ変動および光学的透明度への累積的影響を軽減することができる。例えば、いくつかの実施形態において、エッチング処理１００ａの間に相当量の総材料をガラスシート１１０から除去できる場合、前述のように、エッチング処理１００ａを制御して、通過するたびに厚さ変動および光学的透明度を向上させることで、ガラスシート１１０を複数回通過させる際の累積的影響を減少させることができる。同様に、いくつかの実施形態では、エッチング処理１００ａの間により少量の総材料をガラスシート１１０から除去することができる場合、前述のように、エッチング処理１００ａを制御して、エッチング処理１００ａの処理速度を増大させ、おそらく、通過するたびに厚さ変動および光学的透明度を犠牲にしてしまう可能性があるが、ガラスシート１１０を複数回の通過に供した後の累積的影響を考慮する場合に、厚さ変動および光学的透明度が許容し得ないほどの結果になることはない。

一実施形態では、ガラスシート１１０をエッチングゾーン１０２ａに通過させる工程の間に、ガラスシート１１０を、約１０％から約２０％のハフニウムを含むエッチング液（例えば、第１エッチング液１２１ａ、第２エッチング液１２３ａ）に曝露させることができる。別の実施形態では、ガラスシート１１０をエッチングゾーン１０２ａに通過させる工程の間に、ガラスシート１１０を、約１５％から約２０％のハフニウムを含むエッチング液（例えば、第１エッチング液１２１ａ、第２エッチング液１２３ａ）に曝露させることができる。さらに別の実施形態では、ガラスシート１１０をエッチングゾーン１０２ａに通過させる工程の間に、ガラスシート１１０を、ハフニウム約１５％を含むエッチング液（例えば、第１エッチング液１２１ａ、第２エッチング液１２３ａ）に曝露させることができる。

図４、図５、図６、図７は、様々なガラスシートに関して、Ｘ軸に沿って同定したＹ軸上の像鮮明度の例示的なデータを描いている。各プロットは記号を含んでおり、「ＭＮ」は一組のデータの最小値を示し、「ＭＸ」は、一組のデータの最大値を示し、「ＭＤ」は、一組のデータの中間値を表し、「Ｑ１」は、一組のデータの第１の四分位数であり、「Ｑ３」は、一組のデータの第３の四分位数である。

特に、図４を参照すると、４０１は、他のデータと比較するためのベースラインとして用いられた市販の画面保護シートに関する像鮮明度データを表し、４０２は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、２０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、４０３は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、３０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、４０４は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、４０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、４０５は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、２０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、４０６は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、３０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、４０７は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、４０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表している。図に示されるように、４０２、４０３、４０４、４０５、４０６および４０７の各々に関するすべてのデータポイントは、約９８.５以上の像鮮明度値を含むため、ベースラインの市販の画面保護シート４０１を表す像鮮明度データと同等である。図４のデータを得るために用いられたデータならびにプロセスパラメータは、単に例示的な目的のために設けられたものであり、別段の記載がない限り、本開示の範囲を制限することを意図したものではないことが理解されるべきである。

図４においてデータ（例えば、４０２、４０３、４０４、４０５、４０６および４０７の各々）で示されるように、一実施形態では、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３とガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５との差は、０マイクロメートル超かつ約１５０マイクロメートル以下とすることができ、該方法は、さらに、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、約２０マイクロメートルから約４０マイクロメートルだけ減少させる工程と、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約１５マイクロメートル／分の速さで減少させる工程とを含むことができる。

図５は、様々なガラスシートに関して、Ｘ軸に沿って同定したＹ軸上の像鮮明度を示す。特に、５０１は、他のデータと比較するためのベースラインとして用いる市販の画面保護シートの像鮮明度データを表し、５０２は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、２０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、５０３は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、３０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、５０４は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、４０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、５０５は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、２０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、５０６は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、３０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、５０７は、２００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、４０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表している。図に示されるように、５０２、５０３、５０５、および５０６の各々に関するすべてのデータポイントは、約９８.５以上の像鮮明度値を含むため、ベースラインの市販の画面保護シート５０１を表す像鮮明度データと同等であるが、方や５０４および５０７の各々は、像鮮明度値が約９８.５未満であるデータポイントを少なくとも１つ含むため、ベースラインの市販の画面保護シート５０１を表す像鮮明度データと同等とはならない。図５のデータを得るために用いられたデータならびにプロセスパラメータは、単に例示的な目的のために示されたものであり、別段の記載がない限り、本開示の範囲を制限することを意図したものではないことが理解されるべきである。

図５においてデータ（例えば、５０２、５０３、５０５および５０６の各々）によって示されるように、別の実施形態では、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３とガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５との差は、０マイクロメートル超かつ約１５０マイクロメートル以下とすることができ、該方法は、さらに、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、約２０マイクロメートルから約３０マイクロメートルだけ減少させる工程と、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで減少させる工程とを含むことができる。

図６は、様々なガラスシートに関して、Ｘ軸に沿って同定したＹ軸上の像鮮明度データを示す。特に、６０１は、他のデータと比較するためのベースラインとして用いる市販の画面保護シートの像鮮明度データを表し、６０２は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、２０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、６０３は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、３０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、６０４は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、４０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、６０５は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、２０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、６０６は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、３０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、６０７は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム１５％を含むエッチング液に供され通過するたびに、４０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表している。図に示されるように、６０２、６０３、６０５、および６０６の各々に関するすべてのデータポイントは、約９８.５以上の像鮮明度値を含むため、ベースラインの市販の画面保護シート６０１を表す像鮮明度データと同等であるが、方や６０４および６０７の各々は、像鮮明度値が約９８.５未満であるデータポイントを少なくとも１つ含むため、ベースラインの市販の画面保護シート６０１を表す像鮮明度データと同等とはならない。図６のデータを得るために用いられたデータならびにプロセスパラメータは、単に例示的な目的のために設けられたものであり、別段の記載がない限り、本開示の範囲を制限することを意図したものではないことが理解されるべきである。

図６でデータ（例えば、６０２および６０３の各々）によって示されるように、さらに別の実施形態では、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３とガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５との差は、約１５０マイクロメートル超かつ約３００マイクロメートル以下とすることができ、該方法は、さらに、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、約２０マイクロメートルから約３０マイクロメートルだけ減少させる工程と、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約１５マイクロメートル／分の速さで減少させる工程とを含むことができる。

また、図６でデータ（例えば、６０５および６０６の各々）によって示されるように、また別の実施形態では、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３とガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５との差は、約３００マイクロメートル超とすることができ、該方法は、さらに、エッチング処理１００ａを制御して、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、０マイクロメートル超から約３０マイクロメートル未満だけ、ガラスシート１１０の厚さ１１４を減少させる工程と、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約１５マイクロメートル／分の速さで減少させる工程とを含むことができる。

図７は、様々なガラスシートに関して、Ｘ軸に沿って同定したＹ軸上の像鮮明度データを示す。特に、７０１は、他のデータと比較するためのベースラインとして用いる市販の画面保護シートの像鮮明度データを表し、７０２は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、２０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、７０３は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、３０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、７０４は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、１００マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、４０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、７０５は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、２０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、７０６は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、３０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表し、７０７は、４００マイクロメートルの初期厚さを有し、６９マイクロメートルまで薄くされ、ハフニウム２０％を含むエッチング液に供され通過するたびに、４０マイクロメートル除去されたガラスシートに関する像鮮明度データを表している。図に示されるように、７０２のデータポイントはすべて、約９８.５以上の像鮮明度値を含むため、ベースラインの市販の画面保護シート７０１を表す像鮮明度データと同等であるが、方や７０３、７０４、７０５、７０６および７０７の各々は、像鮮明度値が約９８.５未満であるデータポイントを少なくとも１つ含むため、ベースラインの市販の画面保護シート７０１を表す像鮮明度データと同等とはならない。図７のデータを得るために用いられたデータならびにプロセスパラメータは、単に例示的な目的のために設けられたものであり、別段の記載がない限り、本開示の範囲を制限することを意図したものではないことが理解されるべきである。

図７においてデータ（例えば、７０２）によって示されるように、さらに別の実施形態では、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３とガラスシート１１０の最終所定厚さ１１５との差は、約１５０マイクロメートル超かつ約３００マイクロメートル以下とすることができ、該方法は、さらに、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルだけ減少させる工程と、エッチング処理１００ａを制御してガラスシート１１０の厚さ１１４を、ガラスシート１１０がエッチングゾーン１０２ａを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで減少させる工程とを含む。

本明細書に記載のガラスシート１１０は、より大きなガラスシートから分離することができ、あるいは、例えば、溶融ガラスを成形体に流し込んで、スロットドロー、フロート、ダウンドロー、フュージョンドロー、またはアップドローなどの任意のリボン成形処理を用いて製造された、ガラスリボンから分離することができる。いくつかの実施形態では、ガラスシート１１０は、何ら事前の処理を行わず、一旦ガラスリボンから分離して、エッチング処理１００ａに供することができる。他の実施形態では、ガラスシート１１０は、従来のエッチングまたは機械研磨法処理の１つ以上を用いて、（例えば、ガラスシート１１０の初期厚さ１１３と一致する）中間厚さに予め薄くし、次いで、本明細書に開示されるエッチング処理１００ａに供することができる。他の実施形態では、エッチング処理１００ａに供した後、ガラスシート１１０にイオン交換処理を施すことで、ガラスシート１１０の表面強さおよび縁端強さの少なくとも一方を増大させることができる。

上記の実施形態に対する多数の変更例および修正例は、本明細書に記載の精神および様々な原則から大きく逸脱しない範囲で、制作してもよい。そのような修正例および変形例はすべて、本開示ならびに以下の請求項の範囲内で、本明細書に含まれることを意図している。したがって、様々な修正例および変形例が、特許請求される主題の精神および範囲から逸脱しない範囲で制作できることは、当業者には明らかである。

以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。

実施形態１
ガラスシートをエッチング処理に供することで該ガラスシートの厚さを減少させる方法であって、
該ガラスシートの初期厚さが該ガラスシートの最終所定厚さに減少するまで、該ガラスシートを搬送経路に沿ってエッチングゾーンを複数回通過させる工程と、
該ガラスシートを、該エッチングゾーンに毎回通過させた後に洗浄する工程と、
を含む方法。

実施形態２
該エッチングゾーンが複数のエッチングゾーンを含み、該ガラスシートを、該搬送経路に沿って該複数のエッチングゾーンの各々に複数回を含め少なくとも１回通過させ、該ガラスシートが、該複数のエッチングゾーンの各々を毎回通過した後に洗浄される実施形態１に記載の方法。

実施形態３
実施形態１または実施形態２に記載の方法であって、
該ガラスシートが該エッチングゾーンを最初に通過する間に、該ガラスシートの第１主表面を第１エッチング液に曝露させ、該ガラスシートの第２主表面を第２エッチング液に曝露させる工程と、
そして次に、該ガラスシートが該エッチングゾーンを次に通過する間に、該ガラスシートの該第１主表面を該第２エッチング液に曝露させ、該ガラスシートの該第２主表面を該第１エッチング液に曝露させる工程と、
をさらに含む方法。

実施形態４
該第１エッチング液が、該搬送経路上に配置された上部噴霧器から該ガラスシートに供給され、該第２エッチング液が、該搬送経路の下に配置された下部噴霧器から該ガラスシートに供給される実施形態３に記載の方法。
実施形態５
該上部噴霧器からの該第１エッチング液の第１の流量が、該下部噴霧器からの該第２エッチング液の第２の流量より小さい実施形態４に記載の方法。

実施形態６
該ガラスシートの主表面と平行な軸を中心に該ガラスシートを１８０度回転させることで、該エッチングゾーンを連続して２回通過する間に、該ガラスシートを裏返す工程をさらに含む、実施形態１から５のいずれか一項に記載の方法。

実施形態７
該エッチングゾーンを次に通過する前に、該ガラスシートの該主表面と垂直な軸を中心に該ガラスシートを１８０度回転させることで、該ガラスシートを再配向させる工程をさらに含む、実施形態６に記載の方法。

実施形態８
該エッチングゾーンを連続して２回通過する間に、該ガラスシートの主表面と垂直な軸を中心に該ガラスシートを１８０度回転させることで、該ガラスシートを再配向させる工程をさらに含む、実施形態１から５のいずれか一項に記載の方法。

実施形態９
該ガラスシートの主表面と平行な軸を中心に該ガラスシートを１８０度回転させることで、該ガラスシートを裏返す工程と、
該エッチングゾーンを連続して毎回通過させる間に、該ガラスシートの主表面と垂直な軸を中心に該ガラスシートを１８０度回転させることで、該ガラスシートを再配向させる工程と、
の少なくとも一方をさらに含む、実施形態１から５のいずれか一項に記載の方法。

実施形態１０
該最終所定厚さを有する該ガラスシートが、約９８.５以上の像鮮明度を含む実施形態１から９のいずれか一項に記載の方法。

実施形態１１
該像鮮明度が、該ガラスシートを機械研磨処理に供することなく得られる実施形態１０に記載の方法。

実施形態１２
該ガラスシートの該最終所定厚さの厚さ変動の少なくとも１つが、約３マイクロメートルから約９マイクロメートルであり、かつ該ガラスシートの該初期厚さの第１の厚さ変動と該ガラスシートの該最終所定厚さの第２の厚さ変動との差の絶対値が約０マイクロメートルから約７マイクロメートルである実施形態１から１１のいずれか一項に記載の方法。

実施形態１３
該ガラス厚さ変動と該第１の厚さ変動と該第２の厚さ変動の少なくとも１つが、該ガラスシートを機械研磨処理に供することなく得られる実施形態１２に記載の方法。

実施形態１４
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルから約４０マイクロメートルだけ該ガラスシートの該厚さを減少させる工程をさらに含む、実施形態１から１３のいずれか一項に記載の方法。

実施形態１５
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程をさらに含む、実施形態１から１４のいずれか一項に記載の方法。

実施形態１６
該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、０マイクロメートル超かつ約１５０マイクロメートル以下であり、該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルから約４０マイクロメートルだけ該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約１５マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
をさらに含む、実施形態１から１３のいずれか一項に記載の方法。

実施形態１７
該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、０マイクロメートル超かつ約１５０マイクロメートル以下であり、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルから約３０マイクロメートルだけ該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
をさらに含む、実施形態１から１３のいずれか一項に記載の方法。

実施形態１８
該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、約１５０マイクロメートル超かつ約３００マイクロメートル以下であり、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルから約３０マイクロメートルだけ該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約１５マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
をさらに含む、実施形態１から１３のいずれか一項に記載の方法。

実施形態１９
該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、約１５０マイクロメートル超かつ約３００マイクロメートル以下であり、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルだけ、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
をさらに含む、実施形態１から１３のいずれか一項に記載の方法。

実施形態２０
該ガラスシートの該初期厚さと該ガラスシートの該最終所定厚さとの差が、約３００マイクロメートル超であり、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、０マイクロメートル超から約３０マイクロメートル未満だけ、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
該エッチング処理を制御して、該ガラスシートが該エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約１５マイクロメートル／分の速さで、該ガラスシートの該厚さを減少させる工程と、
をさらに含む、実施形態１から１３のいずれか一項に記載の方法。

実施形態２１
該ガラスシートを該エッチングゾーンに通過させる該工程の間に、該ガラスシートを、ハフニウムを約１０％から約２０％含有するエッチング液に曝露させる、実施形態１から２０のいずれか一項に記載の方法。

実施形態２２
該ガラスシートを該エッチングゾーンに通過させる該工程の間に、該ガラスシートを、ハフニウムを約１５％から約２０％含有するエッチング液に曝露させる実施形態１から２０のいずれか一項に記載の方法。

実施形態２３
該ガラスシートを該エッチングゾーンに通過させる該工程の間に、該ガラスシートを、ハフニウム約１５％を含有するエッチング液に曝露させる実施形態１から２０のいずれか一項に記載の方法。

１００ ガラスエッチング装置
１００ａ エッチング処理
１０１ 投入ステーション
１０２ エッチング室
１０２ａ エッチングゾーン
１０３ 分離領域
１０４ 洗浄室
１０４ａ 洗浄
１０５ 乾燥室
１０６ 抜き取りステーション
１０７ コントローラー
１０８ コンベア
１０８ａ 搬送経路
１０９ 水平方向
１１０ ガラスシート
１１１ 第１主表面
１１２ 第２主表面
１１３ 初期厚さ
１１４ 厚さ
１１５ 最終所定厚さ
１２０ 上部噴霧器
１２１ 上部噴霧ノズル
１２１ａ 第１エッチング液
１２２ 下部噴霧器
１２３ 下部噴霧ノズル
１２３ａ 第２エッチング液
１２５ 方向
１３０ 第１側面
１３１ 第３側面
１３２ 第２側面
１３３ 第４側面

Claims (10)

1. ガラスシートをエッチング処理に供することで前記ガラスシートの厚さを減少させる方法であって、
   前記ガラスシートの初期厚さが前記ガラスシートの最終所定厚さに減少するまで、前記ガラスシートを搬送経路に沿ってエッチングゾーンに複数回通過させるステップと、
   前記ガラスシートを、前記エッチングゾーンに毎回通過させた後に洗浄するステップと、
   を含む方法。
2. 前記ガラスシートが前記エッチングゾーンを最初に通過する間に、前記ガラスシートの第１主表面を第１エッチング液に曝露させ、前記ガラスシートの第２主表面を第２エッチング液に曝露させるステップと、
   次いで、前記ガラスシートが前記エッチングゾーンを次に通過する間に、前記ガラスシートの前記第１主表面を前記第２エッチング液に曝露させ、前記ガラスシートの前記第２主表面を前記第１エッチング液に曝露させるステップと、
   をさらに含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記第１エッチング液が、前記搬送経路上に配置された上部噴霧器から前記ガラスシートに供給され、前記第２エッチング液が、前記搬送経路の下に配置された下部噴霧器から前記ガラスシートに供給される、ことを特徴とする請求項２に記載の方法。
4. 前記上部噴霧器からの前記第１エッチング液の第１の流量が、前記下部噴霧器からの前記第２エッチング液の第２の流量より小さいことを特徴とする請求項３に記載の方法。
5. 該ガラスシートを前記ガラスシートの主表面と平行な軸を中心に前記ガラスシートを１８０度回転させることで、前記ガラスシートを裏返すステップと、
   前記エッチングゾーンを連続して毎回通過させる間に、前記ガラスシートの主表面と垂直な軸を中心に前記ガラスシートを１８０度回転させることで、前記ガラスシートを再配向させるステップと、
   のうちの少なくとも１つをさらに含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
6. 前記最終所定厚さを有する前記ガラスシートが、約９８.５以上の像鮮明度を含み、前記ガラスシートを機械研磨処理に供せずに前記像鮮明度を得ることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
7. 前記ガラスシートの前記最終所定厚さの厚さ変動の少なくとも１つが、約３マイクロメートルから約９マイクロメートルであり、前記ガラスシートの前記初期厚さの第１の厚さ変動と前記ガラスシートの前記最終所定厚さの第２の厚さ変動との差の絶対値が、約０マイクロメートルから約７マイクロメートルであって、
   前記厚さ変動と前記第１の厚さ変動と前記第２の厚さ変動の少なくとも１つを、前記ガラスシートを機械研磨処理に供することなく得ることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
8. 前記エッチング処理を制御して、前記ガラスシートが前記エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約２０マイクロメートルから約４０マイクロメートルだけ前記ガラスシートの前記厚さを減少させるステップをさらに含む、請求項１から７のいずれか１項に記載の方法。
9. 前記エッチング処理を制御して、前記ガラスシートが前記エッチングゾーンを毎回通過するたびに、約１０マイクロメートル／分から約２０マイクロメートル／分の速さで、前記ガラスシートの前記厚さを減少させるステップをさらに含む、請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。
10. 前記ガラスシートを前記エッチングゾーンに通過させる前記ステップの間に、前記ガラスシートを、ハフニウムを約１０％から約２０％含有するエッチング液に曝露させることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。

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