JP3957983B2 - 基板現像装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、基板上の感光性膜に現像液を供給して現像処理を行なう基板現像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハ、液晶表示装置(LCD)用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板上に形成されたフォトレジストなどの感光性膜に現像処理を行うために基板現像装置が用いられる。
【0003】
半導体製造プロセスやLCD製造プロセスなどにおいて、基板の表面に形成された露光済みの感光性膜を現像する場合、例えば基板を水平姿勢に保持して鉛直軸回りに回転させながら、スプレイ式吐出ノズルから現像液を吐出することにより、回転する基板の表面全体に均一かつ十分な量の現像液を供給して感光性膜を現像したり、或いは静止状態の基板に対して基板の最大幅と同等以上吐出幅を有するノズルから現像液を基板上に滴下させ、このノズルを基板の表面と平行に移動させることにより、基板上の全面に現像液を盛るような現像装置が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、基板の表面全体に現像液を盛ってフォトレジストなどの感光性膜を現像する現像装置において、従来から現像液による感光性膜の現像を停止させるため、基板の表面に現像液を供給してから所定の現像時間が経過した後に基板を高速で回転させて基板上の現像液を遠心力で振り切りながら、リンス液、例えば純水を吐出ノズルから回転させた基板の表面に吐出し、基板全面を純水で置換することが行われている。そして、基板全面を純水で置換した後さらに基板の回転を続け、リンス液を振り切り乾燥して処理を終了するようになっている。
【0005】
ところが、かかる従来の現像装置においては、少なくとも現像液による感光性膜の現像を停止させるための現像液を振り切りながらリンス液を供給する処理からそれに引き続くリンス液を振り切り乾燥するまでの処理が、基板を高速回転させた状態で行われているため、基板上から遠心力で振り切られた現像液やリンス液が周囲から跳ね返って基板表面や基板裏面に再付着して基板を汚染したりする問題があった。また、昨今のより一層のパターンの微細化が進むなか、現像液によって形成された微細なパターンが、基板の高速回転による遠心力の影響で倒壊する場合があるという問題が生じることとなった。
【0006】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、現像処理の過程において、基板を汚染することなく、また現像液によって形成されたパターン倒壊の恐れのない基板現像装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決する為に、請求項1に係る発明の基板現像装置は、基板を静止状態で水平姿勢に保持する基板保持手段と、その底面に基板の直径と同等以上の吐出幅を有する現像液吐出口が形成され、基板保持手段に保持された基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して基板表面に現像液を供給する第1の移動手段と、基板保持手段に水平姿勢に保持された基板の表面に対して平行な底面の移動方向前側に形成された基板の直径と同等以上の吐出幅を有するリンス液吐出口と、その底面の移動方向後側に形成された基板の直径と同等以上の吸引幅を有するリンス液吸引口とを有し、第1の移動手段によって基板表面全体に現像液が供給された後に基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動してリンス液吐出口からリンス液を基板表面全体に供給するとともに、供給されたリンス液をリンス液吸引口から回収する第2の移動手段とを備えたことを特徴とするものである。
【0008】
また請求項2に係る発明は、請求項1の発明に係る基板現像装置において、第2の移動手段は、さらにその底面のリンス液吐出口よりさらに移動方向前側に形成された基板の直径と同等以上の吸引幅を有する現像液吸引口を有し、基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動するときに現像液吸引口より基板表面全体に供給されていた現像液を回収することを特徴としている。
【0009】
また請求項3に係る発明の基板現像装置は、基板を静止状態で水平姿勢に保持する基板保持手段と、基板の直径と同等以上の吐出幅を有する現像液吐出口と、基板の直径と同等以上の吐出幅を有し現像液吐出口から現像液が基板表面全体に供給された後にリンス液を基板表面に供給するリンス液吐出口と、基板の直径と同等以上の吸引幅を有するリンス液吸引口とが基板保持手段に水平姿勢に保持された基板の表面に対して平行な底面に形成され、基板上を往復移動する移動手段とを備え、移動手段には、少なくとも往復移動の復路の移動時に、リンス液吐出口がリンス液吸引口より移動方向前側に配設され、往路の移動時には、基板保持手段に保持された基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して現像液吐出口から基板表面に現像液を供給するとともに、復路の移動時には、基板の他端の現像液供給終了位置から一端の現像液供給開始位置まで移動してリンス液吐出口から基板表面全体にリンス液を供給するとともに、リンス液吸引口からリンス液を吸引して回収することを特徴とするものである。
【0010】
また請求項4に係る発明は、請求項3に係る発明の基板現像装置において、移動手段は、さらに前記往復移動の復路の移動時に、リンス液吐出口より移動方向前側に基板の直径と同等以上の吸引幅を有する現像液吸引口が配設され、復路の移動時には、基板の他端の現像液供給終了位置から一端の現像液供給開始位置まで移動して現像液吸引口から基板表面の現像液を吸引して回収することを特徴とするものである。
【0011】
また請求項5に係る発明は、基板を静止状態で水平姿勢に保持する基板保持手段と、基板の直径と同等以上の吐出幅を有する現像液吐出口と、基板の直径と同等以上の吐出幅を有し現像液吐出口から現像液が基板表面全体に供給された後にリンス液を基板表面に供給するリンス液吐出口と、基板の直径と同等以上の吸引幅を有するリンス液吸引口とが基板保持手段に水平姿勢に保持された基板の表面に対して平行な底面に形成され、基板上を往復移動する移動手段とを備え、移動手段には、少なくとも往復移動の往路の移動時に、リンス液吐出口がリンス液吸引口より移動方向前側に配設され、第1回目の往路の移動時には、基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して現像液吐出口から基板表面全面に現像液を供給するとともに、第2回目の往路の移動時には、基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動してリンス液供給口から基板表面全体にリンス液を供給するとともに、リンス液吸引口から基板表面に供給されたリンス液を吸引して回収するようにしたことを特徴とする。
【0012】
また請求項6に係る発明は、請求項5に係る基板現像装置において、移動手段は、さらに往復移動の往路の移動時に、リンス液吐出口より移動方向前側に基板の直径と同等以上の吸引幅を有する現像液吸引口が配設され、第2回目の往路の移動時には、基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して現像液吸引口から基板表面の現像液を吸引して回収することを特徴とする。
【0013】
また、請求項7に係る発明は、基板を静止状態で水平姿勢に保持する基板保持手段と、基板の直径と同等以上の吐出幅を有する液吐出口と、基板の直径と同等以上の吸引幅を有し、基板表面に供給された液を吸引して回収する液吸引口とが前記基板保持手段に水平姿勢に保持された基板の表面に対して平行な底面に形成され、基板上を往復移動する移動手段と、現像液を液吐出口に向けて供給する現像液供給手段と、リンス液を液吐出口に向けて供給するリンス液供給手段と、現像液とリンス液のうちの一方が液吐出口に供給されるように切り替える切り替え制御手段とを備え、移動手段には、少なくとも往復移動の往路の移動時に、液吐出口が液吸引口より移動方向前側に配設され、第1回目の往路の移動時には、基板の一端の液供給開始位置から他端の液供給終了位置まで移動して液吐出口から基板表面全体に現像液を供給するとともに、第2回目の往路の移動時には、基板の一端の液供給開始位置から他端の液供給終了位置まで移動して液吐出口から基板表面全体にリンス液を供給するとともに、液吸引口から基板表面に供給されたリンス液を吸引して回収するようにしたことを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る基板現像装置について説明する。図1は本発明の第1の実施形態における基板現像装置1の平面図、図2は図1の基板現像装置1の後述する現像液吐出ノズル11が基板W上にある場合における主要部のX−X線断面図、図3は図1の基板現像装置1の後述するリンス液吐出ノズル41が基板W上にある場合における主要部のX−X線断面図、図4は図1の基板現像装置1の主要部のY−Y線断面図である。
【0015】
図1に示すように、基板現像装置1は現像液吐出ユニット10と、リンス液吐出ユニット40と、処理部30を備える外カップ50と、外カップ50の一方端側に設けられた現像ノズル待機ポット21およびリンスノズル待機ポット81と、外カップ50の他方端側に設けられた現像ノズル待機ポット22およびリンスノズル待機ポット82とを備えている。図1上において外カップ50の下側にはガイドレール14が配設されており、後述する現像液吐出ユニット10を構成するノズルアーム12がアーム駆動部13によりガイドレール14に沿って走査方向Aおよびその逆方向に移動可能に設けられている。
【0016】
図2、図3および図4に示すように、処理部30には、基板Wを静止状態の水平姿勢で吸引保持する吸引チャック31を備える。この吸引チャック31の周囲には、現像液やリンス液を回収する液回収カップ34が図示しない昇降手段により上下動自在に設けられている。本実施形態においては、基板Wを静止状態の水平姿勢で保持するのを吸引チェック31によって行っているが、これに限られるものではなく、基板Wを水平姿勢に保持できうる構成であればいかなるものであってもよい。
【0017】
図2に示すように現像液吐出ユニット10は、ノズルアーム12と、このノズルアーム12の下端部に備え付けられた現像液吐出ノズル11とを備えている。現像液吐出ノズル11は、現像液の吐出開始前には、処理部30の一方端側に設けられた現像ノズル待機ポット21内に待機しており、実際に現像液を基板W上に供給する際には、ノズルアーム12が、アーム駆動部13によってガイドレール14に沿って移動されることにより、現像ノズル待機ポット21を出て、吸引チャック31に保持された基板W上を移動し、処理部30の他方端側に設けられた現像ノズル待機ポット22まで走査方向Aに沿って直線状に移動するようになっている。(図1および図4参照。)
【0018】
図2に示すように、現像液吐出ノズル11には、現像液供給系60により現像液が供給される。現像液供給系60は、現像液を貯留する液貯留部61、液貯留部61と現像液吐出ノズル11とを連通接続する配管62、配管62に介装されて現像液を液貯留部61から現像液吐出ノズル11に送液するポンプ63、配管62に介装された開閉バルブ64とより構成される。
【0019】
またマイクロコンピュータによって構成される制御部70は、アーム駆動部13、開閉弁64、ポンプ63に電気的に接続されており、アーム駆動部13による現像液吐出ノズル11の走査(移動)および開閉弁64による現像液吐出ノズル11からの現像液の吐出開始および停止タイミング、現像液の吐出量、吐出速度、等各種の吐出条件を制御する。
【0020】
図5は現像液吐出ノズル11の断面図である。
【0021】
現像液吐出ノズル11のノズル本体部16は段差状の底面17を有する。このノズル本体部16には、鉛直下向きに延びかつ底面17で開口する現像液吐出口としてのスリット状吐出口15が形成されている。段差状の底面17は、走査方向Aにおいてスリット状吐出口15よりも前方側の平面状の底面(以下、前方側底面と呼ぶ)17aおよびスリット状吐出口15よりも後方側の平面状の底面(以下、後方側底面と呼ぶ)17bからなる。前方側底面17aは、後方側底面17bよりも低い位置に形成されている。それにより、図1の吸引チャック31に静止状態で水平姿勢に保持された基板Wの表面と前方側底面17aとの間隔が基板Wの表面と後方側底面17bとの間隔よりも小さくなる。 現像液吐出ノズル11は、前方側底面17aおよび後方側底面17bが基板Wの表面に対して平行な状態を保つように走査方向Aに向けて走査される。
【0022】
現像液吐出ノズル11のノズル本体部16は、ステンレス鋼、石英ガラス、パイレックスガラス、セラミックス(例えばアルミナ、SiC、αC)等の比較的硬質な親水性材料により形成されている。走査方向Aに向かった場合においてノズル本体部16の底面17のスリット状吐出口15よりも前方側底面17aおよびスリット状吐出口15よりも前方側の外壁面18は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)、PTEE(ポリテトラフルオロエチレン)等の樹脂系の撥水性材料層20でコーティングされている。本実施形態では、PTFEからなる撥水性材料層20が用いられる。一方、走査方向Aに向かった場合においてノズル本体部16の底面17のスリット状吐出口15よりも後方側の領域および後方側の外壁面19では、親水性材料が露出している。また、スリット状吐出口15の内壁面15aでも、親水性材料が露出している。
【0023】
図7に示すように、現像液吐出ノズルのスリット状吐出口15の長手方向となる吐出幅方向は現像液吐出ノズル11の走査方向Aと垂直に配置される。スリット状吐出口15の短辺tは0.05〜1.00mmであり、本実施例では0.1mmである。また、スリット状吐出口15長手方向の吐出幅Lは処理対象となる基板Wの直径と同じかまたはそれよりも大きく設定(同等以上に設定)され、直径8インチの基板Wを処理する場合には、本実施形態では210mmに設定される。
【0024】
現像液吐出ノズル11は、底面17が基板Wの表面に対して平行な状態を保つように走査方向Aに向けて走査される。スリット状吐出口15と基板W1、W2の表面との間隔は、0.2〜5.0mm、より好ましくは0.5mm〜2.0mmであり、本実施例では1.0mmである。
【0025】
図1および図3に戻って、リンス液吐出ユニット40は、ノズルアーム42と、このノズルアーム42の下端部に取り付けられたリンス液吐出ノズル41とを備えている。リンス液吐出ノズル41は、リンス液の吐出開始前には、処理部30の一方端側に設けられたリンスノズル待機ポット81内に待機しており、前述した現像液吐出ノズル11から現像液が基板Wに供給されて現像が行われた後、実際にリンス液を基板W上に供給する際には、ノズルアーム42が、アーム駆動部43によってガイドレール44に沿って移動されることにより、リンスノズル待機ポット81を出て、吸引チャック31に保持された基板W上を移動し、処理部30の他方端側に設けられたリンスノズル待機ポット82まで走査方向Aに沿って直線状に移動するようになっている。(図1および図4参照。)
【0026】
図3に示すように、リンス液吐出ノズル41には、リンス液供給系70により純水がリンス液として供給される。リンス液供給系70は、ユーティリティとしての純水供給源から供給される純水をリンス液吐出ノズル41に導く配管72、配管72に介装されて純水をリンス液吐出ノズル41に送液するポンプ73、配管72に介装された開閉バルブ74とにより構成される。
【0027】
また、リンス液供給ノズル41には、その途中に吸引ポンプ46が介在されている吸引用の配管45が接続されており、吸引ポンプ46の駆動によって、後述するリンス液供給ノズル41の底面に形成されたスリット状吸引口51より基板上に供給された純水を吸引して回収し、ドレインに排出するようになっている。
【0028】
さらに制御部70は、アーム駆動部43、開閉弁74、ポンプ73、吸引ポンプ46に電気的に接続されており、アーム駆動部43によるリンス液吐出ノズル41の走査(移動)および開閉弁74によるリンス液吐出ノズル41からの純水の吐出開始および停止タイミング、純水の吐出量、吐出速度、等各種の吐出条件、後述するリンス液吸引口51を通じての基板W上からの純水の吸引回収を制御する。
【0029】
図6はリンス液吐出ノズル41の断面図である。
【0030】
リンス液吐出ノズル41のノズル本体部47は底面48を有する。このノズル本体部47には、その底面48の移動方向(走査方向Aに向かう方向)前側の位置に鉛直下向きに延びかつ当該底面48で開口するリンス液吐出口に相当するスリット状吐出口49が形成されている。このスリット吐出口49は、配管72と連通されており、配管72によって導かれたリンス液としての純水を基板Wに向けて供給するようになっている。また、このノズル本体部47には、その底面48の移動方向(走査方向Aに向かう方向)後側の位置に鉛直下向きに延びかつ当該底面48で開口するリンス液吸引口に相当するスリット状吸引口51が形成されている。このスリット状吐出口51は、配管45と連通されており、配管45を通じて吸引されることにより基板W上に供給されたリンス液としての純水を吸引して回収するようになっている。リンス液吐出ノズル41は、その底面48が基板Wの表面に対して平行な状態を保つように走査方向Aに向けて走査される。
【0031】
リンス液吐出ノズル41のノズル本体部47も、ステンレス鋼、石英ガラス、パイレックスガラス、セラミックス(例えばアルミナ、SiC、αC)等の比較的硬質な親水性材料により形成されている。
【0032】
図8に示すように、リンス液吐出ノズル41の底面48に形成されたスリット状吐出口49の長手方向となる吐出幅方向は、リンス液吐出ノズル41の走査方向Aと垂直に配置される。スリット状吐出口49の長手方向の吐出幅Lは処理対象となる基板Wの直径と同じかまたはそれよりも大きく設定(同等以上に設定)され、直径8インチの基板Wを処理する場合には、本実施形態では210mmに設定される。
【0033】
また、リンス液吐出ノズル41の底面48に形成されたスリット状吸引口51の長手方向となる吸引幅方向も、リンス液吐出ノズル41の走査方向Aと垂直に配置される。スリット状吸引口51の長手方向の吸引幅Lも処理対象となる基板Wの直径と同じかまたはそれよりも大きく設定(同等以上に設定)され、直径8インチの基板Wを処理する場合には、本実施形態では210mmに設定される。
【0034】
リンス液吐出ノズル41は、底面48が基板Wの表面に対して平行な状態を保つように走査方向Aに向けて走査される。スリット状吐出口49およびスリット状吸引口51と基板Wの表面との間隔は、0.2〜5.0mm、より好ましくは0.5mm〜2.0mmであり、本実施例では1.0mmである。
【0035】
このような構成のもと、次に図9、図10を参照しながら本実施の形態の基板現像装置の動作を説明する。なお、基板Wは、吸引チャック31によって一連の処理を通じて静止状態の水平姿勢で保持されている。
【0036】
まず現像液を基板W上に液盛りする前の待機時には、現像液吐出ノズル11は、待機ポット21内の位置P0に待機している。現像液を基板W上に液盛りする時には、現像液吐出ノズル11が上昇した後、走査方向Aに向かって移動し、外カップ50内の走査開始位置P1で下降する。(図9参照)
【0037】
その後、現像液吐出ノズル11は、走査開始位置P1から所定の走査速度で基板Wに向かう走査方向Aに向かって走査を開始する。この時点では、現像液吐出ノズル11からまだ現像液の吐出は行なわない。本実施形態では、走査速度は10〜500mm/秒とする。
【0038】
現像液吐出ノズル11の走査開始後、現像液吐出ノズル11のスリット状吐出口15(図5参照)が基板W1上に到達する前に、位置P2にて所定の流量で現像液吐出ノズル11による現像液の吐出を開始する。本実施形態では現像液の流量は1.5L/分とする。
【0039】
そして現像液吐出ノズル11は、そのまま現像液を吐出しながら走査方向Aに向かって直線的に移動を続け、基板Wの一端の現像液供給開始位置に到達して基板W上に現像液を供給し始める。さらに現像液吐出ノズル11は、基板W上を走査方向Aに向かって移動を続け、現像液を連続的に供給し続け、基板Wの他端の現像液供給終了位置まで到達して、基板W表面全体への現像液の液盛りを完了する。供給された現像液は、表面張力により基板W上に保持される。
【0040】
現像液吐出ノズル11が基板W1上を通過した後、基板W上から外れた位置P3で現像液吐出ノズル11による現像液の吐出を停止させる。そして、現像液吐出ノズル11が外カップ50内の走査停止位置P4に到達した時点で現像液吐出ノズル11の走査を停止させる。その後、現像液吐出ノズル11は、走査停止位置P4で上昇した後、待機ポット22の位置P5まで移動し、待機ポット22内に下降する。
【0041】
このような現像液吐出ノズル11によって基板W上に現像液が液盛りされた状態でしばらく基板Wを保持し、基板Wに対する現像処理を進める。そして所定時間が経過すると次にリンス液吐出ノズル41によってリンス処理を行う。このリンス処理の場合にも、基板Wは、吸引チャック31によって静止状態の水平姿勢に保持されたまま最後まで処理が行われる。まずリンス液を基板W上に供給する前の待機時には、リンス液吐出ノズル41は、待機ポット81内の位置P00に待機している。リンス液としての純水を基板W上に供給する時には、リンス液吐出ノズル41が上昇した後、走査方向Aに向かって移動し、外カップ50内の走査開始位置P1で下降する。(図10参照)
【0042】
その後、リンス液吐出ノズル41は、走査開始位置P1から所定の走査速度で基板Wに向かう走査方向Aに向かって走査を開始する。この時点では、リンス液吐出ノズル41からまだ純水の吐出は行なわない。本実施形態では、現像液吐出ノズル11の場合と同様の走査速度は10〜500mm/秒とする。
【0043】
リンス液吐出ノズル41の走査開始後、現像液吐出ノズル41のスリット状吐出口49(図6参照)が基板W1上に到達する前に、位置P2にて所定の流量でリンス液吐出ノズル41によるリンス液の吐出を開始する。本実施形態ではリンス現像液の流量は1.5L/分とする。
【0044】
そしてリンス液吐出ノズル41は、そのまま純水を吐出しながら走査方向Aに向かって直線的に移動を続け、基板Wの一端の現像液供給開始位置に到達してスリット状吐出口49から基板W上に純水を供給し始め、基板表面の液を現像液から純水へ置き換え始める。それとともに、スリット状吸引口51(図6参照)が基板Wの一端の現像液供給開始位置に到達する直前から当該スリット状吸引口51からの吸引を開始する。さらにリンス液吐出ノズル41は、基板W上を走査方向Aに向かって移動を続る。すると、スリット状吸引口が、基板Wの一端の現像液供給開始位置に到達し、先にスリット状吐出口49から基板Wの表面に供給されていたリンス液としての純水を吸引して回収し始める。
【0045】
さらに、リンス液吐出ノズル41の走査方向Aに向かっての移動を続け、スリット状吐出口49から純水を連続的に供給し続けるとともに、スリット状吸引口51から基板Wの表面から純水を吸引して回収し続ける。そして、基板Wの他端の現像液供給終了位置までリンス液吐出ノズル41が到達すると、スリット状吐出口49から基板W表面全体へのリンス液の供給が完了し、基板表面の液が現像液から純水へ一旦置き換えられるとともに、基板表面へ供給された純水がスリット状吸引口51から吸引されて完全に回収される。
【0046】
リンス液吐出ノズル41が基板W上を通過した後、基板W上から外れた位置P3でリンス液吐出ノズル41のスリット状吐出口49からの純水の吐出を停止させるとともにスリット状吸引口からの吸引を停止する。そして、リンス液吐出ノズル41が外カップ50内の走査停止位置P4に到達した時点でリンス液吐出ノズル41の走査を停止させる。その後、リンス液吐出ノズル41は、走査停止位置P4で上昇した後、待機ポット82の位置P6まで移動し、待機ポット82内に下降する。
【0047】
このような動作によって、本実施形態の基板現像装置は、基板Wに対する現像液供給、リンス液供給さらにはリンス液除去までの一連の現像処理を完了する。なお、必要に応じてこのような動作を繰り返して行うこともできる。
【0048】
このように本実施形態の基板現像装置においては、基板Wに対する現像液の供給、リンス液の供給およびリンス液の基板W上からの回収を基板Wを静止させたままで行うことができるので、基板を高速回転させた場合に生じるような基板上から遠心力で振り切られた現像液やリンス液が周囲から跳ね返って基板表面や基板裏面に再付着して基板を汚染したりするというようなことがなく、基板Wに対する一連の現像処理を基板を汚染することなく清浄に行うことができる。また、本実施形態の基板現像装置においては、基板Wに対する現像液の供給、リンス液の供給およびリンス液の基板W上からの回収を基板Wを静止させたままで行うことができるので、基板Wを高速回転させた場合に生じるようなパターンの倒壊を生じるおそれもない。
【0049】
また、本実施形態の基板現像装置においては、基板Wの直径と同等以上の吐出幅を有する現像液吐出ノズル11のスリット状吐出口15からの現像液の供給と、同じく基板Wの直径と同等以上の吐出幅を有するリンス液吐出ノズル41のスリット状吐出口49からのリンス液の供給とを、それぞれ同一の移動方向(走査方向)に移動させながら行っているので基板W表面内の各箇所で現像液と接している時間(現像時間)が均一となり、基板表面全体を均一に現像できてパターンの線幅均一性を向上させることができる。
【0050】
また、本実施形態の基板現像装置においては、リンス液としての純水を吐出するスリット状吐出口49と純水を吸引して回収するスリット状吸引口51とを一つのリンス液吐出ノズル41に設けるようにしているので、基板W上へのリンス液の供給と回収とを時間をわずかな時間差で行うことができ、一連の現像処理のスループットを向上させることができる。
【0051】
なお、本実施形態における吸引チャック31が請求項1の基板保持手段に相当し、現像液吐出ノズル11が請求項1の第1の移動手段に相当し、リンス液吐出手段41が請求項1の第2の移動手段に相当する。
【0052】
次に第2の実施形態について図11、図12、図13に基づいて説明する。この第2の実施形態においては、リンス液吐出ノズル41に現像液を吸引して回収するスリット状吸引口52を形成するとともに、このスリット状吸引口52に、その途中に吸引ポンプ53が介在された配管54を連通させて、現像液をも吸引回収する構成を採用(図11、12、13参照)している点が第1の実施形態と異なる。なお、その他の部分については、第1の実施形態と同一であり、同一の符号を付してその説明を省略する。
【0053】
図12は、第2の実施形態におけるはリンス液吐出ノズル41の断面図である。
【0054】
リンス液吐出ノズル41のノズル本体部47の底面48には、リンス液としての純水を吐出するスリット状吐出口49よりもその底面48の移動方向(走査方向Aに向かう方向)前側の位置に鉛直下向きに延びかつ当該底面48で開口する現像液吸引口に相当するスリット状吸引口52が形成されている。このスリット状吸引口52は、配管54と連通されており、吸引ポンプ53の駆動によって配管54を通じて吸引されることにより先に現像液吐出ノズル11によって基板W表面に液盛りされていた現像液を吸引して回収するようになっている。
【0055】
図13に示すように、リンス液吐出ノズル41の底面48に形成されたスリット状吸引口52の長手方向となる吸引幅方向も、リンス液吐出ノズル41の走査方向Aと垂直に配置される。スリット状吸引口52の長手方向の吸引幅Lは処理対象となる基板Wの直径と同じかまたはそれよりも大きく設定(同等以上に設定)され、直径8インチの基板Wを処理する場合には、本実施形態では210mmに設定される。
【0056】
このような構成のもと、現像液吐出ノズル11によって、基板W上に現像液を液盛りした後、リンス液吐出ノズル41を走査方向Aに移動させることによって、リンス液としての純水の供給に先立ってその底面に形成されたスリット状吸引口52から基板W上の現像液を吸引して回収し、現像液がない状態のところにスリット状吐出口49から純水を供給してリンス液吐出ノズル41の移動に伴って現像液から純水に順次置き換えることができる。さらに、リンス液吐出ノズル41の移動に伴ってスリット状吐出口52から基板W上に供給された純水を順次スリット状吸引口51から吸引して回収し、基板W上に液が残らないようにすることができる。
【0057】
このようにこの第2の実施形態においては、基板W上に液盛りされた現像液も回収し、現像液が残っていない状況でリンス液としての純水を供給するようにされるので、現像液と純水が混ざりあって基板Wの面内において現像むらを生じるようなことを防止することができる。
【0058】
次に第3の実施形態の基板現像装置について図14、15、16、17、18に基づいて説明する。この第3の実施形態の基板現像装置は、現像液吐出用のノズルとリンス液吐出用のノズルとを一つにして、基板W上を往復動して基板W上への現像液の供給および回収とリンス液の供給および回収とを行う点、さらにノズル待機ポットを処理部30の一方端側と他方端側とにそれぞれ一つづつしか備えない点で、上記第1および第2の実施形態と異なる。なお、第1および第2の実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を付しその説明を一部省略する。
【0059】
図14に示すように、第3の実施形態の基板現像装置は現像・リンス液吐出ユニット100と、処理部30を備える外カップ50と、外カップ50の一方端側に設けられたノズル待機ポット210と、外カップ50の他方端側に設けられたノズル待機ポット220とを備えている。図14上において外カップ50の下側にはガイドレール14が配設されており、後述する現像液吐出ユニット100を構成するノズルアーム12がアーム駆動部13によりガイドレール14に沿って走査方向Aおよびその逆方向の−A方向に移動可能に設けられている。
【0060】
図17に示すように現像液・リンス液吐出ユニット100は、ノズルアーム12と、このノズルアーム12の下端部に備え付けられた現像液・リンス液吐出ノズル110とを備えている。現像液・リンス液吐出ノズル110は、現像液の吐出開始前には、処理部30の一方端側に設けられたノズル待機ポット210内に待機しており、実際に現像液を基板W上に供給する際には、ノズルアーム12が、アーム駆動部13によってガイドレール14に沿って移動されることにより、ノズル待機ポット210を出て、吸引チャック31に保持された基板W上を移動し、処理部30の他方端側に設けられたノズル待機ポット220まで走査方向Aに沿って直線的に移動するようになっている。(図14および図17参照。)
【0061】
図17に示すように、現像液・リンス液吐出ノズル110には、現像液供給系60により現像液が供給される。現像液供給系60は、現像液を貯留する液貯留部61、液貯留部61と現像液・リンス液吐出ノズル110とを連通接続する配管62、配管62に介装されて現像液を液貯留部61から現像液・リンス液吐出ノズル110に送液するポンプ63、配管62に介装された開閉バルブ64とにより構成される。
【0062】
また、図17に示すように現像液・リンス液吐出ノズル110には、リンス液供給系70により純水がリンス液として供給される。リンス液供給系70は、ユーティリティとしての純水供給源から供給される純水を現像液・リンス液吐出ノズル110に導く配管72、配管72に介装されて純水を現像液・リンス液吐出ノズル110に送液するポンプ73、配管72に介装された開閉バルブ74とにより構成される。
【0063】
また現像液・リンス液吐出ノズル110には、その途中に吸引ポンプ46が介在されている吸引用の配管45が接続されており、吸引ポンプ46の駆動によって、後述する現像液・リンス液供給ノズル110の底面に形成されたリンス液吸引口510より基板上に供給された純水を吸引して回収し、ドレインに排出するようになっている。
【0064】
さらに、現像液・リンス液吐出ノズル110には、その途中に吸引ポンプ53を介在させた吸引配管54が接続されており、吸引ポンプ53の駆動によって、後述する現像液・リンス液吐出ノズル110の底面に形成された吸引口520より基板に供給された現像液を吸引して回収し、ドレインに排出するようになっている。
【0065】
またマイクロコンピュータより構成される制御部70は、アーム駆動部13、開閉弁64、ポンプ63、開閉弁74、ポンプ73、吸引ポンプ46、吸引ポンプ53に電気的に接続されており、アーム駆動部13による現像液・リンス液吐出ノズル110のガイドレール14に沿った往復動の走査(移動)および開閉弁64、74による現像液・リンス液吐出ノズル110からの現像液やリンス液としての純水の吐出開始および停止タイミング、現像液や純水の吐出量、吐出速度等各種の吐出条件、吸引ポンプ46、53によるリンス液としての純水や現像液の吸引タイミングなどを制御する。
【0066】
図15に示すように、現像液・リンス液吐出ノズル110のノズル本体部470は、底面480を有する。このノズル本体部470には、その底面480の往路の移動方向(走査方向Aに向かう方向)の最前列に鉛直下向きに延びかつ当該底面480で開口する現像液吐出口としてのスリット状吐出口150が、第2列目には同様にリンス液吸引口に相当するスリット状吸引口480が、第3列目には、リンス液吐出口としてのスリット状吐出口490が、第4列目(最後列)には現像液吸引口としてのスリット状吸引口520がそれぞれ形成されている。このスリット吐出口150は、配管62と連通されており、後述する現像液・リンス液吐出ノズル110の移動時に配管62によって導かれた現像液を基板Wに向けて供給するようになっている。スリット状吐出口490は、配管72と連通されており、後述する現像液・リンス液吐出ノズル110の復路の移動時に配管72によって導かれたリンス液としての純水を基板Wに向けて供給するようになっている。また、スリット状吸引口520は、配管54と連通されており、後述する現像液・リンス液吐出ノズル110の復路の移動時に、基板W上に盛られていた現像液を吸引して回収するようになっている。さらに、スリット状吸引口510は、配管53と連通されており、後述する現像液・リンス液吐出ノズル110の復路の移動時に、基板W上に供給されたリンス液としての純水を吸引して回収するようになっている。即ち、現像液・リンス液吐出ノズル110の往復移動の復路の移動時には、現像液を吸引して回収するスリット状吸引口520が、リンス液の供給を行うスリット状吐出口490よりも移動方向前側(―A方向前側)に配設されており、また、当該スリット状吐出口490が、リンス液を吸引して回収するスリット状吸引口510よりも移動方向前側(―A方向前側)に位置することとなっている。
【0067】
図16に示すように、現像液・リンス液吐出ノズルのスリット状吐出口150、490の長手方向となる吐出幅方向は現像液・リンス液吐出ノズル110の走査方向Aと垂直に配置される。スリット状吐出口150、490の短辺tは0.05〜1.00mmであり、本実施形態では0.1mmである。また、スリット状吐出口150、490の長手方向の吐出幅Lは処理対象となる基板Wの直径と同じかまたはそれよりも大きく設定(同等以上に設定)され、直径8インチの基板Wを処理する場合には、本実施形態では210mmに設定される。
【0068】
また、現像液・リンス液吐出ノズル110の底面480に形成されたスリット状吸引口510、520の長手方向となる吸引幅方向も、現像液・リンス液吐出ノズル110の走査方向Aと垂直に配置される。スリット状吸引口510、520の長手方向の吸引幅Lも処理対象となる基板Wの直径と同じかまたはそれよりも大きく設定(同等以上に設定)され、直径8インチの基板Wを処理する場合には、本実施形態では210mmに設定される。
【0069】
現像液・リンス液吐出ノズル110は、底面480が基板Wの表面に対して平行な状態を保つように往路である走査方向A或いは復路である走査方向―Aに向けて走査される。スリット状吐出口150、490およびスリット状吸引口510、520と基板Wの表面との間隔は、0.2〜5.0mm、より好ましくは0.5mm〜2.0mmであり、本実施形態では1.0mmである。
【0070】
このような構成のもと、次に図18、図19を参照しながら本実施の形態の基板現像装置の動作を説明する。基板Wは、吸引チャック31によって一連の処理を通じて静止状態の水平姿勢で保持されている。
【0071】
まず現像液を基板W上に液盛りする前の待機時には、現像液・リンス液吐出ノズル110は、待機ポット210内の位置P0に待機している。現像液を基板W上に液盛りする時には、現像液・リンス液吐出ノズル110が上昇した後、走査方向Aに向かって移動し、外カップ50内の走査開始位置P1で下降する。(図18参照)
【0072】
その後、現像液・リンス液吐出ノズル110は、走査開始位置P1から所定の走査速度で基板Wに向かう走査方向Aに向かって走査即ち往路の移動を開始する。この時点では、現像液・リンス液吐出ノズル110からまだ現像液の吐出は行なわない。本実施形態では、走査速度は10〜500mm/秒とする。
【0073】
現像液・リンス液吐出ノズル110の走査開始後、現像液・リンス液吐出ノズル110のスリット状吐出口150(図15参照)が基板W上に到達する前に、位置P2にて所定の流量で現像液・リンス液吐出ノズル110による現像液の吐出を開始する。本実施形態では現像液の流量は1.5L/分とする。
【0074】
そして現像液・リンス液吐出ノズル110は、そのまま現像液を吐出しながら走査方向Aに向かって直線状に移動を続け、基板Wの一端の現像液供給開始位置に到達して基板W上に現像液を供給し始める。さらに現像液・リンス液吐出ノズル110は、基板W上を走査方向Aに向かって移動を続け、現像液を連続的に供給し続け、基板Wの他端の現像液供給終了位置まで到達して、基板W表面全体への現像液の液盛りを完了する。供給された現像液は、表面張力により基板W上に保持される。
【0075】
現像液・リンス液吐出ノズル110が基板W上を通過した後、基板W上から外れた位置P3で現像液・リンス液吐出ノズル110による現像液の吐出を停止させる。そして、現像液・リンス液吐出ノズル110が外カップ50内の走査停止位置P4に到達した時点で現像液・リンス液吐出ノズル110の走査を停止させる。その後、現像液・リンス液吐出ノズル110は、走査停止位置P4で上昇した後、待機ポット220の位置P5まで移動し、待機ポット220内に下降する。
【0076】
このような現像液・リンス液吐出ノズル110によって基板W上に現像液が液盛りされた状態でしばらく基板Wを保持し、基板Wに対する現像処理を進める。そして所定時間が経過すると今度は、図19に示すように現像液・リンス液吐出ノズル110を現像液の供給時とは反対の−A方向に走査即ち復路の移動を行いながらリンス処理を行う。このリンス処理の場合にも、基板Wは、吸引チャック31によって静止状態の水平姿勢に保持されたまま最後まで処理が行われる。まずリンス液を基板W上に供給する前の待機時には、現像液・リンス液吐出ノズル110は、待機ポット220内の位置P5に待機している。リンス液としての純水を基板W上に供給する時には、現像液・リンス液吐出ノズル110が上昇した後、走査方向−A方向に向かって移動し、外カップ50内の走査開始位置P4で下降する。(図19参照)
【0077】
その後、現像液・リンス液吐出ノズル110は、走査開始位置P4から所定の走査速度で基板Wに向かう走査方向−Aに向かって走査即ち往復移動の復路の移動を開始する。この時点では、現像液・リンス液吐出ノズル110からまだ純水の吐出は行なわない。本実施形態では、現像液の供給時と同様の走査速度は10〜500mm/秒とする。
【0078】
現像液・リンス液吐出ノズル110の走査開始後、現像液・リンス液吐出ノズル110のスリット状吸引口520(図15参照)が基板W上に到達する前に位置P3においてスリット状吸引口520およびスリット状吸引口510からの吸引動作を開始するとともに、スリット状吐出口490から所定の流量で現像液・リンス液吐出ノズル110によるリンス液の吐出を開始する。
【0079】
そして現像液・リンス液吐出ノズル110は、そのまま吸引動作および純水を吐出する動作を行いながら走査方向−Aに向かって直線状に移動を続ける。そして、そのスリット状吸引口520が基板Wの他端の現像液供給終了位置に到達すると、基板Wの表面に盛られた現像液を当該スリット状吸引口520から吸引して回収し始める。さらに現像液・リンス液吐出ノズル110が−A方向に走査されてスリット状吐出口490が基板Wの他端の現像液供給終了位置に到達すると、スリット状吸引口520によって現像液が回収された領域に対して、スリット状吐出口490から基板W上に純水を供給し始め、基板表面の液を現像液から純水へ置き換え始める。さらに現像液・リンス液吐出ノズル110は、基板W上を走査方向−Aに向かって移動を続る。すると、スリット状吸引口510が、基板Wの一端の現像液供給終了位置に到達し、先にスリット状吐出口490から基板Wの表面に供給されていたリンス液としての純水を吸引して回収し始める。
【0080】
さらに、現像液・リンス液吐出ノズル110が走査方向−Aに向かっての移動を続け、スリット状吸引口520から基板Wの表面の現像液の吸引回収を行いつつスリット状吐出口490から純水を連続的に供給し続け、さらに、スリット状吸引口510から基板Wの表面に供給されていた純水を吸引して回収を続ける。そして、基板Wの他端の現像液供給終了位置まで現像液・リンス液吐出ノズル110が到達すると、スリット状吸引口520からの現像液の吸引回収が完了し、さらに、スリット状吐出口490から基板W表面全体へのリンス液の供給が完了し、基板表面の液が現像液から純水へ一旦置き換えられるとともに、基板表面へ供給された純水がスリット状吸引口510から吸引によって完全に回収される。
【0081】
現像液・リンス液吐出ノズル110が基板W上を通過した後、基板W上から外れた位置P2で現像液・リンス液吐出ノズル110のスリット状吐出口490からの純水の吐出を停止させるとともにスリット状吸引口520、510からの吸引を停止する。そして、現像液・リンス液吐出ノズル110が外カップ50内の走査停止位置P1に到達した時点で現像液・リンス液吐出ノズル110の走査を停止させる。その後、現像液・リンス液吐出ノズル110は、走査停止位置P1で上昇した後、待機ポット210の位置P0まで移動し、待機ポット210内に下降する。
【0082】
このような動作によって、本実施形態の基板現像装置は、基板Wに対する現像液供給、リンス液供給さらにはリンス液除去までの一連の現像処理を完了する。なお、必要に応じてこのような動作を繰り返して行うこともできる。
【0083】
このように本実施形態の基板現像装置においては、基板Wに対する現像液の供給、リンス液の供給およびリンス液の基板W上からの回収を基板Wを静止させたままで行うことができるので、基板を高速回転させた場合に生じるような基板上から遠心力で振り切られた現像液やリンス液が周囲から跳ね返って基板表面や基板裏面に再付着して基板を汚染したりするというようなことがなく、基板Wに対する一連の現像処理を基板を汚染することなく清浄に行うことができる。また、本実施形態の基板現像装置においては、基板Wに対する現像液の供給、リンス液の供給およびリンス液の基板W上からの回収を基板Wを静止させたままで行うことができるので、基板Wを高速回転させた場合に生じるようなパターンの倒壊を生じるおそれもない。
【0084】
また、本実施形態の基板現像装置においては、リンス液としての純水を吐出するスリット状吐出口490と純水を吸引して回収するスリット状吸引口510とを一つの現像液・リンス液吐出ノズル110に設けるようにしているので、基板W上へのリンス液の供給と回収との時間をわずかな時間差で行うことができ、一連の現像処理のスループットを向上させることができる。
【0085】
また、この第3の実施形態においては、基板W上に液盛りされた現像液も回収し、現像液が残っていない状況でリンス液としての純水を供給するようにされるので、現像液と純水が混ざりあって基板Wの面内において現像むらを生じるようなことを防止することができる。
【0086】
さらに、この第3の実施形態においては、現像液・リンス液吐出ノズル110に、現像液を供給するスリット状吐出口150、リンス液を供給するスリット状吐出口490、リンス液を吸引して回収するスリット状吸引口510の全てを形成するにしたので、現像液吐出ノズルとリンス液吐出ノズルとをそれぞれ待機させるスペースを必要とせず、装置の小型化を図ることができ、フットプリントの削減を図ることができる。
【0087】
本実施形態における現像液・リンス液吐出ノズル110が請求項3の移動手段に相当する。
【0088】
次に、第4の実施形態の基板現像装置について説明する。第4の実施形態は、図20、21に示すように前述した第3の実施形態と比較して、現像液・リンス液吐出ノズル110のノズル本体470の底面480に形成される現像液を吸引して回収するスリット状吸引口520と、リンス液を吸引して回収するスリット状吸引口510の位置関係が入れ替わっている点で異なっており、また、現像液・リンス液吐出ノズル110が、往復移動の往路の移動を複数回繰り返し、往路の移動時に相当する走査方向Aに向かって移動する場合にのみ、現像液・リンス液吐出ノズル110から現像液またはリンス液を基板Wに供給するようにしている点で異なっている。即ち、現像液・リンス液吐出ノズル110の往復移動の往路の移動時には、現像液を吸引して回収する現像液吸引口に相当するスリット状吸引口520が、リンス液の供給を行うリンス液吐出口に相当するスリット状吐出口490よりも移動方向前側(A方向前側)に配設されており、また、当該スリット状吐出口490が、リンス液を吸引して回収するリンス液吸引口に相当するスリット状吸引口510よりも移動方向前側(A方向前側)に位置することとなっている。その他の構成については、前述した第3の実施形態と同一であるのでその説明を省略する。
【0089】
このような構成のもと、この第4の実施形態の基板現像装置においては、前述した第3の実施形態の場合と同様の動作(図18参照)によって、現像液・リンス液吐出ノズル110は走査方向Aに向かって1回目の往路の移動を行い、基板W上に現像液を液盛りする。この現像液の液盛りが完了した時点では、現像液・リンス液吐出ノズル110は、待機ポット210から220まで一旦移動している。
【0090】
そして、基板W上への現像液の液盛りが完了すると、その状態をしばらく維持して現像処理が進められるので、その時間を利用して現像液・リンス液吐出ノズル110は、基板Wに影響を与えないような高さまで移動した上で、走査方向A(往路の移動方向)と反対方向の−A方向である復路を移動してもとの待機ポット210に戻る。そして現像に要する所定時間が経過すると今度は、再度図18に示すのと同様の動作によって現像液・リンス液吐出ノズル110は、走査方向Aに向かって2回目の往路の移動を行う。
【0091】
このとき、現像液・リンス液吐出ノズル110が基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動することによって、それぞれスリット状吸引口520からの現像液の吸引回収、スリット状吐出口490からのリンス液の基板W上への供給、スリット状吸引口510からのリンス液の吸引回収が連続的に行われ、基板Wに対する現像液供給、現像液回収、リンス液供給さらにはリンス液回収までの一連の現像処理を完了する。なお、必要に応じてこのような動作を繰り返して行うこともできる。
【0092】
この第4の実施形態の基板現像装置においては、第3の実施形態の装置と同様の効果を奏することができる他、基板Wの直径と同等以上の吐出幅を有する現像液・リンス液吐出ノズル110のスリット状吐出口150からの現像液の供給と、同じく基板Wの直径と同等以上の吐出幅を有するスリット状吐出口490からのリンス液の供給とを、それぞれ同一の移動方向(走査方向A)に移動させながら行っているので基板W表面内の各箇所で現像液と接している時間(現像時間)が均一となり、基板表面全体を均一に現像できパターンの線幅均一性を向上させることができる。
【0093】
次に第5の実施形態の基板現像装置について図22、23、24に基づいて説明する。第5の実施形態の基板現像装置は、図22、23、24に示すように前述した第3の実施形態と比較して、現像液・リンス液吐出ノズル120のノズル本体690の底面660には、それぞれ基板Wと同等以上の吐出幅と吸引幅とを有する液吐出口としてのスリット状吐出口640と、液吸引口としてのスリット状吸引口650の二つのみが形成されている点、現像液を導く配管62とリンス液としての純水を導く配管72とが三方弁680に接続され、制御部70による切り替え制御によって配管670を通して現像液か純水のいずれかが現像液・リンス液吐出ノズル120のスリット状吐出口640に導かれる点、および、現像液・リンス液吐出ノズル120が、往復移動の往路の移動を複数回繰り返し、往路の移動時に相当する走査方向Aに向かって移動する場合にのみ、現像液・リンス液吐出ノズル110から現像液またはリンス液を基板Wに供給するようにしている点で異なっている。なお、現像液・リンス液吐出ノズル120の往復移動の往路の移動時には、リンス液の供給を行うスリット状吐出口640が、リンス液を吸引して回収するスリット状吸引口650よりも移動方向前側(A方向前側)に位置することとなっている。その他の構成については、前述した第3の実施形態と同一であるのでその説明を省略する。
【0094】
このような構成のもと、この第5の実施形態の基板現像装置においては、前述した第3の実施形態の場合と同様の動作(図18参照)によって、現像液・リンス液吐出ノズル120は走査方向Aに向かって1回目の往路の移動を行う。このとき制御部70は、三方弁680を配管62と配管670とが連通するように切り替え制御し、現像液がスリット状吐出口640から基板Wへ供給されるようにする。そして、現像液・リンス液吐出ノズル120が、基板の一端の液供給開始位置から他端の液供給終了位置まで移動することによって、基板W上に現像液を液盛りする。この現像液の液盛りが完了した時点では、現像液・リンス液吐出ノズル120は、待機ポット210から220まで一旦移動している。
【0095】
そして、基板W上への現像液の液盛りが完了すると、その状態をしばらく維持して現像処理が進められるので、その時間を利用して現像液・リンス液吐出ノズル120は、基板Wに影響を与えないような高さまで移動した上で、走査方向A(往路の移動方向)と反対方向の−A方向である復路を移動してもとの待機ポット210に戻る。そして現像に要する所定時間が経過すると今度は、再度図18に示すのと同様の動作によって現像液・リンス液吐出ノズル120は、走査方向Aに向かって2回目の往路の移動を行う。
【0096】
このとき、制御部70は、配管72と配管670とが連通するように三方弁680を切り替え制御し、現像液・リンス液吐出ノズル120のスリット状吐出口640からリンス液としての純水が吐出されるようにする。そして、現像液・リンス液吐出ノズル120が基板の一端の液供給開始位置から他端の液供給終了位置まで移動することによって、それぞれスリット状吐出口640からのリンス液の基板W上への供給、スリット状吸引口690からのリンス液の吸引回収が連続的に行われ、基板Wに対する現像液供給、リンス液供給さらにはリンス液回収までの一連の現像処理を完了する。なお、必要に応じてこのような動作を繰り返して行うこともできる。
【0097】
この第5の実施形態の基板現像装置においては、第3の実施形態の装置と同様の効果を奏することができる他、基板Wの直径と同等以上の吐出幅を有する現像液・リンス液吐出ノズル120のスリット状吐出口640からの現像液の供給と、リンス液の供給とを、それぞれ同一の移動方向(走査方向A)に移動させながら行っているので基板W表面内の各箇所で現像液と接している時間(現像時間)が均一となり、基板表面全体を均一に現像できパターンの線幅均一性を向上させることができる。
【0098】
また、この第5の実施形態によれば、配管系統を簡略化することができる。
【0099】
この第5の実施形態における現像液・リンス液吐出ノズル120が請求項7に記載する移動手段に相当し、現像液供給系60が現像液供給手段に相当し、リンス液供給系70がリンス液供給手段に相当し、三方弁680及び制御手段70が切り替え制御手段に相当する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態における基板現像装置の平面図である。
【図2】図1の基板現像装置の主要部のX−X線断面図である。
【図3】図1の基板現像装置の主要部のX−X線断面図である。
【図4】図1の基板現像装置の主要部のY−Y線断面図である。
【図5】本発明の第1の実施形態にかかる現像液吐出ノズルの断面図である。
【図6】本発明の第1の実施形態にかかるリンス液吐出ノズルの断面図である。
【図7】本発明の第1の実施の形態にかかる現像液吐出ノズルの底面図である。
【図8】本発明の第1の実施の形態にかかるリンス液吐出ノズルの底面図である。
【図9】基板上での現像液吐出ノズルの走査を示す断面図である。
【図10】基板上でのリンス液吐出ノズルの走査を示す断面図である。
【図11】本発明の第2の実施形態にかかる基板現像装置の主要部のX−X線断面図である。
【図12】本発明の第2の実施形態にかかるリンス液供給ノズルの断面図である。
【図13】本発明の第2の実施形態にかかるリンス液供給ノズルの底面図である。
【図14】本発明の第3の実施形態にかかる基板現像装置の平面図である。
【図15】本発明の第3の実施形態にかかる現像液・リンス液吐出ノズルの断面図である。
【図16】本発明の第3の実施形態にかかる現像液・リンス液吐出ノズルの底面図である。
【図17】図14の基板現像装置の主要部のX−X線断面図である。
【図18】本発明の第3の実施形態にかかる現像液・リンス液吐出ノズルの往路の走査を示す断面図である。
【図19】本発明の第3の実施形態にかかる現像液・リンス液吐出ノズルの復路の走査を示す断面図である。
【図20】本発明の第4の実施形態にかかる現像液・リンス液吐出ノズルの断面図である。
【図21】本発明の第4の実施形態にかかる現像液・リンス液吐出ノズルの底面図である。
【図22】本発明の第5の実施形態にかかる基板現像装置の主要部の断面図である。
【図23】本発明の第5の実施形態にかかる現像液・リンス液吐出ノズルの断面図である。
【図24】本発明の第5の実施形態にかかる現像液・リンス液吐出ノズルの底面図である。
【符号の説明】
1 基板現像装置
11 現像液吐出ノズル
31 吸引チャック
41 リンス液吐出ノズル
60 現像液供給系
70 リンス液供給系
15、49、150、490、640 スリット状吐出口
51、52、510、520、650 スリット状吸引口
680 三方弁

Claims (7)

  1. 基板を静止状態で水平姿勢に保持する基板保持手段と、
    その底面に基板の直径と同等以上の吐出幅を有する現像液吐出口が形成され、前記基板保持手段に保持された基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して基板表面に現像液を供給する第1の移動手段と、
    前記基板保持手段に水平姿勢に保持された基板の表面に対して平行な底面の移動方向前側に形成された基板の直径と同等以上の吐出幅を有するリンス液吐出口と、前記底面の移動方向後側に形成された基板の直径と同等以上の吸引幅を有するリンス液吸引口とを有し、前記第1の移動手段によって基板表面全体に前記現像液が供給された後に前記基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して前記リンス液吐出口からリンス液を基板表面全体に供給するとともに、供給されたリンス液を前記リンス液吸引口から回収する第2の移動手段と、
    を備えたことを特徴とする基板現像装置。
  2. 請求項1に記載の基板現像装置において、
    前記第2の移動手段は、さらにその底面の前記リンス液吐出口よりさらに移動方向前側に形成された基板の直径と同等以上の吸引幅を有する現像液吸引口を有し、前記基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動するときに前記現像液吸引口より基板表面全体に供給されていた現像液を回収することを特徴とする基板現像装置。
  3. 基板を静止状態で水平姿勢に保持する基板保持手段と、
    基板の直径と同等以上の吐出幅を有する現像液吐出口と、基板の直径と同等以上の吐出幅を有し前記現像液吐出口から現像液が基板表面全体に供給された後にリンス液を基板表面に供給するリンス液吐出口と、基板の直径と同等以上の吸引幅を有するリンス液吸引口とが前記基板保持手段に水平姿勢に保持された基板の表面に対して平行な底面に形成され、前記基板上を往復移動する移動手段とを備え、
    前記移動手段には、少なくとも往復移動の復路の移動時に、前記リンス液吐出口が前記リンス液吸引口より移動方向前側に配設され、往路の移動時には、前記基板保持手段に保持された基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して前記現像液吐出口から基板表面に現像液を供給するとともに、復路の移動時には、基板の他端の現像液供給終了位置から一端の現像液供給開始位置まで移動して前記リンス液吐出口から基板表面全体にリンス液を供給するとともに、前記リンス液吸引口からリンス液を吸引して回収することを特徴とする基板現像装置。
  4. 請求項3に記載の基板現像装置において、
    前記移動手段は、さらに前記往復移動の復路の移動時に、前記リンス液吐出口より移動方向前側に基板の直径と同等以上の吸引幅を有する現像液吸引口が配設され、復路の移動時には、基板の他端の現像液供給終了位置から一端の現像液供給開始位置まで移動して前記現像液吸引口から基板表面の現像液を吸引して回収することを特徴とする基板現像装置。
  5. 基板を静止状態で水平姿勢に保持する基板保持手段と、
    基板の直径と同等以上の吐出幅を有する現像液吐出口と、基板の直径と同等以上の吐出幅を有し前記現像液吐出口から現像液が基板表面全体に供給された後にリンス液を基板表面に供給するリンス液吐出口と、基板の直径と同等以上の吸引幅を有するリンス液吸引口とが前記基板保持手段に水平姿勢に保持された基板の表面に対して平行な底面に形成され、前記基板上を往復移動する移動手段とを備え、
    前記移動手段には、少なくとも往復移動の往路の移動時に、前記リンス液吐出口が前記リンス液吸引口より移動方向前側に配設され、第1回目の往路の移動時には、基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して前記現像液吐出口から基板表面全体に現像液を供給するとともに、第2回目の往路の移動時には、基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して前記リンス液供給口から基板表面全体にリンス液を供給するとともに、前記リンス液吸引口から基板表面に供給されたリンス液を吸引して回収するようにしたことを特徴とする基板現像装置。
  6. 請求項5に記載の基板現像装置において、
    前記移動手段は、さらに前記往復移動の往路の移動時に、前記リンス液吐出口より移動方向前側に基板の直径と同等以上の吸引幅を有する現像液吸引口が配設され、第2回目の往路の移動時には、基板の一端の現像液供給開始位置から他端の現像液供給終了位置まで移動して前記現像液吸引口から基板表面の現像液を吸引して回収することを特徴とする基板現像装置。
  7. 基板を静止状態で水平姿勢に保持する基板保持手段と、
    基板の直径と同等以上の吐出幅を有する液吐出口と、基板の直径と同等以上の吸引幅を有し、基板表面に供給された液を吸引して回収する液吸引口とが前記基板保持手段に水平姿勢に保持された基板の表面に対して平行な底面に形成され、前記基板上を往復移動する移動手段と、
    現像液を前記液吐出口に向けて供給する現像液供給手段と、
    リンス液を前記液吐出口に向けて供給するリンス液供給手段と、
    前記現像液とリンス液のうちの一方が前記液吐出口に供給されるように切り替える切り替え制御手段とを備え、
    前記移動手段には、少なくとも往復移動の往路の移動時に、前記液吐出口が前記液吸引口より移動方向前側に配設され、第1回目の往路の移動時には、基板の一端の液供給開始位置から他端の液供給終了位置まで移動して前記液吐出口から基板表面全体に現像液を供給するとともに、第2回目の往路の移動時には、基板の一端の液供給開始位置から他端の液供給終了位置まで移動して前記液吐出口から基板表面全体にリンス液を供給するとともに、前記液吸引口から基板表面に供給されたリンス液を吸引して回収するようにしたことを特徴とする基板現像装置。
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