KR102643138B1 - 유리를 얇게하기 위한 방법들 - Google Patents

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Abstract

유리 시트를 식각 공정을 거치게 함으로써 유리 시트의 두께를 감소시키기 위한 방법들을 포함하는 유리를 얇게하기 위한 방법들이 제공된다. 상기 방법들은 상기 유리 시트의 초기 두께가 상기 유리 시트의 소정의 최종 두께로 감소될 때까지 상기 유리 시트를 운반 경로를 따라 식각 구역을 통해 복수회 통과시키는 단계 및 상기 식각 구역을 통한 각각의 통과 후에 상기 유리 시트를 세척하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

유리를 얇게하기 위한 방법들
[0001] 본 출원은 2016년 1월 29일 출원된 미국 가출원 제62/288773호의 35 U.S.C.§119 하의 우선권이 이익을 주장하며, 그 내용은 보증되며 그 전문이 참조에 의해 본 명세서에 결합된다.
[0002] 본 개시는 개괄적으로 유리를 얇게하는 방법들, 및 보다 구체적으로, 상기 유리 시트를 식각 공정을 거치게 함으로써 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법들에 관한 것이다.
[0003] 유리 시트들은 예를 들어 다양한 응용 분야들, 예컨대 액정 디스플레이들(LCDs), 전기영동 디스플레이들(EPD), 유기 발광 다이오드 디스플레이들(OLEDs), 플라즈마 디스플레이 패널들(PDPs), 등을 포함하는 디스플레이 응용 분야들에 흔히 사용될 수 있다.
[0004] 유리 시트들은 슬롯 드로우(slot draw), 플로트(float), 다운-드로우(down-draw), 퓨전 다운-드로우(fusion down-draw), 및 업-드로우(up-draw)를 포함하는 다양한 유리 성형 기술들에 의해 성형될 수 있다. 일부 응용 분야들에서, 다양한 기존의 유리 성형 기술들에 의해 쉽게 달성될 수 있는 두께보다 작은 두께를 가지는 매우 얇은 유리 시트들을 제공하는 것이 바람직할 수 있다. 예를 들어, 300μm 이하, 200μm 이하, 100μm 이하, 75μm 이하, 또는 50μm 이하의 두께를 가지는 매우 얇은 유리 시트들은 300μm 초과의 두께를 가지는 비교적 두꺼운 유리 시트들과 비교할 때 향상된 유연성을 가질 수 있다. 상기 매우 얇은 유리 시트들은 따라서 상기 비교적 두꺼운 유리 시트들에서 발생할 수 있는 수용불가능한 수준의 응력을 발생시키지 않으면서 비교적 작은 굽힘 반경을 달성할 수 있다. 따라서, 매우 얇은 유리 시트들은 유리 시트의 굽힘 및 접힘을 포함하는 다양한 디스플레이 응용 분야들을 포함하는 응용 분야들에 특히 적합할 수 있다.
[0005] 매우 얇은 유리 시트들을 생산하기 위하여, 통상의 유리 성형 기술들을 사용하여 고품질 유리 시트를 먼저 생성하는 것이 알려진 바 있다. 초기 두께를 가지는 상기 유리 시트는 이후 최종 원하는 두께를 가지는 매우 얇은 유리 시트를 달성하기 위해 상기 초기 두께를 감소시키기 위한 가공 기술들을 거칠 수 있다. 유리 시트를 얇아지게 하는 기존의 기술들은 종종 수직 욕조 공정에서 상기 유리 시트를 수직적으로 식각하는 단계 후 두께의 균일성을 개선하고 (예를 들어, 두께 변동성을 감소시키고) 상기 유리 시트의 광학적 품질들을 개선하기 위해 상기 유리 시트를 기계적으로 연마하는 단계를 수반한다. 그러나, 특정 응용 분야들에서 바람직한 비교적 엄격한 허용 오차 제어, 감소된 두께 변동성, 및 향상된 광학적 투명도 파라미터들을 만족시키면서 상기 유리 시트의 초기 두께를 감소시키기 위해 이러한 기존의 가공 기술들을 사용하기 어려울 수 있거나, 일부 경우, 불가능할 수 있다.
본 개시는 상술한 문제들을 해결하기 위한 것이다.
[0006] 본 개시는 통상적인 유리를 얇게하는 기술들에 의해 달성되지 않을 수 있는 비교적 엄격한 허용 오차 제어, 감소된 두께 변동성, 및 향상된 광학적 투명도를 가지는 고품질의 매우 얇은 유리 시트를 제공하기 위해 먼저 성형된 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법들 제공한다. 본 개시의 개념들은 아래 제시된 예시적인 실시예들 중 하나 이상에 따라 수행될 수 있다.
[0007] 실시예 1. 유리 시트가 식각 공정을 거치게 함으로써 상기 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법으로서:
상기 유리 시트의 초기 두께가 상기 유리 시트의 소정의 최종 두께로 감소될 때까지 상기 유리 시트를 운반 경로를 따라 식각 구역을 통해 복수 회 통과시키는 단계; 및
상기 식각 구역을 통한 각각의 통과 후에 상기 유리 시트를 세척하는 단계를 포함하는 방법.
[0008] 실시예 2. 실시예 1에 있어서, 상기 식각 구역은 복수의 식각 구역을 포함하고, 상기 유리 시트는 상기 복수회를 포함하도록 상기 운반 경로를 따라 각각의 상기 복수의 식각 구역들을 통해 적어도 한번 통과하고, 상기 유리 시트는 각각의 복수의 식각 구역들을 통한 각각의 통과 후에 세척되는 방법.
[0009] 실시예3. 실시예 1 또는 실시예 2에 있어서, 상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 제1 통과 동안 상기 유리 시트의 제1 주표면을 제1 식각제에 노출시키고 상기 유리 시트의 제2 주표면을 제2 식각제에 노출시키는 단계; 및 이후
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 후속적인 통과 동안 상기 유리 시트의 상기 제1 주표면을 상기 제2 식각제에 노출시키고 상기 유리 시트의 상기 제2 표면을 상기 제1 식각제에 노출시키는 단계를 더 포함하는 방법,
[0010] 실시예 4. 실시예 3에 있어서, 상기 제1 식각제는 상기 운반 경로 상에 마련된 상부 스프레이어로부터 상기 유리 시트로 제공되고, 상기 제2 식각제는 상기 운반 경로 아래에 마련된 하부 스프레이어로부터 상기 유리 시트에 제공되는 방법.
[0011] 실시예 5. 실시예 4에 있어서, 상기 상부 스프레이어로부터의 상기 제1 식각제의 제1 유량은 상기 하부 스프레이어로부터의 상기 제2 식각제의 제2 유량보다 작은 방법.
[0012] 실시예 6. 실시예들 1 내지 5 중 어느 하나에 있어서, 상기 식각 구역을 통한 두 연속적인 통과들 사이에서 상기 유리 시트의 주표면에 평행한 축을 중심으로 180도 상기 유리 시트를 회전시킴으로써 상기 유리 시트를 뒤집는 단계를 더 포함하는 방법.
[0013] 실시예 7. 실시예 6에 있어서, 상기 식각 구역을 통한 후속적인 통과 전에 상기 유리 시트의 상기 주표면에 수직한 축을 중심으로 180도 상기 유리 시트를 회전시킴으로써 상기 유리 시트를 재배향시키는 단계를 더 포함하는 방법.
[0014] 실시예 8. 실시예들 1 내지 5 중 어느 하나에 있어서, 상기 식각 구역을 통한 두 연속적인 통과들 사이에서 상기 유리 시트의 주표면에 수직한 축을 중심으로 180도 상기 유리 시트를 회전 시킴으로써 상기 유리 시트를 재배향시키는 단계를 더 포함하는 방법.
[0015] 실시예 9. 실시예들 1 내지 5 중 어느 하나에 있어서, 상기 식각 구역을 통한 각각의 연속적인 통과 사이에서 상기 유리 시트의 주표면에 평행한 축을 중심으로 180도 상기 유리 시트를 회전시킴으로써 상기 유리 시트를 뒤집는 단계 및 상기 유리 시트의 주표면에 수직한 축을 중심으로 180도 상기 유리 시트를 회전시킴으로써 상기 유리 시트를 재배향시키는 단계 중 적어도 하나를 더 포함하는 방법.
[0016] 실시예 10. 실시예들 1 내지 9 중 어느 하나에 있어서, 상기 소정의 최종 두께를 포함하는 상기 유리 시트는 98.5 이상의 DOI를 포함하는 방법.
[0017] 실시예 11. 실시예 10에 있어서, 상기 DOI는 상기 유리 시트가 기계적 연마 공정을 거치게 하지 않으면서 달성되는 방법.
[0018] 실시예 12. 실시예들 1 내지 11 중 어느 하나에 있어서, 상기 유리 시트의 상기 소정의 최종 두께의 두께 변동성은 약 3μm 내지 약 9μm, 및 상기 유리 시트의 상기 초기 두께의 제1 두께 변동성과 상기 유리 시트의 상기 소정의 최종 두께의 제2 두께 변동성 사이의 차이의 절대값은 약 0μm 내지 약 7μm 중 적어도 하나인 방법.
[0019] 실시예 13. 실시예 12에 있어서, 상기 두께 변동성 및 상기 제1 두께 변동성 및 상기 제2 두께 변동성 중 적어도 하나는 상기 유리 시트가 기계적 연마 공정을 거치게 하지 않으면서 달성되는 방법.
[0020] 실시예 14. 실시예들 1 내지 13 중 어느 하나에 있어서, 상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 20μm 내지 약 40μm만큼 상기 유리 시트의 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계를 더 포함하는 방법.
[0021] 실시예 15. 실시예들 1 내지 14 중 어느 하나에 있어서, 상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 20μm/분의 속도로 상기 유리 시트의 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계를 더 포함하는 방법.
[0022] 실시예 16. 실시예들 1 내지 13 중 어느 하나에 있어서, 상기 유리 시트의 상기 초기 두께와 상기 유리 시트의 상기 소정의 최종 두께 사이의 차이는 0μm 초과 약 150μm 이하이고,
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 20μm 내지 약 40μm만큼 상기 유리 시트의 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계; 및
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 15μm/분의 속도로 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계를 더 포함하는 방법.
[0023] 실시예 17. 실시예들 1 내지 13 중 어느 하나에 있어서, 상기 유리 시트의 상기 초기 두께와 상기 유리 시트의 상기 소정의 최종 두께 사이의 차이는 0μm 초과 및 약 150μm 이하이고,
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 20μm 내지 약 30μm만큼 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계; 및
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 20μm/분의 속도로 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계를 더 포함하는 방법.
[0024] 실시예 18. 실시예들 1 내지 13 중 어느 하나에 있어서, 상기 유리 시트의 상기 초기 두께와 상기 유리 시트의 상기 소정의 최종 두께 사이의 차이는 약 150μm 초과 및 약 300μm 이하이고,
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 20μm 내지 약 30μm만큼 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계; 및
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 15μm/분의 속도로 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계를 더 포함하는 방법.
[0025] 실시예 19. 실시예들 1 내지 13 중 어느 하나에 있어서, 상기 유리 시트의 상기 초기 두께와 상기 유리 시트의 상기 소정의 최종 두께 사이의 차이는 약 150μm 초과 및 약 300μm 이하이고,
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 20μm 만큼 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계; 및
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 20μm/분의 속도로 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계를 더 포함하는 방법.
[0026] 실시예 20. 실시예들 1 내지 13 중 어느 하나에 있어서, 상기 유리 시트의 상기 초기 두께와 상기 유리 시트의 상기 소정의 최종 두께 사이의 차이는 약 300μm 초과이고,
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 0μm 초과 내지 약 30μm 미만만큼 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계; 및
상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 15μm/분의 속도로 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계를 더 포함하는 방법.
[0027] 실시예21. 실시예들 1 내지 20 중 어느 하나에 있어서, 상기 식각 구역을 통해 상기 유리 시트를 통과시키는 상기 단계 동안, 상기 유리 시트는 약 10%HF 내지 약 20%HF를 포함하는 식각제에 노출되는 방법.
[0028] 실시예22. 실시예들 1 내지 20 중 어느 하나에 있어서, 상기 식각 구역을 통해 상기 유리 시트를 통과시키는 상기 단계 동안, 상기 유리 시트는 약 15%HF 내지 약 20%HF를 포함하는 식각제에 노출되는 방법.
[0029] 실시예23. 실시예들 1 내지 20 중 어느 하나에 있어서, 상기 식각 구역을 통해 상기 유리 시트를 통과시키는 상기 단계 동안, 상기 유리 시트는 약 15%HF를 포함하는 식각제에 노출되는 방법.
[0030] 본 개시의 실시예들의 상기 및 다른 특징들, 양상들, 및 이점들은 다음의 본 개시의 상세한 설명이 첨부된 도면들을 참조하여 읽혀질때 더 잘 이해된다.
[0031] 도 1은 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 예시적인 유리 식각기의 측면도의 개략적인 묘사를 도시한다.
[0032] 도 2는 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 예시적인 식각 챔버의 절단 측면도의 개략적인 묘사를 도시한다.
[0033] 도 3은 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 도 2의 상기 예시적인 식각 챔버의 절단 평면도를 도시한다.
[0034] 도 4는 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 예시적인 식각 공정을 거친 유리 시트들에 대하여 얻어진 DOI 값들의 플롯을 도시한다.
[0035] 도 5는 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 예시적인 식각 공정을 거친 유리 시트들에 대하여 얻어진 DOI 값들의 다른 플롯을 도시한다.
[0036] 도 6은 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 예시적인 식각 공정을 거친 유리 시트들에 대하여 얻어진 DOI 값들의 또 다른 플롯을 도시한다.
[0037] 도 7은 본 명세서에 설명된 실시예들에 따른 예시적인 식각 공정을 거친 유리 시트들에 대하여 얻어진 DOI 값들의 또 다른 플롯을 도시한다.
[0038] 본 명세서에 사용된 바와 같은 방향적 용어들(예를 들어, 상, 하, 좌, 우, 전, 후, 위, 아래)은 그려진 바와 같이 오직 도면들을 참조하여 만들어지며, 절대적인 방향을 암시하도록 의도되지 않는다.
[0039] 본 개시의 주제는 이제 이하에서 청구된 주제의 예시적인 실시예들이 도시된 첨부된 도면들을 참조하여 보다 상세히 설명될 것이다. 가능하면, 도면들에 걸쳐 동일하거나 유사한 부분들을 참조하기 위해 동일한 참조 번호들이 사용된다. 그러나, 청구된 주제는 많은 상이한 형태들로 실시될 수 있으며, 본 명세서에 제시된 실시예들에 제한되는 것으로 해석되어서는 안된다. 예시적인 실시예들은 본 개시가 철저하고 완전하고, 당업계의 통상의 기술자에게 청구된 주제의 범위를 충분히 전달하도록 제공된다.
[0040] 다른 특징들 중에서, 유리는 높은 스크래치 저항성, 높은 강도, 높은 내구성, 및 높은 광학적 투명도를 포함할 수 있으며, 이는 유리를 상업적인 전자 및 디스플레이 산업들을 포함하는 다양한 응용 분야들에 사용되기 적합하게 만든다. 이러한 응용 분야들은 핸드폰들, 태블릿들, 노트북들, 텔레비젼들, 모니터들, 및 터치 기능 및 보기 기능들을 가지는 다른 장치들을 위한 커버 유리를 포함할 수 있다. 기술이 발전함에 따라, 장치들은 더 얇고 더 가볍게 만들어질 수 있다. 또한, 일부 응용 분야들은 커브지고, 플렉서블하고, 굽힘가능하고, 접힘가능할 수 있는 유리를 요구할 수 있다. 매우 얇은 유리(예를 들어, 300μm 이하, 200μm 이하, 100μm 이하, 75μm 이하, 또는 50μm 이하의 두께를 가지는 유리)는 특정 응용 분야들을 위하여 제공될 수 있다. 다른 실시예들에서, 상기 유리(예를 들어, 상기 매우 얇은 유리)는 화학적으로 강화될 수 있다. 더 나아가, 일부 물질들(예를 들어, 폴리머 및 플라스틱 물질들)에 비하여, 유리는 더 높은 광학적 투과도, 더 높은 마모 저항성, 및 더 높은 용매 내구성을 가질 수 있다.
[0041] 일부 실시예들에서, 상기 유리의 두께, 상기 유리의 두께 균일성, 상기 유리의 광학적 투명성, 및 상기 유리의 강도 중 적어도 하나를 제어하는 것이 바람직할 수 있다. 예를 들어, 상기 유리의 상기 두께는 상기 유리의 굽힘 응력과 직접적으로 관련될 수 있으며, 유리가 얇을수록 주어진 굽힘 반경에 대하여 더 낮은 굽힘 응력이 야기될 것이다. 유사하게, 상기 유리의 두께가 감소함에 따라 상기 유리의 대응하는 굽힘 강성은 감소될 수 있다. 따라서, 얇은 유리는 굽힘 및 다른 유도된 응력들 하에 놓이게 되는 유연한 유리를 요구하는 응용 분야들을 포함하는 다양한 응용 분야들에 바람직할 수 있다. 유리는 흔히 용융 유리를 성형체로 흘림으로써 제조될 수 있으며, 여기서 다양한 리본 성형 공정들, 예를 들어 슬롯 드로우, 플로트, 다운-드로우, 퓨전 다운-드로우, 또는 업-드로우에 의해 유리 리본이 성형될 수 있다. 상기 유리 리본은 이후 후속적으로 나뉘어져 원하는 디스플레이 응용 분야들로의 추가적인 가공에 적합한 유리의 시트들을 제공할 수 있다. 성형된 후에, 상기 유리 시트의 두께는 다양한 기술들을 사용하여 감소될 수(예를 들어, 얇아질 수) 있다. 본 개시는 화학 물질(예를 들어, 산, 부식성 화학 물질)을 상기 유리에 적용하여 물질을 제거하고 상기 유리의 두께를 감소시키는 단계를 포함하는 식각 방법들 및 장치에 관한 것이다. 일부 실시예들에서, 식각은 상기 식각 공정 전에 가공을 거친 유리 시트 상에 수행될 수 있다. 다른 실시예들에서, 식각은 상기 식각 공정 전에 어떠한 가공도 거치지 않은 성형된 상태 그대로의 유리 시트 상에 수행될 수 있다.
[0042] 도 1에 도시된 바와 같이, 본 명세서에 개시된 일부 실시예들에 따른 유리 식각기(100)가 개략적으로 도시된다. 상기 유리 식각기(100)는 유리 시트(110)가 식각 공정(100a)을 거치게 함으로써 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시킬 수 있다. 상기 유리 시트(110)는 제1 주표면(111) 및 제2 주표면(112)을 포함할 수 있으며, 이들 사이의 거리는 상기 유리 시트(110)의 상기 두께(114)를 정의한다. 추가적으로, 상기 유리 시트(110)는 상기 식각 공정(100a)을 거치기 전의 초기 두께(113), 및 상기 식각 공정(100a)을 거친 후의 소정의 최종 두께(115)를 가질 수 있다. 상기 유리 시트(110)의 상기 두께(114)를 감소시킴으로써, 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)는 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)보다 작을 수 있다.
[0043] 상기 유리 시트(110)의 두께를 참조하기 위해 본 명세서에 사용된 바와 같이, 두께 용어(예를 들어, 초기 두께(113), 두께(114), 소정의 최종 두께(115))와 관련하여, 달리 언급되지 않는한, 이러한 용어는 상기 유리 시트(110)의 평균 두께를 참조하는 것으로 의도된다는 것이 이해되어야 할 것이다. 예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111)과 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112) 사이의 실제 두께는 상기 유리 시트(110) 상의 9개의 위치들(예를 들어, 상부 좌측, 상부 중심, 상부 우측, 중간 좌측, 중간, 중간 우측, 하부 좌측, 하부 중심, 및 하부 우측)에서 측정될 수 있고 상기 유리 시트(110)의 두께(예를 들어, 초기 두께(113), 두께(114), 소정의 최종 두께(115))를 결정하기 위해 평균될 수 있다. 또한, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)의 초기 두께 변동성 및 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)의 최종 두께 변동성을 포함하는 두께 변동성은, 달리 언급되지 않는한, 상기 유리 시트(110)의 최대 치수와 최소 치수 사이의 차이로(예를 들어, 상기 9개의 위치들 중 하나로부터 얻어진 실제 최대 두께 빼기 상기 9개의 위치들 중 하나로부터 얻어진 실제 최소 두께) 정의되는 총 두께 변동성(Total Thickness Varaiability, TTV)에 대응하는 것으로 이해되어야 할 것이다. 마찬가지로, 균일성은, 달리 언급되지 않는한, 상기 최대 치수와 상기 최소 치수 사이의 차이 나누기 상기 최대 치수와 상기 최소 치수의 합에 대응하는 것으로 이해되어야 할 것이다.
[0044] 광학적 표면 품질은 당업계에 공지된 바와 같이 이미지의 명확성(Distinctness of Image, DOI) 표준에 기초하여 결정될 수 있다. DOI는, 달리 언급되지 않는한, 투과 또는 반사 동안 산란에 의해 규칙적인 방향(예를 들어, 정반사 각도)으로부터의 빛 전파의 방향의 벗어남의 정량화를 지칭하도록 의도된 단위가 없는 수치이다. DOI는 표면을 통한 또는 표면으로부터의 반사되거나 투과된 이미지의 시각적 왜곡(예를 들어, 흐려짐)을 묘사할 수 있다. 100의 DOI는 어떠한 왜곡 없이 이미지를 완벽하게 반사하거나 투과시키는 표면에 대하여 정의될 수 있는 반면, 0의 DOI는 이미지 선명도를 나타내지 않는 표면에 대하여 정의될 수 있다. 일부 실시예들에서, 수용불가능한 DOI 값은, 마이크로 스케일 상에서, 상기 유리 상의 관찰된 오렌지 껍질 외관에 대응할 수 있다. 임의의 상기 값들은 광학적, 기계적 또는 표면 표시 측정 장치 또는 기술 중 임의의 하나 이상에 의해 얻어지고, 측정되고, 수집되고, 결정될 수 있다. 일부 실시예들에서, 달리 언급되지 않는 한, 본 명세서에 제시된 특정한 DOI 값들은 영국 St. Leonards on Sea, East Sussex의 로포인트 인스트루먼츠로부터 입수할 수 있는 로포인트 IQ (고니오포토미터) 휴대용 미터를 사용하여 얻어졌다.
[0045] 일부 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)는 약 100μm 내지 약 700μm, 예를 들어 약 200μm 내지 약 700μm, 예를 들어 약 300μm 내지 약 700μm, 예를 들어 약 400μm 내지 약 700μm, 예를 들어 약 500μm 내지 약 700μm, 및 예를 들어 약 600μm 내지 약 700μm일 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)는 약 40μm 내지 약 700μm, 예를 들어 약 40μm 내지 약 600μm, 예를 들어 약 40μm 내지 약 500μm, 예를 들어 약 40μm 내지 약 400μm, 예를 들어 약 40μm 내지 약 300μm, 예를 들어 약 40μm 내지 약 250μm, 및 예를 들어 약 40μm 내지 약 200μm일 수 있다. 추가적인 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)는 약 40μm 내지 약 150μm, 예를 들어 약 50μm 내지 약 150μm, 예를 들어 약 75μm 내지 약 150μm, 예를 들어 약 100μm 내지 약 150μm일 수 있다. 또 다른 추가적인 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)는 약 40μm 내지 약 100μm, 예를 들어 약 50μm 내지 약 100μm, 예를 들어 약 75μm 내지 약 100μm일 수 있다. 또 다른 추가적인 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)는 약 40μm 내지 약 75μm, 예를 들어 약 50μm 내지 약 75μm, 예를 들어 약 40μm 내지 약 50μm일 수 있다.
[0046] 본 명세서에 개시된 방법들 및 장치는 본 명세서에 명시적으로 개시되지 않은 초기 두께(113), 범위들 및 하위범위들, 및 소정의 최종 두께(115), 범위들, 및 하위범위들을 포함하여, 임의의 소정의 최종 두께(115)로 임의의 초기 두께(113)를 가지는 임의의 유리를 얇게하기 위해 사용될 수 있다는 것이 이해되어야 할 것이다.
[0047] 상기 유리 시트(110)가 식각 공정(100a)을 거치게함으로써 유리 시트110)의 두께(114)를 감소시키는 방법들 및 장치들을 포함하는 유리를 얇게하는 방법들 및 장치가 본 명세서에 개시된다. 본 명세서에 개시된 방법들 및 장치는 식각후 가공(예를 들어 기계적 연마)를 거치거나 거치지 않고 원하는 치수(예를 들어, 소정의 최종 두께(115)), 원하는 치수 변동성(예를 들어, 두께 균일성), 및 원하는 광학적 선명도(예를 들어, DOI)를 가지는 유리 시트(110)를 얻기 위해 상기 유리의 다양한 특성들 또는 성질들을 제어하기 위해 수행될 수 있다는 것이 이해되어야 할 것이다. 예를 들어, 유리 시트(110)가 식각 공정(100a)을 거치게함으로써 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키는 방법들 및 장치를 포함하는 유리를 얇게하기 위한 방법들 및 장치는, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)의 식각 전 두께 변동성보다 작거나, 동일하거나, 크거나 수용가능한 범위 내에 있는 식각 후 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)의 두께 변동성을 포함하는 수용가능한 품질 두께 변동성 및 균일성을 유지하면서 일정량의 물질(예를 들어 유리)을 상기 유리 시트(110)로부터 제거할 수 있다.
[0048] 상기 유리 식각기(100)는 상기 유리 식각기(100) 내에 직렬로 마련된 로드 스테이션(101), 식각 구역(102a)을 포함하는 식각 챔버(102), 격리 구역(103), 상기 유리 시트(110)의 세척(104a)을 위한 세척 챔버(104), 건조 챔버(105), 및 언로드 스테이션(106) 중 임의의 하나 이상을 포함할 수 있다. 상기 유리 식각기(100)는 소정의 수의 스테이션들, 챔버들, 및 영역들(예를 들어, 로드 스테이션(101), 식각 챔버(102), 격리 영역(103), 세척 챔버(104), 건조 챔버(105), 및 언로드 스테이션(106))을 가지는 것으로 묘사되었으나, 상기 유리 시트(110)의 소정의 최종 두께(115)를 얻기 위해 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키기 위해 임의의 수의 스테이션들, 챔버들, 및 영역들(예를 들어, 로드 스테이션(101), 식각 챔버(102), 격리 영역(103), 세척 챔버(104), 건조 챔버(105), 및 언로드 스테이션(106))이 단일한 유리 식각기(100)에 제공될 수 있으므로 이는 본명세서에 첨부된 청구항들의 범위를 제한하지 않아야 한다. 예를 들어, 단일한 유리 식각기(100)는 단독으로 또는 조합으로 상기 유리 식각기(100) 내에 각각 직렬로 마련된 복수의 로드 스테이션(102), 식각 구역(102a)을 포함하는 식각 챔버(102), 격리 영역(103), 상기 유리 시트(110)를 세척(104a)하기 위한 세척 챔버(104), 건조 챔버105), 및 언로드 스테이션(106)을 포함할 수 있다.
[0049] 나아가 또한 임의의 하나 이상의 스테이션들, 챔버들, 및 영역들(예를 들어, 로드 스테이션(101), 식각 챔버(102), 격리 영역(103), 세척 챔버(104), 건조 챔버(105), 및 언로드 스테이션(106))을 포함하는 복수의 유리 식각기들(100) 또는 이들의 부분들은 서로의 근처에 마련될 수 있고 및/또는 서로 연결되어 본 명세서에 개시된 바와 같이 상기 유리 시트(100)의 가공을 수행하여 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시켜 상기 유리 시트(110)의 소정의 최종 두께(115)를 얻는 것이 구상된다. 따라서, 일부 실시예들에서, 상기 식각 구역(102a)은 복수의 식각 구역들을 포함할 수 있고, 상기 유리 시트(110)는 상기 복수의 식각 구역 각각을 통해 적어도 한번씩 통과될 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)를 각각의 상기 복수의 식각 구역들을 통해 적어도 한번씩 통과시키는 것은 상기 유리 시트(110)를 상기 식각 구역(102a)을 통해 복수회 통과시키는 것에 대응할 수 있다. 상기 유리 시트(110)는 이후 각각의 상기 복수의 식각 구역들을 통한 각각의 통과 후에 세척(104a)될 수 있다.
[0050] 따라서, 일부 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)는 로드 스테이션(101), 식각 구역(102a)을 포함하는 식각 챔버(102), 격리 영역(103), 상기 유리 시트(110)의 세척(104a)을 위한 세척 챔버(104), 건조 챔버(105), 및 언로드 스테이션(106) 중 임의의 하나 이상을 포함하는 제1 유리 식각기 내에서 식각 공정(100a)을 거칠 수 있다. 상기 유리 시트(110)는 이후 로드 스테이션(101), 식각 구역(102a)을 포함하는 식각 챔버(102), 격리 영역(103), 상기 유리 시트(110)의 세척(104a)을 위한 세척 챔버(104), 건조 챔버(105), 및 언로드 스테이션(106) 중 임의의 하나 이상을 포함하는 제2 유리 식각기 내에서 다른 식각 공정(예를 들어, 식각 공정(100a)과 동일하거나 유사한 식각 공정)을 거칠 수 있다. 예를 들어, 상기 유리 시트(110)는 제1 유리 식각기 내의 제1 식각 구역을 통해 통과될 수 있고, 이후 상기 제1 유리 식각기 내의 제1 세척 구역에서 세척되고, 이후 제2 유리 식각기 내의 제2 식각 구역을 통해 통과되고, 이후 상기 제2 유리 식각기 내의 제2 세척 구역 내에서 세척될 수 있다. 상기 제1 유리 식각기, 상기 제2 유리 식각기, 및 임의의 추가적인 유리 식각기들은 본 명세서에 개시된 상기 예시적인 유리 식각기(100)의 임의의 하나 이상의 특징들을 포함하여 동일하거나 유사한 특징들을 포함할 수 있다는 이해 하에 임의의 수의 추가적인 유리 식각기들이 추가적인 실시예들에서 제공될 수 있다. 이러한 실시예는 상기 유리 시트(110)가 복수의 식각 구역들을 통해 통과될 수 있고 각각의 상기 복수의 식각 구역들을 통한 각각의 통과 후에 세척될 수 있도록, 예를 들어 직렬로 마련된 도 1에 도시된 바와 같은 둘 이상의 유리 식각기(100) 또는 그 부분들을 포함하는 셋업에 대응하는 것으로 이해될 수 있다. 또한, 일부 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)는, 본 명세서에 첨부된 청구항들의 범위로부터 벗어남 없이, 임의의 하나 이상의 상기 복수의 유리 식각기들 내에서 하나 이상 회 상기 식각 공정(100a)을 거칠 수 있다.
[0051] 상기 유리 식각기(100)는 또한 상기 로드 스테이션(101)(여기서 상기 유리 시트(110)는 상기 유리 식각기(100) 내로 로딩될 수 있다.)으로부터 상기 언로드 스테이션(106)(여기서 상기 유리 시트(110)는 상기 유리 식각기(100)로부터 언로딩되고 제거될 수 있다)으로의 상기 유리 식각기(100)의 수평 방향(109)을 따라 연장될 수 있는 운반 경로(108a)를 정의하는 컨베이어(108)를 포함할 수 있다. 상기 컨베이어(108)는 상기 유리 시트(110)의 가공을 수행하기 위해 상기 식각 챔버(102), 상기 격리 영역(103), 상기 세척 챔버(104), 및 상기 건조 챔버(105) 중 임의의 하나 이상을 통해 상기 유리 시트(110)를 움직일 수 있다. 상기 컨베이어(108)는 상기 유리 시트(110)를 수평적으로 상기 운반 경로(108a)를 따라 상기 유리 식각기(100)를 통해 상기 수평 방향(109)으로 움직여(예를 들어, 운반, 운송, 이동), 따라서 상기 유리 시트(110)가 하나 이상의 상기 식각 공정(100a) 단계들을 거치도록하기 위해 상기 유리 시트(110)의 위 및 아래에 마련된 벨트들, 롤러들, 및 휠들 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 컨베이어(108)는 상기 유리 시트(110)를 상기 운반 경로(108a)를 따라 상기 유리 식각기(100)를 통해 움직이기 위해 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111) 및 상기 제2 주표면(112)과 접촉할 수 있다. 다른 실시예들에서, 복수의 유리 식각기들은 상기 운반 경로(108a)를 따라 (예를 들어, 직렬로) 마련될 수 있으며, 상기 컨베이어(108)는 상기 유리 시트(110)를 상기 운반 경로(108a)를 따라 상기 복수의 유리 식각기들을 통해 움직일 수 있다.
[0052] 추가적인 실시예들에서, 상기 컨베이어(108)는 상기 유리 시트(110)를 상기 운반 방향(108a)을 따라 상기 유리 식각기(100)를 통해 전방(예를 들어, 수평 방향(109))으로 상기 운반 경로(108a)를 따라, 상기 전방과 반대되는 후방으로 상기 운반 경로(108a)를 따라, 및 상기 운반 경로(108a)를 따른 전방 및 상기 운반 경로(108a)를 따른 후방의 임의의 조합으로 움직일 수 있다. 예를 들어, 상기 유리 시트(110)가 예를 들어 식각 구역(102a)을 포함하는 상기 식각 챔버(102) 및 이후 상기 유리 시트(110)의 세척(104a)을 위한 상기 세척 챔버(104)를 순차적으로 통과하도록 상기 컨베이어(108)는 상기 유리 시트(110)를 상기 유리 식각기(100)를 통해 전방으로 상기 운반 경로108a)를 따라 움직일 수 있다. 상기 유리 시트110)가 상기 세척 챔버(104) 내에서 세척된 후, 상기 컨베이어(108)는 이후, 예를 들어, 상기 유리 시트(110)가 다시 반대 방향으로 상기 식각 구역(102a)을 포함하는 상기 식각 챔버(102)를 통해 통과될 수 있도록 역으로 상기 유리 시트(110)를 뒤로 상기 유리 식각기(100)를 통해 상기 전방과 반대인 후방으로 상기 운반 경로(108a)를 따라 움직일 수 있다. 일부 실시예들에서, 세척 챔버(예를 들어, 세척 챔버(104))는 상기 운반 경로(108a)를 따라 상기 식각 챔버(102)의 양 측 상에 제공될 수 있다. 예를 들어, 상기 유리 시트(110)가 상기 컨베이어(108)에 의해 후방으로 상기 식각 챔버(102)를 통해 움직일 때 상기 유리 시트(110)가 추가적인 세척 챔버 내에서 이어서 세척될 수 있도록 추가적인 세척 챔버(미도시)는 상기 세척 챔버(104)로부터 상기 식각 챔버(102)의 반대편에 제공될 수 있다. 상기 추가적인 세척 챔버는 상기 유리 시트(110)의 세척(104a)을 위한 세척 챔버(104)의 특징들과 동일하거나 유사한 임의의 하나 이상의 특징들을 포함할 수 있다. 또한, 상기 컨베이어(108)는 상기 유리 시트(110)의 두께114)를 감소시키기 위해 및 상기 유리 시트(110)의 소정의 최종 두께(115)를 얻기 위해 순차적으로 상기 유리 시트(110)를 상기 식각 구역(102a)을 포함하는 상기 식각 챔버(102), 상기 세척 챔버(104), 및 상기 추가적인 세척 챔버를 통해 1회 이상 통과시키기 위해 상기 유리 시트(110)의 상기 전방 및 후방 움직임을 반복할 수 있다.
[0053] 상기 로드 스테이션(101)은 상기 유리 시트(110)가 운반될 수 있는 상기 컨베이어(108)를 지지하는 프레임 및 상기 유리 시트(110)가 상기 식각 챔버(102) 내로 이동할 수 있는 개구를 포함할 수 있다. 상기 로드 스테이션(101)은 또한 예를 들어 하나 이상의 피쳐들의 온/오프 동작 및 상기 유리 식각기(100) 및 상기 식각 공정(100a)의 동작들을 제어하기 위해 상기 로드 스테이션(101) 내에 상기 유리 시트(110)의 존재 또는 부존재를 결정하기 위한 하나 이상의 센서들을 포함할 수 있다. 다른 실시예들에서, 두께 센서는 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 결정하기 위해 제공될 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 두께 센서는 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)가 달성되었는지 여부를 감지할 수 있고, 상기 두께 센서는 이후 상기 유리 식각기(100)에 작동을 정지시키기 위한 신호를 제공할 수 있어 상기 소정의 최종 두께(110)를 가지는 상기 유리 시트(110)는 상기 유리 식각기(100)로부터 제거될 수 있다. 반대로, 일부 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)가 아직 달성되지 않았다는 것을 상기 두께 센서가 감지할 경우, 상기 두께 센서는 상기 유리 시트(110)가 상기 식각 공정(100a)을 거치게함으로써 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키기 위한 작동을 시작하거나 계속하기 위한 신호를 상기 유리 식각기(100)에 제공할 수 있다.
[0054] 상기 식각 구역(102a)을 포함하는 상기 식각 챔버(102)는 리드(lid), 스플래쉬 커버, 연기들을 배기하기 위한 배기구, 액체를 배출하기 위한 드레인, 액체를 수집하기 위한 섬프(sump), 액체를 펌핑하기 위한 펌프, 상기 식각 챔버(102)의 온도를 제어하기 위한 가열 및 냉각 코일들 또는 튜브들, 스프레이 튜브들, 스프레이 노즐들, 스프레이의 압력을 제어 또는 조절하기 위한 벨브들, 스프레이 펌프, 압력 게이지들, 스프레이 펌프를 위한 용액 여과 시스템(예를 들어, 메쉬(mesh), 스크린, 필터), 온도 또는 액체 수위를 결정하기 위한 센서들, 및 예를 들어 상기 스프레이 튜브들 및 스프레이 노즐들을 진동하기 위한 또는 상기 컨베이어(108)에 동력을 공급하기 위한 하나 이상의 모터들 또는 액추에이터들을 포함할 수 있다. 식각제는 다양한 농도들을 가지는 산을 포함하는 임의의 부식성 확학 물질일 수 있다. 예를 들어, 상기 식각제는 불산(HF) 또는 임의의 다른 부식성 화학 물질, 안정제, 및 물을 포함할 수 있다. 상기 안정제는 질산(HNO3), 황산(H2SO4), 염산(HCl), 또는 임의의 다른 적합한 안정제를 포함할 수 있다.
[0055] 도 2를 참조하면, 상기 유리 식각기(100)의 상기 식각 구역(102a)을 포함하는 상기 식각 챔버(102)의 절단 측면도가 개략적으로 도시된다. 도시된 바와 같이, 상기 컨베이어(108)는 상기 유리 시트(110)를 상기 수평 방향(109)으로 상기 운반 경로(108a)를 따라 상기 식각 구역(102a)을 통해 운반하기 위해 상기 식각 챔버(102)를 통해 연장될 수 있다. 또한, 대응하는 상부 스프레이 노즐들(121)을 포함하는 하나 이상의 상부 스프레이어들(120)은 상기 유리 시트(110)로부터 물질 층을 제거하고 상기 유리 시트(110)의 두께(113)를 감소시키기 위해 제1 식각제(121a)를 상기 유리 시트(110) 상으로 분무할 수 있다. 마찬가지로, 대응하는 하부 스프레이 노즐들(123)을 포함하는 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)은 상기 운반 경로(108a) 아래에 제공될 수 있다. 상기 하나 이상의 하부 스프레이 노즐들(123)을 포함하는 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)은 상기 유리 시트(110)로부터 물질층을 제거하고 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키기 위해 상기 유리 시트(110) 상으로 제2 식각제(123a)를 분무할 수 있다. 예를 들어, 상기 상부 스프레이 노즐들(121)을 포함하는 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120)은, 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111)이 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120) 및 대응하는 상부 스프레이 노즐들(121)을 향하는 상태로 상기 유리 시트(110)가 상기 식각 구역(102a)을 통해 운반될 때, 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111) 상에 상기 제1 식각제(121a)를 분무할 수 있다. 따라서, 상기 상부 스프레이 노즐들(121)은 상기 제1 식각제(121a)의 스프레이가 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111)의 방향으로 향하게 하도록 배향되어 주로 처음에 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111) 상에 부딪칠 수 있다. 유사하게, 상기 하부 스프레이 노즐들(123)을 포함하는 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)은, 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112)이 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122) 및 대응하는 하부 스프레이 노즐들(123)을 향하는 상태로 상기 유리 시트(110)가 상기 식각 구역(102a)을 통해 운반될 때, 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112) 상에 상기 제2 식각제(123a)를 분무할 수 있다. 따라서, 상기 하부 스프레이 노즐들(123)는 상기 제2 식각제(123a)의 스프레이가 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112)의 방향을 향하도록 배향되어 주로 처음에 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112) 상에 부딪칠 수 있다.
[0056] 유리하게, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 전방/후방 통과들 사이에서,및/또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서 상기 유리 시트(110)를 뒤집는 것은 상기 유리 시트(110) 상으로 상기 식각제의 적용의 임의의 변동을 보상할 수 있다. 예를 들어, 최상의 노력에도 불구하고, 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들120), 상부 스프레이 노즐들(121), 하부 스프레이어들(122), 및 하부 스프레이 노즐들(123)은 대응하는 제1 식각제(121a) 및 제2 식각제(123a)를 불균일한 패턴으로 상기 유리 시트(110) 상으로 분배할 수 있으며, 이는 상기 유리 시트(110)의 두께(114)의 불균일한 감소를 야기한다. 상기 식각제의 이러한 불균일한 분배는 적어도 부분적으로 스프레이 압력들, 스프레이 노즐들 사이의 차이, 회전 속도의 정확성, 및 상기 스프레이어들의 진동, 및 상기 식각 공정(100a) 중 맞닥뜨릴 수 있는 다른 공정 특징들 및 변수들에 기초할 수 있다. 또한, 적어도 상기 수평 식각 공정(100a)에 작용하는 중력의 효과에 기초하여, 위를 향하는 상기 유리 시트(110)의 주표면에 가해진 제1 식각제(121a) 및 제1 식각제 부산물(예를 들어, 슬러지)은 상기 유리 시트(110)의 위를 향하는 주표면 상에 모이고, 흐리게 하고, 남아있는 경향이 있을 수 있다. 반면, 상기 유리 시트(110)의 아래를 향하는 주표면에 가해진 제2 식각제(123a) 및 제2 식각제 부산물(예를 들어, 슬러지)은 상기 유리 시트(110)의 상기 아래를 향하는 주표면으로부터 떨어지고 흘러 내리는 경향이 있을 수 있다.
[0057] 따라서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과와 관련하여, 상기 제1 식각제(121a) 및 상기 제1 식각제 부산물이 상기 유리 시트(110)의 대응하는 위를 향하는 주표면에 노출되는 시간은 상기 제2 식각제(123a) 및 상기 제2 식각제 부산물이 상기 유리 시트(110)의 상기 대응하는 아래를 향하는 주표면에 노출되는 시간보다 길 수 있다. 상기 식각제에 대한 상기 유리 시트(110)의 노출 시간의 차이는 상기 유리 시트(110)의 두께(114)의 감소의 차이를 야기할 수 있다. 유사하게, 상기 제1 식각제(121a) 및 상기 제1 식각제 부산물은 상기 유리 시트(110)의 상기 위를 향하는 주표면 상에 모이고, 흐리게 하고, 남아있는 경향이 있을 수 있으므로, 새로운 제1 식각제(121a)는 상기 제1 식각제(121a) 및 상기 제1 식각제 부산물이 상기 유리 시트(110)의 상기 위를 향하는 주표면 상에 모이고, 흐리게 하고, 남아있는 영역들에서 상기 유리 시트(110)의 상기 위를 향하는 주표면과 접촉하는 것이 방지될 수 있다. 반대로, 상기 제2 식각제(123a) 및 상기 제2 식각제 부산물은 상기 유리 시트(110)의 상기 아래를 향하는 주표면으로부터 떨어지고 흘러 내리는 경향이 있을 수 있으므로, 새로운 제2 식각제(123a)는 상기 제2 식각제(123a) 및 상기 제2 식각제 부산물이 상기 유리 시트(110)의 상기 아래를 향하는 주표면으로부터 떨어지거나 흘러내린 영역들에서 상기 유리 시트(110)의 상기 아래를 향하는 주표면과 접촉할 수 있다. 새로운 식각제에 대한 상기 유리 시트(110)의 노출의 차이는 상기 유리 시트110)의 두께(114)의 감소의 차이를 야기할 수 있다. 따라서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 전방/후방 통과들의 사이, 및/또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서 상기 유리 시트(110)를 뒤집는 것은 상기 유리 시트(110)의 상기 주표면들(111, 112)을 공정 특징들 및 변수들에 동등하게 노출시킬 수 있고, 상기 유리 시트(110)의 상기 주표면들(111, 112) 상으로의 상기 식각제의 적용의 변동을 최소화하고 따라서 상기 유리 시트(110)의 광학적 선명도 및 두께 변동성을 포함하여 상기 식각 공정(100a)을 개선한다.
[0058] 또한, 상기 유리 시트(110) 상으로의 상기 제1 식각제(121a) 및 상기 제2 식각제(123a)의 양(예를 들어, 유량)을 변화시키는 것은 상기 유리 시트(110) 상으로의 상기 식각제의 적용의 변동을 최소화할 수 있으며, 따라서 상기 유리 시트(110)의 상기 광학적 선명도 및 상기 두께 변동성을 포함하여 상기 식각 공정(100a)을 개선한다. 예를 들어, 다른 실시예에서, 적어도 부분적으로 상기 제1 식각제(121a)의 상기 유리 시트(110)의 상기 위를 향하는 주표면 상의 모으기, 흐리기, 남겨짐 및 상기 제2 식각제(123a)의 상기 유리 시트(110)의 아래를 향하는 주표면으로부터의 떨어짐 및 흘러 내림을 보상하기 위하여, 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120)로부터의 상기 제1 식각제(121a)의 유량은 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)로부터의 상기 제2 식각제(123a)의 유량보다 작을 수 있다. 상기 제1 식각제(121a)의 유량을 상기 제2 식각제(123a)의 유량보다 작게 조절하는 것은 상기 유리 시트(110)의 상기 대응하는 위를 향하는 주표면 및 상기 유리 시트(110)의 아래를 향하는 주표면이 식각제에 노출되는 시간의 차이를 설명할 수 있으며, 상기 유리 시트(110) 상으로의 상기 식각제의 적용의 임의의 변동을 최소화하고 따라서 상기 유리 시트(110)의 상기 광학적 선명도 및 상기 두께 변동성을 포함하여 상기 식각 공정(110a)을 개선한다.
[0059] 또한, 상기 식각 챔버(102)의 절단 평면도를 도시하는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 유리 시트(110)는 상기 제1 주표면(111), 상기 제2 주표면(112), 제1 측면(130), 상기 제1 측면(130)과 대향하는 제2 측면(132), 상기 제1 측면(130)과 인접한 제3 측면(131), 및 상기 제3 측면(131)과 대향하는 제4 측면(133)을 포함할 수 있다. 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 제1 통과동안, 상기 유리 시트(110)는 상기 유리 식각기(100)에 도시된 바와 가팅 상기 제1 주표면(111)이 상기 제1 식각제(121a)에 노출되기 위해 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120) 및 대응하는 상부 스프레이 노즐들(121)을 향하도록 그리고 상기 제2 주표면(112)이 상기 제2 식각제(123a)에 노출되기 위해 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122) 및 대응하는 하부 스프레이 노즐들(123)(도 2에 도시됨 도 3에에서는 숨겨짐)을 향하도록 제공될 수 있다. 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 통과 후 및 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 후속적인 제2 통과 전에, 상기 유리 시트(110)는 수동으로 또는 로봇에 의해 뒤집어질(예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 주표면에 평행한 축을 중심으로 180도 회전될) 수 있고, 이후 상기 제1 주표면(111)이 상기 제2 식각제(123a)에 노출되기 위해 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122) 및 대응하는 하부 스프레이 노즐들(123)(도 2에 도시됨, 도 3에서는 숨겨짐)을 향하도록 그리고 상기 제2 주표면(112)이 상기 제1 식각제(121a)에 노출되기 위해 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120) 및 대응하는 상부 스프레이 노즐들(121)을 향하도록 상기 유리 식각기(100)에 제공될 수 있다. 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 임의의 하나 이상의 후속적인 통과들에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 후속적인 통과들 동안 상기 유리 시트(110)는 상기 유리 시트(110)의 제1 주표면(111) 및 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112)이 상기 제1 식각제(121a) 및 상기 제2 식각제(123a)에 각각 노출되도록(예를 들어, 교대적으로 노출됨) 다시 뒤집어질(예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 주표면에 평행한 축을 중심으로 180도 회전될) 수 있다.
[0060] 다른 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)는 식각 공정(100a) 동안 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 전방/후방 통과들 사이에서, 및/또는 또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서 임의의 1회 이상 재배향될 (예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 주표면에 수직한 축을 중심으로 180도 회전됨) 수 있어, 상기 유리 시트(110)의 상기 주표면들(예를 들어, 제1 주표면(111), 제2 주표면(112))의 상이한 영역을 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 이전 통과(예를 들어, 바로 전의 통과) 동안 상기 주표면들의 상이한 영역이 노출된 상기 스프레이 바들 및 스프레이 노즐들과는 상이한 스프레이 바들 및 스프레이 노즐들에 노출시킨다. 예를 들어, 상기 운반 경로(108a)를 따른 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 상기 수평 방향(109)과 관련하여, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 제1 통과 동안, 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111)은 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120)로부터의 상기 제1 식각제(121a)에 노출될 수 있고 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112)은 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)로부터의 상기 제2 식각제(123a)에 노출될 수 있다. 이러한 제1 통과 동안, 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 측면(130)이 상기 식각 구역(102a)을 통한 이끄는 엣지일 수 있고, 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 측면(132)이 상기 식각 구역(102a)을 통한 따라가는 엣지일 수 있다. 제2 통과 동안, 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111)은 다시 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120)로부터 상기 제1 식각제(121a)에 노출될 수 있고, 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112)은 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)로부터의 상기 제2 식각제(123a)에 노출될 수 있으나, 그러나, 상기 유리 시트(110)는 상기 제2 통과 동안 상기 식각 구역(102a)을 통해 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 측면(132)이 이끄는 엣지가 될 수 있고 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 측면(130)이 뒤따르는 엣지가 될 수 있도록 재배향될(예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 주표면에 수직한 축을 중심으로 180도 회전됨) 수 있다.
[0061] 다른 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)는 상기 식각 공정(100a) 동안 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서 임의의 1회 이상 상기 유리 시트(110)의 주표면에 수직한 축을 중심으로 임의의 각도로 재배향될(예를 들어, 15도, 30도, 45도, 90도 등 회전됨) 수 있어, 상기 유리 시트(110)의 주표면들(예를 들어, 제1 주표면(111), 제2 주표면(112))의 상이한 영역을 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 이전 통과(예를 들어, 바로 직전의 통과) 동안 상기 주표면들의 상기 상이한 영역이 노출되었던 스프레이 바들 및 스프레이 노즐들과는 상이한 스프레이 바들 및 스프레이 노즐들에 노출시킨다.
[0062] 이롭게, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 상기 연속적인 전방/후방 통과들 사이에서, 및/또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서 상기 유리 시트(110)를 뒤집고 재배향시키는 것 중 적어도 하나는 상기 유리 시트(110) 상으로의 상기 식각제의 적용의 변동을 보상할 수 있다. 예를 들어, 최상의 노력에도 불구하고, 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120), 상부 스프레이 노즐들(121), 하부 스프레이어들(122), 및 하부 스프레이 노즐들(123)은 대응하는 제1 식각제(121a) 및 제2 식각제(123a)를 불균일한 패턴으로 상기 유리 시트(110) 상으로 분배할 수 있으며, 상기 유리 시트(110)의 두께(114)의 불균일한 감소를 야기한다. 이러한 상기 식각제의 불균일한 분배는 적어도 부분적으로 스프레이 압력들, 스프레이 노즐들 사이 차이들, 상기 스프레이어들의 회전 속도 및 진동의 정확도, 및 상기 식각 공정(100a) 동안 맞닥뜨릴 수 있는 임의의 다른 공정 특성들 및 변수들에 기초할 수 있다. 따라서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 전방/후방 통과들 사이에서, 및/또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서 상기 유리 시트(110)를 뒤집는 것 및 재배향시키는 것 중 적어도 하나는 상기 공정 특징들 및 변수들에 상기 유리 시트(110)의 상기 주표면들(111, 112)을 동등하게 노출시킬 수 있으며, 상기 유리 시트(110) 상으로 상기 식각제의 적용의 변동을 최소화하고, 따라서 상기 유리 시트(110)의 상기 광학적 선명도 및 상기 두께 변동성을 포함하여 상기 식각 공정(100a)을 개선한다.
[0063] 이러한 다수-통과 식각 공정(100a)은 각각의 통과 동안 상기 유리 시트(110)의 두께를 감소시키며 상기 유리 시트(110)의 소정의 최중 두께(115)가 달성될때까지 복수회 반복될 수 있다. 상기 유리 시트(110)의 뒤집기 및/또는 재배향의 임의의 조합(예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 주표면에 평행한 축을 중심으로 180도 회전시킴; 상기 유리 시트(110)의 주표면에 수직한 축을 중심으로 180도, 90도 등 회전시킴; 상기 유리 시트(110)의 주표면에 평행한 축을 중심으로 180도 회전시키고, 상기 유리 시트(110)의 주표면에 수직한 축을 중심으로 180도, 90도 등 회전시킴 등)은 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111)(및 상기 제1 주표면(111)의 하나 이상의 영역들) 및 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112)(및 상기 제2 주표면(112)의 하나 이상의 영역들)을 임의의 하나 이상의 상부 스프레이어들(120) 및 대응하는 상부 스프레이 노즐들(121)로부터의 제1 식각제(121a)의 스프레이 및 임의의 하나 이상의 상기 하부 스프레이어들(122) 및 대응하는 하부 스프레이 노즐들(123)로부터의 제2 식각제(12a)의 스프레이의 임의의 또는 모든 조합들에 노출시키기 위해 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 전방/후방 통과들 사이에서, 및/또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서 임의의 순서로 수행될 수 있다는 것이 이해되어야 할 것이다.
[0064] 일부 실시예들에서, 상기 식각 챔버(102)는 임의의 수의 스프레이어들(예를 들어, 상부 스프레이어들(120), 하부 스프레이어들(122)) 및 임의의 수의 대응하는 상부 스프레이 노즐들(121) 및 하부 스프레이 노즐들(123)을 포함할 수 있다. 상기 스프레이 노즐들(예를 들어, 상기 상부 스프레이 노즐들(121) 및 상기 하부 스프레이 노즐들(123) 중 적어도 하나)은, 다른 스프레이 각도들이 추가적인 실시예들에서 제공될 수 있으나, 약 45도 내지 약 90도 범위 내의 스프레이 각도들을 가지는 원뿔형 노즐들일 수 있다. 또한, 공정 변수들을 제어하기 위하여, 하나 이상의 스프레이 노즐들 및/또는 하나 이상의 스프레이어들은 상기 스프레이 노즐들 및 스프레이어들로부터의 상기 식각제의 스프레잉 동작을 방지하기 위해 막혀있거나 비활성화될 수 있다. 일 실시예에서, 4개의 상부 스프레이어들(120)이 제공될 수 있으며, 하나를 제외한 모두는 막혀있을 수 있다. 상기 하나의 상부 스프레이어(120)는 4개의 45도 0.5 갤런/분(gpm) 원뿔형 노즐들을 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 4개의 하부 스프레이어들(122)이 제공될 수 있다. 상기 하부 스프레이어들(122) 중 3개는 4개의 90도 0.75gpm 원뿔형 노즐들을 포함할 수 있고, 상기 하부 스프레이어들(122) 중 하나는 6개의 90도 0.75gpm 원뿔형 노즐들을 포함할 수 있다. 6개의 노즐들을 가지는 상기 하부 스프레이어(122)는 상기 하나의 상부 스프레이어(120)와 수직적으로 정렬될 수 있다. 스프레이어들 및 스프레이 노즐들의 다른 구성들이 구상되며 본 개시의 범위 내로 고려된다.
[0065] 상기 격리 영역(103)는 상기 유리 시트(110)가 상기 유리 시트(110)가 세척(104a)을 거칠 수 있는 상기 세척 챔버(104)로 들어가기 전에 잔존하는 식각제(예를 들어, 제1 식각제(121a), 제2 식각제(123a)를 상기 유리 시트(110)로부터 헹구거나 제거할 수 있다. 상기 격리 영역(103)은 상기 유리 시트(110)를 헹구기 위한 노즐들 및 상기 유리 식각기(100) 밖으로 헹굼액 및 식각제를 빠지게하기 위한 드레인을 포함할 수 있다.
[0066] 상기 세척 챔버(104)는 상기 유리 시트(110)의 세척(104a)을 달성하기 위한 스프레이 튜브들, 스프레이 노즐들, 펌프들, 물 공급기들, 및 흐름 제어 벨브들을 포함할 수 있다. 상기 스프레이 노즐들은 상기 유리 시트(110) 상의로 액체를 분무하여 식각제 및 식각제 부산물들(예를 들어, 슬러지)을 상기 유리 시트(110)로부터 세척할 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 액체는 물 및/또는 세정제(예를 들어, 세제)를 포함할 수 있다. 상기 식각제 및 상기 식각제 부산물들을 상기 유리 시트(110)로부터 세처함으로써, 상기 유리 시트(110)의 상기 두께(114)의 감소는 일시적으로(예를 들어, 만약 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 후속적인 통과들이 요구되는 경우) 또는 영구적으로(예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 소정의 최종 두께(115)가 달성된 경우) 종료될 수 있다. 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 후속적인 통과 전에 상기 세척 챔버(104) 내에서의 상기 유리 시트(110)의 세척(104a)은 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111) 및 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112)이 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 연속적인 통과 전에 잔류 식각제 및 식각제 부산물로부터 깨끗하다는 것을 담보함으로써 상기 식각 공정(100a)의 품질 및 균일성을 향상시킬 수 있다.
[0067] 따라서, 상기 유리 시트(110)를 자주 및 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 후속적인 통과 전에 세척(104a)함으로써, 새로운 식각제가 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 연속적인 통과 동안 상기 유리 시트(11)와 균일하게 접촉할 수 있다. 이롭게, 본 개시의 상기 식각 공정(100a)을 거친 상기 유리 시트(110)의 두께 변동성은 식각제 및 식각제 부산물(예를 들어, 슬러지)이 상기 유리 시트(110)상에 더 오랜 시간 동안 남아 있을 수 있어 새로운 식각제가 상기 유리 시트(110)와 접촉하는 것을 막고 상기 유리 시트(110)의 고르지 못하고 불균일한 감소를 허용하는 다른 식각 공정들(예를 들어, 수직 욕조)에 비해 감소될 수 있다.
[0068] 상기 건조 챔버(105)는 헹굼액, 세척액, 및 잔류 식각제를 포함하는 액체를 상기 유리 시트(110)로부터 제거하기 위해 상기 유리 시트(110) 상으로 가스를 불기 위한 팬들(fans), 블로어들(blowers), 및 터빈들을 포함할 수 있다. 상기 언로드 스테이션(106)은 상기 유리 시트(110)가 운반될 수 있는 상기 컨베이어(108)를 지지하는 프레임 및 상기 유리 시트(110)가 상기 건조 챔버(105)로부터 나올 수 있는 개구를 포함할 수 있다. 상기 언로드 스테이션(106)은 또한 예를 들어, 하나 이상의 특징들의 온/오프 작동 및 상기 유리 식각기(100) 및 상기 식각 공정(100a)의 작동들을 제어하기 위해 상기 언로드 스테이션(106) 내 상기 유리 시트(110)의 존재 또는 부존재를 결정하기 위한 하나 이상의 센서들을 포함할 수 있다.
[0069] 또한, 상기 유리 식각기(100)는 상기 로드 스테이션(101), 상기 식각 챔버(102) 및 상기 식각 구역(102a), 상기 고립 구역(103), 상기 세척 챔버(104) 및 상기 세척(104a), 상기 건조 챔버(105), 상기 언로드 스테이션(106), 및 상기 컨베이어(108)의 임의의 하나 이상의 동작들을 포함하는 상기 유리 식각기(100) 및 상기 식각 공정(100a)의 하나 이상의 동작들을 제어하기 위한 제어기(107)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제어기(107)는 로봇 또는 인간 사용자가 상기 유리 식각기(100) 및 상기 식각 공정(100a)의 하나 이상의 동작들을 선택, 조절, 시작, 정지, 또는 제어할 수 있는 능동 또는 수동 사용자 인터페이스를 포함하는 임의의 하나 이상의 마이크로컨트롤러, 프로그램가능한 로직 제어기(PLC), 디스크리트(discrete) 제어기, 회로, 컴퓨터, 또는 다른 기계적 도는 전기적 제어 피쳐를 포함할 수 있다. 추가적인 실시예들에서, 상기 유리 식각기(100)는 부분적으로 또는 전체적으로 수동으로 제어기로 또는 제어기 없이 작동될 수 있다.
[0070] 본 명세서에 기술된 주제의 실시예들 및 기능적 작동들은 본 명세서에 개시된 구조들 및 이들의 구조적 균등물들을 포함하는 임의의 하나 이상의 디시털 전자 회로, 컴퓨터 소프트웨어, 펌웨어, 하드웨어 중 하나 이상의 임의의 조합을 포함하여 구현될 수 있다. 본 명세서에 개시된 주제의 실시예들은 하나 이상의 컴퓨터 프로그램 제품들(예를 들어, 데이터 처리 장치에 의한 실행을 위한 또는 데이터 가공 장치의 작동의 제어를 위한 유형의 프로그램 캐리어 상에 인코딩된 컴퓨터 프로그램 명령어들의 하나 이상의 모듈들) 로 구현될 수 있다. 상기 유형의 프로그램 캐리어는 컴퓨터로 판독가능한 매체일 수 있다. 상기 컴퓨터로 판독가능한 매체는 기계 판독가능한 저장 장치, 기계 판독가능한 저장 기판, 및 메모리 장치 중 하나 이상의 임의의 조합들을 포함하여 임의의 하나 이상일 수 있다.
[0071] 용어 "프로세서" 또는 "제어기"는 예시적인 실시예들로서 프로그램가능한 프로세서, 컴퓨터, 또는 다중의 프로세서들 또는 컴퓨터들을 포함하는 데이터를 처리하기 위한 모든 장치, 소자들, 및 기계들을 포함할 수 있다. 상기 프로세서는 하드웨어에 더하여 문제의 상기 컴퓨터 프로그램을 위한 실행 환경을 생성하는 코드(예를 들어, 하나 이상의 프로세서 펌웨어, 프로토콜 스택, 데이터베이스 관리 시스템, 및 오퍼레이팅 시스템 중 임의의 조합들을 포함하여 임의의 하나 이상을 포함하는 코드)를 포함할 수 있다.
[0072] 컴퓨터 프로그램(프로그램, 소프트웨어, 소프트웨어 어플리케이션, 스크립트, 또는 코드로도 알려짐)은 컴파일된 또는 해석된 언어들, 또는 선연적 또는 절차적 언어들을 포함하는 임의의 형태의 프로그램 언어로 기록될 수 있으며, 스탠드얼론(standalone) 프로그램으로 또는 모듈, 컴포넌트, 서브루틴, 또는 다른 컴퓨팅 환경에 사용하기 적합한 유닛으로를 포함하는 임의의 형태로 배포될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 반드시 파일 시스템 내의 파일에 대응할 필요는 없다. 프로그램은 다른 프로그램들 또는 데이터를 포함하는 파일(예를 들어 마크업 언어 문서에 저장된 하나 이상의 스크립트들)의 일부 내에, 문제의 프로그램에 전용되는 단일한 파일 내에, 또는 다수의 조직화된 파일들(예를 들어, 하나 이상의 모듈들, 서브 프로그램들, 또는 코드의 부분들을 저장하는 파일들) 내에 저장될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 하나의 컴퓨터 또는 하나의 장소에 위치되거나 다수의 장소들에 걸쳐 분산되고 통신 네트워크에 의해 상호연결되는 다수의 컴퓨터들 상에서 실행되도록 배포될 수 있다.
[0073] 본 명세서에 기술된 처리 과정들 및 논리 흐름들은 입력 데이터에 대하여 작업하여 출력을 생성함으로써 함수들을 수행하기 위해 하나 이상의 컴퓨터 프로그램들을 실행하는 하나 이상의 프로그램가능한 프로세서들에 의해 수행될 수 있다. 상기 처리 과정들 및 논리 흐름들은 특수 목적 논리 회로(예를 들어, FPGA(필드 프로그램가능 게이트 어레이), 또는 ASIC(어플리케이션 특정 집적 회로))에 의해 수행될 수 있고, 장치는 또한 상기 특수 목적 회로로서 구현될 수 있다.
[0074] 컴퓨터 프로그램의 실행에 적합한 프로세서들은 예시적인 실시예들로서 범용 및 특수 목적 마이크로프로세서들, 및 임의의 종류의 디지털 컴퓨터의 임의의 하나 이상의 프로세서들 포함한다. 일반적으로, 프로세서는 리드 온리 메모리(read only memory), 랜덤 액세스 메모리(random access memory), 또는 둘다로부터 명령어들 및 데이터를 수신할 것이다. 컴퓨터의 필수적 구성 요소들은 명령어들을 수행하기 위한 프로세서 및 명령어들 및 데이터를 저장하기 위한 하나 이상의 데이터 메모리 장치들을 포함한다. 일반적으로, 컴퓨터는 또한 데이터를 저장하기 위한 대용량 저장 장치들(예를 들어, 자기, 광자기 디스크들, 또는 광 디스크들)을 포함하거나, 데이터를 수신하거나 데이터를 전송하기 위해 상기 대용량 저장 장치들에 동작적으로 결합되거나, 둘 다일 수 있다. 그러나, 컴퓨터는 이러한 장치들을 가질 필요는 없다.
[0075] 컴퓨터 프로그램 명령어들 및 데이터를 저장하기 적합한 컴퓨터 판독가능한 매체는 예시적인 실시예들로서 반도체 메모리 장치들(예를 들어, EPROM, EEPROM, 및 플래시 메모리 장치들), 자기 디스크들(예를 들어, 내부 하드 디스크들 또는 제거가능한 디스크들); 광자기 디스크들; 및 CD ROM 및 DVD-ROM 디스크들을 포함하는 비휘발성 메모리, 매체, 및 메모리 장치들을 포함하는 모든 형태들의 데이터 메모리를 포함한다. 상기 프로세서 및 상기 메모리는 특수 목적 논리 회로에 의해 보충될 수 있거나, 상기 특수 목적 논리 회로에 결합될 수 있다.
[0076] 사용자와의 상호 작용을 제공하기 위해, 본 명세서에 기술된 주제의 실시예들은 상기 사용자에게 정보를 디스플레이하기 위한 디스플레이 장치(예를 들어, LCD(액정 디스플레이) 모니터) 및 상기 사용자가 상기 컴퓨터에 입력을 제공할 수 있는 키보드 및 포인팅 장치(예를 들어, 마우스 또는 트랙볼)를 가지는 컴퓨터 상에서 구현될 수 있다. 또한 다른 종류의 장치들이 사용자와의 상호작용을 제공하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들어, 상기 사용자로부터의 입력은 음향, 음성, 또는 촉각 입력을 포함하는 임의의 형태로 수신될 수 있다.
[0077] 본 명세서에 기술된 주제의 실시예들은, 백 엔드 컴포넌트(예를 들어 데이터 서버)를 포함하는, 또는 미들웨어 컴포넌트(예를 들어, 어플리케이션 서버)를 포함하는, 또는 사용자가 본 명세서에 기술된 주제의 구현물과 상호작용할 수 있는 그래픽 사용자 인터페이스 또는 웹 브라우저를 가지는 프론트 엔드 컴포넌트(예를 들어, 클라이언트 컴퓨터)를 포함하는 또는 이러한 백 엔드, 미들웨어, 또는 프론트 엔드 컴포넌트들 중 하나 이상의 임의의 조합을 포함하는 컴퓨팅 시스템에서 구현될 수 있다. 상기 시스템의 컴포넌트들은 통신 네트워크를 포함하는 임의의 형태 또는 매체의 디지털 데이터 통신에 의해 상호연결될 수 있다. 통신 네트워크들의 실시예들은 근거리 통신망(LAN) 및 인터넷을 포함하는 광역 통신망(WAN)을 포함한다. 상기 컴퓨팅 시스템은 클라이언트들 및 서버들을 포함할 수 있다. 클라이언트 및 서버는 일반적으로 서로 떨어져 있을 수 있고 전형적으로 통신 네트워크를 통해 상호작용할 수 있다. 클라이언트와 서버의 관계는 각각의 컴퓨터들 상에 작동되고 서로에 대하여 클라이언트-서버 관계를 가지는 컴퓨터 프로그램들에 의해 발생할 수 있다.
[0078] 일부 실시예들에서, 상기 유리 식각기(100)는 타이타늄, PVC, 및 섬유유리 중 적어도 하나를 포함하여 금속 및 플라스틱 중 적어도 하나로부터 만들어질 수 있다. 상기 유리 식각기(100)는, 온/오프 스위치들, 아날로그 리드-아웃들, 디지털 리드-아웃들, 제어 전위차계들(potentiometers), 상태등들, 표시등들, 인터락 등들, 및 다른 표시 놉들, 스위치들, 센서들, 및 신호들을 포함하나 이에 제한되지 않는, 추가적인 피쳐들을 포함할 수 있다. 또한, 예를 들어 유리 시트(110)를 얇게하는데 사용될 수 있는 서브멀젼(submersion) 식각 공정 및 기계적 연마 공정에 비하여, 본 명세서에 개시된 상기 식각 공정(100a)은 유리 시트들을 연속적이고 비교적 더 빠르게 얇게할 수 있어, 따라서 시간을 절약하며, 비용을 감소시키고, 쓰루풋(throughput) 및 아웃풋을 증가시킨다. 상기 유리 식각기(100)의 피쳐들은 예시적인 피쳐들이며 본 개시의 범위를 제한하는 것으로 의도되어서는 안된다는 것이 이해되어야 할 것이다. 따라서, 상기 유리 식각기(100)의 다른 피쳐들 및 구성들이 본 명세서에서 고려되며 이미 기술된 피쳐들 및 본 명세서에서 명시적으로 제공되지 않은 피쳐들을 포함하는 임의의 동일한, 유사한, 또는 상이한 피쳐들을 포함할 수 있다.
[0079] 따라서, 상기 유리 식각기(100)의 피쳐들 및 구성들은 상기 유리 시트(110)의 크기 또는 원하는 치수 특성, 광학적 선명도, 또는 적어도 부분적으로 상기 유리 식각기(100)의 임의의 하나 이상의 피쳐들 및 구성들의 선택, 제어, 조절, 변경, 및 수정에 영향을 주는 상기 유리 시트(110)의 다른 피쳐를 포함하는 임의의 다른 변수에 적어도 부분적으로 기초하여 선택되고, 제어되고, 조절되고, 변경되고, 수정될 수 있다는 것이 이해될 것이다. 따라서, 본 명세서에 명시적으로 기술되지 않은 유리 식각기들을 포함하는 다른 유리 식각기들이 또한 식각 공정(100a)을 수행하기 위한 다른 실시예들에서 제공될 수 있다. 나아가, 본 명세서에 명시적으로 기술되지 않은 피쳐들을 포함하는 본 명세서에 개시된 상기 유리 식각기(100)의 임의의 피쳐들은 상기 식각 공정(100a) 전에, 동안, 및 후에 본 개시의 범위로부터 벗어나지 않으면서 상기 식각 공정(100a)을 따라 유리를 가공하기 위한 하나 이상의 상이한 피쳐들 및 구성들을 포함하도록 수정되고, 변경되고, 조절될 수 있다.
[0080] 유리 시트(110)가 식각 공정(100a)을 거치게 함으로써 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키는 방법은 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)가 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)로 감소될 수 있을 때까지 상기 유리 시트(110)를 상기 운반 경로(108a)를 따라 상기 식각 구역(102a)을 통해 복수회 통과시키는 단계, 및 상기 식각 구역(102a)을 통한 각각의 통과 후에 상기 유리 시트(110)를 세척(104a)하는 단계를 포함할 수 있다.
[0081] 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 제1 통과 동안 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111)을 상기 제1 식각제(121a)에 노출시키고, 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112)을 제2 식각제(123a)에 노출시키는 단계, 및 이후 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 후속적인 통과 동안 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111)을 상기 제2 식각제(123a)에 노출시키고 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112)를 상기 제1 식각제(121a)에 노출시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제1 식각제(121a)는 상기 운반 경로(108a) 상에 마련된 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120)로부터 상기 유리 시트(110)에 제공될 수 있고, 상기 제2 식각제(123a)는 상기 운반 경로(108a) 아래 마련된 상가 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)로부터 상기 유리 시트(110)에 제공될 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 상부 스프레이어들(120)로부터의 상기 제1 식각제(121a)의 제1 유량은 상기 하부 스프레이어들(122)로부터의 상기 제2 식각제(123a)의 제2 유량보다 작을 수 있다.
[0082] 일 실시예에서, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 두 연속적인 통과들 사이에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 전방/후방 통과들 사이에서, 및/또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서, 상기 유리 시트(110)의 주표면(예를 들어, 제1 주표면(111), 제2 주표면(112))에 평행한 축을 중심으로 180도 상기 유리 시트(110)를 회전시킴으로써 상기 유리 시트(110)를 뒤집는 단계를 더 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 후속적인 통과전에, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 후속적인 전방/후방 통과 전에, 및/또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 후속적인 통과 전에, 상기 유리 시트(110)의 주표면(예를 들어, 제1 주표면(111), 제2 주표면(112))에 수직한 축을 중심으로 180도, 90도 등으로 상기 유리 시트(110)를 회전시킴으로써 상기 유리 시트(110)를 재배향시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
[0083] 또 다른 실시예에서, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 두 연속적인 통과들 사이에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 전방/푸방 통과들 사이에서, 및/또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서, 상기 유리 시트(110)의 주표면(예를 들어, 제1 주표면(111), 제2 주표면(112))에 수직한 축을 중심으로 180도 상기 유리 시트(110)를 회전 시킴으로써 상기 유리 시트(110)를 재배향시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 각각의 연속적인 통과 사이에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 전방/후방 통과들 사이에서, 및/또는 복수의 식각 구역들을 통한 상기 유리 시트(110)의 연속적인 통과들 사이에서, 상기 유리 시트(110)의 주표면(예를 들어, 제1 주표면(111), 제2 주표면(112))에 평행한 축을 중심으로 180도 상기 유리 시트(110)를 회전시킴으로써 상기 유리 시트(110) 뒤집는 것, 및 상기 유리 시트(110)의 주표면(예를 들어, 제1 주표면(111), 제2 주표면(112))에 수직한 축을 중심으로 180도 상기 유리 시트(110)를 회전시킴으로써 상기 유리 시트(110)를 재배향시키는 것 중 적어도 하나의 단계를 더 포함할 수 있다.
[0084] 일 실시예에서, 상기 소정의 최종 두께(115)를 포함하는 상기 유리 시트(110)는 약 98.5 이상의 DOI를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 DOI는 상기 유리 시트(110)가 기계적 연마 공정을 거치게하지 않으면서 얻어질 수 있다. 본 출원의 목적을 위하여, 기계적 연마 공정은 기계적으로 유리 시트의 표면과 고체 물체(예를 들어, 장비의 연마 표면, 연마 분말)를 맞물려 상기 유리 시트의 표면에 작용하여 상기 유리 시트의 두께를 감소시키거나 상기 유리 시트의 표면 고르기를 증가시키는 공정을 의미한다.
[0085] 본 명세서에 개시된 실시예들에 따른 예시적인 식각 공정(100a)으로부터 얻어진 데이터의 대표적인 샘플이 표 1에 도시된다. 표 1의 상기 데이터는 화씨 90도의 공정 온도들, 25 사이클/분의 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120) 및 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)의 방향(125)을 따른 스프레이 진동, 및 4분의 상기 식각 구역(102a) 내의 체류 시간에서 얻어졌다. 표시된 초기 두께(113)를 가지는 퓨전 드로우된 유리 시트들이 상기 식각 구역(102a)을 통한 복수의 통과들(예를 들어, 통과 횟수)에 걸쳐 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120) 및 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)로부터 제공되는 상이한 식각 농도들로(예를 들어, %HF, %HNO3) 75μm로 얇아졌다. 표 1의 1행 데이터에 의해 보여지는 바와 같이, 400μm의 초기 두께를 가지는 유리 시트를 10%HF 및 5%HNO3를 포함하는 식각제를 사용하여 15회의 통과들에 걸쳐 75μm로 얇게할 때 약 98.5 이상의 DOI 값이 얻어졌다.
[0086] 표 1의 데이터 및 데이터를 얻기 위해 사용된 공정 변수들은, 달린 언급되지 않는한, 오직 예시적인 목적들로 제공되며, 본 개시의 범위를 제한하도록 의도되지 않는다는 것이 이해되어야 할 것이다.
초기 유리 두께(μm) %HF %HNO3 통과 횟수 이미지의 명확성(DOI)
400 10 5 15 99.17
550 10 5 21 98.43
400 15 7.5 7 98.32
400 20 10 5 96.33
550 15 7.5 9 97.50
550 20 10 7 94.60
[0087] 다른 실시예에서, (ⅰ) 상기 유리 시트(110)의 상기 최종 소정의 두께(115)의 두께 변동성이 약 4μm 내지 약 9μm일 수 있고, (ⅱ) 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)의 제1 두께 변동성과 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)의 제2 두께 변동성의 차이의 절대값은 약 0μm 내지 약 7μm일 수 있다 중 적어도 하나가 달성될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 상기 두께 변동성 및 상기 제1 두께 변동성 및 상기 제2 두께 변동성 중 적어도 하나는 상기 유리 시트(110)가 기계적 연마 공정을 거치게 하지 않으면서 얻어질 수 있다. 예를 들어, 본 명세서에 개시된 실시예들에 다른 예시적인 식각 공정(100a)으로부터 얻어진 데이터의 대표적인 샘플이 표 2에 보여진다. 표 2의 데이터는 표시된 초기 두께(113)를 가지는 상이한 유리 조성의(예를 들어, 코닝 뉴욕의 코닝 사로부터 입수 가능한 유리 코드들 2319, EAGLE XG®) 퓨전 드로우된 유리 시트들이 상이한 식각 농도들로(예를 들어, %HF) 상기 식각 구역(102a)을 통한 복수회의 통과들(예를 들어, 통과 횟수)에 걸쳐 75μm로 얇아질 때 얻어졌다. 표 2에 보여지는 바와 같이, 약 3μm 내지 약 9μm의 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)의 두께 변동성(예를 들어, 평균 TTV 식각후)이 얻어졌다. 또한, 델타 TTV로 보여지는 바와 같이, 0μm 내지 7μm의 (ⅰ) 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)의 제1 두께 변동성(예를 들어, 평균 TTV 식각 전)과 (ⅱ) 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)의 두께 변동성(예를 들어, 평균 TTV 식각 후)의 차이의 절대값이 얻어졌다. 일부 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)의 최종 두께 허용 오차 및 최종 두께 변동성은 적어도 부분적으로 상기 유리 시트(110)의 초기 두께 허용 오차 및 초기 두께 변동성에 기초할 수 있어, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)의 더 나은 제어(예를 들어, 더 작은 변동성)와 함께, 상기 유리 시트(110)의 상기 총 식각 후 두께 허용 오차 및 소정의 최종 두께(115)의 최종 두께 변동성도 마찬가지로 감소할 수 있다.
[0088] 표 2의 데이터 및 데이터를 얻기 위해 사용된 공정 변수들은, 달린 언급되지 않는한, 예시적인 목적들로 제공되며, 본 개시의 범위를 제한하도록 의도되지 않는다는 것이 이해되어야 할 것이다.
초기 유리 두께
(μm)		 550 550 400 400 550 400 200 100
유리 조성 2319 2319 2319 2319 2319 2319 EXG EXG
통과 횟수 21 7 5 15 9 6 2 1
%HF 10 20 20 10 15 15 20 20
평균 TTV
식각 후
(μm)		 8.8 8.5 5.5 5.5 5.4 4.4 4.3 3.3
평균 TTV
식각 전
(μm)		 2 3 2.25 4.25 5 5.5 3 2.6
델타 TTV
(μm)		 6.8 5.5 3.25 1.25 0.4 -1.1 1.3 0.7
[0089] 일 실시예에서, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 20μm 내지 약 40μm씩 상기 유리 시트(110)의 상기 두께(114)를 감소시키기 위해 상기 식각 공정(100a)을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 20μm/분의 속도로 상기 유리 시트(110)의 상기 두께(114)를 감소시키기 위해 상기 식각 공정(100a)을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.
[0090] 예를 들어, 상기 식각제의 농도는 적어도 부분적으로 상기 유리 시트(110)로부터 물질이 제거될 수 있는 속도 및 상기 유리 시트(110)의 상기 두께(114)가 감소될 수 있는 속도를 포함하여 상기 유리 시트(110)가 식각될 수 있는 속도를 제어할 수 있다. 상기 유리 시트(110)의 조성은 또한 적어도 부분적으로 상기 유리 시트(110)가 식각될 수 있는 속도를 제어할 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 식각제는 20%HF-10%HNO3를 포함할 수 있으며, 이는 특정한 조성의 유리에 적용되었을 때 약 20μm/분의 식각 속도를 달성할 수 있다. 다른 실시예들에서, 상기 식각제는 15%HF-7.5%HNO3를 포함할 수 있으며, 이는 특정한 조성의 유리에 적용되었을 때 약 15μm/분의 식각 속도를 달성할 수 있다. 또 다른 실시예들에서, 상기 식각제는 10%HF-5%HNO3를 포함할 수 있으며, 이는 특정한 조성의 유리에 적용되었을 때 약 10μm/분의 식각 속도를 달성할 수 있다. 다른 실시예들은 2:1 비의 HF/HNO3를 포함하는 식각제를 사용할 수 있다. HF의 농도는 상기 유리 시트(110)가 식각될 수 있는 속도를 직접적으로 제어하며, 더 높은 농도의 산은 더 빠른(예를 들어, 더 공격적인) 식각 속도들을 야기할 수 있는 반면, 더 낮은 농도들의 산은 더 느린(예를 들어, 덜 공격적인) 식각 속도들을 야기할 수 있다. 일부 실시예들에서, 더 느린 식각 속도들은 물질의 제거에 대한 더 나은 제어를 가지는 식각 공정(100a)을 제공할 수 있으며, 상기 유리 시트(110)의 더 적은 두께 변동성 및 더 나은 광학적 선명도를 야기하는 반면; 더 빠른 식각 속도들은 상기 물질의 제거에 대한 부족한 제어를 가지는 식각 공정(100a)을 제공할 수 있으며, 상기 유리 시트(110)의 더 많은 두께 변동성 및 감소된 광학적 선명도를 야기한다. 그러나, 더 느린 식각 속도들은 비슷한 양의 물질을 제거하기 위해 더 긴 가공 시간을 야기할 수 있고, 따라서 공정 쓰루풋 및 출력을 감소시킨는 반면; 더 높은 식각 속도들은 비스한 양의 물질을 제거하기 위해 더 짧은 가공 시간을 야기할 수 있고, 따라서 공정 쓰루풋 및 출력을 증가시킨다. 본 명세서에 개시된 장치 및 방법들은 가공 시간 및 가공 품질 중 적어도 하나 사이의 균형을 제공하며, 약 20%HF 내지 약 10%HF의 식각제 농도를 포함할 수 있다. 따라서, 일부 실시예들에서, 10%HF 미만을 포함하는 식각제 농도는, 고품질의 얇아진 유리 시트들(110)을 생산할 수 있으나, 실용적 응용들로는 너무 느릴 수 있는 사익 유리 시트(110)의 식각 속도를 제공할 수 있다. 유사하게, 일부 실시예들에서, 20%HF 초과를 포함하는 식각제 농도는, 더 빠를 수 있는 상기 유리 시트(110)의 식각 속도를 제공할 수 있으나, 실용적 응용들로는 수용불가능한 품질의 유리 시트들(110)을 제공할 수 있다.
[0091] 나아가, 상기 식각제의 온도 및/또는 상기 식각 구역(102a) 내의 환경이 상기 유리 시트(110)가 식각될 수 있는 속도를 제어하기 위해 제어될 수 있다. 예를 들어, 화씨 130도 정도로 높은 상기 식각제의 온도들이 제공될 수 있다. 다른 실시예들에서, 화씨 약 90도 또는 약 화씨 80도 내지 약 화씨 120도의 식각제의 온도가 제공될 수 있다. 더 높은 온도는 더 높은 식각 속도에 대응할 수 있다. 예를 들어, 고정된 산 농도에서, 상기 식각제의 온도를 화씨 90도로부터 화씨 120도로 변화시키는 것은 상기 유리 시트(110)가 식각될 수 있는 속도를 두 배로 증가시키는 것이 관찰될 수 있다.
[0092] 또한, 상기 컨베이어(108)의 속도는 또한 제어될 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 컨베이어(108)의 속도는 약 1 인치/분 내지 약 25인치/분으로 조절될 수 있다. 상기 식각 챔버(102)의 알려진 길이 및 상기 유리 식각제(110)가 시각될 수 있는 알려진 속도에 기초하여, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 복수의 통과들 중 각각의 통과마다 목표량의 물질을 제거하기 위해 상기 컨베이어(108)의 속도가 선택될 수 있다. 상기 알려진 식각 속도는 적어도 부분적으로 상기 식각제의 화학적 농도, 상기 식각제의 온도, 및 상기 유리 시트(110)의 조성에 기초하여 결정될 수 있다. 따라서, 상기 유리 시트(110)가 복수회 상기 식각 공정(100a)을 거치게 한 후, 상기 소정의 최종 두께(115)를 가지는 유리 시트(110)를 생산하기 위해 상기 식각 구역(102a)을 통한 각각의 통과마다 상기 유리 시트(110)로부터 선택된 량의 물질을 제거하기 위해 상기 유리 시트(110)의 상기 식각 챔버(102) 내에서의 체류 시간이 결정될 수 있으며 구현될 수 있다.
[0093] 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다의 제거된 물질의 양, 및 따라서 상기 유리 시트(110)의 상기 두께(114)의 감소는 상기 유리 시트(110)의 두께 변동성 및 광학적 선명도에 영향을 줄 수 있다. 예를 들어, 단일 통과동안 너무 많은 양을 제거하는 것은 상기 유리 시트(110) 상에 식각제 부산물의 과도한 축적을 생산할 수 있으며, 이는 새로운 식각제의 상기 유리 시트(110)에 접촉하는 능력의 감소로 인하여 물질의 고르지 않고 불균일한 제거를 야기한다. 반면, 단일 통과동안 너무 적은 물질을 제거하는 것은 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)를 달성하기 위해 많은 수의 통과들을 야기할 수 있어 상기 공정은 실용적 응용들을 위하여는 너무 느릴 수 있다. 따라서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 약 20μm 내지 약 40μm씩 감소시키는 것은, 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과 후의 상기 유리 시트(110)의 잦은 세척(104a)과 결합하여, 젝어도 공정 시간 및 공정 품질 사이의 균형을 제공할 수 있다. 따라서, 일부 실시예들에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 통과마다 상기 유리 시트(110)의 상기 두께(114)로부터 20μm 미만 제거하는 것은, 고품질의 얇아진 유리 시트들(110)을 생산할 수 있으나, 실용적 응용들을 위하여는 너무 느릴 수 있는 식각 공정(100a)을 야기할 수 있다. 유사하게, 일부 실시예들에서, 상기 식각 구역(102a)을 통한 통과마다 상기 유리 시트(110)의 상기 두께(114)로부터 40μm 초과를 제거하는 것은, 비록 더 빠른 가공 시간을 달성할 수 있으나, 실용적 응용들을 위하여는 수용불가능한 품질의 유리 시트들(110)을 생산할 수 있다.
[0094] 추가적인 실시예들에서, 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120) 및 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(112)의 스프레이 압력은 함께 또는 독립적으로 약 5 제곱 인치 게이지 당 파운드(psig) 내지 약 30psig로 조절될 수 있다. 상기 스프레이 압력은 예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 주표면들로부터 식각 부산물들(예를 들어, 슬러지)을 씻어내어 상기 식각 공정(100a)의 균일성을 개선하고, 따라서 상기 유리 시트(110)의 높은 광학적 선명도를 유지하면서 상기 유리 시트(110)의 상기 두께 변동성을 감소시키도록 선택될 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 유리 시트(110) 상에 가해지고 전해진 충격, 힘, 및 스트레스를 제한하기 위해 낮은 스프레이 압력이 선택될 수 있다. 상기 상부 스프레이 노즐들(121) 및 상기 하부 스프레이 노즐들(123)은 원뿔형 또는 팬 패턴 노즐들 및 특정한 스프레이 각도 및 유량을 가지는 임의의 다른 노즐들일 수 있다. 또한, 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120) 및 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)은 각각의 축을 중심으로(예를 들어, 도3에 화살표(125)로 도시된 바와 같이) (예를 들어, 모터의 동작에 의해) 회전하고 진동할 수 있어, 상기 유리 시트(110) 상으로 식각제의 균일한 스프레이를 제공하여, 상기 유리 시트(110)의 상기 제1 주표면(111) 전체 및 상기 유리 시트(110)의 상기 제2 주표면(112) 전체에 걸쳐 완전한 커버리지를 달성한다. 상기 하나 이상의 상부 스프레이어들(120) 및 상기 하나 이상의 하부 스프레이어들(122)의 진동은 또한 상기 유리 시트(110)의 상기 주표면들로부터 식각 부산물들(예를 들어, 슬러지)을 제거하고 씻어내는데 도움을 줄 수 있다.
[0095] 또한, 총 제거된 물질(예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)와 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115)의 차이)는 상기 유리 시트(110)의 상기 두께 변동성 및 광학적 선명도에 영향을 줄 수 있다. 예를 들어, 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 하나의 통과 동안 발생된 상기 유리 시트(110)의 임의의 두께(114) 변화는 각각의 후속적인 통과 동안 상기 유리 시트(110)의 두께 변동성에 축적적인(예를 들어, 추가적인) 효과를 가질 수 있어, 특정 조건들 하에서, 상기 식각 공정(100a) 동안 상기 유리 시트(110)로부터 제거된 총 물질의 양이 많을수록 상기 축적 효과가 더 클 수 있고, 상기 소정의 최종 두께(115)의 더 큰 최종 두께 변동성을 야기한다. 따라서, 상기 유리 시트110)의 두께 변동성 및 광학적 선명도에 대한 상기 식각 공정(100a)의 축적 효과들을 완화하도록 상기 식각 공정(100a)은 적어도 부분적으로 상기 유리 시트(110)로부터 제거되어야 하는 물질의 총 양에 기초하여 제어될 수 있다. 예를 들어, 상기 식각 공정(100a) 동안 상당량의 총 물질이 상기 유리 시트(110)로부터 제거될 수 있는 일부 실시예들에서, 상기 식각 공정(100a)은, 위에서 제시된 바와 같이,각각의 통과에서 두께 변동성 및 광학적 선명도를 개선하여, 따라서 상기 유리 시트(110)가 복수의 통과들을 거칠 때 축적 효과들을 감소시키도록 제어될 수 있다. 마찬가지로, 상기 식각 공정(100a) 동안 상기 유리 시트(110)로부터 더 적은 양의 총 물질이 제거될 수 있는 일부 실시예들에서, 상기 식각 공정(100a)은, 위에서 제시된 바와 같이, 상기 식각 공정(100a)의 가공 속도를 증가시켜, 아마도 각각의 통과에서 두께 변동성 및 광학적 선명성을 희생시키면서, 그러나 축적 효과를 고려할 때 상기 유리 시트(110)가 복수의 통과들을 거친후 수용불가능한 두께 변동성 및 광학적 선명도를 야기할 정도로 많이 희생시키지는 않도록 제어될 수 있다.
[0096] 일 실시예에서, 상기 식각 구역(102a)을 통해 상기 유리 시트(110)를 통과시키는 단계 동안, 상기 유리 시트(110)는 약 10%HF 내지 약 20%HF를 포함하는 식각제(예를 들어, 제1 식각제(121a), 제2 식각제(123a))에 노출될 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 식각 구역(102a)을 통해 상기 유리 시트(110)를 통과시키는 단계 동안, 상기 유리 시트(110)는 약 15%HF 내지 약 20%HF를 포함하는 식각제(예를 들어, 제1 식각제(121a), 제2 식각제(123a))에 노출될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 상기 식각 구역(102a)을 통해 상기 유리 시트(110)를 통과시키는 단계 동안, 상기 유리 시트(110)는 약 15%HF를 포함하는 식각제(예를 들어, 제1 식각제(121a), 제2 식각제(123a))에 노출될 수 있다.
[0097] 도 4-7은 X축을 따라 식별되는 다양한 유리 시트들에 대한 Y 축 상의 DOI를 가지는 예시적인 데이터를 도시한다. 각각의 플롯은 범례를 포함하며, MN은 데이터 세트의 최소값을 식별하고, MX는 상기 데이터 세트의 최대 값을 식별하고, MD는 상기 데이터 세트의 중간값을 나타내고, Q1은 상기 데이터 세트의 첫번째 사분위이고, Q3는 상기 데이터 세트의 세번째 사분위이다.
[0098] 특히, 도 4를 참조하면, 401은 다른 데이터를 비교하기 위한 베이스라인으로 사용되는 상업적인 스크린 보호기에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 402는 200μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 20μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 403은 200μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 30μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 404는 200μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 40μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 405는 200μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 20μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 406은 200μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 30μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 그리고 407은 200μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 40μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 도시된 바와 같이, 각각의 402, 403, 404, 405, 406, 및 407에 대한 모든 데이터 포인트들은 약 98.5 이상이며 따라서 베이스라인 상업적인 스크린 보호기(401)을 나타내는 DOI 데이터에 비교할만한 DOI값을 포함한다. 도 4의 상기 데이터 및 상기 데이터를 얻기 위해 사용된 상기 공정 파라미터들은, 달리 언급되지 않는 한, 오직 예시적인 목적들로 제공되는 것이며, 본 개시의 범위를 제한하는 것으로 의도되지 않는다는 것이 이해되어야 할 것이다.
[0099] 도 4의 데이터(예를 들어, 각각의 402, 403, 404, 405, 406, 및 407)에 의해 보여지는 바와 같이, 일 실시예에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)와 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115) 사이의 차이는 0μm 초과 150μm 이하일 수 있고, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 20μm 내지 약 40μm씩 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키기도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하고 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 15μm/분의 속도로 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.
[00100] 도 5는 X 축을 따라 식별되는 다양한 유리 시트들에 대한 Y축 상의 DOI를 도시한다. 특히, 501은 다른 데이터를 비교하기 위한 베이스라인으로 사용되는 상업적인 스크린 보호기에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 502는 200μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 20μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 503은 200μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 30μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 504는 200μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 40μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 505는 200μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 20μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 506은 200μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 30μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 그리고 507은 200μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 40μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 도시된 바와 같이, 각각의 502, 503, 505, 및 506에 대한 모든 데이터 포인트들은 약 98.5 이상이고 따라서 베이스라인 상업적인 스크린 보호기(501)를 나타내는 DOI 데이터에 비교할만한 DOI값을 포함하는 반면; 각각의 504 및 507은 약 98.5 미만이고 따라서 상기 베이스라인 상업적인 스크린 보호기(501)를 나타내는 DOI 데이터에 비교할만하지 않은 DOI 값을 가지는 적어도 하나의 데이터 포인트를 포함한다. 도 5의 상기 데이터 및 상기 데이터를 얻기 위해 사용된 상기 공정 파라미터들은, 달리 언급되지 않는 한, 오직 예시적인 목적들로 제공되는 것이며, 본 개시의 범위를 제한하는 것으로 의도되지 않는다는 것이 이해되어야 할 것이다.
[00101] 도 5의 데이터(예를 들어, 각각의 502, 503, 505, 및 506)에 의해 보여지는 바와 같이, 다른 실시예에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)와 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115) 사이의 차이는 0μm 초과 150μm 이하일 수 있고, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 20μm 내지 약 30μm씩 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키기도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하고 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 20μm/분의 속도로 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.
[00102] 도 6는 X 축을 따라 식별되는 다양한 유리 시트들에 대한 Y축 상의 DOI를 도시한다. 특히, 601은 다른 데이터를 비교하기 위한 베이스라인으로 사용되는 상업적인 스크린 보호기에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 602는 400μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 20μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 603은 400μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 30μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 604는 400μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 40μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 605는 400μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 20μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 606은 400μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 30μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 그리고 607은 400μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 15%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 40μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 도시된 바와 같이, 각각의 602, 603, 605, 및 606에 대한 모든 데이터 포인트들은 약 98.5 이상이고 따라서 베이스라인 상업적인 스크린 보호기(601)를 나타내는 DOI 데이터에 비교할만한 DOI값을 포함하는 반면; 각각의 604 및 607은 약 98.5 미만이고 따라서 상기 베이스라인 상업적인 스크린 보호기(601)를 나타내는 DOI 데이터에 비교할만하지 않은 DOI 값을 가지는 적어도 하나의 데이터 포인트를 포함한다. 도 6의 상기 데이터 및 상기 데이터를 얻기 위해 사용된 상기 공정 파라미터들은, 달리 언급되지 않는 한, 오직 예시적인 목적들로 제공되는 것이며, 본 개시의 범위를 제한하는 것으로 의도되지 않는다는 것이 이해되어야 할 것이다.
[00103] 도 6의 데이터(예를 들어, 각각의 602 및 603)에 의해 보여지는 바와 같이, 또 다른 실시예에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)와 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115) 사이의 차이는 약 150μm 초과 및 약 300μm 미만일 수 있고, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 20μm 내지 약 30μm씩 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키기도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하고 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 15μm/분의 속도로 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다
[00104] 또한, 도 6의 데이터(예를 들어, 각각의 605 및 606)에 의해 보여지는 바와 같이, 또 다른 실시예에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)와 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115) 사이의 차이는 약 300μm 초과일 수 있고, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 0μm 초과 약 30μm미만씩 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키기도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하고 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 15μm/분의 속도로 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.
[00105] 도 7는 X 축을 따라 식별되는 다양한 유리 시트들에 대한 Y축 상의 DOI를 도시한다. 특히, 701은 다른 데이터를 비교하기 위한 베이스라인으로 사용되는 상업적인 스크린 보호기에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 702는 400μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 20μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 703은 400μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 30μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 704는 400μm의 초기 두께를 가지고 100μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 40μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 705는 400μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 20μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 706은 400μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 30μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 그리고 607은 400μm의 초기 두께를 가지고 69μm로 얇아지고, 20%HF를 포함하는 식각제를 거치고, 통과마다 40μm가 제거된 유리 시트에 대한 DOI 데이터를 나타낸다; 도시된 바와 같이, 702의 모든 데이터 포인트들은 약 98.5 이상이고 따라서 베이스라인 상업적인 스크린 보호기(601)를 나타내는 DOI 데이터에 비교할만한 DOI값을 포함하는 반면; 각각의 703, 704, 705, 706 및 707은 약 98.5 미만이고 따라서 상기 베이스라인 상업적인 스크린 보호기(601)를 나타내는 DOI 데이터에 비교할만하지 않은 DOI 값을 가지는 적어도 하나의 데이터 포인트를 포함한다. 도 7의 상기 데이터 및 상기 데이터를 얻기 위해 사용된 상기 공정 파라미터들은, 달리 언급되지 않는 한, 오직 예시적인 목적들로 제공되는 것이며, 본 개시의 범위를 제한하는 것으로 의도되지 않는다는 것이 이해되어야 할 것이다.
[00106] 도 7의 데이터(예를 들어, 702)에 의해 보여지는 바와 같이, 또 다른 실시예에서, 상기 유리 시트(110)의 상기 초기 두께(113)와 상기 유리 시트(110)의 상기 소정의 최종 두께(115) 사이의 차이는 약 150μm 초과 및 약 300μm 미만일 수 있고, 상기 방법은 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 20μm 씩 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키기도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하고 상기 식각 구역(102a)을 통한 상기 유리 시트(110)의 각각의 통과마다 약 10μm/분 내지 약 20μm/분의 속도로 상기 유리 시트(110)의 두께(114)를 감소시키도록 상기 식각 공정(100a)을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.
[00107] 본 명세서에 개시된 상기 유리 시트(110)는 더 큰 유리 시트로부터 분리될 수 있거나 예를 들어, 성형체로 용융 유리를 흘리고 슬롯 드로우, 플로트, 다운0드로우, 퓨전 다운-드로우, 또는 업-드로우를 포함하는 임의의 리본 성형 공정으로 상기 유리 리본을 생산함으로써 제조된 리본으로부터 분리될 수 있다. 일부 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)는 상기 유리리본으로부터 분리된 후 임의의 선행 가공을 거치지 않고 상기 식각 공정(100a)을 거칠 수 있다. 다른 실시예들에서, 상기 유리 시트(110)는 하나 이상의 통상적인 식각 또는 기계적 연마 공정을 사용하여 중간 두께(예를 들어, 상기 유리 시트(110)의 초기 두께(113)에 대응함)로 미리 얇이질 수 있고, 이후 본 명세서에 개시된 상기 식각 공정(100a)을 거칠 수 있다. 다른 실시예들에서, 상기 식각 공정(100a)을 거친 후, 상기 유리 시트(110)는 상기 유리 시트(110)의 표면 강도 및 엣지 강도 중 적어도 하나를 증가시키기 위해 이온-교환 공정을 거칠 수 있다.
[00108] 본 명세서에 기술된 사상 및 다양한 원리들로부터 실질적으로 벗어나지 않으면서 위에서 기술된 실시예들에 많은 변화들 및 수정들이 만들어질 수 있다. 모든 이러한 수정들 및 변경들은 본 개시 및 다음의 청구항들의 범위 내에 본 명세서에 포함되도록 의도된다. 따라서, 청구된 주제의 사상 및 범위로부터 벗어나지 않으면서 다양한 수정들 및 변경들이 만들어질 수 있다는 것이 당업계의 통상의 기술자에게 명백할 것이다.

Claims (23)

  1. 유리 시트가 식각 공정을 거치게 함으로써 상기 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법으로서:
    상기 유리 시트의 초기 두께가 상기 유리 시트의 소정의 최종 두께로 감소될 때까지 운반 경로를 따라 식각 구역을 통해 상기 유리 시트를 복수회 통과시키는 단계;
    상기 식각 구역을 통한 각각의 통과 후에 상기 유리 시트를 세척하는 단계;
    상기 식각 구역을 통한 각각의 연속적인 통과 사이에서 상기 유리 시트의 주표면에 평행한 축을 중심으로 상기 유리 시트를 180도 회전시킴으로써 상기 유리 시트를 뒤집는 단계; 및
    상기 유리 시트의 주표면에 수직한 축을 중심으로 상기 유리 시트를 180도 회전시킴으로써 상기 유리 시트를 재배향시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 제1 통과 동안 상기 유리 시트의 제1 주표면을 제1 식각제에 노출시키고 상기 유리 시트의 제2 주표면은 제2 식각제에 노출시키는 단계; 및 이후
    상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 후속적인 통과 동안 상기 유리 시트의 상기 제1 주표면을 상기 제2 식각제에 노출시키고 상기 유리 시트의 상기 제2 주표면을 상기 제1 식각제에 노출시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 식각제는 상기 운반 경로 상에 마련된 상부 스프레이어로부터 상기 유리 시트로 제공되고, 상기 제2 식각제는 상기 운반 경로 아래에 마련된 하부 스프레이어로부터 상기 유리 시트로 제공되는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 상부 스프레이어로부터의 상기 제1 식각제의 제1 유량은 상기 하부 스프레이어로부터의 상기 제2 식각제의 제2 유량보다 작은 것을 특징으로 하는 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법.
  5. 삭제
  6. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
    상기 소정의 최종 두께를 포함하는 상기 유리 시트는 98.5 이상인 DOI를 포함하고,
    상기 DOI는 상기 유리 시트가 기계적 연마 공정을 거치게하지 않고 얻어지는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법.
  7. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
    상기 유리 시트의 상기 소정의 최종 두께의 두께 변동성은 3μm 내지 9μm, 및
    상기 유리 시트의 상기 초기 두께의 제1 두께 변동성과 상기 유리 시트의 상기 소정의 최종 두께의 제2 두께 변동성 사이의 차이의 절대값은 0μm 내지 7μm
    중 적어도 하나이고,
    상기 두께 변동성 및 상기 제1 두께 변동성 및 상기 제2 두께 변동성 중 적어도 하나는 상기 유리 시트가 기계적 연마 공정을 거치게하지 않고 얻어지는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법.
  8. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
    상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 20μm 내지 40μm씩 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법.
  9. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
    상기 식각 구역을 통한 상기 유리 시트의 각각의 통과마다 10μm/분 내지 20μm/분의 속도로 상기 유리 시트의 상기 두께를 감소시키도록 상기 식각 공정을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법.
  10. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
    상기 식각 구역을 통해 상기 유리 시트를 통과시키는 상기 단계 동안, 상기 유리 시트는 10%HF 내지 20%HF를 포함하는 식각제에 노출되는 것을 특징으로 하는 유리 시트의 두께를 감소시키는 방법.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
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