JP2013511842A - 最新レーザ波長制御 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
ここで、x(t+T)は、初期状態x(t)よりT秒先んじた予測状態であり、eATは、線形システムの標準な状態遷移行列であり、Bは、標準入力行列である。
上述の方程式において、
・kは、レーザ発射イベントを示している。
・Iは、適切なサイズの恒等行列である(n行xn列、ここで、nは状態ベクトルxの要素数である)。
・Lkは、「新しいデータを信頼すること及び前の予測を信じること」の間の妥協点を捕捉する利得行列である。
・Ckは、予測状態から予測出力への標準的マッピング、例えば、y=Cxである。
・x(k/k)は、指標kでの最新データが与えられて更新された予測である。
・x(k/k−1)は、前のレーザ発射イベントk−1からのデータが与えられてレーザ発射指標kでの状態の「古い」予測である。
(C) Δu(mτc) = -Kx(mτc)
・mは、制御イベント(すなわち、電圧更新イベント)を示す。
・τcは、コントローラサンプル期間であり、従って、x(mτc)を(到来)電圧更新時の状態にする。
・Kは、制御エネルギ及び波長性能の加重和を最小にするために計算される状態フィードバック行列である。
(D) V(mτc) = V((m-1)τc) + Δu(mτc)
・V((m−1)τc)は、前の更新からのPZT制御信号である。
・Δu(mτc)は、方程式(C)の出力である。
・V(mτc)は、新しいPZT制御信号である。
前後関係が明確な時には、V(mτc)のような信号は、簡潔さを期すためにVmとして示すことになることに注意されたい。
402 計算制御部分
403 時間更新部分
430 粗い波長プリズム信号などの計算段階
445 判断ブロック
Claims (15)
- レーザ波長制御の方法であって、
第1の個別の間隔でレーザシステム内のプリズムの位置の予測を行う段階と、
第2の通常の間隔が前記第1の通常の間隔よりも長い第2の個別の間隔で前記レーザシステム内の主発振器チャンバの出力波長の測定値を受信する段階と、
各第1の個別の間隔中に、
前記出力波長測定値が前記第1の個別の間隔中に受信されなかった場合に、前記プリズムの前記予測位置を使用して該プリズムに対する制御電圧を制御コンピュータにおいて計算する段階、
前記出力波長測定値が前記第1の個別の間隔中に受信された場合に、該出力波長測定値を使用して前記プリズムの前記予測位置を更新し、該プリズムの該更新予測位置を使用して該プリズムに対する制御電圧を前記制御コンピュータにおいて計算する段階、及び
前記計算制御電圧を前記制御コンピュータから前記プリズムを位置決めするための電子機器に出力する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 第1の個別の間隔で前記プリズムの前記位置の前記予測を行う段階は、該プリズムの移動のモデルを使用することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記プリズムの移動の前記モデルは、該プリズムの物理的移動及び前記レーザシステム内の外乱に基づくことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- レーザ波長制御の方法であって、
第1の個別の間隔でレーザシステム内のプリズムの位置の予測を行う段階と、
第2の通常の間隔が前記第1の通常の間隔よりも長い第2の個別の間隔で前記レーザシステム内の主発振器チャンバの出力波長の測定値を受信する段階と、
各第1の個別の間隔中に、
前記出力波長測定値が前記第1の個別の間隔中に受信されなかった場合に、前記プリズムの前記予測位置を使用して該プリズムに対する制御電圧を制御コンピュータにおいて計算する段階、
前記出力波長測定値が前記第1の個別の間隔中に受信された場合に、
前記レーザが前記出力波長測定値を受信してから再び発射した場合に、該出力波長測定値を使用して前のプリズム位置予測を更新し、該更新された前のプリズム位置予測に基づいてプリズム位置予測の新しい予測を行い、かつ該新しいプリズム位置予測を使用して該プリズムに対する前記制御電圧を前記制御コンピュータにおいて計算する段階、及び
前記レーザが前記出力波長測定値を受信してから再び発射しなかった場合に、該出力波長測定値を使用して前記プリズムの前記予測位置を更新し、かつ該更新プリズム位置予測を使用して該プリズムに対する前記制御電圧を前記制御コンピュータにおいて計算する段階、及び
前記計算制御電圧を前記制御コンピュータから前記プリズムを位置決めするための電子機器に出力する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第1の個別の間隔は、前記第2の個別の間隔よりも短いことを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 第1の個別の間隔で前記プリズムの前記位置の前記予測を行う段階は、該プリズムの移動のモデルを使用することを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記プリズムの移動の前記モデルは、該プリズム物理的移動及び前記レーザシステム内の外乱に基づくことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- プリズムコントローラ方法であって、
プリズム移動モデルを使用してプリズムの位置を第1の個別の間隔で予測する段階と、
第2の通常の間隔が前記第1の通常の間隔よりも長い第2の個別の間隔で前記プリズムによって制御された主発振器チャンバの出力波長の測定値を受信する段階と、
各第1の個別の間隔中に、
前記出力波長測定値が前記第1の個別の間隔中に受信されなかった場合に、前記プリズムの前記予測位置を使用して該プリズムに対する制御電圧を計算する段階、
前記出力波長測定値が前記第1の個別の間隔中に受信された場合に、該出力波長測定値を使用して前記プリズムの前記予測位置を更新し、かつ該プリズムの該更新予測位置を使用して該プリズムに対する制御電圧を計算する段階、及び
前記計算制御電圧を前記プリズムを位置決めするための電子機器に出力する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第1の個別の間隔は、前記第2の個別の間隔よりも短いことを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 第1の個別の間隔で前記プリズムの前記位置の前記予測を行う段階は、該プリズムの移動のモデルを使用することを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記プリズムの移動の前記モデルは、該プリズム物理的移動及びレーザシステム内の外乱に基づくことを特徴とする請求項12に記載の方法。
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JP2011032681A (ja) | 貯水位情報処理装置及びプログラム |
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