KR101721129B1 - 진공건조장치의 건조실 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공건조장치의 건조실에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 공정대상물 외측에서 하강하는 기류에 의해 공정대상물 외측에 공정시에 투입한 액의 응축이나 공정대상물 표면에 얼룩이 발생하는 것을 방지하여 공정대상물에 대한 수율을 더욱 효과적으로 증진시키기 위해 건조실 외측에 기류조절부를 구성하는 진공건조장치의 건조실에 관한 것이다.

Description

진공건조장치의 건조실{Drying Chamber of Vacuum Drying Equipment}
본 발명은 진공건조장치의 건조실에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 공정대상물(10)인 Flexible Display의 Pi막 Coating 후 진공상태로 열처리할 때, 하강하는 기류에 의해 공정대상물 외측에 공정시에 투입한 액의 응축이나 공정대상물 표면에 얼룩이 발생하는 것을 방지하기 위한 진공건조장치의 건조실에 관한 것이다.
일반적으로, 진공건조장치의 건조실이라 하면 열처리하기 위해 단순히 공정대상물을 수용하는 것을 말한다.
종래의 진공건조장치의 건조실과 관련해서는, 일반적인 진공건조장치에 관한 발명에 포함되어 한국공개특허 공개번호 10-2013-0032171호(이하, '선행문헌') 외에 다수 출원 및 공개되어 있다.
상기한 선행문헌에 따른 진공건조장치의 건조실은, 진공상태에서 열을 공급해서 공정대상물을 열처리하기 위해 공정대상물을 수용하는 것을 특징으로 한다.
그러나 선행문헌을 포함한 종래에는, 진공상태로 열처리 공정을 진행할 때 진공건조장치의 건조실은 단순히 공정대상물을 수용만 할 뿐, 본원발명과 같이 기류조절을 통해 공정대상물 외측에 공정시에 투입한 액의 응축이나 공정대상물 표면에 얼룩이 발생하는 것을 방지하여 공정의 효율성을 증대시키는 경우는 전무하였다.
본 발명이 해결하려는 과제는, 상기 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 공정대상물을 진공상태에서 열처리 하는 과정에 있어서 진공건조장치의 건조실에 단순히 공정대상물을 수용만 하는 것이 아니라 하강하는 기류에 의해 공정대상물 외측에 공정시에 투입한 액의 응축이나 공정대상물 표면에 얼룩이 발생하는 것을 방지하여 공정대상물에 대한 수율을 더욱 효과적으로 증진시킬 수 있게 하는 것이다.
본 발명은 진공건조장치의 건조실에 관한 것으로서, 진공건조장치의 건조실에 있어서, 기체의 흐름이 공정대상물(10) 외측에서 하강함에 의해 상기 공정대상물(10)의 외측부분이 손상되는 것을 방지하기 위해 상기 기체의 흐름을 상기 공정대상물(10)의 내측과 외측에서 일정하게 하는 기류조절부(110), 상기 공정대상물(10)에 열처리하기 위해 상기 공정대상물(10)을 수용하고, 상기 기체가 아래로 흐를 수 있는 통로가 건조부(120) 외측에 형성되어 있는 건조부(120)와 상기 건조부(120) 내부에 수용된 상기 공정대상물(10)을 열처리하기 위해 상기 건조부(120) 내부에 열을 공급하는 열공급부(130)를 포함한다.
이때, 상기 기류조절부(110)는 상기 건조부(120) 내부의 가장 외측에 장착되고, 위에서 볼 때, 등변사다리꼴 모양으로 형성되어 있다.
아울러, 상기 기류조절부(110)는 상기 기류조절부(110)의 상기 등변사다리꼴의 평행한 대변과 수직한 단면이 상기 건조부(120) 외측으로 갈수록 높아지는 직각 삼각형 모양으로 형성되며, 상기 기류조절부(110)의 높이가 올라가는 방향에 외측 부분에는 상기 기체가 아래로 흐를 수 있는 통로부(111)를 더 포함한다.
또한 아울러, 상기 기류조절부(110)는 상기 직각삼각형의 빗변이 곡선으로 형성되어 있다.
또한 아울러, 상기 기류조절부(110)는 상기 기류조절부(110)의 상기 등변사다리꼴의 평행한 대변과 수직한 단면이 'ㄷ'자 모양으로 상기 기체가 아래로 흐를 수 있는 통로부(111)를 더 포함한다.
또한 이때, 상기 건조부(120)는 상기 건조부(120) 내부를 진공으로 만들기 위해 진공펌프를 연결 할 수 있는 진공펌프접속부(121)와 진공상태인 상기 건조부(120) 내부의 기압을 상기 건조부(120) 외부의 기압으로 올리기 위해 상기 건조부(120) 내부에 기체를 공급하는 기체공급장치접속부(122)를 포함한다.
본 발명에 따르면, 공정대상물을 진공상태에서 열처리함에 있어서, 진공건조장치의 건조실 내부에 기류 조절하여 공정대상물 외측에서 하강하는 기류를 최소화함으로써 하강하는 기류에 의해 공정대상물 외측에 공정시에 투입한 액의 응축이나 공정대상물 표면에 얼룩이 발생하는 것을 방지하여 공정대상물에 대한 수율을 더욱 효과적으로 증진시키는 효과가 있다.
도 1은 기류조절부(110)가 없는 종래 진공건조장치의 건조실이다.
도 2는 기체의 흐름을 화살표로 나타내고 공정대상물(10)이 있는 도 1의 A-A'의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 직각삼각형 형태의 기류조절부(110)가 있는 진공건조장치의 건조실(100)이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기체의 흐름을 화살표로 나타내고 공정대상물(10)이 있는 도 3의 B-B'의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 3의 B-B'의 단면의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 'ㄷ'자 형태의 기류조절부(110)가 있는 진공건조장치의 건조실(100)이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기체의 흐름을 화살표로 나타낸 도 6의 C-C'의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 건조부(120)를 위에서 내려다 볼 때, 건조부(120)에서 기류조절부(110), 진공펌프접속부(121)와 기체공급장치접속부(122)의 배치도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 직각삼각형 형태의 기류조절부(110)가 있는 밀폐된 진공건조장치의 건조실(100) 내부 기체의 흐름을 실선으로 나타낸 기체의 예상 흐름도이다.
본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 설명하기에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 할 것이다.
또한, 본 발명에 관련된 공지 기능 및 그 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공건조장치에 관해 도 1 내지 9를 참고하여 상세히 설명한다.
도 1은 기류조절부(110)가 없는 종래 진공건조장치의 건조실이다.
도 2는 기체의 흐름을 화살표로 나타내고 공정대상물(10)이 있는 도 1의 A-A'의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 직각삼각형 형태의 기류조절부(110)가 있는 진공건조장치의 건조실(100)이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기체의 흐름을 화살표로 나타내고 공정대상물(10)이 있는 도 3의 B-B'의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 3의 B-B'의 단면의 사시도이다.
도 1 내지 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공건조장치의 건조실(100)은 기체의 흐름이 공정대상물(10) 외측에서 하강함에 의해 상기 공정대상물(10)의 외측부분이 손상되는 것을 방지하기 위해 상기 기체의 흐름을 상기 공정대상물(10)의 내측과 외측에서 일정한 방향으로 흐르게 하는 기류조절부(110), 상기 공정대상물(10)에 열처리하기 위해 상기 공정대상물(10)을 수용하고, 상기 기체가 아래로 흐를 수 있는 통로가 건조부(120) 외측에 형성되어 있는 건조부(120)와 상기 건조부(120) 내부에 수용된 상기 공정대상물(10)을 열처리하기 위해 상기 건조부(120) 내부에 열을 공급하는 열공급부(130)로 이루어진다.
이때, 상기 기류조절부(110)는 상기 건조부(120) 내부의 가장 외측에 장착되고, 위에서 볼 때, 등변사다리꼴 모양으로 형성되어 있다.
아울러, 상기 기류조절부(110)는 상기 기류조절부(110)의 상기 등변사다리꼴의 평행한 대변과 수직한 단면이 상기 건조부(120) 외측으로 갈수록 높아지는 직각 삼각형 모양으로 형성되며, 상기 기류조절부(110)의 높이가 올라가는 방향에 외측 부분에는 상기 기체가 아래로 흐를 수 있는 통로부(111)를 더 포함한다.
또한 아울러, 상기 기류조절부(110)는 상기 직각삼각형의 빗변이 곡선으로 형성되어 있다.
또한 아울러, 상기 기류조절부(110)의 바람직한 실시예는 상기 직각삼각형의 상기 건조부(120) 내측에 있는 한 예각이 5° 내지 30°로 형성되고, 상기 직각삼각형의 높이가 상기 공정대상물(10)로부터 5mm 내지 20mm로 형성되는 것이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 'ㄷ'자 형태의 기류조절부(110)가 있는 진공건조장치의 건조실(100)이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기체의 흐름을 화살표로 나타낸 도 6의 C-C'의 단면도이다.
아울러 도 6 내지 7에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공건조장치의 건조실(100)의 상기 기류조절부(110)는 상기 건조부(120) 내부의 가장 외측에 장착되고, 위에서 볼 때, 등변사다리꼴 모양으로 형성되어 있으며, 상기 기류조절부(110)의 상기 등변사다리꼴의 평행한 대변과 수직한 단면이 'ㄷ'자 모양으로 상기 기체가 아래로 흐를 수 있는 통로부(111)를 포함한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 건조부(120)를 위에서 내려다 볼 때, 건조부(120)에서 기류조절부(110), 진공펌프접속부(121)와 기체공급장치접속부(122)의 배치도이다.
또한 아울러 도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공건조장치의 건조실(100)의 상기 건조부(120)는 상기 건조부(120) 내부를 진공으로 만들기 위해 진공펌프를 연결 할 수 있는 진공펌프접속부(121)와 진공상태인 상기 건조부(120) 내부의 기압을 상기 건조부(120) 외부의 기압으로 올리기 위해 상기 건조부(120) 내부에 기체를 공급하는 기체공급장치접속부(122)로 더 이루어진다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 직각삼각형 형태의 기류조절부(110)가 있는 밀폐된 진공건조장치의 건조실(100) 내부 기체의 예상 흐름도이다.
또한 아울러 도 1 내지 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공건조장치의 건조실(100)에 직각삼각형 형태의 기류조절부(110)가 있는 경우, 컴퓨터 시뮬레이션을 통해 계산된 건조실(100) 내부 기체의 흐름도를 나타낸 것이다.
이상으로 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 이와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용에만 국한되는 것이 아니며, 기술적 사항의 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대해 다수의 변경 및 수정 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주하여야 할 것이다.
공정대상물(10)
건조실(100)
기류조절부(110)
통로부(111)
건조부(120)
진공펌프접속부(121)
기체공급장치접속부(122)
열공급부(130)

Claims (6)

  1. 진공건조장치의 건조실에 있어서,
    기체의 흐름이 공정대상물(10) 외측에서 하강함에 의해 상기 공정대상물(10)의 외측부분이 손상되는 것을 방지하기 위해 상기 기체의 흐름을 상기 공정대상물(10)의 내측과 외측에서 일정한 방향으로 흐르게 하는 기류조절부(110);
    상기 공정대상물(10)에 열처리하기 위해 상기 공정대상물(10)을 수용하고, 상기 기체가 아래로 흐를 수 있는 통로가 건조부(120) 외측에 형성되어 있는 건조부(120); 및
    상기 건조부(120) 내부에 수용된 상기 공정대상물(10)을 열처리하기 위해 상기 건조부(120) 내부에 열을 공급하는 열공급부(130);
    를 포함하되,
    상기 기류조절부(110)는
    상기 건조부(120) 내부의 가장 외측에 장착되고, 위에서 볼 때, 등변사다리꼴 모양으로 형성되되,
    상기 기류조절부(110)는
    상기 기류조절부(110)의 상기 등변사다리꼴의 평행한 대변과 수직한 단면이 상기 건조부(120) 외측으로 갈수록 높아지는 직각 삼각형 모양으로 형성되며, 상기 기류조절부(110)의 높이가 올라가는 방향에 외측 부분에는 상기 기체가 아래로 흐를 수 있는 통로부(111);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공건조장치의 건조실.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기류조절부(110)는
    상기 직각삼각형의 빗변이 곡선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공건조장치의 건조실.
  5. 제1항에 있어서
    상기 기류조절부(110)는
    상기 기류조절부(110)의 상기 등변사다리꼴의 평행한 대변과 수직한 단면이 'ㄷ'자 모양으로 상기 기체가 아래로 흐를 수 있는 통로부(111);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공건조장치의 건조실.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 건조부(120)는
    상기 건조부(120) 내부를 진공으로 만들기 위해 진공펌프를 연결 할 수 있는 진공펌프접속부(121); 및
    진공상태인 상기 건조부(120) 내부의 기압을 상기 건조부(120) 외부의 기압으로 올리기 위해 상기 건조부(120) 내부에 기체를 공급하는 기체공급장치접속부(122);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공건조장치의 건조실.
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