JP2019193384A - 半導体素子の駆動装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、半導体素子の駆動装置において、大型化を抑制するとともに、半導体素子の異常が解消されると半導体素子への駆動信号の入力を速やかに再開することを目的とする。【解決手段】半導体素子の駆動装置1は、半導体素子の異なる種類の異常を検出する複数の検出回路21と、少なくとも1つの検出回路21が異常を検出した場合にエラー信号を生成する論理回路22と、エラー信号Verrを受けて、異常を検出した検出回路21毎に異なるパルス幅を持つ1又は複数のパルスからなるアラーム信号を生成するアラーム信号生成回路と、エラー信号Verrおよびアラーム信号VFoに基づき半導体素子の保護機能が動作しているか否かを判断し、保護機能が動作していると判断した場合には半導体素子への駆動信号の入力を遮断する保護動作判断回路23と、を備える。【選択図】図2

Description

この発明は、半導体素子の駆動装置に関する。
近時、インテリジェント・パワーモジュール(Intelligent Power Module、IPM)が注目されている。インテリジェント・パワーモジュールは、例えばIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)等のパワートランジスタからなる複数の半導体素子とその駆動回路と共に、半導体素子の過電流、制御電源電圧の低下、過熱等の異常に対する保護回路を1つの電子部品としてモジュール化したものである。
特許文献1には、半導体素子の異常を検出する複数の保護回路と、各保護回路で検出された異常の種別に応じて予め設定されたパルス幅のアラーム信号を、1パルス分だけ、あるいは予め設定された時間間隔で1パルス分ずつ出力する信号出力回路と、を備えた駆動装置が開示されている。
しかしながら、特許文献1の駆動装置では、半導体素子の異常が解消されたことを検出することができないという問題があった。
この点、特許文献2では、半導体素子に生じた異常の種別に応じたパルス幅のアラーム信号を的確に通知する機能を備えるとともに、半導体素子の異常要因が解消されたことを通知する機能を備えた半導体素子の駆動装置が提唱されている。
特開2012−143125号公報 特開2013−258858号公報
しかしながら、特許文献2の技術では、異常の種別に応じたパルス幅のアラーム信号を生成するアラーム信号生成回路とは別に、異常要因が解消されたことを通知する信号を生成するアラーム解除信号生成回路が必要となり、駆動装置が大型化するという課題があった。また、特許文献2の技術では、異常要因が解消された後にアラーム解除信号が出力されるため、復帰するまでに時間がかかるという課題がある。さらに、特許文献2の技術では、異常要因を判別するためにパルス幅を測定し、かつ異常要因が解消されたことを検出するためにアラーム解除信号を測定する必要があり、実用的ではないという課題があった。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、半導体素子の駆動装置において、大型化を抑制するとともに、半導体素子の異常が解消されると半導体素子への駆動信号の入力を速やかに再開することを目的とする。
本発明に係る半導体素子の駆動装置は、半導体素子の異なる種類の異常を検出する複数の検出回路と、少なくとも1つの検出回路が異常を検出した場合にエラー信号を生成する論理回路と、エラー信号を受けて、異常を検出した検出回路毎に異なるパルス幅を持つ1又は複数のパルスからなるアラーム信号を生成するアラーム信号生成回路と、エラー信号およびアラーム信号に基づき半導体素子の保護機能が動作しているか否かを判断し、保護機能が動作していると判断した場合には半導体素子への駆動信号の入力を遮断する保護動作判断回路と、を備える。
本発明に係る半導体素子の駆動装置によれば、保護動作判断回路は、アラーム信号の終了により半導体素子の異常が解消されたと判断することが出来るため、異常解消後に速やかに半導体素子へ駆動信号の入力を再開することができる。また、アラーム解除信号生成回路が不要であるため、装置の小型化が可能である。
実施の形態1に係る半導体装置の要部概略構成を示す図である。 U相上アームの駆動装置を示すブロック図である。 エラー信号、保護動作信号およびアラーム信号の最小パルス幅を示す図である。 terr≦tpro(min)の場合の実施の形態1のアラーム信号を示す図である。 terr>tpro(min)の場合の実施の形態1のアラーム信号を示す図である。 制御電源電圧に異常が発生し、その後電流に異常が発生した場合のエラー信号Verr、保護動作信号Vproおよびアラーム信号VFoを示す図である。 実施の形態2に係る半導体装置の要部概略構成を示す図である。 ローパスフィルタを示す図である。 実施の形態2のアラーム信号を示す図である。 制御電源電圧の異常に関するアラーム信号に対するアナログアラーム信号の計算結果を示す図である。 温度の異常に関するアラーム信号に対するアナログアラーム信号の計算結果を示す図である。 電流の異常に関するアラーム信号に対するアナログアラーム信号の計算結果を示す図である。 実施の形態3に係る半導体装置の要部概略構成を示す図である。 実施の形態3に係る駆動装置の概略構成を示す図である。 実施の形態3に係るアナログアラーム信号を示す図である。 実施の形態4に係る電流異常に関するアラーム信号を示す図である。 実施の形態5に係る半導体装置の要部概略構成を示す図である。 実施の形態5に係る駆動装置の概略構成を示す図である。
<A.実施の形態1>
図1は、実施の形態1に係る半導体装置101の要部概略構成を示す図である。半導体装置101は、インバータ10と駆動装置1−6とを備える。インバータ10は、複数のIGBT11−16と、IGBT11−16にそれぞれ並列に接続された還流ダイオードD1−D6とを備え、直流電力を交流電力に変換する。IGBT11と還流ダイオードD1はU相上アームを構成し、IGBT14と還流ダイオードD4はU相下アームを構成する。IGBT12と還流ダイオードD2はV相上アームを構成し、IGBT15と還流ダイオードD5はV相下アームを構成する。IGBT13と還流ダイオードD3はW相上アームを構成し、IGBT16と還流ダイオードD6はW相下アームを構成する。駆動装置1−6は、インバータ10を構成する複数のIGBT11−16をそれぞれ個別に駆動する。なお、IGBTは駆動装置1−6が駆動する半導体素子の一例であり、MOSFET(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor)など他の半導体素子がIGBTに代えて用いられても良い。
図2は、U相上アームの駆動装置1を示すブロック図である。なお、他の駆動装置2−6の構成は駆動装置1と同様であるため、それらの構成の説明は省略する。
駆動装置1は、検出回路21、論理回路22、保護動作判断回路23、識別パルス生成回路24、MOSFET25、およびANDゲート26を備える。
検出回路21は、半導体装置101の各種の保護機能を実現する回路であり、制御電源電圧検出回路UV、温度検出回路OT、および電流検出回路SCを備えている。
論理回路22は、制御電源電圧検出回路UV、温度検出回路OT、および電流検出回路SCからの信号を予め定められた電圧と比較し、IGBT11が異常状態であるかを判定する。論理回路22は、IGBT11が異常状態にあると判定した場合に、エラー信号Verrを保護動作判断回路23と識別パルス生成回路24に出力する。
保護動作判断回路23には、アラーム信号VFoとエラー信号Verrが入力される。保護動作判断回路23は、アラーム信号VFoとエラー信号VerrによりIGBT11の保護機能が動作しているか否かを判断する。保護動作判断回路23は、IGBT11の保護機能が動作していると判断した場合には、識別パルス生成回路24に保護動作信号Vproを入力するとともに、ANDゲート26にLレベルを出力することにより、ゲート制御信号Voutをオフする。これにより、IGBT11は駆動が禁止され、異常から保護される。
識別パルス生成回路24には、論理回路22からエラー信号Verrが入力され、保護動作判断回路23から保護動作信号Vproが入力される。識別パルス生成回路24は、エラー信号Verrと保護動作信号Vproに基づき識別パルスを生成する。識別パルス生成回路24が生成した識別パルスは、MOSFET25のゲートに入力され、これによりオープンドレインのMOSFET25のオンオフが制御される。MOSFET25のソースはアラーム信号VFoを保護動作判断回路23および駆動装置1の外部に出力する。すなわち、識別パルス生成回路24とMOSFET25は、エラー信号Verrを受けてアラーム信号を生成するアラーム信号生成回路として機能する。
図3は、エラー信号Verr、保護動作信号Vpro、およびアラーム信号VFoの最小パルス幅を示している。エラー信号Verr、保護動作信号Vpro、およびアラーム信号VFoの最小パルス幅を、それぞれ最小エラー期間terr(min)、最小保護動作期間tpro(min)、および最小アラーム信号出力期間tFo(min)とすると、これらの関係はterr(min)<tFo(min)=tpro(min)となる。最小エラー期間terr(min)は、検出回路21により検出可能な最小のエラー長であり、検出回路21毎に設けられるフィルタのフィルタ時間によって定められる。フィルタ時間は、一般的に数nsから数μsで設定される。具体的には、電流検出回路SCのフィルタ時間は約2μsに設定される。また、最小アラーム信号出力期間tFo(min)はアラーム信号VFoを受信するマイコンで認識可能な長さに設定され、一般的には数ms以上で設定される。実施の形態1では、最小保護動作期間tpro(min)と最小アラーム信号出力期間tFo(min)はエラーの種類、すなわち異常を検出した検出回路21によらず一定である。
図4に、terr≦tpro(min)の場合の実施の形態1のアラーム信号VFoを示す。エラー信号Verrがオフのときは、保護動作判断回路23がANDゲート26にHレベルを出力するため、制御信号VCINに同期してゲート制御信号Voutが出力される。検出回路21が異常を検出すると、論理回路22がエラー信号Verrをオン、すなわちHレベルにする。保護動作判断回路23は、エラー信号Verrのオンに伴い保護動作信号Vproをオン、すなわちHレベルにする。また、識別パルス生成回路24も、エラー信号Verrのオンに伴い識別パルスを生成する。従って、エラー信号Verr、保護動作信号Vpro、およびアラーム信号VFoは同時にオンする。なお、ここでアラーム信号VFoについては、Hレベルをオフ、Lレベルをオンとする。
エラー信号Verrがオンの期間中、保護動作判断回路23がANDゲート26にLレベルを出力するため、ゲート制御信号VoutはLレベルとなり、遮断される。
最小アラーム信号出力期間tFo(min)は最小保護動作期間tpro(min)に等しいため、tFo(min)を駆動装置1の外部でモニタすることにより最小保護動作期間tpro(min)を識別することができる。
アラーム信号VFoがオンの間、MOSFET25は検出回路毎に異なるパルス幅tFo_plからなる連続パルス列をアラーム信号VFoとして出力する。識別パルス生成回路24は、アラーム信号VFoのパルス幅tFo_pl、アラーム信号の休止幅tFo_sus、および最小アラーム信号出力期間tFo(min)を、式(1)を満たすように設定する。なお、nは自然数で、検出回路毎に異なる値となる。
Figure 2019193384
terr≦tpro(min)の場合、最小アラーム信号出力期間tFo(min)は、異常の種別によらず一定である。
図5に、terr>tpro(min)の場合の実施の形態1のアラーム信号VFoを示す。このときのエラー期間terr、保護動作期間tpro、およびアラーム信号出力期間tFoは、terr≦tpro=tFoを満たすように設定される。
また、識別パルス生成回路24は、tFo、tFo_pl、およびtFo_susを、式(2)を満たすように設定する。なお、nは自然数で、エラーの種類毎に異なる値となる。
Figure 2019193384
すなわち、アラーム信号VFoは、式(3)を満たすように出力される。
Figure 2019193384
このように、識別パルス生成回路24は、アラーム信号出力期間tFoを異常の種別に応じた長さに設定する。保護動作判断回路23は、アラーム信号VFoが終了すると、IGBT11の保護機能の動作が終了したと判断し、保護動作信号Vproをオフにする。
次に、保護動作信号Vproの機能について説明する。保護動作信号Vproは、識別パルス生成回路24が1回目の異常に対応するアラーム信号VFoを出力している期間中に、2回目の異常に対応するエラー信号Verrを取得した場合、2回目の異常に対応するアラーム信号VFoを出力しないようにするための信号である。
図6は、制御電源電圧に異常が発生し、その後電流に異常が発生した場合のエラー信号Verr、保護動作信号Vpro、アラーム信号VFoを示している。まず、制御電源電圧に異常が発生すると、エラー信号Verr(UV)がオンになり、それと同時に保護動作信号Vproとアラーム信号VFoがオンになる。
エラー信号Verr(UV)はエラー期間terr(UV)が過ぎるとオフになるが、保護動作信号Vproとアラーム信号VFoはまだオン状態にある。このとき、電流に異常が発生すると、エラー信号Verr(SC)がオンになる。しかし、保護動作信号Vproがオンであるため、識別パルス生成回路24はVerr(SC)を無視し、制御電源電圧の異常に対するアラーム信号VFoの出力を継続する。すなわち、識別パルス生成回路24は、エラー信号Verr(SC)に対応するアラーム信号VFoを出力しない。
実施の形態1に係る半導体素子の駆動装置1は、半導体素子であるIGBT11の異なる種類の異常を検出する複数の検出回路21と、少なくとも1つの検出回路21が異常を検出した場合にエラー信号Verrを生成する論理回路22と、エラー信号Verrを受けて、異常を検出した検出回路21毎に異なるパルス幅を持つ1又は複数のパルスからなるアラーム信号VFoを生成するアラーム信号生成回路である識別パルス生成回路24およびMOSFET25と、エラー信号Verrおよびアラーム信号VFoに基づきIGBT11の保護機能が動作しているか否かを判断し、保護機能が動作していると判断した場合にはIGBT11への駆動信号の入力を遮断する保護動作判断回路23と、を備える。駆動装置1によれば、検出回路21よりIGBT11の異常を検出することが可能である。また、アラーム信号VFoは異常の種類に応じたパルス幅となるため、パルス幅から異常の種類を判別することが可能である。また、保護動作判断回路23は、アラーム信号VFoの終了によりIGBT11の異常が解消されたと判断することが出来るため、異常解消後に速やかにIGBT11へ駆動信号の入力を再開することができる。また、アラーム解除信号生成回路が不要であるため、駆動装置1を小型化することが可能である。
<B.実施の形態2>
図7は、実施の形態2に係る半導体装置102の要部概略構成を示す図である。半導体装置102は、実施の形態1に係る半導体装置101の構成に加えて、駆動装置1−6から出力されるアラーム信号VFoを復調するローパスフィルタ30を備えている。
図8は、ローパスフィルタ30の構成を示している。ローパスフィルタ30は、抵抗RとコンデンサCで構成される。ローパスフィルタ30は、アラーム信号VFoを取得して、アラーム信号VFoのデューティ比に応じたアナログアラーム信号VFo_intを得る。アナログアラーム信号VFo_intの電圧値から、異常の種別を識別することが可能である。
図9は、実施の形態2のアラーム信号VFoを示している。実施の形態2のアラーム信号VFoは、周波数f=1/{tFo_pl+tFo_sus}が異常の種別によらず一定で、デューティ比D=tFo_pl/{tFo_pl+tFo_sus}のみが異常の種別によって異なるPWM信号である。なお、図8において括弧の中の符号OT,UV,SCは、異常の種別に係る検出回路を示している。例えば、VFo(OT)は、温度検出回路OTの異常検出によるアラーム信号であることを示している。
図10から図12は、アラーム信号VFoに対するアナログアラーム信号VFo_intの計算結果を示している。なお、図10は制御電源電圧の異常に関するアラーム信号VFo(OT)に対するアナログアラーム信号VFo_int(OT)を示し、図11は温度の異常に関するアラーム信号VFo(UV)に対するアナログアラーム信号VFo_int(UV)を示し、図12は電流の異常に関するアラーム信号VFo(SC)に対するアナログアラーム信号VFo_int(SC)を示している。また、ローパスフィルタ30において抵抗R=100kΩ、コンデンサC=220nF、フィルタのカットオフ周波数fc=1/(2πRC)=14.47Hzとしている。さらに、異常の種別によらずアラーム信号VFoの周期Tを4ms、周波数fを250Hzとし、tFo_pl(OT)=3ms、tFo_pl(UV)=2ms、tFo_pl(SC)=1msとした。なお、時間2msのときに異常が発生し、アラーム信号VFoが出力し始めている。このとき、アラーム信号VFo(OT),VFo(UV),VFo(SC)のデューティ比をD(OT),D(UV),D(SC)と表すと、D(OT)=0.75、D(UV)=0.5、D(SC)=0.25となる。
図10から図12によれば、時間100msにおけるアナログアラーム信号VFo_intの電圧値は、VFo_int(OT)=3.79V、VFo_int(UV)=7.24V、VFo_int(SC)=11.21Vとなり、それぞれデューティ比D(OT),D(UV),D(SC)に応じた電圧値となる。なお、アナログアラーム信号VFo_intには残留リップルが含まれるが、その大きさは、ローパスフィルタ30のカットオフ周波数fcとアラーム信号VFoの周波数fに依存する。
実施の形態2に係る半導体素子の駆動装置によれば、アラーム信号VFoの周波数fは、異常を検出した検出回路によらず一定であり、アラーム信号VFoのデューティ比Dは、異常を検出した検出回路に応じて異なる。従って、アラーム信号VFoを復調する際に用いるローパスフィルタ30におけるRとLの値を固定することができ、復調回路を容易に設計することができる。
<C.実施の形態3>
図13は、実施の形態3に係る半導体装置103の要部概略構成を示す図である。半導体装置103は、実施の形態1に係る半導体装置101の駆動装置1−6に代えて、駆動装置1A−6Aを備えており、それ以外の半導体装置103の構成は半導体装置101と同様である。
図14は、駆動装置1Aの概略構成を示している。なお、他の駆動装置2A−6Aの構成は駆動装置1と同様であるため、それらの構成の説明は省略する。駆動装置1Aは、実施の形態1に係る駆動装置1の構成に加えてローパスフィルタ27を備えている。ローパスフィルタ27は、MOSFET25のソースから出力されるアラーム信号VFoを積分し、得られたアナログアラーム信号VFo_intを駆動装置1Aの外部に出力すると共に、アナログアラーム信号VFo_intを保護動作判断回路23に出力する。保護動作判断回路23は、アナログアラーム信号VFo_intに基づきIGBT11の保護機能が動作しているか否かを判断する。
実施の形態3に係る駆動装置1Aによれば、駆動装置1Aの外部でアナログアラーム信号VFo_intの平均値をモニタすることによって、エラーの種類を判別することができる。また、保護動作判断回路23でアナログアラーム信号VFo_intをモニタすることにより、IGBT11の保護機能が動作しているか否かを判断することができる。
図15は、駆動装置1Aが出力するアナログアラーム信号VFo_intを示している。保護動作判断回路23は、アラーム信号VFoとアナログアラーム信号VFo_intに基づきIGBT11の保護機能が動作しているか否かを判断する。具体的には、保護動作判断回路23は、アラーム信号VFoがオフからオンに切り替わったタイミングで、IGBT11の保護機能が開始したと判断し、保護動作信号Vproをオンにする。そして、保護動作判断回路23は、アナログアラーム信号VFo_intが一定値に復帰するタイミングで、IGBT11の保護機能が終了したと判断し、保護動作信号Vproをオフにする。
実施の形態3に係る半導体素子の駆動装置1Aは、アラーム信号VFoをアナログ信号に変換するローパスフィルタ27を備える。保護動作判断回路23は、エラー信号Verrおよびアナログ信号に変換されたアラーム信号であるアナログアラーム信号VFo_intにより、IGBT11の保護機能が動作しているか否かを判断する。このように、ローパスフィルタ27を駆動装置1A内に備えることにより、駆動装置1Aの外部の復調回路の設計が容易になる。
<D.実施の形態4>
実施の形態4の駆動装置の構成は、実施の形態1−3の駆動装置と同様である。しかし、実施の形態4では、電流異常に関するアラーム信号VFo(SC)が、図16に示すように単一のパルスで構成される。なお、他の種類の異常に関するアラーム信号VFo(UV),VFo(OT)は、実施の形態1−3と同様、複数のパルスで構成される。
電流検出回路SCは、予め設定された電流値以上の過電流が半導体素子に流れた場合に異常を検出し、半導体素子の保護動作を実施する。このとき、半導体素子に過電流が流れる期間は最大で数μsから数十μsであり、これを超えてしまうと半導体素子自体が破壊してしまう可能性がある。一方で、半導体素子の制御電源電圧と温度に関する異常期間には上限がなく、数msや数十msもありうる。従って、電流検出回路SCに対応するアラーム信号VFo(SC)のみ、単一のパルスで構成することにより、アラーム信号出力期間tFoを短く設定することが可能である。
実施の形態4に係る半導体素子の駆動装置において、検出回路21は、半導体素子の電流異常を検出する電流検出回路SCを備える。そして、アラーム信号生成回路は、電流検出回路SCが異常を検出した場合に生成されたエラー信号Verr(SC)を受けて、一つのパルスからなるアラーム信号VFo(SC)を生成し、電流検出回路SC以外の検出回路が異常を検出した場合に生成されたエラー信号Verrを受けて、複数のパルスからなるアラーム信号VFoを生成する。これにより、半導体素子の電流異常を制御電源電圧異常または温度異常等、他の異常と明確に区別することができる。
<E.実施の形態5>
図17は、実施の形態5に係る半導体装置105の要部概略構成を示す図である。半導体装置105は、インバータ10と、U,V,W相の上アームのIGBT11,12,13を駆動する駆動装置31と、U,V,W相の下アームのIGBT14,15,16を駆動する駆動装置32とを備える。
図18は、駆動装置31の概略構成を示す図である。駆動装置32の構成は駆動装置31と同様であるため、その説明は省略する。駆動装置31は、検出回路21、論理回路22、保護動作判断回路23、識別パルス生成回路24、MOSFET25、およびANDゲート26,28,29を備えている。すなわち、駆動装置31は、実施の形態1の駆動装置1の構成にANDゲート28,29を加えたものである。ANDゲート28には、V相の制御信号VCIN(Vn)と保護動作判断回路23からの信号が入力され、V相のゲート制御信号Vout(VN)を出力する。ANDゲート29には、W相の制御信号VCIN(Wn)と保護動作判断回路23からの信号が入力され、W相のゲート制御信号Vout(WN)を出力する。
実施の形態5に係る駆動装置31は、複数相の半導体素子であるIGBT11,12,13に共用される。具体的には、駆動装置31では、検出回路21、論理回路22、保護動作判断回路23、識別パルス生成回路24、およびMOSFET25をU,V,W相で共有する。これにより、回路の小型化が図られる。本実施の形態の構成は、特にトランスファーモールドタイプのIPMなどにおいて、複数の相の駆動回路をHVIC(High Voltage Integrated Circuit)やLVIC(Low Voltage Integrated Circuit)で構成する場合に有効である。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。
1−6,1A−6A 駆動装置、10 インバータ、11−16 IGBT、21 検出回路、22 論理回路、23 保護動作判断回路、24 識別パルス生成回路、25 MOSFET、26,28,29 ANDゲート、27,30 ローパスフィルタ、101,103,105 半導体装置、D1−D6 還流ダイオード、OT 温度検出回路、SC 電流検出回路、UV 制御電源電圧検出回路。

Claims (5)

  1. 半導体素子の異なる種類の異常を検出する複数の検出回路と、
    少なくとも1つの前記検出回路が異常を検出した場合にエラー信号を生成する論理回路と、
    前記エラー信号を受けて、異常を検出した前記検出回路毎に異なるパルス幅を持つ1又は複数のパルスからなるアラーム信号を生成するアラーム信号生成回路と、
    前記エラー信号および前記アラーム信号に基づき前記半導体素子の保護機能が動作しているか否かを判断し、前記保護機能が動作していると判断した場合には前記半導体素子への駆動信号の入力を遮断する保護動作判断回路と、
    を備える、
    半導体素子の駆動装置。
  2. 前記アラーム信号の周波数は、異常を検出した前記検出回路によらず一定であり、
    前記アラーム信号のデューティ比は、異常を検出した前記検出回路に応じて異なる、
    請求項1に記載の半導体素子の駆動装置。
  3. 前記アラーム信号をアナログ信号に変換するローパスフィルタをさらに備え、
    前記保護動作判断回路は、前記エラー信号およびアナログ信号に変換された前記アラーム信号により前記半導体素子の保護機能が動作しているか否かを判断する、
    請求項2に記載の半導体素子の駆動装置。
  4. 前記検出回路は、前記半導体素子の電流異常を検出する電流検出回路を備え、
    前記アラーム信号生成回路は、前記電流検出回路が異常を検出した場合に生成された前記エラー信号を受けて、一つのパルスからなる前記アラーム信号を生成し、前記電流検出回路以外の前記検出回路が異常を検出した場合に生成された前記エラー信号を受けて、複数のパルスからなる前記アラーム信号を生成する、
    請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体素子の駆動装置。
  5. 複数相の前記半導体素子に共用される、
    請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体素子の駆動装置。
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