JP5518133B2 - 化学研磨装置 - Google Patents
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Description
4−第1の研磨処理部
10−化学研磨装置
12,62−搬入部
14,64−前処理チャンバ
16−第3の処理チャンバ
18−第4の処理チャンバ
20−第5の処理チャンバ
22−第6の処理チャンバ
24,70−水洗チャンバ
26−搬出部
28−第2の中継部
30−第3の中継部
32−第4の中継部
50−搬送ローラ
66−第1の処理チャンバ
68−第2の処理チャンバ
72−第1の中継部
Claims (3)
- 複数のローラを少なくとも有する搬送路に沿って連続的に搬送される複数のガラス基板に対して化学研磨処理を行うように構成された化学研磨装置であって、
前記搬送路に沿って搬送されるガラス基板に対して第1の処理液によって化学研磨処理を行うように構成された第1の研磨処理部と、
前記搬送路に沿って搬送されるガラス基板に対して前記第1の処理液とは異なる第2の処理液によって化学研磨処理を行うように構成された第2の研磨処理部と、
前記搬送路における前記第1の研磨処理部の下流側であり、かつ、前記第2の研磨処理部の上流側に配置された、前記ガラス基板に付着した処理液を洗浄するように構成された洗浄部と、
を少なくとも備え、
少なくとも前記第1の研磨処理部の上流側に、前記第1の研磨処理部に導入される前のガラス基板の表面を湿らせるように構成された前処理部をさらに備えたことを特徴とする化学研磨装置。 - 複数のローラを少なくとも有する搬送路に沿って連続的に搬送される複数のガラス基板に対して化学研磨処理を行うように構成された化学研磨装置であって、
前記搬送路に沿って搬送されるガラス基板に対して第1の処理液によって化学研磨処理を行うように構成された第1の研磨処理部と、
前記搬送路に沿って搬送されるガラス基板に対して前記第1の処理液とは異なる第2の処理液によって化学研磨処理を行うように構成された第2の研磨処理部と、
前記搬送路における前記第1の研磨処理部の下流側であり、かつ、前記第2の研磨処理部の上流側に配置された、前記ガラス基板に付着した処理液を洗浄するように構成された洗浄部と、
を少なくとも備え、
前記第1の研磨処理液はガラスのピットを抑制する処理をするものである一方で、前記第2の研磨処理液はガラスを薄型化する処理をするものであることを特徴とし、かつ、
前記第1の研磨処理部は、前記第1の処理液を前記ガラス基板に対して噴射するように構成された複数の処理チャンバと、各処理チャンバを中継するとともに前記第1の処理液を前記ガラス基板に対して噴射するように構成された中継部とを有し、かつ、
前記第2の研磨処理部は、前記第2の処理液を前記ガラス基板に対して噴射するように構成された複数の処理チャンバと、各処理チャンバを中継するとともに前記第2の処理液を前記ガラス基板に対して噴射するように構成された中継部とを有することを特徴とする化学研磨装置。
- 複数のローラを少なくとも有する搬送路に沿って連続的に搬送される複数のガラス基板に対して化学研磨処理を行うように構成された化学研磨装置であって、
前記搬送路に沿って搬送されるガラス基板に対して第1の処理液によって化学研磨処理を行うように構成された第1の研磨処理部と、
前記搬送路に沿って搬送されるガラス基板に対して前記第1の処理液とは異なる第2の処理液によって化学研磨処理を行うように構成された第2の研磨処理部と、
前記搬送路における前記第1の研磨処理部の下流側であり、かつ、前記第2の研磨処理部の上流側に配置された、前記ガラス基板に付着した処理液を洗浄するように構成された洗浄部と、
を少なくとも備え、
前記第1の研磨処理部は、前記第1の処理液を前記ガラス基板に対して噴射するように構成された複数の処理チャンバと、各処理チャンバを中継するとともに前記第1の処理液を前記ガラス基板に対して噴射するように構成された中継部とを有し、かつ、
前記第2の研磨処理部は、前記第2の処理液を前記ガラス基板に対して噴射するように構成された複数の処理チャンバと、各処理チャンバを中継するとともに前記第2の処理液を前記ガラス基板に対して噴射するように構成された中継部とを有することを特徴とする化学研磨装置。
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