JP2008527683A - ガス放電レーザ帯域幅及び中心波長制御の方法及び機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】能動帯域幅調節機構を含むことができる帯域幅コントローラと、この帯域幅調節機構に入射した時にレーザシステム内で発生しかつ線狭化されるレーザ光パルスの波面に及ぼすレーザシステム作動の影響のモデルに基づいて帯域幅熱遷移補正を実施するアルゴリズムを利用して能動帯域幅調節機構を能動的に制御するコントローラと含むことができる、ガス放電レーザシステムに発生したレーザ出力光パルスにおける帯域幅を制御するためのガス放電レーザシステム帯域幅制御機構及び作動方法。コントローラアルゴリズムは、ガス放電レーザシステムの光学列の少なくとも一部分における電力集中履歴の関数、例えば線形関数、例えば、各々がそれぞれの減衰時間定数とそれぞれの係数とを含む複数の減衰関数の組合せを含むことができる。
【選択図】図8
Description
関連出願
本出願は、代理人整理番号第2004−0081−01号である2004年11月30日出願の「高電力高パルス繰返し数ガス放電レーザシステム帯域幅管理」という名称の米国特許出願出願番号第11/000571号の一部継続出願であり、かつ代理人整理番号第2004−0046−01号である2004年9月28日出願の「レーザ出力光パルスビームパラメータ遷移の補正」という名称の現在特許出願中の米国特許出願出願番号第10/935249号に関連する代理人整理番号第2005−0076−01号である2005年10月20日出願の「ガス放電レーザ帯域幅及び中心波長制御の方法及び機器」という名称の米国特許出願出願番号第11/254、282号に対する優先権を請求するものであり、これらの各々の開示内容は、本明細書において引用により組み込まれている。
本発明の実施形態の態様により、本出願人は、作動した帯域幅コントローラ(BCD)、例えば、波長選択光学要素、例えば、オンデマンドで例えばフィードフォワード制御アルゴリズムに基づいて例えば円筒形波面変形を導入することができるエシェル回折格子又は類似の作動した光学要素の曲率を変える機構を用いて、帯域幅及び中心波長遷移を補正するための機器及び方法を提案する。
フィードバック制御は、望ましい作動点が最小帯域幅近くである場合には、例えば、BCD曲率アクチュエータ位置の変化に対する帯域幅の変化の非線形性のために達成可能ではない。
帯域幅は、少なくとも考察対象の遷移に関連した時間スケールでは、例えば帯域幅に及ぼす他の比較的長い時間スケールの影響、例えばレーザシステム内のハロゲン含有量、例えばF2含有量の変化を無視する場合、瞬間的な波面曲率の確定非線形関数であり、それ以外の何者でもない。すなわち、波面曲率の値と帯域幅の値の間には、図1の曲線によって示めされるように1:1の関係がある。この関係は直線ではなく、すなわち、非線形的なものである。
従って、本発明の実施形態の態様によれば、特徴付け及びモデル較正は、BW対曲率があらゆる遷移に対してほぼ線形であるように、例えば、最小値(最も実際的には、例えば、曲線の凹状分岐上)から十分に離れた曲率20、22上の固定BCD位置を選択することによって実行することができる。本出願人は、帯域幅最小値近くの特徴付けでは、あらゆる適切に小さい制御アルゴリズム内の非線形性のために、例えば、1)線形化センサ、例えば、何らかの種類の実際の波面センサ、又は2)遥かに複雑な非線形制御アルゴリズム、例えば神経網、又は実際的な効果を得るには遥かに複雑すぎるか又は不確かで高価であるか又は計算集約的に時間を消費しすぎる他のポストモダンな制御法のいずれかの使用なしに使用可能なデータは生成されないであろうと考えている。
例えば、κ(t)=costを維持するためのBCDに対する制御信号は、純粋に光パワーベース、例えば、負荷サイクルベースとすることができる。例えば、それは、κ(t)=costを維持するように設計されたフィードフォワード信号とすることができる。帯域幅コントローラが、例えば、帯域幅の何らかの選択範囲内にあることを保証するフィードバック部分は、例えば、帯域幅に影響を与えるよりゆっくりと変化するパラメータで、例えば、フッ素含有量制御と共に利用することができる。開始デフォルト「冷間定常」BCD位置は、E95を望ましい範囲内で中心部に置くために、又はE95をただ最小にするために、較正時に新鮮なガスで調整することができる。代替的に、遅いBCDデザーを用いて遅いフィードバックを行い、遅いフィードバック信号に加算的に高速フィードフォワード信号でBCDを定常状態で帯域幅最小値に保つことができる。
40 バースト
50 BCDフィードフォワード補正曲線
Claims (35)
- ガス放電レーザシステムに発生したレーザ出力光パルスにおける帯域幅を制御するためのガス放電レーザシステム帯域幅制御機構であって、
能動帯域幅調節機構、
を含む帯域幅コントローラと、
前記能動帯域幅調節機構に入射した時にガス放電レーザシステムに発生しかつ線狭化されるレーザ光パルスの波面に及ぼすレーザシステム作動の影響のモデルに基づいて帯域幅熱遷移補正を実施するアルゴリズムを利用して、該帯域幅調節機構を能動的に制御するコントローラと、
を含むことを特徴とするガス放電レーザシステム帯域幅制御機構。 - 前記コントローラアルゴリズムは、前記ガス放電レーザシステムの光学列の少なくとも一部分における電力集中履歴の関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記コントローラアルゴリズムは、前記ガス放電レーザシステムの光学列の少なくとも一部分における電力集中履歴の線形関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記コントローラアルゴリズムは、各々がそれぞれの減衰時間定数及びそれぞれの係数を含む複数の減衰関数の組合せを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記コントローラアルゴリズムは、各々がそれぞれの減衰時間定数及びそれぞれの係数を含む複数の減衰関数の組合せを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記コントローラアルゴリズムは、各々がそれぞれの減衰時間定数及びそれぞれの係数を含む複数の減衰関数の組合せを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数は、3つまでの別々の減衰関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数は、3つまでの別々の減衰関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数は、3つまでの別々の減衰関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数の各々は、異なる減衰時間定数及び異なる係数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数の各々は、異なる減衰時間定数及び異なる係数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数の各々は、異なる減衰時間定数及び異なる係数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項9に記載の機器。 - ガス放電レーザシステムに発生したレーザ出力光パルスにおける帯域幅を制御するためのガス放電レーザシステム帯域幅制御機構であって、
レーザ出力光パルスに対する中心波長を選択するように作動する分散光学要素を含み、かつ調節可能な波面形状を有し、該選択中心波長を取り囲むスペクトルの帯域幅に及ぼす該波面形状の影響が、入射面の選択曲率に対する該帯域幅の応答をプロットする曲線によって表される入射面を更に含む能動帯域幅調節機構、
を含む帯域幅コントローラと、
前記帯域幅調節機構の前記表面に入射する前記レーザ光の前記波面に及ぼすレーザシステム作動の影響のモデルに基づいて帯域幅熱遷移補正を実施するアルゴリズムを利用して、前記調節可能な波面形状を制御する帯域幅コントローラと、
を含み、
前記帯域幅コントローラアルゴリズムは、前記入射面の曲率の選択された変化に対する前記帯域幅応答が比較的線形である前記曲線の領域において較正され、該較正された帯域幅コントローラアルゴリズムは、該入射面の曲率の選択された変化に対する該帯域幅応答が比較的非線形である該曲線の領域における帯域幅熱遷移補正のために使用される、
ことを特徴とするガス放電レーザシステム帯域幅制御機構。 - 前記コントローラアルゴリズムは、前記ガス放電レーザシステムの光学列の少なくとも一部分における電力集中履歴の関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記コントローラアルゴリズムは、前記ガス放電レーザシステムの光学列の少なくとも一部分における電力集中履歴の線形関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記コントローラアルゴリズムは、各々がそれぞれの減衰時間定数及びそれぞれの係数を含む複数の減衰関数の組合せを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記コントローラアルゴリズムは、各々がそれぞれの減衰時間定数及びそれぞれの係数を含む複数の減衰関数の組合せを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項14に記載の機器。 - 前記コントローラアルゴリズムは、各々がそれぞれの減衰時間定数及びそれぞれの係数を含む複数の減衰関数の組合せを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項15に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数は、3つまでの別々の減衰関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項16に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数は、3つまでの別々の減衰関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項17に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数は、3つまでの別々の減衰関数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項18に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数の各々は、異なる減衰時間定数及び異なる係数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項19に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数の各々は、異なる減衰時間定数及び異なる係数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項20に記載の機器。 - 前記複数の減衰関数の各々は、異なる減衰時間定数及び異なる係数を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項21に記載の機器。 - ガス放電レーザシステムに発生したレーザ出力光パルスにおける帯域幅を制御するためのガス放電レーザシステム帯域幅制御機構であって、
能動帯域幅調節機構、
を含む帯域幅コントローラと、
前記帯域幅調節機構に入射した時にガス放電レーザシステムに発生しかつ線狭化されるレーザ光パルスの波面に及ぼすレーザシステム作動の影響のモデルに基づく短期帯域幅制御の実施、及び
前記ガス放電レーザシステムにおけるレージングガス混合物中のハロゲンガス含有量の調節に基づく長期帯域幅制御の実施、
を含むアルゴリズムを利用して、前記能動帯域幅調節機構を制御するコントローラと、
を含むことを特徴とするガス放電レーザシステム帯域幅制御機構。 - ガス放電レーザシステムに発生したレーザ出力光パルスにおける帯域幅を制御するためのガス放電レーザシステム帯域幅制御機構であって、
能動帯域幅調節機構、
を含む帯域幅コントローラと、
ガス放電レーザシステムの光学列の少なくとも一部分に掛かる熱負荷の時間平均の変化に応答する帯域幅変動のモデルに基づくフィードフォワード制御機能、
を含むアルゴリズムを利用して、前記能動帯域幅調節機構を制御するコントローラと、
を含むことを特徴とするガス放電レーザシステム帯域幅制御機構。 - ガス放電レーザシステムに発生したレーザ出力光パルスにおける帯域幅を制御するためのガス放電レーザシステム帯域幅制御機構であって、
レーザ出力光パルスに対する中心波長を選択するように作動する分散光学要素を含み、かつ調節可能な波面形状を有し、該選択中心波長を取り囲むスペクトルの帯域幅に及ぼす影響を入射面の選択曲率に対する該帯域幅の応答をプロットする曲線によって表すことができる入射面を更に含む能動帯域幅調節機構、
を含む短期遷移補償機構、
を含む帯域幅コントローラと、
前記帯域幅調節機構の前記表面に入射する前記レーザ光の前記波面に及ぼすレーザシステム作動の影響のモデルに基づいて帯域幅熱遷移補正を実施する帯域幅コントローラアルゴリズムと、
前記ガス放電レーザシステムにおけるレージングガス混合物中のハロゲンガス含有量を調節する段階、
を含む長期帯域幅制御アルゴリズムと、
を含むことを特徴とするガス放電レーザシステム帯域幅制御機構。 - ガス放電レーザシステムに発生したレーザ出力光パルスにおける帯域幅を制御するためのガス放電レーザシステム帯域幅制御機構を作動する方法であって、
レーザ出力光パルスに対する中心波長を選択するように作動する分散光学要素を含み、かつ調節可能な波面形状を有し、該選択中心波長を取り囲むスペクトルの帯域幅に及ぼす影響を入射面の選択曲率に対する該帯域幅の応答をプロットする曲線によって表すことができる入射面を更に含む能動帯域幅調節機構を使用する段階、及び
前記帯域幅調節機構の前記表面に入射する前記レーザ光の前記波面に及ぼすレーザシステム作動の影響のモデルに基づいて帯域幅熱遷移補正を実施する帯域幅コントローラアルゴリズムを使用する段階、
を含む短期遷移補償方法と、
前記ガス放電レーザシステムにおけるレージングガス混合物中のハロゲンガス含有量を調節する段階、
を含む長期帯域幅制御方法と、
を含む帯域幅コントローラを利用する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記応答が比較的線形である前記曲線の領域における前記入射面の前記曲率の変化によって誘発される帯域幅の変化から前記モデルを導出する段階、及び該応答が比較的非線形である前記レーザシステムの望ましい作動範囲にそのモデルを使用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項28に記載の方法。 - 前記長期は、ハロゲンガス補充間の時間を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項28に記載の方法。 - 前記長期は、ハロゲンガス補充間の時間を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項29に記載の方法。 - ガス放電レーザシステムに発生したレーザ出力光パルスにおける帯域幅を制御するためのガス放電レーザシステム帯域幅制御機構を作動する方法であって、
レーザ出力光パルスに対する中心波長を選択するように作動する分散光学要素を含み、かつ調節可能な波面形状を有し、該選択中心波長を取り囲むスペクトルの帯域幅に及ぼす影響を入射面の選択曲率に対する該帯域幅の応答をプロットする曲線によって表すことができる入射面を更に含む能動帯域幅調節機構を使用する段階、及び
前記帯域幅調節機構の前記表面に入射する前記レーザ光の前記波面に及ぼすレーザシステム作動の影響のモデルに基づいて帯域幅熱遷移補正を実施する帯域幅コントローラアルゴリズムを使用する段階、
を含む短期遷移補償方法と、
前記ガス放電レーザシステムにおけるレージングガス混合物中のハロゲンガス含有量を調節する段階、
を含む長期レーザパラメータ制御方法と、
を含む帯域幅コントローラを利用する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記応答が比較的線形である前記曲線の領域における前記入射面の前記曲率の変化によって誘発される帯域幅の変化から前記モデルを導出する段階、及び該応答が比較的非線形である前記レーザシステムの望ましい作動範囲にそのモデルを使用する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項32に記載の方法。 - 前記長期は、ハロゲンガス補充間の時間を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項32に記載の方法。 - 前記長期は、ハロゲンガス補充間の時間を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項33に記載の方法。
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---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017134745A1 (ja) * | 2016-02-02 | 2017-08-10 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化レーザ装置 |
JP2019179935A (ja) * | 2015-04-08 | 2019-10-17 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | 光源のための波長安定化 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7778302B2 (en) * | 2005-11-01 | 2010-08-17 | Cymer, Inc. | Laser system |
KR101238739B1 (ko) * | 2005-11-01 | 2013-03-04 | 사이머 인코포레이티드 | 레이저 시스템 |
US7999915B2 (en) * | 2005-11-01 | 2011-08-16 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7715459B2 (en) * | 2005-11-01 | 2010-05-11 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7920616B2 (en) * | 2005-11-01 | 2011-04-05 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7630424B2 (en) * | 2005-11-01 | 2009-12-08 | Cymer, Inc. | Laser system |
US20090296755A1 (en) * | 2005-11-01 | 2009-12-03 | Cymer, Inc. | Laser system |
US20090296758A1 (en) * | 2005-11-01 | 2009-12-03 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7643529B2 (en) | 2005-11-01 | 2010-01-05 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7746913B2 (en) | 2005-11-01 | 2010-06-29 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7885309B2 (en) | 2005-11-01 | 2011-02-08 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7822084B2 (en) * | 2006-02-17 | 2010-10-26 | Cymer, Inc. | Method and apparatus for stabilizing and tuning the bandwidth of laser light |
US7852889B2 (en) * | 2006-02-17 | 2010-12-14 | Cymer, Inc. | Active spectral control of DUV light source |
US8259764B2 (en) | 2006-06-21 | 2012-09-04 | Cymer, Inc. | Bandwidth control device |
JP5114767B2 (ja) * | 2006-10-10 | 2013-01-09 | 株式会社小松製作所 | 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置 |
US7659529B2 (en) * | 2007-04-13 | 2010-02-09 | Cymer, Inc. | Method and apparatus for vibration reduction in laser system line narrowing unit wavelength selection optical element |
US8144739B2 (en) | 2008-10-24 | 2012-03-27 | Cymer, Inc. | System method and apparatus for selecting and controlling light source bandwidth |
US8837536B2 (en) * | 2010-04-07 | 2014-09-16 | Cymer, Llc | Method and apparatus for controlling light bandwidth |
JP5755068B2 (ja) * | 2011-07-27 | 2015-07-29 | 株式会社小松製作所 | 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置 |
JP6113426B2 (ja) | 2011-09-08 | 2017-04-12 | ギガフォトン株式会社 | マスタオシレータシステムおよびレーザ装置 |
JP5832581B2 (ja) * | 2014-04-28 | 2015-12-16 | 株式会社小松製作所 | 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置 |
CN107851958B (zh) | 2015-08-07 | 2021-01-12 | 极光先进雷射株式会社 | 窄带化激光装置 |
WO2018229823A1 (ja) * | 2017-06-12 | 2018-12-20 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置、及びレーザ装置管理システム、並びにレーザ装置の管理方法 |
JP2023183776A (ja) | 2022-06-16 | 2023-12-28 | ギガフォトン株式会社 | Euv光生成システム、及び電子デバイスの製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5095492A (en) * | 1990-07-17 | 1992-03-10 | Cymer Laser Technologies | Spectral narrowing technique |
WO1998052261A1 (fr) * | 1997-05-09 | 1998-11-19 | Komatsu Ltd. | Laser retrecisseur de bande |
JPH1126856A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-29 | Komatsu Ltd | 反射型波長選択素子の曲げ機構 |
JPH1174601A (ja) * | 1997-07-01 | 1999-03-16 | Cymer Inc | 不安定な共鳴キャビティを用いた極めて狭い帯域のレーザ |
JP2000294864A (ja) * | 1999-02-11 | 2000-10-20 | Cymer Inc | 自動ビーム品質制御を備えたスマートレーザ |
JP2002198602A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-07-12 | Cymer Inc | 高速変形可能回折格子を有するスマートレーザ |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5898725A (en) * | 1997-01-21 | 1999-04-27 | Cymer, Inc. | Excimer laser with greater spectral bandwidth and beam stability |
US5982800A (en) * | 1997-04-23 | 1999-11-09 | Cymer, Inc. | Narrow band excimer laser |
US5852627A (en) * | 1997-09-10 | 1998-12-22 | Cymer, Inc. | Laser with line narrowing output coupler |
US6028879A (en) * | 1997-06-04 | 2000-02-22 | Cymer, Inc. | Narrow band laser with etalon based output coupler |
US6192064B1 (en) * | 1997-07-01 | 2001-02-20 | Cymer, Inc. | Narrow band laser with fine wavelength control |
US6094448A (en) * | 1997-07-01 | 2000-07-25 | Cymer, Inc. | Grating assembly with bi-directional bandwidth control |
USRE38054E1 (en) * | 1997-07-18 | 2003-04-01 | Cymer, Inc. | Reliable, modular, production quality narrow-band high rep rate F2 laser |
US5978409A (en) * | 1998-09-28 | 1999-11-02 | Cymer, Inc. | Line narrowing apparatus with high transparency prism beam expander |
US6671294B2 (en) * | 1997-07-22 | 2003-12-30 | Cymer, Inc. | Laser spectral engineering for lithographic process |
US6317447B1 (en) * | 2000-01-25 | 2001-11-13 | Cymer, Inc. | Electric discharge laser with acoustic chirp correction |
US6529531B1 (en) * | 1997-07-22 | 2003-03-04 | Cymer, Inc. | Fast wavelength correction technique for a laser |
US6078599A (en) * | 1997-07-22 | 2000-06-20 | Cymer, Inc. | Wavelength shift correction technique for a laser |
US6621846B1 (en) * | 1997-07-22 | 2003-09-16 | Cymer, Inc. | Electric discharge laser with active wavelength chirp correction |
US6853653B2 (en) * | 1997-07-22 | 2005-02-08 | Cymer, Inc. | Laser spectral engineering for lithographic process |
US6721340B1 (en) * | 1997-07-22 | 2004-04-13 | Cymer, Inc. | Bandwidth control technique for a laser |
US6141081A (en) * | 1997-08-08 | 2000-10-31 | Cymer, Inc. | Stepper or scanner having two energy monitors for a laser |
US6163559A (en) * | 1998-06-22 | 2000-12-19 | Cymer, Inc. | Beam expander for ultraviolet lasers |
US6567450B2 (en) * | 1999-12-10 | 2003-05-20 | Cymer, Inc. | Very narrow band, two chamber, high rep rate gas discharge laser system |
US6965624B2 (en) * | 1999-03-17 | 2005-11-15 | Lambda Physik Ag | Laser gas replenishment method |
US6625191B2 (en) * | 1999-12-10 | 2003-09-23 | Cymer, Inc. | Very narrow band, two chamber, high rep rate gas discharge laser system |
US6034978A (en) * | 1999-05-12 | 2000-03-07 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser with gas temperature control |
US6496528B2 (en) * | 1999-09-03 | 2002-12-17 | Cymer, Inc. | Line narrowing unit with flexural grating mount |
US6532247B2 (en) * | 2000-02-09 | 2003-03-11 | Cymer, Inc. | Laser wavelength control unit with piezoelectric driver |
AU3435501A (en) * | 1999-12-22 | 2001-07-03 | Cymer, Inc. | Line narrowed laser with bidirection beam expansion |
US6650666B2 (en) * | 2000-02-09 | 2003-11-18 | Cymer, Inc. | Laser wavelength control unit with piezoelectric driver |
US6408260B1 (en) * | 2000-02-16 | 2002-06-18 | Cymer, Inc. | Laser lithography quality alarm system |
US6738406B2 (en) * | 2000-06-19 | 2004-05-18 | Lambda Physik Ag | Precision measurement of wavelengths emitted by a molecular fluorine laser at 157nm |
US6690704B2 (en) * | 2001-04-09 | 2004-02-10 | Cymer, Inc. | Control system for a two chamber gas discharge laser |
US6735225B2 (en) * | 2001-06-07 | 2004-05-11 | Lambda Physik Ag | Chirp compensation method and apparatus |
US6760358B1 (en) * | 2001-06-07 | 2004-07-06 | Lambda Physik Ag | Line-narrowing optics module having improved mechanical performance |
-
2005
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5095492A (en) * | 1990-07-17 | 1992-03-10 | Cymer Laser Technologies | Spectral narrowing technique |
WO1998052261A1 (fr) * | 1997-05-09 | 1998-11-19 | Komatsu Ltd. | Laser retrecisseur de bande |
JPH1126856A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-29 | Komatsu Ltd | 反射型波長選択素子の曲げ機構 |
JPH1174601A (ja) * | 1997-07-01 | 1999-03-16 | Cymer Inc | 不安定な共鳴キャビティを用いた極めて狭い帯域のレーザ |
JP2000294864A (ja) * | 1999-02-11 | 2000-10-20 | Cymer Inc | 自動ビーム品質制御を備えたスマートレーザ |
JP2002198602A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-07-12 | Cymer Inc | 高速変形可能回折格子を有するスマートレーザ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019179935A (ja) * | 2015-04-08 | 2019-10-17 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | 光源のための波長安定化 |
WO2017134745A1 (ja) * | 2016-02-02 | 2017-08-10 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化レーザ装置 |
JPWO2017134745A1 (ja) * | 2016-02-02 | 2018-11-22 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化レーザ装置 |
US10283927B2 (en) | 2016-02-02 | 2019-05-07 | Gigaphoton Inc. | Line narrowed laser apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060114958A1 (en) | 2006-06-01 |
WO2006060361A2 (en) | 2006-06-08 |
US7643522B2 (en) | 2010-01-05 |
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