JP2007229607A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 液体を収容する液室とこの液室に連通される複数のノズルとを有し、前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
   前記ノズルから吐出される前記液滴が塗布される被塗布体を保持する保持部と、
   前記液滴が塗布された前記被塗布体を乾燥させる乾燥部と、
   を備え、
   前記乾燥部は、
   前記液滴が塗布された前記被塗布体を収容するチャンバーと、
   前記チャンバー内に収容された前記被塗布体の上方空間の気体を前記被塗布体の中央領域と前記被塗布体の縁部領域との間で循環させる循環手段と、
   前記チャンバー内の気体を吸引する吸引部と、
   を有することを特徴とする液滴塗布装置。
2. 液滴が塗布された被塗布体を乾燥させる乾燥装置であって、
   前記乾燥装置は、
   前記液滴が塗布された前記被塗布体を収容するチャンバーと、
   前記チャンバー内に収容された前記被塗布体の上方空間の気体を前記被塗布体の中央領域と前記被塗布体の縁部領域との間で循環させる循環手段と、
   前記チャンバー内の気体を吸引する吸引部と、
   を有することを特徴とする乾燥装置。
3. 液滴を被塗布体に塗布するステップと、
   液滴が塗布された前記被塗布体をチャンバー内に収容するステップと、
   前記チャンバー内の前記被塗布体の上方空間の気体を中央領域と縁部領域との間で循環させるステップと、
   前記チャンバー内の気体を吸引するステップと、
   を備えることを特徴とする塗布体の製造方法。