JP2019166522A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- 電子部品の円形のワーク上のマスク中に溶融はんだを塗布するための流体吐出方法であって、前記溶融はんだを収容可能な、第1のヒータが設置されたタンクと、吐出ヘッドと、からなる、前記ワークの直径より短い長手方向幅のヘッド部を有し、前記吐出ヘッドには、該吐出ヘッドの進行方向の前方に、前記ワーク上のマスクの内容物を吸引するための吸引口が形成されるとともに、前記進行方向の後方に、前記溶融はんだを吐出するための吐出ノズルが形成されており、前記吐出ノズルの下端に第2のヒータが設置されている流体吐出装置を用い、前記第1のヒータで前記タンク内の前記溶融はんだを吐出できるように加熱し、ワークに対して前記吐出ヘッドを水平方向に移動させることで前記吸引口から前記マスク内の空気または流体を吸引した後、前記吐出ノズルから前記溶融はんだの吐出を行う、流体吐出方法。
- 請求項1の流体吐出方法において、
前記ワークに対して前記吐出ヘッドを水平方向に移動させることで、前記マスク内に吐出された溶融はんだを前記第2のヒータで加熱し、前記吸引口から前記マスク内に吐出された前記溶融はんだを吸引した後、前記吐出ノズルから前記溶融はんだの吐出を行う、流体吐出方法。 - 請求項1に記載の流体吐出方法において、前記タンク内の溶融はんだが消費されたとき、流体供給装置により、前記タンク内の溶融はんだの量が一定となるように追加の流体を供給する、流体吐出方法。
- 請求項1に記載の流体吐出方法において、前記ワークに対して前記吐出ヘッドを往復させる、流体吐出方法。
- 電子部品の円形のシリコンウエハ上のマスク中に溶融はんだを塗布することによってはんだバンプを形成するためのはんだバンプ形成装置であって、
前記溶融はんだを収容可能なタンクと吐出ヘッドからなる、前記シリコンウエハの直径より短い長手方向幅のヘッド部と、
前記タンクに設置され、前記タンク内の前記溶融はんだを吐出できるように加熱する第1のヒータと、
を備え、
前記吐出ヘッドには、前記溶融はんだを吐出するための吐出ノズルと、該吐出ノズルの近傍において前記吐出ノズルの両側に配置された吸引口であって、前記シリコンウエハ上のマスクの内容物を吸引するためのスリット状の開口部を有する吸引口と、が形成され、
前記吐出ヘッドの下端に第2のヒータが設置され、
前記吐出ヘッドは、前記吸引口から吸引することによって前記マスクの開口部の空気を減圧した後に前記吐出ノズルから前記溶融はんだを吐出するように前記マスク上を移動するように構成された
はんだバンプ形成装置。
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