WO2014015616A1 - 玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 - Google Patents

玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 Download PDF

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WO2014015616A1
WO2014015616A1 PCT/CN2012/086213 CN2012086213W WO2014015616A1 WO 2014015616 A1 WO2014015616 A1 WO 2014015616A1 CN 2012086213 W CN2012086213 W CN 2012086213W WO 2014015616 A1 WO2014015616 A1 WO 2014015616A1
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WO
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glass panel
support frame
frame
rotating
rotating shaft
Prior art date
Application number
PCT/CN2012/086213
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English (en)
French (fr)
Inventor
杭苗
刘锋
邓金阳
王光远
Original Assignee
京东方科技集团股份有限公司
成都京东方光电科技有限公司
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Filing date
Publication date
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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching

Definitions

  • Embodiments of the present invention relate to a glass panel supporting device and a glass panel thinning device.
  • the thickness of single-piece glass panels is gradually thinning, from 0.7 mm (mm, also can be expressed as t), 0.63 mm. Gradually thinned to 0.5mm, 0.4mm or even 0.3mm or less.
  • the first one is to directly manufacture the thin glass panel.
  • the method is complicated in production and requires upgrading the existing production line, which is costly.
  • the second method is The glass substrate is produced by an existing production line system, and the product is thinned to obtain a thin glass panel of a target thickness.
  • the thinning treatment is divided into two techniques: physical grinding thinning and chemical etching thinning.
  • the mainstream thinning process is based on chemical etching, supplemented by physical polishing.
  • the etching process is to reduce the thinning principle by using hydrofluoric acid (HF) to react with silicon dioxide (SiO 2 ) and dissolve it to form silicon tetrafluoride.
  • HF hydrofluoric acid
  • SiO 2 silicon dioxide
  • the glass panel has two types of spray type and immersion type when etching. At present, multiple pieces of vertical spray type are used, as shown in the drawings la and lb, respectively, which are front and side views of the glass supporting device, and multiple pieces of glass.
  • the panel 103 is placed side by side on the support frame 104, and the etching liquid 102 is ejected from the etching liquid shower head 101 of the top shower device, and then comes into contact with and reacts with the glass in the support frame.
  • the etching liquid first contacts and reacts with the upper half of the glass panel, and then with the lower half of the glass panel. Partial contact and reaction, the concentration of the etching solution in the lower half of the glass panel is significantly lower than that of the upper half in terms of the concentration of the etching solution. In terms of the reaction time, the reaction time of the lower half of the glass panel is required. Significantly smaller than the upper half, so the thickness of the lower half of the etched glass panel is greater than the upper half, and the thickness difference can reach ⁇ 15 microns. Summary of the invention
  • Embodiments of the present invention provide a glass panel supporting device and a glass panel thinning device, which are used when the glass panel is thinned, so that the etching liquid can be uniformly distributed on the surface of the glass panel to ensure the thinned glass.
  • the panel thickness is uniform.
  • An aspect of the invention provides
  • a glass panel supporting device comprising a rotating portion and at least one supporting frame for fixing the glass panel
  • the at least one support frame is fixedly coupled to the rotating portion, and the rotating portion drives the support frame and the glass panel fixed to the support frame to rotate.
  • Another aspect of the present invention also provides a glass panel thinning apparatus comprising the above-described glass panel supporting device.
  • the support device provided by the embodiment of the invention fixes the support frame of the fixed glass panel to the rotating portion, and when the supporting device is used for the thinning treatment of the glass panel, the glass panel fixed in the support frame can be driven by the rotating portion Rotating, so that the sprayed etching liquid can be evenly distributed on the glass panel, so that the thickness of the thinned glass panel can be made uniform.
  • Figure la is a front view of a support device used in the prior art glass panel thinning process
  • Figure 1b is a side view of a support device used in the prior art glass panel thinning process
  • Figure 2 is a side view of a support device used in the prior art glass panel thinning process
  • Schematic diagram of a glass panel support device
  • FIG. 3 is a schematic view of a glass panel supporting device according to another embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a schematic view of a rotating member according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is a schematic illustration of a movable frame in accordance with one embodiment of the present invention.
  • Figure 6 is a schematic illustration of a movable frame in accordance with another embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a schematic view of a glass panel supporting device according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a schematic view of the supporting frame shown in FIG. detailed description
  • an embodiment of the present invention provides a glass panel supporting device.
  • the rotating frame 201 drives the support frame 202 and the glass panel fixed to the support frame to rotate.
  • the rotating portion 201 may include a rotating member and a control member.
  • the at least one supporting frame is fixedly coupled to the rotating member.
  • the control member may drive the rotating member to rotate the supporting frame around the rotating member on a vertical plane, as shown in FIG. 2 .
  • the support frame is rotated about the rotating member on a horizontal plane as shown in FIG.
  • the support frame 202 may be fixedly connected perpendicular to the rotating member, or may be fixedly connected at an angle to the rotating member, and may be determined according to practical applications.
  • the control member can be realized, for example, by an electric motor, that is, the rotation of the rotating member is controlled by the motor.
  • the control member can be a servo motor.
  • the motor may be provided with a protective cover for preventing the motor from being corroded by the etching liquid.
  • a protective cover for preventing the motor from being corroded by the etching liquid.
  • the protective cover is made of an acid-proof material.
  • the rotating member may be in the form of a rotating shaft.
  • the at least one support frame may be directly fixedly coupled to the rotating shaft
  • the rotating member includes a rotating shaft 401 and a rotating shaft
  • the movable shaft 401 is fixedly connected to the bracket 402, and each bracket 402 is fixedly connected to at least one support frame.
  • the bracket 402 may be in the form of a strip, and only one end is fixed to the rotating shaft 401.
  • more than one bracket is arranged according to a set rule.
  • the support frame can be fixedly connected to the rotating shaft or the bracket by a clip, for example, or the support frame can be fixedly connected to the rotating shaft through a slot provided on the rotating shaft, or the support frame can be fixed by a slot provided on the bracket. Connected to the bracket.
  • This is merely an example and is not intended to limit the present invention.
  • the embodiments of the present invention also include it.
  • the support device may further include a movable frame.
  • the movable frame includes a chassis 501 and two opposite vertical elevations 502 on the chassis 501.
  • the lower surface of the chassis 501 is provided with an activity.
  • the pulley block 503, the rotating portion 201 is laterally spanned between the two elevations 502, and the height of the rotating portion is such that the support frame does not contact the chassis when rotating;
  • the movable frame includes The chassis 601, the rotating portion 201 is vertically carried on the chassis 601, and the lower bottom surface of the chassis 601 is provided with a movable pulley block 602.
  • the movable frame is a semi-closed cart
  • the rotating member is a rotating shaft
  • the member is an electric motor
  • the glass panel supporting device provided in the exemplary embodiment mainly includes at least one support frame 701 for fixing the glass panel 700, a rotating shaft 702, and a semi-closed cart 703 without a top, wherein, at least A support frame 701 is fixed on the rotating shaft 702, and the rotating shaft 702 is laterally disposed between the two opposite faces of the trolley 703, and the distance between the rotating shaft 702 and the bottom of the trolley 703 is not less than the height of the support frame 701.
  • the number of the support frames 701 fixed on the rotating shaft 702 is determined according to the production requirements. Only the four support frames are fixed on the rotating shaft 702 in FIG. 7 and are not intended to limit the present invention.
  • the etching liquid shower head 101 shown in FIG. 7 sprays the etching liquid 102 from above the glass panel supporting device, and the rotating shaft in the glass panel supporting device located below rotates to drive the glass panel fixed in the supporting frame around the rotating shaft Rotating, so that the etching liquid can be evenly sprayed on the surface of each glass panel, ensuring uniform thickness of the etched glass panel.
  • the etching liquid can be sprayed on the glass panel.
  • the motor 704 is disposed on the rotating shaft 702 for controlling the rotation of the rotating shaft 702.
  • the motor 704 can be placed in an intermediate position of the rotating shaft.
  • the motor can be a servo motor.
  • the motor 704 can also be coupled to a control circuit for controlling the rotational speed of the motor.
  • the control circuit has various implementation manners, for example, a processor chip such as a programmable logic controller (PLC) or a single chip microcomputer can be used.
  • PLC programmable logic controller
  • the control circuit may further include a key input circuit for the user to set or tamper the rotational speed of the motor through the key input circuit.
  • the rotation speed of the motor should be controlled within a certain range, the range can be determined according to the actual application situation, the rotation speed of the motor only needs to ensure that the etching liquid can be evenly distributed on the surface of the glass panel without causing damage to the glass panel. .
  • the motor 704 can be provided with a protective cover made of an acid-proof material to prevent the motor and the control circuit from being corroded by the etching liquid.
  • the protective cover is made of an alkali-proof material.
  • the support frame 701 may be fixedly coupled to the rotating shaft 702 by a slot provided on the rotating shaft, or may be fixed to the rotating shaft 702 by other connecting members.
  • the supporting frame 701 is fixed to the rotating shaft by a clip. 702.
  • the etching liquid is an acidic liquid
  • the clip is made of an acid-proof material.
  • the clip is made of an alkali-proof material.
  • the support frame provided by the exemplary embodiment includes a U-shaped frame 801 and a connecting rod 802 .
  • the connecting rod 802 is fixedly connected to both ends of the opening of the U-shaped frame 801 to close the U-shaped frame 801 .
  • a card slot 803 for fixing the glass panel is provided on the bezel 801 and the link 802.
  • the connecting rod 802 is fixedly connected to the two ends of the opening of the U-shaped frame 801, and may have a plurality of fixed connection manners.
  • hooks may be disposed at both ends of the connecting rod, and hooked to the ends of the U-shaped frame opening through the hook;
  • a card slot may be provided at both ends of the connecting rod to be connected to both ends of the U-shaped frame opening; or the connecting rod may be fixedly connected to the two ends of the U-shaped frame opening by the clip.
  • the glass panel when placing the glass panel, the glass panel is placed in the U-shaped frame 801, fixed by the card slot provided on the U-shaped frame 801, and then the link 802 is fastened and hooked to the U-shaped frame 801. Both ends of the opening.
  • the connecting rod is fixedly connected with the U-shaped frame to prevent the rotating glass shaft from driving the supporting frame to break during the rotation of the supporting frame.
  • the support frame provided in this embodiment is made of an acid-proof material to prevent the support frame from being corroded by the etching liquid.
  • the support frame is made of an alkali-proof material.
  • the support frame can be made of polyvinyl chloride (PVC) material.
  • the thickness of the glass can be sampled and detected by using a mechanical or optical instrument such as a spiral micrometer to monitor the thickness of the glass panel.
  • regular maintenance can be performed to check whether the support frame has cracks, the accuracy of the control circuit for controlling the motor speed, the matching degree between the card slot on the support frame and the glass panel, and the integrity of the motor acid-proof device. Etc., the support device can also be cleaned regularly.
  • another aspect of the present invention provides a glass panel thinning device, which comprises the above-mentioned glass panel supporting device, and the specific implementation can refer to the specific implementation of the above glass panel supporting device, and no longer Narration.
  • the support device provided in this embodiment fixes the support frame of the fixed glass panel to the rotating portion, and when the support device is used for the thinning treatment of the glass panel, the glass panel fixed in the support frame can be rotated. The part is driven to rotate, so that the sprayed etching liquid can be evenly distributed on the glass panel, so that the thickness of the glass panel after the thinning treatment can be made uniform.

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Abstract

一种玻璃面板支撑装置和一种采用该玻璃面板支撑装置的玻璃面板减薄设备，该支撑装置在进行玻璃面板减薄处理时使用，使得刻蚀液能够均匀分布于玻璃面板表面，保证减薄处理后的玻璃面板厚度均匀。该玻璃面板支撑装置包括转动部（201）和至少一个用于固定玻璃面板的支撑架（202）；至少一个所述支撑架（202）与所述转动部（201）固定连接，所述转动部（201）带动所述支撑架（202）及固定于所述支撑架（202）上的玻璃面板转动。

Description

玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备 技术领域
本发明的实施例涉及一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备。
背景技术
目前， 液晶显示器的发展趋势向着薄型化和轻型化的方向发展， 为了适 应这种发展趋势， 单片玻璃面板的厚度也逐渐变薄， 从 0.7毫米（mm, 也可 表示为 t ) 、 0.63mm逐渐减薄为 0.5mm、 0.4mm甚至 0.3mm以下。
从生产制造工艺考虑玻璃面板减薄主要有以下两种途径： 第一种是直接 制造薄型玻璃面板， 该方法产工艺复杂， 且需要对现有的生产线进行升级， 花费巨大； 第二种方法是利用已有的生产线系统生产玻璃基板后对产品进行 减薄处理， 以得到目标厚度的薄型玻璃面板。
目前大多釆用第二种方法处理， 其中， 减薄处理分为物理研磨减薄和化 学蚀刻减薄两种技术。 主流的减薄工艺为以化学蚀刻为主， 以物理研磨抛光 为辅。 其中， 蚀刻工艺是应用氢氟酸（HF )与二氧化硅（Si02 )发生反应并 使其溶解生成四氟化硅的原理达到减薄的目的， 其化学反应式为：
6HF+ Si02=¾SiF6+2¾0。
玻璃面板在进行蚀刻时有喷洒式和浸泡式两种， 目前多釆用多片直立喷 洒式， 如附图 la和附图 lb所示分别为玻璃支撑装置的正视图和侧视图， 多 片玻璃面板 103并排摆放于支撑架 104上， 刻蚀液 102从顶部的喷淋装置的 刻蚀液喷淋头 101中喷出后， 与支撑架中的玻璃接触并反应。
但是， 由于玻璃面板 103是固定于支撑架 104上， 且支撑架 104是固定 于小车 105中， 因此， 刻蚀液首先与玻璃面板的上半部分接触并反应， 然后 再与玻璃面板的下半部分接触并反应， 从刻蚀液的浓度上来讲， 玻璃面板的 下半部分的刻蚀液的浓度要明显低于上半部分， 从反应时长上来讲， 玻璃面 板的下半部分的反应时长要明显小于上半部分， 所以造成刻蚀后的玻璃面板 下半部分的厚度要大于上半部分， 厚度差能够达到 ± 15微米。 发明内容
本发明的实施例提供了一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备， 在 进行玻璃面板减薄处理时使用， 能够使得刻蚀液能够均匀分布于玻璃面板表 面， 保证减薄处理后的玻璃面板厚度均匀。
本发明一方面提供了
一种玻璃面板支撑装置， 包括转动部和至少一个用于固定玻璃面板的支 撑架；
所述至少一个支撑架与所述转动部固定连接， 所述转动部带动所述支撑 架及固定于所述支撑架上的玻璃面板转动。
本发明另一方面还提供了一种玻璃面板减薄设备， 所述减薄设备包括上 述的玻璃面板支撑装置。
本发明实施例提供的支撑装置将固定玻璃面板的支撑架固定于转动部 上， 在将该支撑装置用于玻璃面板减薄处理时， 固定于支撑架中的玻璃面板 能够在转动部的带动下转动， 从而使得喷洒的刻蚀液能够均匀分布于玻璃面 板上， 从而能够使得减薄处理后的玻璃面板厚度均匀。 附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案， 下面将对实施例的附图作 简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例， 而非对本发明的限制。
图 la为现有技术中玻璃面板减薄处理使用的支撑装置的正视图； 图 lb为现有技术中玻璃面板减薄处理使用的支撑装置的侧视图； 图 2为根据本发明一个实施例的玻璃面板支撑装置的示意图；
图 3为根据本发明另一个实施例的玻璃面板支撑装置示意图；
图 4为才艮据本发明一个实施例的转动构件的示意图；
图 5为根据本发明一个实施例的活动框架的示意图；
图 6为根据本发明另一个实施例的活动框架的示意图；
图 7为根据本发明一个示例性实施例的玻璃面板支撑装置的示意图； 图 8为图 7所示的支撑架的示意图。 具体实施方式
为使本发明实施例的目的、 技术方案和优点更加清楚， 下面将结合本发 明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、 完整地描述。显然， 所描述的实施例是本发明的一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于所描 述的本发明的实施例， 本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获 得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。
为了避免现有技术中进行玻璃面板减薄处理时， 由于玻璃面板相对于刻 蚀液喷洒头固定导致的减薄处理后的玻璃面板厚度不均匀的问题， 实现在进 行玻璃面板减薄处理时， 使刻蚀液均匀分布于玻璃面板表面， 保证减薄处理 后的玻璃面板厚度均匀， 本发明的实施例提供了一种玻璃面板支撑装置。
下面结合附图对本发明实施例进行详细说明。
如图 2所示， 本发明实施例所提供的玻璃面板支撑装置包括转动部 201 和至少一个用于固定玻璃面板的支撑架 202,其中，所述至少一个支撑架 202 与转动部 201固定连接， 并由转动部 201带动支撑架 202及固定与支撑架上 的玻璃面板转动。
其中， 转动部 201可以包括转动构件和控制构件， 所述至少一个支撑架 与转动构件固定连接， 该控制构件可以带动转动构件使支撑架在垂直面上绕 转动构件转动， 如图 2所示， 或者， 使支撑架在水平面上绕转动构件转动， 如附图 3所示。
实际应用中， 支撑架 202可以是垂直于转动构件固定连接， 也可以是与 转动构件成一定角度固定连接， 具体可根据实际应用确定。
控制构件例如可以釆用电动机实现， 即由电动机控制转动构件转动。 例 如， 控制构件可以为伺服电动机。 当然， 还可以釆用其它转动设备带动转动 构件转动， 对于其它控制转动构件转动的方式， 本发明也将其包括在内。
此外， 电动机还可以设置有保护罩， 该保护罩用于防止电动机被刻蚀液 腐蚀。 例如， 在刻蚀液为酸性液体时， 保护罩釆用防酸的材料制成。
例如， 转动构件可以为转动轴的形式。
在一个实施例中， 所述至少一个支撑架可以是直接固定连接在该转动轴 上；
在另一个实施例中， 如图 4所示， 该转动构件包括转动轴 401以及与转 动轴 401 固定连接的托架 402, 每个托架 402上固定连接至少一个支撑架。 例如， 托架 402可以呈条状， 且仅有一端固定于转动轴 401上。 例如， 一个 以上的托架按设定规则排列。
支撑架例如可以通过卡夹与转动轴或托架固定连接， 或者， 支撑架可以 通过转动轴上设置的卡槽固定连接在转动轴上， 或者， 支撑架可以通过托架 上设置的卡槽固定连接在托架上。 此处仅为举例， 并不用于限定本发明， 对 于其它固定连接方式能够用于固定支撑架的，本发明实施例也将其包括在内。
在另一个实施例中， 支撑装置还可以包括活动框架， 如图 5所示， 该活 动框架包括底盘 501和位于底盘 501上的两个相对的垂直立面 502,底盘 501 的下底面设置有活动滑轮组 503 ,转动部 201横向架设在两个立面 502之间， 且转动部的架设高度满足转动时支撑架与底盘不接触； 在另一个实施例中， 如图 6所示， 该活动框架包括底盘 601 , 转动部 201竖直地承载在底盘 601 上， 底盘 601的下底面设置有活动滑轮组 602。
以下通过一个示例性的实施例对本发明提供的支撑装置进行详细说明。 该示例性的实施例中， 活动框架为半封闭的小车， 转动构件为转动轴， 制构件为电动机。
如图 7所示， 该示例性的实施例中提供的玻璃面板支撑装置主要包括至 少一个用于固定玻璃面板 700的支撑架 701、 转动轴 702和不设顶部的半封 闭小车 703 , 其中， 至少一个支撑架 701 固定于转动轴 702上， 转动轴 702 横向架设于小车 703的两个对立面之间， 且转动轴 702与小车 703底部的距 离不小于支撑架 701的高度。
其中， 转动轴 702上固定的支撑架 701的数量根据生产需要确定， 图 7 中仅以转动轴 702上固定 4个支撑架为例， 并不用于限定本发明。 图 7所示 的刻蚀液喷淋头 101从玻璃面板支撑装置的上方喷洒刻蚀液 102, 位于其下 方的玻璃面板支撑装置中的转动轴转动带动固定于支撑架中的玻璃面板绕转 动轴转动， 使得刻蚀液可以均匀喷洒于各玻璃面板表面， 保证了刻蚀后的玻 璃面板厚度均匀。
其中， 在转动轴上固定支撑架时， 只要并行固定的每组支撑架之间保持 一定的角度， 即可保证刻蚀液均勾喷洒在玻璃面板上。
其中， 电动机 704设置于转动轴 702上， 用于控制转动轴 702转动。 例如， 可将电动机 704可以设置在转动轴的中间位置。
例如， 该电动机可以为伺 Λ良电动机。
电动机 704还可以连接有控制电路， 该控制电路用于控制电动机的转动 速度。 实际应用中， 该控制电路有多种实现方式， 例如可以釆用可编程逻辑 控制器（Programmable Logic Controller, PLC ) 、 单片机等处理器芯片实现。 该控制电路中还可以包括按键输入电路， 用于用户通过该按键输入电路设置 或爹改电动机的转动速度。
其中， 电动机的转动速度应控制在一定范围内， 该范围可根据实际应用 情况确定， 电动机的转动速度只需能够保证刻蚀液能够均匀分布于玻璃面板 表面， 又不会造成玻璃面板破损即可。
实际应用中， 由于刻蚀液多为酸性液体， 因此电动机 704可以设有保护 罩，该保护罩釆用防酸的材料制成，以防止电动机及控制电路被刻蚀液腐蚀。 同理， 若刻蚀液为碱性液体， 则保护罩相应釆用防碱材料制成。
其中，支撑架 701可以是通过转动轴上设置的卡槽固定连接于转动轴 702 上， 也可以是釆用其它连接部件固定于转动轴 702上， 例如， 支撑架 701通 过夹扣固定在转动轴 702上。 例如， 在刻蚀液为酸性液体时， 该夹扣釆用防 酸的材料制成， 同理， 例如， 在刻蚀液为碱性时， 该夹扣釆用防碱的材料制 成。
如图 8所示， 该示例性实施例提供的支撑架包括 U型边框 801和连杆 802 , 连杆 802固定连接在 U型边框 801开口的两端以封闭 U型边框 801 , 其中， U型边框 801和连杆 802上设有用于固定玻璃面板的卡槽 803。 其中 , 连杆 802固定连接在 U型边框 801开口的两端可以有多种固定连接方式，例 如， 可以是在连杆的两端设置挂钩， 通过挂钩挂接在 U型边框开口的两端； 也可以是在连杆的两端设置卡槽卡接在 U型边框开口的两端；还可以是通过 卡夹将连杆固定连接在 U型边框开口的两端。
以挂接为例， 在放置玻璃面板时， 将玻璃面板放置于 U型边框 801内， 用 U型边框 801上设置的卡槽固定， 再将连杆 802扣紧并挂接在 U型边框 801开口的两端。
实际应用中， 需要保证玻璃面板与卡槽完全匹配， 连杆与 U型边框固定 连接， 以防止转动轴带动支撑架转动过程中玻璃面板破碎。 例如，在刻蚀液为酸性时，本实施例提供的支撑架釆用防酸的材料制成， 以防止支撑架被刻蚀液腐蚀。 同理， 例如， 在刻蚀液为碱性时， 支撑架釆用 防碱材料制成。 例如， 支撑架可以釆用聚氯乙烯（PVC )材料制成。
实际应用中， 釆用该示例性实施例提供的支撑装置进行减薄处理后， 可 使用螺旋测微器等机械或者光学仪器对玻璃厚度进行抽样检测， 以对玻璃面 板厚度进行监控。
对于本实施例提供的支撑装置可以进行定期维护， 检查支撑架是否有裂 缝、 控制电路对电动机转速控制的精确度、 支撑架上的卡槽与玻璃面板的匹 配程度、 电动机防酸装置的完好程度等， 也可以定期对支撑装置进行清洁。
基于同一发明构思， 本发明另一方面还提供了一种玻璃面板减薄设备， 该减薄设备包括上述的玻璃面板支撑装置， 具体实施可参见上述玻璃面板支 撑装置的具体实施， 此处不再赘述。
基于上述技术方案， 本实施例提供的支撑装置将固定玻璃面板的支撑架 固定于转动部上， 在将该支撑装置用于玻璃面板减薄处理时， 固定于支撑架 中的玻璃面板能够在转动部的带动下转动， 从而使得喷洒的刻蚀液能够均匀 分布于玻璃面板上， 从而能够使得减薄处理后的玻璃面板厚度均匀。
以上所述仅是本发明的示范性实施方式， 而非用于限制本发明的保护范 围， 本发明的保护范围由所附的权利要求确定。

Claims

权利要求书
1、一种玻璃面板支撑装置， 包括转动部和至少一个用于固定玻璃面板的 支撑架；
所述至少一个支撑架与所述转动部固定连接， 所述转动部带动所述支撑 架及固定于所述支撑架上的玻璃面板转动。
2、如权利要求 1所述的装置， 其中， 所述转动部包括转动构件和控制构 件；
所述至少一个支撑架与所述转动构件固定连接；
所述控制构件带动所述转动构件转动， 使所述支撑架绕所述转动构件转 动。
3、 如权利要求 2所述的装置， 其中， 所述控制构件为电动机。
4、 如权利要求 2或 3所述的装置， 其中， 所述转动构件为转动轴， 所述 至少一个支撑架固定连接在所述转动轴上。
5、如权利要求 2或 3所述的装置， 其中， 所述转动构件包括转动轴及与 所述转动轴固定连接的托架， 每个所述支撑架固定在一个所述托架上。
6、 如权利要求 5所述的装置， 其中， 所述托架呈条状， 其仅有一端固定 于所述转动轴上。
7、如权利要求 6所述的装置， 其中，一个以上的所述托架按设定规则排 列。
8、 如权利要求 4-7任一所述的装置， 其中， 所述支撑架通过卡夹或卡槽 与所述转动轴固定连接， 或者， 所述支撑架通过卡夹或卡槽与所述托架固定 连接。
9、 如权利要求 1-8任一项所述的装置， 还包括活动框架；
所述活动框架包括底盘和位于底盘上的两个位置相对的垂直立面， 所述 转动部横向架设在所述两个立面之间； 且所述转动部的架设高度满足转动时 所述支撑架与所述底盘不接触； 或者
所述活动框架包括底盘， 所述转动部承载在所述底盘上；
所述底盘的下底面设置有活动滑轮组。
10、 如权利要求 1-9任一项所述的装置， 其中， 所述支撑架包括 U型边 框和连杆 ,所述连杆固定连接在所述 U型边框开口的两端以封闭所述 U型边 框， 所述 U型边框和所述连杆上设有用于固定玻璃面板的卡槽。
11、 一种玻璃面板减薄设备， 其中， 所述减薄设备包括权利要求 1-10任 一所述的玻璃面板支撑装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102786227B (zh) * 2012-07-27 2015-12-16 京东方科技集团股份有限公司 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备
TWI725112B (zh) * 2016-01-29 2021-04-21 美商康寧公司 用於薄化玻璃的方法
CN106191863B (zh) * 2016-08-17 2018-09-28 苏州亚傲鑫企业管理咨询有限公司 一种太阳能电池生产工艺用硅片快速减薄装置
CN107219163A (zh) * 2017-05-10 2017-09-29 东旭科技集团有限公司 一种测量玻璃化学减薄速率的设备和方法
CN109799559B (zh) * 2019-04-01 2021-04-27 郑州恒昊光学科技有限公司 一种玻璃圆点光栅的刻蚀工艺及制得的玻璃圆点光栅
CN111662014A (zh) * 2020-07-07 2020-09-15 蚌埠国显科技有限公司 一种玻璃用减薄装置
KR102583968B1 (ko) * 2021-11-08 2023-09-27 (주)퀀텀플라즈마 박막 유리의 절단면 식각 장치
CN114213029A (zh) * 2021-12-24 2022-03-22 凯盛科技集团有限公司 一种柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000317361A (ja) * 1999-05-12 2000-11-21 Sumitomo Precision Prod Co Ltd 回転式基板処理装置
CN101286445A (zh) * 2007-04-10 2008-10-15 三星电子株式会社 平板显示器的玻璃基底的蚀刻设备和蚀刻玻璃基底的方法
KR20120000886A (ko) * 2010-06-28 2012-01-04 주식회사 지디 화학적 에칭 방식에 의한 전자 제품의 커버용 유리를 형상 가공하는 장치
CN102786227A (zh) * 2012-07-27 2012-11-21 京东方科技集团股份有限公司 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000317361A (ja) * 1999-05-12 2000-11-21 Sumitomo Precision Prod Co Ltd 回転式基板処理装置
CN101286445A (zh) * 2007-04-10 2008-10-15 三星电子株式会社 平板显示器的玻璃基底的蚀刻设备和蚀刻玻璃基底的方法
KR20120000886A (ko) * 2010-06-28 2012-01-04 주식회사 지디 화학적 에칭 방식에 의한 전자 제품의 커버용 유리를 형상 가공하는 장치
CN102786227A (zh) * 2012-07-27 2012-11-21 京东方科技集团股份有限公司 一种玻璃面板支撑装置及玻璃面板减薄设备

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