JP5002168B2 - 液滴塗布装置及び乾燥装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態に係る第2の特徴は、乾燥装置において、液滴が塗布された被塗布体を乾燥させる乾燥装置であって、前記乾燥装置は、前記液滴が塗布された前記被塗布体を収容するチャンバーと、前記チャンバー内に収容された前記被塗布体の上方空間の気体を前記被塗布体の中央領域と前記被塗布体の縁部領域との間で循環させることで、前記中央領域に塗布された液滴部分から蒸発した溶媒濃度の高い気体を溶媒濃度の低い前記縁部領域に運ぶ循環手段と、前記チャンバー内の気体を吸引する吸引部と、前記循環手段の上方に配置されたパンチングプレートと、を有し、前記循環手段は、前記チャンバー内に収容された前記被塗布体に対向するとともに、前記中央領域の上方に中央孔を、前記縁部領域の上方に縁部孔をそれぞれ設けた整流板を、前記パンチングプレートと前記被塗布体との間に有することである。
Claims (4)
- 液体を収容する液室とこの液室に連通される複数のノズルとを有し、前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ノズルから吐出される前記液滴が塗布される被塗布体を保持する保持部と、
前記液滴が塗布された前記被塗布体を乾燥させる乾燥部と、
を備え、
前記乾燥部は、
前記液滴が塗布された前記被塗布体を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内に収容された前記被塗布体の上方空間の気体を前記被塗布体の中央領域と前記被塗布体の縁部領域との間で循環させることで、前記中央領域に塗布された液滴部分から蒸発した溶媒濃度の高い気体を溶媒濃度の低い前記縁部領域に運ぶ循環手段と、
前記チャンバー内の気体を吸引する吸引部と、
を有し、
前記循環手段は、前記チャンバー内に収容された前記被塗布体に対向するとともに、前記中央領域の上方に中央孔を、前記縁部領域の上方に縁部孔をそれぞれ設けた整流板を前記チャンバー内に有し、
前記乾燥部は、前記循環手段の上方に配置されたパンチングプレートを有することを特徴とする液滴塗布装置。 - 前記吸引部が前記パンチングプレートの上側空間を吸引するように設けられ、
前記吸引部の吸引により、前記パンチングプレートを下側から上側へ通過する気体の流れが前記パンチングプレートの全面で略均一に生じることを特徴とする請求項1に記載の液滴塗布装置。 - 液滴が塗布された被塗布体を乾燥させる乾燥装置であって、
前記乾燥装置は、
前記液滴が塗布された前記被塗布体を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内に収容された前記被塗布体の上方空間の気体を前記被塗布体の中央領域と前記被塗布体の縁部領域との間で循環させることで、前記中央領域に塗布された液滴部分から蒸発した溶媒濃度の高い気体を溶媒濃度の低い前記縁部領域に運ぶ循環手段と、
前記チャンバー内の気体を吸引する吸引部と、
前記循環手段の上方に配置されたパンチングプレートと、
を有し、
前記循環手段は、前記チャンバー内に収容された前記被塗布体に対向するとともに、前記中央領域の上方に中央孔を、前記縁部領域の上方に縁部孔をそれぞれ設けた整流板を、前記パンチングプレートと前記被塗布体との間に有することを特徴とする乾燥装置。 - 前記吸引部が前記パンチングプレートの上側空間を吸引するように設けられ、
前記吸引部の吸引により、前記パンチングプレートを下側から上側へ通過する気体の流れが前記パンチングプレートの全面で略均一に生じることを特徴とする請求項3に記載の乾燥装置。
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