JP2019179935A - 光源のための波長安定化 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- パルスの第1のサブセットを含む光パルスの第1のバースト、及びパルスの第2のサブセットを含む光パルスの第2のバーストを少なくとも含む、光源から放射されたパルス光ビームを受けることと、
特定のパルスの波長と目標波長の差である、前記パルスの第1のサブセット中の各パルスの波長誤差を決定することと、
決定された前記波長誤差に基づいて、前記パルスの第1のサブセット中の各パルスに関連付けられた補正信号を含む毎パルス補正信号を決定することと、
決定された前記毎パルス補正信号に基づく補正を、前記パルスの第2のサブセット中の各パルスに適用することにより、前記パルスの第2のサブセット中の前記パルスの波長誤差を低減することと、を含む方法。 - 前記決定された波長誤差に基づいて毎パルス補正信号を決定することは、前記パルスの第1のバースト内の各パルスの電圧信号を決定することを含み、
前記パルスの第2のサブセット中の各パルスに補正を適用することは、前記パルスの第2のサブセット中のパルスと相互作用する光学素子に結合されたアクチュエータに前記電圧信号を印加することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記光学素子は、前記電圧信号を前記アクチュエータに印加することに応答して移動し、これによって、前記光学素子と相互作用するパルスの波長を変化させる、請求項2に記載の方法。
- 前記パルスの第1のサブセットは、前記光パルスの第1のバーストの全ての光パルスより少ない光パルスを含み、前記パルスの第2のサブセットは、前記光パルスの第2のバーストの全ての光パルスより少ない光パルスを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記パルスの第1のサブセットは、前記パルスの第1のバースト内の最初のN個のパルスを含み、前記パルスの第2のサブセットは、前記パルスの第2のバースト内の最初のN個のパルスを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記決定された毎パルス補正信号をフィルタリングすることを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記決定された毎パルス補正信号をフィルタリングすることは、周波数閾値よりも大きい周波数と関連付けられた前記毎パルス補正信号の部分を低減するフィルタを含むローパスフィルタを、前記決定された毎パルス補正信号に適用することを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記決定された毎パルス補正信号をフィルタリングすることは、前記パルスの第1のバースト内の各パルスの前記波長誤差を含む、決定された波長誤差信号にローパスフィルタを適用することを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記光パルスの第1のバーストと前記光パルスの第2のバーストは、一時的期間により分離され、前記毎パルス補正信号は、前記一時的期間の間に決定される、請求項1に記載の方法。
- 光パルスの第2のバーストは、前記光の第1のバーストの後に発生し、前記毎パルス補正信号は、前記光の第1のバーストが発生した後にのみ決定される、請求項9に記載の方法。
- フィルタリングされた決定された毎パルス補正信号を前記一時的期間の間に決定することを更に含む、請求項9に記載の方法。
- 1つ以上のバーストが、前記第1のバースト及び前記第2のバーストが時間的に非連続的となるように、前記第1のバースト及び前記第2のバースト間に発生する、請求項1に記載の方法。
- 前記光パルスの第1のバーストは、時間的に前記光パルスの第2のバーストの直前のバーストである、請求項12に記載の方法。
- 前記パルス光ビームは、パルスの第3のサブセットを含む光パルスの第3のバーストを含み、
前記補正を適用した後に、前記パルスの第2のサブセット中の各パルスの前記波長誤差を決定することと、
各パルスの前記波長誤差を上限及び下限と比較することと、
閾値数のパルスの波長誤差が前記上限よりも大きい、又は前記下限よりも小さい場合は、前記パルスの第2のサブセットのための毎パルス補正信号を、前記パルスの第2のサブセット中の各パルスの前記決定された波長誤差に基づいて決定することと、
前記パルスの第2のサブセットに対する前記毎パルス補正信号に基づく補正を、前記パルスの第3のサブセット中の各パルスに適用することと、
を更に含む、請求項1に記載の方法。 - 前記光パルスの第2のバースト内の複数のパルスの波長誤差を決定することと、
前記光源中の二次撹乱を表すモデルにアクセスすることと、
前記アクチュエータの力学を表すモデルにアクセスすることと、
前記光パルスの第2のバースト内の前記複数のパルスの決定された前記波長誤差、並びに前記二次撹乱のモデル及び前記アクチュエータの力学を表すモデルのうちの1つ以上に基づいて、第2の補正信号を決定することと、を更に含み、
前記決定された毎パルス補正信号に基づく補正を前記パルスの第2のサブセット中の各パルスに適用することは、前記第2の補正信号を前記パルスの第2のサブセット中のパルスの少なくともいくつかに印加することを更に含む、請求項2に記載の方法。 - 前記決定された毎パルス補正信号及び前記第2の補正信号に基づく前記補正は、前記パルスの第2のサブセット中のパルスに印加される前に付加される、請求項15に記載の方法。
- 前記パルスの第1のサブセット中の各パルスの波長を決定することを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 時間的に分離され、それぞれが動作状態と共に変動する過渡的波長誤差を含む、少なくとも光パルスの第1のバースト及び光パルスの第2のバーストを含む、光源から放射されたパルス光ビームを受けることと、
特定のパルスの波長誤差が前記特定のパルスの波長と目標波長の差である、前記パルスの第1のバースト内の2つ以上のパルスの波長誤差を決定することと、
前記光パルスの第1のバーストの前記過渡的波長誤差を、前記決定された波長誤差に基づいて決定することと、
決定された前記過渡的波長誤差に基づいて補正信号を決定することと、
前記補正信号に基づく補正を前記光パルスの第2のバーストのパルスの少なくともいくつかに適用することによって、前記パルスの第1のバーストの前記過渡的波長誤差と比較して前記パルスの第2のバーストの前記過渡的波長誤差を低減することと、を含む方法。 - 動作状態と共に変動する前記過渡的波長誤差は、与えられた一組の動作状態の下で発生したパルスのバースト間でほぼ不変である、請求項18に記載の方法。
- 前記過渡的波長誤差は、前記パルス光ビームを放射する前記光源のチャンバ内の音響事象から生じる、請求項18に記載の方法。
- 前記過渡的波長誤差は、二次又は三次システムのインパルス応答により特徴付けられる、請求項18に記載の方法。
- 前記パルスの第1のサブセットは、前記光パルスの第1のバーストの全てのパルスより少ないパルスを含み、前記パルスの第2のサブセットは、前記光パルスの第2のバーストの全てのパルスより少ないパルスを含む、請求項18に記載の方法。
- パルス光ビームを放射する光源用の、前記光源に結合するように構成されたコントローラであって、前記コントローラは、
1つ以上の電子プロセッサと、
前記1つ以上の電子プロセッサの1つ以上に結合された非一時的コンピュータ可読記憶媒体であって、
前記1つ以上の電子プロセッサにより実行されるとき、
パルスの第1のサブセットを含む光パルスの第1のバースト、及びパルスの第2のサブセットを含む光パルスの第2のバーストを少なくとも含む、前記光源から放射されたパルス光ビームの情報にアクセスすることと、
特定のパルスの波長と目標波長の差である、前記パルスの第1のサブセット中の各パルスの波長誤差を決定することと、
決定された前記波長誤差に基づいて、前記パルスの第1のサブセット中の各パルスに関連付けられた補正信号を含む毎パルス補正信号を決定することと、
決定された前記毎パルス補正信号に基づく補正を、前記パルスの第2のサブセット中の各パルスに適用することにより、前記パルスの波長誤差を低減することと、
を含む動作を前記1つ以上のプロセッサに実行させる命令が記憶されたコンピュータ可読記憶媒体と、を含むコントローラ。 - 一時的期間により分離され、それぞれが一時的繰り返し率で発生する光パルスを含むバーストを含む光ビームを放射するように構成された光源と、
前記光のバースト内の光パルスの波長を測定するように構成された線中心分析モジュールと、
前記一時的繰り返し率で前記波長の測定値を受けるように構成されたコントローラと、を含む光システムであって、
前記コントローラは、
パルスの第1のバースト内の前に発生したパルスの波長誤差に基づくフィードバック補正信号を決定して、前記パルスの第1のバースト内の特定のパルスの波長誤差を補償するように構成されたフィードバックモジュールと、
前に発生したバースト内の対応するパルスに基づいて、前記パルスの第1のバースト内の特定のパルスの波長誤差を補償するためのフィードフォワード補正信号を決定するように構成されたフィードフォワード安定化モジュールと、
実行されるとき、前記特定のバーストに対するフィードフォワード補正信号と前記特定のバーストに対するフィードバック信号を結合して、前記特定のバーストに対する結合補正信号を形成させ、前記結合補正信号を前記光源に供給して、前記第1のバースト内の前記特定のパルスの波長誤差を低減させる命令を含む非一時的なコンピュータ可読媒体に結合された1つ以上の電子プロセッサと、を含む、光システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/681,675 US10816905B2 (en) | 2015-04-08 | 2015-04-08 | Wavelength stabilization for an optical source |
US14/681,675 | 2015-04-08 | ||
JP2017550719A JP6557353B2 (ja) | 2015-04-08 | 2016-03-18 | 光源のための波長安定化 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017550719A Division JP6557353B2 (ja) | 2015-04-08 | 2016-03-18 | 光源のための波長安定化 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019179935A true JP2019179935A (ja) | 2019-10-17 |
JP6985338B2 JP6985338B2 (ja) | 2021-12-22 |
Family
ID=57073328
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017550719A Active JP6557353B2 (ja) | 2015-04-08 | 2016-03-18 | 光源のための波長安定化 |
JP2019129528A Active JP6985338B2 (ja) | 2015-04-08 | 2019-07-11 | 光源のための波長安定化 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017550719A Active JP6557353B2 (ja) | 2015-04-08 | 2016-03-18 | 光源のための波長安定化 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10816905B2 (ja) |
JP (2) | JP6557353B2 (ja) |
KR (2) | KR102028679B1 (ja) |
CN (1) | CN107925214B (ja) |
TW (1) | TWI600993B (ja) |
WO (1) | WO2016164157A1 (ja) |
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- 2016-03-18 WO PCT/US2016/023281 patent/WO2016164157A1/en active Application Filing
- 2016-03-18 KR KR1020177032257A patent/KR102028679B1/ko active IP Right Grant
- 2016-03-18 KR KR1020197028558A patent/KR102123856B1/ko active IP Right Grant
- 2016-03-31 TW TW105110381A patent/TWI600993B/zh active
-
2019
- 2019-07-11 JP JP2019129528A patent/JP6985338B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107925214B (zh) | 2020-04-03 |
JP2018517278A (ja) | 2018-06-28 |
US10816905B2 (en) | 2020-10-27 |
JP6985338B2 (ja) | 2021-12-22 |
TWI600993B (zh) | 2017-10-01 |
JP6557353B2 (ja) | 2019-08-07 |
KR20190112865A (ko) | 2019-10-07 |
WO2016164157A1 (en) | 2016-10-13 |
US20160299441A1 (en) | 2016-10-13 |
KR20170136575A (ko) | 2017-12-11 |
KR102028679B1 (ko) | 2019-10-04 |
CN107925214A (zh) | 2018-04-17 |
KR102123856B1 (ko) | 2020-06-17 |
TW201640246A (zh) | 2016-11-16 |
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