JP2007229607A - 液滴塗布装置及び塗布体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液滴塗布装置は、液体を収容する液室とこの液室に連通される複数のノズルとを有し、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、ノズルから吐出される液滴が塗布される被塗布体を保持する保持部と、液滴が塗布された被塗布体を乾燥させる乾燥部4と、を備え、乾燥部4は、被塗布体を収容するチャンバー33と、チャンバー33内に収容された被塗布体7の上方空間の気体を中央領域と縁部領域との間で循環させる循環手段35と、チャンバー33内の気体を吸引する吸引部37と、を有する。
【選択図】 図4
Description
Claims (2)
- 液体を収容する液室とこの液室に連通される複数のノズルとを有し、前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ノズルから吐出される前記液滴が塗布される被塗布体を保持する保持部と、
前記液滴が塗布された前記被塗布体を乾燥させる乾燥部と、
を備え、
前記乾燥部は、
前記液滴が塗布された前記被塗布体を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内に収容された前記被塗布体の上方空間の気体を前記被塗布体の中央領域と前記被塗布体の縁部領域との間で循環させる循環手段と、
前記チャンバー内の気体を吸引する吸引部と、
を有することを特徴とする液滴塗布装置。 - 液滴を被塗布体に塗布するステップと、
液滴が塗布された前記被塗布体をチャンバー内に収容するステップと、
前記チャンバー内の前記被塗布体の上方空間の気体を中央領域と縁部領域との間で循環させるステップと、
前記チャンバー内の気体を吸引するステップと、
を備えることを特徴とする塗布体の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008045745A1 (de) | 2007-09-05 | 2009-04-09 | Denso Corp., Kariya-shi | Fahrzeugwechselstromgenerator mit einem Gleichrichteranschluss, der Abschnitte aus verschiedenen Metallen aufweist |
KR20160142638A (ko) * | 2015-06-03 | 2016-12-13 | 주식회사 글로벌하이테크 | 진공건조장치의 건조실 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6152190U (ja) * | 1984-09-08 | 1986-04-08 | ||
JPH0195282U (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-23 | ||
JPH0684072B2 (ja) * | 1987-05-29 | 1994-10-26 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジエツトプリントヘツド |
JPH0861848A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Yamamoto Binitaa Kk | 木材乾燥装置 |
JP2002243366A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Kamigaki Takeo | 乾燥装置 |
JP2004031070A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Toshiba Corp | 有機el材料塗布装置とその塗布方法および有機el表示装置 |
JP2005316276A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法、製造装置、液晶表示装置及び電子機器 |
JP2006015245A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Seiko Epson Corp | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2006019472A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Toppan Printing Co Ltd | 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 |
-
2006
- 2006-02-28 JP JP2006053818A patent/JP5002168B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6152190U (ja) * | 1984-09-08 | 1986-04-08 | ||
JPH0684072B2 (ja) * | 1987-05-29 | 1994-10-26 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジエツトプリントヘツド |
JPH0195282U (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-23 | ||
JPH0861848A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Yamamoto Binitaa Kk | 木材乾燥装置 |
JP2002243366A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Kamigaki Takeo | 乾燥装置 |
JP2004031070A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Toshiba Corp | 有機el材料塗布装置とその塗布方法および有機el表示装置 |
JP2005316276A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法、製造装置、液晶表示装置及び電子機器 |
JP2006015245A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Seiko Epson Corp | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2006019472A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Toppan Printing Co Ltd | 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008045745A1 (de) | 2007-09-05 | 2009-04-09 | Denso Corp., Kariya-shi | Fahrzeugwechselstromgenerator mit einem Gleichrichteranschluss, der Abschnitte aus verschiedenen Metallen aufweist |
DE102008045745B4 (de) * | 2007-09-05 | 2018-11-22 | Denso Corporation | Fahrzeugwechselstromgenerator mit einem Gleichrichteranschluss, der Abschnitte aus verschiedenen Metallen aufweist |
KR20160142638A (ko) * | 2015-06-03 | 2016-12-13 | 주식회사 글로벌하이테크 | 진공건조장치의 건조실 |
KR101721129B1 (ko) | 2015-06-03 | 2017-03-29 | 주식회사 글로벌하이테크 | 진공건조장치의 건조실 |
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