CN102786227B - 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 - Google Patents
一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102786227B CN102786227B CN201210265519.3A CN201210265519A CN102786227B CN 102786227 B CN102786227 B CN 102786227B CN 201210265519 A CN201210265519 A CN 201210265519A CN 102786227 B CN102786227 B CN 102786227B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- face glass
- support frame
- bracing
- frame
- rotation section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 90
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 27
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 26
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 6
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229960001866 silicon dioxide Drugs 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N silicon tetrafluoride Chemical compound F[Si](F)(F)F ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
本发明公开了一种玻璃面板支撑装置，在进行玻璃面板减薄处理时使用，使得刻蚀液能够均匀分布于玻璃面板表面，保证减薄处理后的玻璃面板厚度均匀。该装置包括转动部和至少一个用于固定玻璃面板的支撑架；至少一个所述支撑架与所述转动部固定连接，所述转动部带动所述支撑架固定于所述支撑架上的玻璃面板转动。本发明同时公开了一种玻璃面板减薄设备。
Description
技术领域
本发明涉及液晶生产制造领域，尤其涉及一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备。
背景技术
减薄工艺是液晶面板生产过程中一个较为重要的环节，目前，液晶显示器的发展趋势向着薄型化和轻型化的方向发展，为了使用这种发展趋势，单片玻璃面板的厚度也逐渐变薄，从0.7毫米（mm，也可表示为t）、0.63mm逐渐减薄为0.5mm、0.4mm甚至0.3mm以下。
从生产制造工艺考虑玻璃面板减薄主要有以下两种途径：第一种是直接制造薄型玻璃面板，该方法产工艺复杂，且需要对现有的生产线进行升级，花费巨大；第二种方法是利用已有的生产线系统生产玻璃基板后对产品进行减薄处理，以得到目标厚度的薄型玻璃面板。
目前大多采用第二种方法处理，其中，减薄处理分为物理研磨减薄和化学蚀刻减薄两种技术。主流的减薄工艺为以化学蚀刻为主，以物理研磨抛光为辅。其中，蚀刻工艺是应用氢氟酸（HF）与二氧化硅（SiO2）发生反应并使其溶解生成四氟化硅的原理达到减薄的目的，其化学反应式为：
6HF+SiO2=H2SiF6+2H2O。
玻璃面板在进行蚀刻时有喷洒式和浸泡式两种，多采用多片直立喷洒式，如附图1a和附图1b所示分别为玻璃支撑装置的正视图和侧视图，多片玻璃面板103并排摆放于支撑架104上，刻蚀液102从顶部的喷淋装置的刻蚀液喷淋头101中喷出后，与支撑架中的玻璃接触并反应。
但是，由于玻璃面板103是固定于支撑架104上，且支撑架104是固定于小车105中，因此，刻蚀液首先与玻璃面板的上半部分接触并反应，然后再与玻璃面板的下半部分接除并反应，从刻蚀液的浓度上来讲，玻璃面板的下半部分的刻蚀液的浓度要明显低于上半部分，从反应时长上来讲，玻璃面板的下半部分的反应时长要明显小于上半部分，所以造成刻蚀后的玻璃面板下半部分的厚度要大于上半部分，厚度差能够达到±15微米。
发明内容
本发明提供一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备，在进行玻璃面板减薄处理时使用，能够使得刻蚀液能够均匀分布于玻璃面板表面，保证减薄处理后的玻璃面板厚度均匀。
本发明提供的具体技术方案如下：
一种玻璃面板支撑装置，包括转动部和至少一个用于固定玻璃面板的支撑架；
至少一个所述支撑架与所述转动部固定连接，所述转动部带动所述支撑架及固定于所述支撑架上的玻璃面板转动。
一种玻璃面板减薄设备，所述减薄设备包括上述的玻璃面板支撑装置。
基于上述技术方案，本实施例提供的支撑装置将固定玻璃面板的支撑架固定于转动部上，在将该支撑装置用于玻璃面板减薄处理时，固定于支撑架中的玻璃面板能够在转动部的带动下转动，从而使得喷洒的刻蚀液能够均匀分布于玻璃面板上，从而能够使得减薄处理后的玻璃面板厚度均匀。
附图说明
图1a为现有技术中玻璃面板减薄处理使用的支撑装置的正视图；
图1b为现有技术中玻璃面板减薄处理使用的支撑装置的侧视图；
图2为本实施例中玻璃面板支撑装置结构示意图；
图3为本实施例中玻璃面板支撑装置另一结构示意图；
图4为本实施例中转动构件一端的俯视图；
图5为本实施例中活动框架结构示意图；
图6为本实施例中另一活动框架结构示意图；
图7为具体实施例中玻璃面板支撑装置结构示意图；
图8为本实施例中支撑架的结构示意图。
具体实施方式
为了避免现有技术中进行玻璃面板减薄处理时，由于玻璃面板相对于刻蚀液喷洒头固定导致的减薄处理后的玻璃面板厚度不均匀的问题，实现在进行玻璃面板减薄处理时，使刻蚀液均匀分布于玻璃面板表面，保证减薄处理后的玻璃面板厚度均匀，本发明提供了一种玻璃面板支撑装置。
下面结合附图对本发明提供的优选实施方式进行详细说明。
如附图2所示，本发明实施例所提供的玻璃面板支撑装置包括转动部201和至少一个用于固定玻璃面板的支撑架202，其中，至少一个支撑架202与转动部201固定连接，由转动部201带动支撑架202及固定与支撑架上的玻璃面板转动。
其中，转动部201包括转动构件和控制构件，至少一个支撑架与转动构件固定连接，该控制构件带动转动构件使支撑架在垂直面上绕转动构件转动，如附图2所示，或者，使支撑架在水平面上绕转动构件转动，如附图3所示。
实际应用中，支撑架202可以是垂直于转动构件固定连接，也可以是与转动构件成一定角度固定连接，具体可根据实际应用确定。
优选地，控制构件采用电动机实现，即由电动机控制转动部转动。例如，控制构件为伺服电动机。实际应用中，还可以采用其它转动设备带动转动构件转动，对于其它控制转动构件转动的方式，本发明也将其包括在内。
较佳地，电动机还设置有保护罩，该保护罩用于放置电动机被刻蚀液腐蚀。例如，在刻蚀液为酸性液体时，保护罩采用防酸的材料制成。
优选地，转动构件为转动轴形式。
在一个具体实现中，至少一个支撑架可以是直接固定连接在该转动轴上；
在另一个具体实现中，如附图4所示为转动构件一端的俯视图，该转动构件包括转动轴401以及与转动轴401固定连接的托架402，每个托架402上固定连接至少一个支撑架。优选地，托架402呈条状，仅有一端固定于转动轴401上。优选地，一个以上的托架按设定规则排列。
具体地，支撑架可以通过卡夹与转动轴或托架固定连接，或者，支撑架通过转动轴上设置的卡槽固定连接在转动轴上，或者，支撑架通过托架上设置的卡槽固定连接在托架上。此处仅为举例，并不用于限定本发明，对于其它固定连接方式能够用于固定支撑架的，本发明实施例也将其包括在内。
优选地，本实施例提供的支撑装置还包括活动框架，在一个具体实现中，如附图5所示，该活动框架包括底盘501和位于底盘上的两个位置相对的垂直立面502，底盘501的下底面设置有活动滑轮组503，转动部201横向架设在两个立面502之间，且转动部的架设高度满足转动时支撑架与底盘不接触；在另一个具体实现中，如附图6所示，该活动框架包括底盘601，转动部201纵向承载在底盘601上，底盘601的下底面设置有活动滑轮组602。
以下通过一个具体的实施例对本发明提供的支撑装置进行详细说明。
该具体实施例中，以活动框架为半封闭的小车、转动构件为转动轴、控制构件为电动机为例进行说明。
如附图7所示，本实施例中提供的玻璃面板支撑装置主要包括至少一个用于固定玻璃面板700的支撑架701、转动轴702和不设顶部的半封闭小车703，其中，至少一个支撑架701水平固定于转动轴702上，转动轴702横向架设于小车703的两个对立面之间，且转动轴702与小车703底部的距离不小于支撑架701的高度。
其中，转动轴702上固定的支撑架701的数量根据生产需要确定，附图7中仅以转动轴702上固定4个支撑架为例，并不用于限定本发明。如附图7中所示的刻蚀液喷淋头101从玻璃面板支撑装置的上方喷洒刻蚀液102，位于其下方的玻璃面板支撑装置中的转动轴转动带动固定于支撑架中的玻璃面板绕转动轴转动，使得刻蚀液可以均匀喷洒于各玻璃面板表面，保证了刻蚀后的玻璃面板厚度均匀。
其中，在转动轴上固定支撑架时，只要并行固定的每组支撑架之间保持一定的角度，即可保证刻蚀液均匀喷洒在玻璃面板上。
其中，电动机704设置于转动轴702上，用于控制转动轴702转动。
优选地，可将电动机704设置在转动轴的中间位置。
优选地，该电动机为伺服电动机。
较佳地，电动机704还连接有控制电路，该控制电路用于控制电动机的转动速度。实际应用中，该控制电路有多种实现方式，例如可以采用可编程逻辑控制器（ProgrammableLogicController，PLC）、单片机等处理器芯片实现。在一个较佳的实现中，该控制电路中包括按键输入电路，用于用户通过该按键输入电路设置或修改电动机的转动速度。
其中，电动机的转动速度应控制在一定范围内，该范围可根据实际应用情况确定，电动机的转动速度只需能够保证刻蚀液能够均匀分布于玻璃面板表面，又不会造成玻璃面板破损即可。
实际应用中，刻蚀液多为酸性液体，优选地，电动机704设有保护罩，该保护罩采用防酸的材料制成，以防止电动机及控制电路被刻蚀液腐蚀。同理，若刻蚀液为碱性液体，则保护罩相应采用防碱材料制成。
其中，支撑架701可以是通过转动轴上设置的卡槽固定连接于转动轴702上，也可以是采用其它连接部件固定于转动轴702上，例如，支撑架701通过夹扣固定在转动轴702上。较佳地，在刻蚀液为酸性液体时，该夹扣采用防酸的材料制成，同理，在刻蚀液为碱性时，该夹扣采用防碱的材料制成。
具体地，如附图8所示，本实施例提供的支撑架包括U型边框801和连杆802，连杆802固定连接在U型边框801开口的两端与U型边框801围成闭合图形，其中，U型边框801和连杆802上设有用于固定玻璃面板的卡槽803。其中，连杆802固定连接在U型边框801开口的两端可以有多种固定连接方式，例如，可以是在连杆的两端设置挂钩，通过挂钩挂接在U型边框开口的两端；也可以是在连杆的两端设置卡槽卡接在U型边框开口的两端；还可以是通过卡夹将连杆固定连接在U型边框开口的两端。
以挂接为例，在放置玻璃面板时，将玻璃面板放置于U型边框801内，用U型边框801上设置的卡槽固定，再将连杆802扣紧并挂接在U型边框801开口的两端。
实际应用中，需要保证玻璃面板与卡槽完全匹配，连杆与U型边框固定连接，以防止转动轴带动支撑架转动过程中玻璃面板破碎。
较佳地，在刻蚀液为酸性时，本实施例提供的支撑架采用防酸的材料制成，以防止支撑架被刻蚀液腐蚀。同理，在刻蚀液为碱性时，支撑架采用防碱材料制成。例如，支撑架可以采用聚氯乙烯（PVC）材料制成。
实际应用中，采用本实施例提供的支撑装置进行减薄处理后，可使用螺旋测微器等机械或者光学仪器对玻璃厚度进行抽样检测，以对玻璃面板厚度进行监控。
对于本实施例提供的支撑装置可以进行定期维护，检查支撑架是否有裂缝、控制电路对电动机转速控制的精确度、支撑架上的卡槽与玻璃面板的匹配程度、电动机防酸装置的完好程度等，也可以定期对支撑装置进行清洁。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种玻璃面板减薄设备，该减薄设备包括上述的玻璃面板支撑装置，具体实施可参见上述玻璃面板支撑装置的具体实施，此处不再赘述。
基于上述技术方案，本实施例提供的支撑装置将固定玻璃面板的支撑架固定于转动部上，在将该支撑装置用于玻璃面板减薄处理时，固定于支撑架中的玻璃面板能够在转动部的带动下转动，从而使得喷洒的刻蚀液能够均匀分布于玻璃面板上，从而能够使得减薄处理后的玻璃面板厚度均匀。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (4)
1.一种玻璃面板支撑装置，其特征在于，包括转动部和至少一个用于固定玻璃面板的支撑架；
至少一个所述支撑架与所述转动部固定连接，所述转动部带动所述支撑架及固定于所述支撑架上的玻璃面板转动；其中，所述转动部包括转动构件和控制构件，至少一个所述支撑架与所述转动构件固定连接；所述控制构件带动所述转动构件使所述支撑架在垂直面上绕所述转动构件转动，或者使所述支撑架在水平面上绕所述转动构件转动，所述控制构件为电动机，所述转动构件包括转动轴及与所述转动轴固定连接的托架，每个所述支撑架固定在一个所述托架上，所述托架呈条状，仅有一端固定于所述转动轴上，且一个以上的所述托架按设定规则排列；
所述支撑架包括U型边框和连杆，所述连杆固定连接在所述U型边框开口的两端与所述U型边框围成闭合图形，所述U型边框和所述连杆上设有用于固定玻璃面板的卡槽。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑架通过卡夹或卡槽与所述转动轴固定连接，或者，所述支撑架通过卡夹或卡槽与所述托架固定连接。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括活动框架；
所述活动框架包括底盘和位于底盘上的两个位置相对的垂直立面，所述转动部横向架设在所述两个立面之间；且所述转动部的架设高度满足转动时所述支撑架与所述底盘不接触；或者
所述活动框架包括底盘，所述转动部承载在所述底盘上；
所述底盘的下底面设置有活动滑轮组。
4.一种玻璃面板减薄设备，其特征在于，所述减薄设备包括权利要求1-3任一所述的玻璃面板支撑装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210265519.3A CN102786227B (zh) | 2012-07-27 | 2012-07-27 | 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 |
| PCT/CN2012/086213 WO2014015616A1 (zh) | 2012-07-27 | 2012-12-07 | 玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210265519.3A CN102786227B (zh) | 2012-07-27 | 2012-07-27 | 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102786227A CN102786227A (zh) | 2012-11-21 |
| CN102786227B true CN102786227B (zh) | 2015-12-16 |
Family
ID=47151838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210265519.3A Expired - Fee Related CN102786227B (zh) | 2012-07-27 | 2012-07-27 | 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102786227B (zh) |
| WO (1) | WO2014015616A1 (zh) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102786227B (zh) * | 2012-07-27 | 2015-12-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 |
| TWI725112B (zh) * | 2016-01-29 | 2021-04-21 | 美商康寧公司 | 用於薄化玻璃的方法 |
| CN106191863B (zh) * | 2016-08-17 | 2018-09-28 | 苏州亚傲鑫企业管理咨询有限公司 | 一种太阳能电池生产工艺用硅片快速减薄装置 |
| CN107219163A (zh) * | 2017-05-10 | 2017-09-29 | 东旭科技集团有限公司 | 一种测量玻璃化学减薄速率的设备和方法 |
| CN109799559B (zh) * | 2019-04-01 | 2021-04-27 | 郑州恒昊光学科技有限公司 | 一种玻璃圆点光栅的刻蚀工艺及制得的玻璃圆点光栅 |
| CN111662014A (zh) * | 2020-07-07 | 2020-09-15 | 蚌埠国显科技有限公司 | 一种玻璃用减薄装置 |
| KR102583968B1 (ko) * | 2021-11-08 | 2023-09-27 | (주)퀀텀플라즈마 | 박막 유리의 절단면 식각 장치 |
| CN114213029A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-03-22 | 凯盛科技集团有限公司 | 一种柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000317361A (ja) * | 1999-05-12 | 2000-11-21 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 回転式基板処理装置 |
| CN101286445A (zh) * | 2007-04-10 | 2008-10-15 | 三星电子株式会社 | 平板显示器的玻璃基底的蚀刻设备和蚀刻玻璃基底的方法 |
| KR20120000886A (ko) * | 2010-06-28 | 2012-01-04 | 주식회사 지디 | 화학적 에칭 방식에 의한 전자 제품의 커버용 유리를 형상 가공하는 장치 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102786227B (zh) * | 2012-07-27 | 2015-12-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 |
-
2012
- 2012-07-27 CN CN201210265519.3A patent/CN102786227B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-12-07 WO PCT/CN2012/086213 patent/WO2014015616A1/zh active Application Filing
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000317361A (ja) * | 1999-05-12 | 2000-11-21 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 回転式基板処理装置 |
| CN101286445A (zh) * | 2007-04-10 | 2008-10-15 | 三星电子株式会社 | 平板显示器的玻璃基底的蚀刻设备和蚀刻玻璃基底的方法 |
| KR20120000886A (ko) * | 2010-06-28 | 2012-01-04 | 주식회사 지디 | 화학적 에칭 방식에 의한 전자 제품의 커버용 유리를 형상 가공하는 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102786227A (zh) | 2012-11-21 |
| WO2014015616A1 (zh) | 2014-01-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102786227B (zh) | 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 | |
| CN107414683B (zh) | 一种部分面积磨砂的玻璃表面的制备方法 | |
| KR100835745B1 (ko) | 하향식 유리 박형화 방법 | |
| JP7301546B2 (ja) | ガラス製品及びその製造方法 | |
| CN103229130A (zh) | 触控面板用强化玻璃板及利用它的触控面板用强化玻璃板制造方法 | |
| EP2455350B1 (en) | Apparatus for etching glass substrate | |
| CN201898119U (zh) | 一种晶圆清洗装置 | |
| JP5345265B1 (ja) | 電子機器用カバーガラスの製造方法および製造装置 | |
| CN105776879B (zh) | 薄型玻璃基板的制作方法 | |
| CN102448906A (zh) | 元件密封体及其制造方法 | |
| EP3408240B1 (en) | Methods for thinning glass | |
| CN101633563A (zh) | 一种光学玻璃蚀刻装置及方法 | |
| CN104282598A (zh) | 蚀刻、显影、清洗以及褪膜设备、喷淋处理设备及方法 | |
| CN203360279U (zh) | 基板减薄固定工具及基板减薄装置 | |
| KR20080071708A (ko) | 기판의 식각 방법 및 장치 | |
| KR101428656B1 (ko) | 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치 | |
| WO2016155307A1 (zh) | 贴合控制系统、方法及装置 | |
| CN204417340U (zh) | 一种液晶玻璃面板薄化用发泡装置 | |
| CN212310182U (zh) | 一种单电机控制长毛刷辊的精确升降装置 | |
| JP4002154B2 (ja) | 液晶表示素子の製造方法およびその装置 | |
| CN204230209U (zh) | 蚀刻、显影、清洗以及褪膜设备、喷淋处理设备 | |
| KR100595302B1 (ko) | 액정표시소자 제조를 위한 유리기판 식각장치 | |
| WO2005063635A1 (ja) | フロートバスおよびフロート成形方法 | |
| JPWO2015012307A1 (ja) | ガラス基板の製造方法、ガラス基板、および、ディスプレイ用パネル | |
| CN105047763A (zh) | 晶硅制绒槽 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151216 |