KR101428656B1 - 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치에 관한 것이다.
본 발명은 셀 단위로 절단된 다수의 터치 패널용 강화 유리 기판이 적재되는 카세트; 상기 카세트가 투입되면 상기 기판의 절단면에 대한 에칭을 수행하는 에칭 배스; 에칭이 완료된 상기 기판에 대한 세정처리를 수행하는 린스 배스; 세정처리된 상기 기판과 상기 카세트를 건조시키기 위한 건조 배스; 및 상기 에칭 배스, 상기 린스 배스, 상기 건조 배스로 상기 카세트를 이동시켜 일련의 힐링 공정을 수행하도록 하는 트랜스퍼;를 포함하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치를 제공한다.

Description

터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치{Tempered Glass For Touch Screen Panel Surface Treating Apparatus}
본 발명은 강화유리의 표면 처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 터치스크린 패널용으로 사용되는 미강화 처리된 유리 기판의 절단면에 대한 강화 처리 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 터치 스크린 패널(Touch Screen Panel)은 영상표시장치 등의 화면에 표시된 문자나 도형을 사람의 손가락 또는 물체로 접촉하여 사용자의 명령을 입력할 수 있도록 한 장치이다.
터치 스크린 패널은 사람의 손가락 또는 물체에 접촉된 접촉위치를 전기적 신호로 변환하고, 그 접촉위치에서 선택된 지시 내용을 입력신호로 받아들여지는 방식으로 작동한다.
이와 같은 터치 스크린 패널은 키보드, 마우스 등과 같은 입력장치를 대체할 수 있기 때문에 장치의 간소화를 가져오므로 그 이용 범위가 점차 확장되고 있는 추세이다.
근래에는 터치 스크린 패널의 제작시, 기구적인 강도 향상을 위해 터치 스크린 패널의 상부면에 윈도우(window)를 추가로 장착하게 되는데, 윈도우는 강화 처리된 유리 기판으로 구현될 수 있다.
강화 처리된 유리 기판을 윈도우로 사용하기 위해서는 셀(cell) 단위로 유리 기판을 커팅한 후, 이를 개별적으로 강화 처리하는 공정을 수행하여야 한다.
즉, 셀 단위의 유리 기판에 대한 강화 처리는 터치 스크린 패널의 양면에 보호필름을 부착한 후 스프레이(Spray) 및 딥핑(Dipping) 장치를 이용하여 화학적으로 강화 처리하는 방법이 널리 사용되고 있다. 이때 화학 약액으로는 불산(HF)과 무기산(Inorganic Acid), 암모늄(Ammonium) 계열의 첨가제가 포함된 약액이 이용된다.
그런데, 절단된 유리 기판의 강화 처리시, 보호필름과 터치 스크린 패널 사이에 화학 약액이 침투하여 오버 에칭(Over Etching)을 유발함으로써 터치 스크린 패널에 형성된 감지 패턴 및 블랙 잉크(Black Matrix) 등의 회로가 손상되는 경우가 발생하여 수율이 낮아지는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 셀 단위로 절단한 미 강화 처리된 유리 기판의 절단면에 대하여 정밀하고 신속하게 힐링(Healing) 공정을 수행함으로써, 터치 스크린 패널의 강도를 확보할 수 있을 뿐만 아니라 수율을 증가시킬 수 있는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치를 제공함에 목적이 있다.
본 발명은, 셀 단위로 절단된 다수의 터치 패널용 강화 유리 기판이 적재되는 카세트; 상기 카세트가 투입되면 상기 기판의 절단면에 대한 에칭을 수행하는 에칭 배스; 에칭이 완료된 상기 기판에 대한 세정처리를 수행하는 린스 배스; 세정처리된 상기 기판과 상기 카세트를 건조시키기 위한 건조 배스; 및 상기 에칭 배스, 상기 린스 배스, 상기 건조 배스로 상기 카세트를 이동시켜 일련의 힐링 공정을 수행하도록 하는 트랜스퍼;를 포함하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치를 제공한다.
상기 트랜스퍼는 상기 기판의 절단면들 모두에 관한 힐링 공정이 수행될 수 있도록 상기 카세트를 회전가능하게 지지할 수 있다.
상기 트랜스퍼는 헤드유닛; 힐링 공정을 수행하는 동안 상기 카세트의 정밀한 위치제어를 수행하도록 상기 헤드유닛에 장착된 서보모터; 및 상기 헤드유닛과 결합되어 상기 카세트를 고정 및 해제하는 클램프를 포함할 수 있다.
상기 서보모터는 상기 강화 유리 기판의 절단된 단면과 상기 에칭 배스 및 상기 린스 배스에 각각 수용된 화학 약액이 접촉되는 위치를 정밀하게 조절할 수 있다.
상기 에칭 배스로 이동하기 전 상기 카세트가 대기하는 로더; 및 상기 건조 배스로부터 방출되는 상기 카세트가 대기하는 언로더; 를 포함할 수 있다.
힐링 공정 전 카세트가 적재되며 상기 로더로 상기 카세트를 이동시키는 제1 버퍼; 및 상기 언로더로부터 이동한 상기 카세트가 적재되는 제2 버퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 힐링 공정 진행 시 상기 에칭 배스에서 발생되는 흄(Fume)의 방출을 방지하기 하도록 상기 로더와 상기 언로더에 각각 설치되는 한 쌍의 셔터를 더 포함할 수 있다.
상기 에칭 배스에는 상기 기판에 대한 에칭을 수행하는 화학 약액이 일정 높이를 갖도록 수용될 수 있다.
상기 린스 배스에는 탈이온수(DIW, De-ionized water)가 수용되며, 상기 기판의 힐링 부위가 아닌 부분에 접촉된 탈이온수를 제거하기 위한 에어 샤워 노즐이 설치될 수 있다.
상기 건조 배스에는 다수의 에어 샤워 노즐과, 상기 카세트 및 상기 기판의 건조 과정에서 발생되는 물질을 배출하기 위한 배기 포트가 설치될 수 있다.
한편, 본 발명은 셀 단위로 절단된 다수의 터치 패널용 강화 유리 기판이 적재되는 다수의 카세트; 상기 각 카세트가 투입되면 상기 기판의 절단면에 대한 에칭을 수행하는 다수의 에칭 배스; 에칭이 완료된 상기 기판에 대한 세정처리를 수행하는 다수의 린스 배스; 세정처리된 상기 기판과 상기 카세트를 건조시키기 위한 건조 배스; 및 상기 에칭 배스, 상기 린스 배스, 상기 건조 배스로 상기 카세트를 이동시켜 개별적으로 카세트에 대한 일련의 힐링 공정을 수행하도록 하는 다수의 트랜스퍼;를 포함하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치를 제공할 수 있다.
따라서 본 발명은 셀 단위로 절단한 미 강화 처리된 유리 기판의 절단면에 대하여 정밀하고 신속하게 힐링(Healing) 공정을 수행함으로써, 터치 스크린 패널의 강도를 확보할 수 있을 뿐만 아니라 수율을 증가시킬 수 있다.
또한, 힐링 공정 진행 시 터치 스크린 패널에 형성된 감지 패턴과 블랙 잉크 등의 회로가 화학 약액에 의하여 손상 되는 것을 방지함으로써 양산성을 확보할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치의 구성도이다.
도 2는 도 1의 강화유리의 표면처리 공정에 사용되는 카세트 및 내부에 적재된 셀 단위의 유리 기판들의 (A)사시도 및 (B)평면도이다.
도 3은 다른 형태의 카세트에 대한 사시도이다.
도 4는 도 1의 에칭 배스에 카세트가 투입된 상태를 도시한 측면도이다.
도 5는 도 1의 린스 배스에 카세트가 투입된 상태를 도시한 측면도이다.
도 6은 도 1의 건조 배스에 카세트가 투입된 상태를 도시한 측면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치의 구성도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치의 구성도이고, 도 2는 도 1의 강화유리의 표면처리 공정에 사용되는 카세트 및 내부에 적재된 셀 단위의 유리 기판들의 (A)사시도 및 (B)평면도이며, 도 3은 다른 형태의 카세트에 대한 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치는 셀 단위로 절단된 터치 패널용 강화 유리 기판(1)에 대한 표면 강화 처리, 즉 절단면에 관한 힐링(Healing)을 수행할 수 있다.
여기서 힐링이란 협의로는 셀 단위로 절단된 유리 기판(1)의 절단면을 에칭하여 표면을 강화하는 과정을 의미할 수 있고, 광의로는 유리 기판(1)의 절단면의 에칭, 린스, 건조 등 표면처리 일련의 과정을 총칭하는 의미로 사용될 수도 있다.
터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치는 크게는 에칭 배스(100, Etching Bath), 린스 배스(200, Rinse Bath), 건조 배스(300, Dry Bath), 트랜스퍼(400, Transfer)로 이루어질 수 있는데 이에 관하여서는 후술한다.
먼저, 표면처리 대상의 셀 단위 유리 기판(1)은 도 2에 도시된 바와 같이 카세트(10, Cassette)에 적재된 후 장치 내부로 투입되면서 힐링 공정이 진행된다.
카세트(10)는 셀 단위로 절단된 다수의 터치 패널용 강화 유리 기판(1)이 적재되며, 카세트(10)는 다수의 유리 기판(1)에 관한 힐링 작업이 효율적이고 빠르게 수행될 수 있도록 한다.
카세트(10)는 전술한 에칭 배스(100), 린스 배스(200), 건조 배스(300) 등 공정 배스(Process Bath)에 투입되면서 각각의 공정이 수행된다. 이를 위해 카세트(10) 내부에 적재된 셀 단위의 기판(1)들의 절단면들이 각 배스들에 노출되도록 카세트(10)는 개구된 형상을 가질 수 있다.
예를 들어, 도 2의 (A)처럼 카세트(10)는 유리 기판(1)들의 각 절단면들이 노출될 수 있도록 각 면들이 개구된 육면체 형상을 가지며, 카세트(10) 내부에 셀 단위의 강화 유리 기판(1)들이 다수개가 수평방향을 따라 포개져서 놓여질 수 있다.
카세트(10)의 개구부에는 기판(1)들이 카세트(10) 외부로 이탈되지 않도록 기판(1)들을 지지하는 글라스핑거(11, Glass Finger)가 기판(1)들의 각 면에 설치될 수 있다. 그리고 도 2의 (B)에 도시된 바와 같이 각각의 유리 기판(1)에는 감지 패턴 및 블랙잉크 등을 보호하고 화학 약액의 침투방지를 위해 보호필름(2)이 부착된다.
카세트(10)는 후술한 트랜스퍼(400)에 의해 공정 진행방향을 따라 이동할 수 있으며, 카세트(10)의 진행방향을 따라 수직으로 형성된 축을 중심으로 회전할 수 있다. 이를 위해 도 3에 도시된 바와 같이 카세트(10)에는 축 중심으로 회전하는 카세트회전블록(20, Cassette Rotating Block)이 장착될 수 있다.
카세트회전블록(20)에는 트랜스퍼(400)가 결합될 수 있으며, 트랜스퍼(400)가 카세트회전블록(20)을 회전시키면 카세트(10)에 적재된 유리 기판(1)의 각 절단면들이 위치가 변화될 수 있다. 예를 들어, 카세트회전블록(20)은 90°단위로 회전하면서, 유리 기판(1)의 4개의 절단면들의 위치가 순차적으로 에칭 배스(100), 린스 배스(200), 건조 배스(300) 내부로 향하도록 할 수 있다.
여기서 카세트(10)는 힐링 공정에 사용되는 화학 약액에 대한 충분한 내산, 내화학성을 갖도록 폴리피닐덴디플루오리드(PVDF) 재질로 이루어질 수 있다.
이와 같은 카세트(10)를 장치 내부로 투입하거나 배출하기 위해 본 실시예의 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치는 로더(500, Loader), 언로더(600, Unloader), 셔터(700, Shutter), 버퍼(800, Buffer) 등이 더 설치될 수 있다.
이하에서는 상기 구성들을 포함하여 전술한 에칭 배스(100), 린스 배스(200), 건조 배스(300), 트랜스퍼(400)의 구성들을 상세하게 설명하기로 한다.
도 4는 도 1의 에칭 배스(100)에 카세트가 투입된 상태를 도시한 측면도이고, 도 5는 도 1의 린스 배스(200)에 카세트가 투입된 상태를 도시한 측면도이며, 도 6은 도 1의 건조 배스에 카세트가 투입된 상태를 도시한 측면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이 에칭 배스(100)는 기판(1)의 절단면에 대한 에칭을 수행한다. 에칭 배스(100)는 상부가 개구된 수조 형상으로 이루어질 수 있다. 에칭 배스(100) 내부에는 기판(1) 절단면에 관한 에칭, 힐링을 위한 화학 약액이 일정 높이만큼 수용될 수 있다. 화학 약액으로는 불산(HF)과 무기산(Inorganic Acid), 암모늄(Ammonium) 계열의 첨가제가 포함된 약액이 이용될 수 있다.
에칭 배스(100)는 화학 약액을 공급하는 공급포트(120, Supply Port), 화학 약액을 배출하는 배출포트(110, Drain Port)가 형성될 수 있다.
그리고 도시하지는 않았지만 에칭 배스(100)에는 힐링 공정 진행 시 에칭 배스(100) 내부에서 발생되는 흄(Fume)의 원활한 방출을 위한 배기포트(Exhaust Port), 에칭 배스(100) 내부의 화학 약액의 온도를 확인하기 위한 온도센서(Temperature Sensor), 화학 약액의 레벨(Level)을 확인하기 위한 레벨센서(Level Sensor), 카세트(10)의 유무를 확인하기 위한 감지센서(Detection Sensor) 및 흄(Fume) 방출 방지를 위한 오토 커버링(Auto Covering) 장치 등을 더 포함하여 구성될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이 린스 배스(200)는 에칭이 완료된 기판(1)에 대한 세정처리를 수행한다. 세정처리는 세정(Cleaning)과, 약액에 대한 중화 처리를 포함할 수 있다. 린스 배스(200) 역시 상부가 개구된 수조 형상으로 이루어지며, 에칭 배스(100)에 인접 배치될 수 있다. 린스 배스(200) 내부에는 에칭 배스(100)에서 묻은 기판(1) 절단면의 화학 약액을 세척하기 위해 탈이온수(D, DeIonized Water)가 일정 높이만큼 수용될 수 있다. 린스 배스(200)에는 기판(1)의 힐링 부위가 아닌 부분에 접촉된 탈이온수(D)를 제거하기 위한 에어 샤워 노즐이 설치될 수 있다.
린스 배스(200)에는 린스 공정에 사용되는 탈이온수(D)를 공급하는 공급포트(220, Supply Port), 탈이온수(D)를 배출하는 배출포트(210, Drain Port), 린스 공정 완료 후 카세트(10)를 이동하기 전에 기판(1)에 접촉된 탈이온수(D)를 제거하기 위한 에어노즐(230, Air Shower Nozzle)이 설치될 수 있다.
그리고 린스 배스(200)에는 도시되어 있지는 않지만 카세트(10)의 유무를 확인하기 위한 감지센서(Detection Sensor) 및 탈이온수(D)의 레벨을 확인하기 위한 레벨센서(Level Sensor) 등이 더 장착될 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이 건조 배스(300)는 린스 배스(200)에서 세정처리된 기판(1)과 카세트(10)를 건조시킨다. 건조 배스(300)에는 기판(1) 및 카세트(10)를 건조하기 위한 에어샤워노즐(330, Air Shower Nozzle)과, 건조 공정에서 발생되는 미스트(Mist) 및 흄(Fume)을 배출하기 위한 배출(Drain) 기능을 겸한 배기포트(310, Exhaust Port)가 설치될 수 있다.
건조 배스(300) 내부에는 기판(1) 및 카세트(10)에 대한 건조 성능을 향상시키기 위하여 에어샤워노즐(330)을 통해 뜨거운 압축 에어(Hot Compressed Dry Air)가 분사될 수 있다. 이를 위해 건조 배스(300)에는 뜨거운 압축 에어(Hot Compressed Dry Air)를 사용하기 위하여 인라인 히터(Inline Heater)를 이용한 에어 히팅 시스템(Air Heating System)이 구비될 수 있다.
또한, 건조 배스(300)에는 도시하지는 않았지만, 건조 배스(300) 내부의 온도를 확인하기 위한 온도센서(Temperature Sensor), 건조 배스(300) 내부의 온도 저하 방지를 위한 오토커버링(Auto Covering) 장치 및 카세트(10)의 유무를 확인하기 위한 감지센서(Detection Sensor) 등이 더 장착될 수 있다.
트랜스퍼(400)는 도 1에 도시된 바와 같이 상술한 에칭 배스(100), 린스 배스(200), 건조 배스(300)로 카세트(10, 도 2 및 도 3 참조)를 이동시켜 일련의 힐링 공정을 수행하도록 한다. 트랜스퍼(400)는 기판(1)의 절단면들 모두에 관한 힐링 공정이 수행될 수 있도록 카세트(10)를 회전가능하게 지지할 수 있다.
이를 위해 트랜스퍼(400)는 보다 상세하게는 헤드유닛(410, Head Unit), 서보모터(미도시), 클램프(430)를 포함하여 구성될 수 있다. 예를 들어 헤드유닛(410)에는 카세트(10)를 회전시킬 수 있는 서보모터와, 카세트(10)를 고정(Clamping) 또는 해제(Un-clamping)할 수 있는 클램프(430)가 장착될 수 있다.
헤드유닛(410)은 장착된 각 부품들의 부식(Corrosion)을 방지하기 위하여 헤드유닛(410)의 몸체(Head Unit Body)를 화학 약액의 흄(Fume)에 충분히 견딜 수 있는 폴리염화비닐(PVC) 재질로 구성하여 각 부품들을 커버링할 수 있다.
서보모터는 힐링 공정을 수행하는 동안 카세트(10)의 정밀한 위치제어를 수행할 수 있다. 서보모터는 트랜스퍼(400)를 공정의 진행방향인 X축(X-axis)과 각 공정 배스(100, 200, 300)들의 투입 방향인 Z축(Z-axis)으로 정밀한 구동을 할 수 있으며, 다수개로 이루어질 수도 있다.
이러한 서보모터는 강화 유리 기판(1)의 절단된 단면과 에칭 배스(100) 및 린스 배스(200)에 각각 수용된 화학 약액, 탈이온수(D)가 접촉되는 위치를 정밀하게 조절할 수 있다.
즉, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 서보모터를 작동하여 트랜스퍼(400)는 카세트(10)를 에칭 배스(100)에 수용된 화학 약액(C)이나 린스 배스(200)에 수용된 탈이온수(D)의 일정 깊이(d)만큼만 잠기게 하여 기판(10)의 감지 패턴 및 블랙잉크 등에 화학 약액(C)이 침투하지 않도록 하면서 절단면에 대한 정밀한 힐링이 이루어지도록
한편, 로더(500)는 힐링 공정 진행을 위해 카세트(10)가 에칭 배스(100)로 이동하기 전에 대기하고, 언로더(600)는 건조 배스(300)를 통해 건조가 완료된 카세트(10)의 방출을 위하여 카세트(10)가 대기하는 장소를 형성한다.
셔터(700)는 한 쌍으로 이루어지면서, 힐링 공정 진행시 에칭 배스(100)에서 발생되는 흄(Fume)의 방출을 방지하기 하도록 로더(500)와 언로더(600)에 각각 설치될 수 있다. 셔터(700)는 수직방향으로 승하강하도록 구성되면서 카세트(10)가 공정배스(100, 200, 300)로 진입 및 방출되도록 공정 배스(100, 200, 300) 내부를 개방하거나, 힐링 공정이 진행하는 동안 공정배스(100, 200, 300) 내부를 밀폐시킬 수 있다.
버퍼(800)는 힐링 공전 전 카세트(10)가 적재되며 로더(500)로 카세트(10)를 이동시키도록 로더(500)의 좌측에 위치하는 제1 버퍼(800)와, 언로더(600)로부터 이동한 상기 카세트(10)가 적재되도록 언로더(600)의 우측에 위치하는 제2 버퍼(800)를 더 포함할 수 있다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치는 셀 단위로 절단된 터치 패널용 강화 유리 기판(1)이 적재된 카세트(10)를 트랜스퍼(400)를 이용하여 순차적으로 에칭 배스(100), 린스 배스(200), 건조 배스(300)를 통과하도록 이동시키면서 기판(1)의 절단면에 대한 힐링(Healing)을 수행할 수 있다.
이때, 기판(1)의 일면에 해당하는 절단면에 관한 힐링이 이루어지면 트랜스퍼(400)는 카세트(10)를 90°각도로 회전시켜가면서 나머지 면들에 관하여 힐링이 이루어지도록 할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치의 구성도이다.
본 실시예에서는 전술한 실시예와 달리 기판(1)의 절단면 각각에 대하여 힐링 공정을 개별적으로 수행할 수 있도록 에칭 배스(100)와 린스 배스(200)를 연달아서 4쌍으로 인접하게 구성하고, 후반부에 건조 배스(300)를 설치한 점이 다르다.
그리고 트랜스퍼(400)의 개수도 4개로 증가되어, 4개의 카세트(10)가 공정 배스 내부로 진행할 수 있다. 그러므로 본 실시예는 4개의 트랜스퍼(400)를 통해 4개의 카세트(10)에 적재된 기판(1)들에 관한 힐링을 한꺼번에 수행할 수 있다.
물론, 본 실시예 이외에도 에칭 배스(100)와 린스 배스(200) 및 트랜스퍼(400)의 수량은 장치 운용 조건에 따라 변형될 수 있을 것이다.
이와 같이 본 발명은 셀 단위로 절단한 미 강화 처리된 유리 기판의 절단면에 대하여 정밀하고 신속하게 힐링(Healing) 공정을 수행함으로써, 터치 스크린 패널의 강도를 확보할 수 있을 뿐만 아니라 수율을 증가시킬 수 있다.
또한, 힐링 공정 진행 시 터치 스크린 패널에 형성된 감지 패턴과 블랙 잉크 등의 회로가 화학 약액에 의하여 손상 되는 것을 방지함으로써 양산성을 확보할 수 있는 장점이 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1 : 강화 유리 기판 2 : 보호필름
10 : 카세트 11 : 글라스핑거
20 : 카세트회전블록 100 : 에칭 배스
110 : 배출포트 120 : 공급포트
200 : 린스 배스 210 : 배출포트
220 : 공급포트 230 : 에어노즐
300 : 건조 배스 310 : 배출포트
330 : 에어샤워노즐 400 : 트랜스퍼
410 : 헤드유닛 430 : 클램프
500 : 로더 600 : 언로더
700 : 셔터 800 : 버퍼

Claims (11)

  1. 셀 단위로 절단된 다수의 터치 패널용 강화 유리 기판이 적재되는 카세트;
    기설정된 깊이의 화학 약액을 수용하여 상기 카세트가 투입되면 상기 기판의 절단면에 대한 에칭을 수행하는 에칭 배스;
    기설정된 깊이의 세정액을 수용하여 상기 에칭이 완료된 상기 기판에 대한 세정처리를 수행하는 린스 배스;
    세정처리된 상기 기판과 상기 카세트를 건조시키기 위한 건조 배스; 및
    상기 카세트에 결합하여 상기 카세트를 상기 에칭 배스, 상기 린스 배스, 상기 건조 배스로 이동시켜 일련의 힐링 공정이 수행되도록 하는 트랜스퍼;를 포함하고,
    상기 카세트에는 공정 진행 방향에 수직하는 양면에 각각 상기 카세트를 상기 공정 진행 방향 축을 중심으로 회전시키는 카세트회전블록이 장착되고,
    상기 트랜스퍼가 상기 카세트회전블록에 결합하여 상기 카세트를 상기 공정 진행 방향 축을 중심으로 90°씩 회전시켜 4면을 모두 기설정된 깊이만큼 상기 에칭 배스 및 상기 린스 배스에 투입하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 트랜스퍼는
    헤드유닛;
    상기 카세트를 상기 에칭 배스, 상기 린스 배스, 상기 건조 배스에 각각 투입하고 꺼내는 동작 및 상기 힐링 공정 진행 방향으로 이동시키도록 상기 헤드유닛에 장착된 서보모터; 및
    상기 헤드유닛과 결합되어 상기 카세트를 고정 및 해제하는 클램프를 포함하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 서보모터는 상기 강화 유리 기판의 절단된 단면과 상기 에칭 배스 및 상기 린스 배스에 각각 수용된 화학 약액이 접촉되는 위치를 조정하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 에칭 배스로 이동하기 전 상기 카세트가 대기하는 로더; 및
    상기 건조 배스로부터 방출되는 상기 카세트가 대기하는 언로더; 를 포함하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    힐링 공정 전 카세트가 적재되며 상기 로더로 상기 카세트를 이동시키는 제1 버퍼; 및
    상기 언로더로부터 이동한 상기 카세트가 적재되는 제2 버퍼를 더 포함하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 힐링 공정 진행 시 상기 에칭 배스에서 발생되는 흄(Fume)의 방출을 방지하기 하도록 상기 로더와 상기 언로더에 각각 설치되는 한 쌍의 셔터를 더 포함하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 에칭 배스에는 상기 기판에 대한 에칭을 수행하는 화학 약액이 일정 높이를 갖도록 수용되는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 린스 배스에는 탈이온수(DIW, De-ionized water)가 수용되며, 상기 기판의 힐링 부위가 아닌 부분에 접촉된 탈이온수를 제거하기 위한 에어 샤워 노즐이 설치되는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 건조 배스에는 다수의 에어 샤워 노즐과, 상기 카세트 및 상기 기판의 건조 과정에서 발생되는 물질을 배출하기 위한 배기 포트가 설치되는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 트랜스퍼는
    상기 에칭 배스, 상기 린스 배스, 상기 건조 배스로 상기 카세트를 이동시켜 복수의 카세트에 결합하여 복수의 카세트에 대하여 일련의 힐링 공정을 수행하도록 복수개 결합하는 터치스크린 패널용 강화유리의 표면처리 장치.
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