JP2004095705A5 - - Google Patents

Description

【書類名】 明細書
【発明の名称】 液処理装置及び液処理方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】 板状の被処理基板を保持する回転可能な保持手段と、
上記被処理基板表面と一定の隙間をおいて相対的に平行移動可能な液処理面を有するノズルヘッドと、
上記液処理面に設けられ、上記被処理基板表面に帯状に処理液を供給する処理液供給手段と、
上記液処理面に処理液供給手段と平行に設けられ、上記処理液供給手段から供給された処理液を吸引すると共に、上記被処理基板の表面に処理液の流れを形成する処理液吸引手段と、
上記ノズルヘッドの液処理面に、上記処理液吸引手段を挟んで処理液供給手段と対峙する位置に設けられ、上記被処理基板の表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
上記保持手段に設けられると共に、少なくとも保持手段にて保持された上記被処理基板の表面と同一平面上に位置する平坦面を有し、かつ、被処理基板の外周近傍に位置する上記ノズルヘッドの液処理面との間に液膜を形成すべく液処理面と対向する助走ステージと、
を具備することを特徴とする液処理装置。
【請求項２】 請求項１記載の液処理装置において、
上記助走ステージは、少なくともノズルヘッドの液処理面と対向する平坦面を有すると共に、この平坦面の外周辺に延在する下り勾配の液排出面を有することを特徴とする液処理装置。
【請求項３】 請求項１記載の液処理装置において、
上記助走ステージは、ノズルヘッドの液処理面と接触する液面を形成すべく外側方に向かって下り勾配の傾斜底壁と、この傾斜底壁の外側辺から起立する起立壁とからなる液溜り部を具備することを特徴とする液処理装置。
【請求項４】 請求項３記載の液処理装置において、
上記助走ステージの起立壁の下部側に排出孔を設けたことを特徴とする液処理装置。
【請求項５】 請求項１記載の液処理装置において、
上記助走ステージを、保持手段の側方を包囲する昇降可能なカップの上端に設けられる平坦面にて形成してなることを特徴とする液処理装置。
【請求項６】 板状の被処理基板を保持する回転可能な保持手段と、
上記被処理基板表面と一定の隙間をおいて相対的に平行移動可能な液処理面を有するノズルヘッドと、
上記液処理面に設けられ、上記被処理基板表面に帯状に処理液を供給する処理液供給手段と、
上記液処理面に処理液供給手段と平行に設けられ、上記処理液供給手段から供給された処理液を吸引すると共に、上記被処理基板の表面に処理液の流れを形成する処理液吸引手段と、
上記保持手段の外側近傍に配設されると共に、上記ノズルヘッドの液処理面における少なくとも処理液の流れが形成される領域に向かって液を供給する助走用液供給手段と、
を具備することを特徴とする液処理装置。
【請求項７】 請求項６記載の液処理装置において、
上記処理液吸引手段と洗浄液供給手段とを切換手段を介して洗浄液供給源に接続し、処理直前まで上記処理液吸引手段から洗浄液を供給し、処理開始時に処理液吸引手段を吸引側に切換可能に形成してなることを特徴とする液処理装置。
【請求項８】 請求項１記載の液処理装置において、
上記処理液吸引手段と上記洗浄液供給手段の洗浄液供給源とを接続する管路に介設される切換手段と、
上記切換手段を制御する制御手段と、を具備し、
上記切換手段は、処理直前まで上記処理液吸引手段から洗浄液を供給し、処理開始時に上記処理液吸引手段を吸引側に切り換えるように上記切換手段を制御することを特徴とする液処理装置。
【請求項９】 請求項１ないし８のいずれかに記載の液処理装置において、
上記ノズルヘッドの液処理面と被処理基板表面との距離を検出する間隔検出手段と、
上記ノズルヘッドを昇降可能に支持する昇降手段と、
上記間隔検出手段の検出信号と、予め記憶された情報とに基づいて、上記昇降手段を制御する制御手段と、
を更に具備することを特徴とする液処理装置。
【請求項１０】 被処理基板表面と一定間隔をおいて相対的に平行移動可能な液処理面を有するノズルヘッドと、
上記液処理面に設けられ、上記被処理基板表面に帯状に処理液を供給する処理液供給手段と、
上記液処理面に処理液供給手段と平行に設けられ、上記処理液供給手段から供給された処理液を吸引すると共に、上記被処理基板の表面に処理液の流れを形成する処理液吸引手段と、
上記液処理面に上記処理液吸引手段を挟んで上記処理液供給手段と対峙する位置に設けられ、上記被処理基板の表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
上記処理液吸引手段と上記洗浄液供給手段の洗浄液供給源とを接続する管路に介設される切換手段と、を具備する液処理装置により、上記ノズルヘッドを上記被処理基板と対向させた状態で相対的に移動させつつ処理を施す液処理方法であって、
上記ノズルヘッドが上記被処理基板の処理直前まで上記切換手段を切り換えて上記処理液吸引手段から洗浄液を供給する工程と、
次いで、上記被処理基板の処理開始時に上記切換手段を吸引側に切り換えて上記処理液吸引手段から処理液を吸引する工程と、
を有することを特徴とする液処理方法。
【請求項１１】 請求項１０記載の液処理方法において、
上記処理液の供給は、上記切換手段が吸引側に切り換えられると同時であることを特徴とする液処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばレチクル等のフォトマスク用ガラス基板に処理液を供給して処理する液処理装置及び液処理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウエハやＬＣＤ用ガラス基板等（以下にウエハ等という）の表面に例えばレジスト液を塗布し、ステッパー等の露光装置を用いて回路パターンを縮小してレジスト膜を露光し、露光後のウエハ表面に現像液を塗布して現像処理を行うフォトリソグラフィー技術が用いられている。
【０００３】
上記露光処理工程においては、例えばステッパー（縮小投影露光装置）等の露光装置が用いられており、レチクル等のフォトマスクに光を照射し、フォトマスクに描画されている回路パターンの原図を縮小してウエハ上に転写している。
【０００４】
ところで、このフォトマスクの製造工程においても、上記ウエハ等と同様にフォトリソグラフィ技術が用いられており、レジスト塗布工程、露光処理工程、現像処理工程という一連のプロセス工程を経ているが、フォトマスクはウエハ等に回路パターンを投影するための原図であるため、線幅等のパターン寸法は更に高精度が要求される。
【０００５】
従来のフォトマスクの現像方法には、(1)フォトマスク用のガラス基板をスピンチャック上に吸着保持して低速で回転し、スプレーノズルを用いて現像液をガラス基板上に噴霧状に吐出しながら現像処理を行うスプレー式現像方法、
(2)ガラス基板とスキャンノズルを相対移動させながら、スキャンノズルから供給される現像液をガラス基板上に液盛りし、静止状態で現像処理を行うパドル式現像方法、
(3)ガラス基板とスキャンノズルを相対移動させながら、スキャンノズルからガラス基板表面に供給される現像液を吸引手段によって吸引する供給・吸引式方法等が知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、スプレー式現像では、現像液と反応して生成された溶解生成物が、回転による遠心力によってガラス基板の辺部や角部に流れるため、この部分で現像液との反応が抑制され、線幅等のパターン寸法が不均一になるという問題があった。
【０００７】
また、パドル式現像では、溶解生成物が特定の場所に流れるということはなく、スプレー式現像のような問題は生じないが、パターンの幾何学的構造やパターン密度の差異により、溶解生成物の生成量や現像液の濃度が局所的に異なり、エッチング速度等が変化するローディング効果と呼ばれる現象が生じ、回路パターンが不均一になるという問題があった。
【０００８】
また、供給・吸引式現像では、スプレー式やパドル式に比べて現像液の消費量を抑制することができると共に、処理の均一性の向上が図れるが、吸引手段の吸引作用に伴って基板表面に供給された現像液（処理液）に外部から空気が入り込む泡噛みの虞があり、この泡噛みによって処理液の流が不安定となり、処理の均一性が損なわれるという問題があった。
【０００９】
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、処理液中への空気の混入を抑制して、レチクル等の被処理基板に対する均一な現像処理が可能な液処理装置及び液処理方法を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明の第１の液処理装置は、板状の被処理基板を保持する回転可能な保持手段と、 上記被処理基板表面と一定の隙間をおいて相対的に平行移動可能な液処理面を有するノズルヘッドと、 上記液処理面に設けられ、上記被処理基板表面に帯状に処理液を供給する処理液供給手段と、 上記液処理面に処理液供給手段と平行に設けられ、上記処理液供給手段から供給された処理液を吸引すると共に、上記被処理基板の表面に処理液の流れを形成する処理液吸引手段と、 上記ノズルヘッドの液処理面に、上記処理液吸引手段を挟んで処理液供給手段と対峙する位置に設けられ、上記被処理基板の表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、 上記保持手段に設けられると共に、少なくとも保持手段にて保持された上記被処理基板の表面と同一平面上に位置する平坦面を有し、かつ、被処理基板の外周近傍に位置する上記ノズルヘッドの液処理面との間に液膜を形成すべく液処理面と対向する助走ステージと、を具備することを特徴とする（請求項１）。
【００１１】
この発明において、上記助走ステージは、少なくとも上記保持手段にて保持された上記被処理基板の表面と同一平面上に位置する平坦面を有し、かつ、被処理基板の外周近傍に位置する上記ノズルヘッドの液処理面と対向するものであれば、その構造は任意でよく、例えば、上記助走ステージに、少なくともノズルヘッドの液処理面と対向する平坦面を設けると共に、この平坦面の外周辺に延在する下り勾配の液排出面を設けてもよい（請求項２）。また、上記助走ステージに、ノズルヘッドの液処理面と接触する液面を形成するように外側方に向かって下り勾配の傾斜底壁と、この傾斜底壁の外側辺から起立する起立壁とからなる液溜り部を設けてもよい（請求項３）。この場合、上記助走ステージの起立壁の下部側に排出孔を設ける方が好ましい（請求項４）。
【００１２】
また、この発明の第２の液処理装置は、上記助走ステージを、上記保持手段の側方を包囲する昇降可能なカップの上端に設けられる平坦面にて形成してなることを特徴とする（請求項５）。
【００１３】
また、この発明の第３の液処理装置は、板状の被処理基板を保持する回転可能な保持手段と、 上記被処理基板表面と一定の隙間をおいて相対的に平行移動可能な液処理面を有するノズルヘッドと、 上記液処理面に設けられ、上記被処理基板表面に帯状に処理液を供給する処理液供給手段と、 上記液処理面に処理液供給手段と平行に設けられ、上記処理液供給手段から供給された処理液を吸引すると共に、上記被処理基板の表面に処理液の流れを形成する処理液吸引手段と、 上記保持手段の外側近傍に配設されると共に、上記ノズルヘッドの液処理面における少なくとも処理液の流れが形成される領域に向かって液を供給する助走用液供給手段と、を具備することを特徴とする（請求項６）。この場合、上記処理液吸引手段と洗浄液供給手段とを切換手段を介して洗浄液供給源に接続し、処理直前まで上記処理液吸引手段から洗浄液を供給し、処理開始時に処理液吸引手段を吸引側に切換可能に形成してもよい（請求項７）。
【００１４】
また、この発明の第４の液処理装置は、第１の液処理装置に、更に、上記処理液吸引手段と上記洗浄液供給手段の洗浄液供給源とを接続する管路に介設される切換手段と、 上記切換手段を制御する制御手段と、を具備し、 上記切換手段は、処理直前まで上記処理液吸引手段から洗浄液を供給し、処理開始時に上記処理液吸引手段を吸引側に切り換えるように上記切換手段を制御することを特徴とする（請求項８）。
【００１５】
また、上記ノズルヘッドの液処理面と被処理基板表面との距離を検出する間隔検出手段と、 上記ノズルヘッドを昇降可能に支持する昇降手段と、 上記間隔検出手段の検出信号と、予め記憶された情報とに基づいて、上記昇降手段を制御する制御手段と、を更に具備する方が好ましい（請求項９）。
【００１６】
また、この発明の液処理方法は、被処理基板表面と一定間隔をおいて相対的に平行移動可能な液処理面を有するノズルヘッドと、 上記液処理面に設けられ、上記被処理基板表面に帯状に処理液を供給する処理液供給手段と、 上記液処理面に処理液供給手段と平行に設けられ、上記処理液供給手段から供給された処理液を吸引すると共に、上記被処理基板の表面に処理液の流れを形成する処理液吸引手段と、 上記液処理面に上記処理液吸引手段を挟んで上記処理液供給手段と対峙する位置に設けられ、上記被処理基板の表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、 上記処理液吸引手段と上記洗浄液供給手段の洗浄液供給源とを接続する管路に介設される切換手段と、を具備する液処理装置により、上記ノズルヘッドを上記被処理基板と対向させた状態で相対的に移動させつつ処理を施す液処理方法であって、 上記ノズルヘッドが上記被処理基板の処理直前まで上記切換手段を切り換えて上記処理液吸引手段から洗浄液を供給する工程と、 次いで、上記被処理基板の処理開始時に上記切換手段を吸引側に切り換えて上記処理液吸引手段から処理液を吸引する工程と、 を有することを特徴とする（請求項１０）。この場合、上記処理液の供給を、上記切換手段が吸引側に切り換えられると同時に行う方が好ましい（請求項１１）。
【００１７】
請求項１記載の発明によれば、処理開始前に、ノズルヘッドを助走ステージと対向する位置に移動した状態で、洗浄液供給手段から洗浄液を助走ステージに供給してノズルヘッドの液処理面と助走ステージとの間に液膜すなわち液で満たされた領域を形成し、次に、処理液吸引手段により液すなわち洗浄液を吸引し、この吸引作用によって処理液吸引手段の内部全域に液が満たされるようにする。この状態で、ノズルヘッドと被処理基板表面とを一定の隙間をおいて相対的に平行移動し、被処理基板面に直前から処理液供給手段から処理液を供給することにより、助走ステージを移動中に処理液吸引手段内に空気が混入すなわち泡噛みすることなく、被処理基板の表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。この場合、ノズルヘッドの液処理面と助走ステージとの間に、洗浄液供給手段及び処理液供給手段から洗浄液及び処理液を供給して、洗浄液及び処理液の液膜を形成し、処理液吸引手段により吸引してもよい。したがって、例えば現像処理によって被処理基板の表面に生成した溶解生成物を除去し、新鮮な現像液を安定した状態で供給することができる。また、ノズルヘッドの液処理面に、処理液吸引手段を挟んで処理液供給手段と対峙する位置に設けられる洗浄液供給手段によって、被処理基板の表面に洗浄液を供給するので、洗浄液供給手段が供給した洗浄液を処理液供給手段が吸引することにより、処理液が処理液吸引手段から洗浄液供給手段側へ広がるのを防止して、被処理基板上の処理液の幅を一定にすることができる。また、処理液上のパーティクル等を除去することができる。
【００１８】
この場合、助走ステージに、少なくともノズルヘッドの液処理面と対向する平坦面を設けると共に、この平坦面の外周辺に延在する下り勾配の液排出面を設けることにより、処理前に洗浄液供給手段又は洗浄液供給手段及び処理液供給手段から助走ステージに供給された洗浄液や処理液を被処理体と反対の外方側に速やかに排出することができる（請求項２）。また、助走ステージに、ノズルヘッドの液処理面と接触する液面を形成すべく外側方に向かって下り勾配の傾斜底壁と、この傾斜底壁の外側辺から起立する起立壁とからなる液溜り部を設けることにより、処理前に洗浄液供給手段又は洗浄液供給手段及び処理液供給手段から助走ステージに供給された洗浄液や処理液を液溜り部内に貯留して、その液面をノズルヘッドの液処理面に接触することができる（請求項３）。この場合、助走ステージの起立壁の下部側に排出孔を設けることにより、液溜り部内に貯留された洗浄液や処理液を外部に排出することができ、液溜り部に新しい洗浄液や処理液等を貯留することができる（請求項４）。
【００１９】
請求項５記載の発明によれば、処理開始前に、カップの上端の平坦面を保持手段にて保持された被処理基板表面と同一平面上に位置させ、ノズルヘッドをカップの平坦面と対向する位置に移動した状態で、処理液供給手段から処理液をカップの平坦面に供給してノズルヘッドの液処理面と助走ステージとの間に液膜すなわち液で満たされた領域を形成し、その後、被処理基板表面と一定の隙間をおいて相対的に平行移動すると共に、処理液吸引手段により処理液を吸引することにより、処理液中に空気が混入することなく、被処理基板の表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。したがって、例えば現像処理によって被処理基板の表面に生成した溶解生成物を除去し、新鮮な現像液を安定した状態で供給することができる。
【００２０】
請求項６記載の発明によれば、処理開始前に、助走用液供給手段からノズルヘッドの液処理面における少なくとも処理液の流れが形成される領域に向かって例えば洗浄液を供給してノズルヘッドの液処理面と助走ステージとの間に液膜すなわち液で満たされた領域を形成し、その後、被処理基板表面と一定の隙間をおいて相対的に平行移動すると共に、処理液吸引手段により処理液を吸引することにより、処理液中に空気が混入することなく、被処理基板の表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。したがって、例えば現像処理によって被処理基板の表面に生成した溶解生成物を除去し、新鮮な現像液を安定した状態で供給することができる。この場合、処理液吸引手段と洗浄液供給手段とを切換手段を介して洗浄液供給源に接続し、処理直前まで処理液吸引手段から洗浄液を供給し、処理開始時に処理液吸引手段を吸引側に切換可能に形成することにより、処理直前まで処理液吸引手段の内部全域の空気を除去することができ、処理開始と同時に処理液を処理液吸引手段から吸引することができる（請求項７）。
【００２１】
請求項８記載の発明によれば、処理液吸引手段と洗浄液供給手段の洗浄液供給源とを接続する管路に介設される切換手段と、処理直前まで処理液吸引手段から洗浄液を供給し、処理開始時に処理液吸引手段を吸引側に切り換えるように切換手段を制御する制御手段を具備することにより、助走ステージを設けることなく、処理直前まで処理液吸引手段の内部全域の空気を除去することができ、処理開始と同時に処理液を処理液吸引手段から吸引することができる。したがって、処理液吸引手段内に空気が混入すなわち泡噛みを防止して被処理基板の表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。
【００２２】
請求項９記載の発明によれば、制御手段は、ノズルヘッドの液処理面と被処理基板表面との距離を検出する間隔検出手段の検出信号と、予め記憶された情報とに基づいて、ノズルヘッドを昇降可能に支持する昇降手段を制御するので、ノズルヘッドの液処理面と被処理基板との間の隙間を確実に一定にすることができる。
【００２３】
請求項１０，１１記載の発明によれば、処理開始前まで処理液吸引手段から洗浄液を供給して、処理液吸引手段の配管内の空気を除去することができ、処理開始と同時に処理液を処理液吸引手段から吸引することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。この実施形態では、この発明の液処理装置を、フォトマスク用の被処理基板、例えばレチクル用のガラス基板Ｇに現像処理を行う現像処理装置に適用した場合について説明する。
【００２５】
◎第一実施形態
上記現像処理装置１は、図１に示すように、中心部に配設されたガラス基板Ｇの搬送手段例えば搬送アーム２を挟んで複数のガラス基板Ｇを収容するカセットＣの搬入・搬出ユニット３と対向する位置に設置される現像処理ユニット４内に配設されている。なお、搬送アーム２の左右の対向位置には、ガラス基板Ｇを加熱又は冷却する熱処理ユニット５と、レジスト塗布処理ユニット６が設置されている。このように構成される塗布・現像処理システムにおいて、搬送アーム２は、水平の３６０度に回転可能に形成されると共に、水平のＸ，Ｙ方向に伸縮可能に形成され、かつ、垂直のＺ方向に移動可能に形成されている。このように形成される搬送アーム２により、カセットＣ、現像処理ユニット４、熱処理ユニット５及びレジスト塗布処理ユニット６に対してそれぞれガラス基板Ｇの搬入・搬出を行うことができる。
【００２６】
上記現像処理装置１は、図２ないし図５に示すように、搬送アーム２により、現像処理ユニット４内に搬入されるレジスト液の塗布及び回路パターンの露光が終了したガラス基板Ｇを水平状態に吸着保持する水平方向に回転可能な保持手段例えばスピンチャック１０と、このスピンチャック１０を回転する駆動モータ１１と、ガラス基板Ｇと一定の隙間をおいて相対的に平行移動可能な後述する液処理面２１を有するノズルヘッド２０と、このノズルヘッド２０を水平のＸ方向に移動すると共に、垂直のＺ方向に昇降移動可能なノズル移動手段３０と、スピンチャック１０に設けられ、現像処理開始前のノズルヘッド２０が位置する助走ステージ４０及びスピンチャック１０の側方を包囲する昇降可能なカップ５０とで主に構成されている。
【００２７】
この場合、スピンチャック１０は、図４及び図６に示すように、中空回転軸１２に連結されており、この中空回転軸１２に装着された従動プーリ１３と、駆動モータ１１の駆動軸１１ａに装着された駆動プーリ１４とに掛け渡されるタイミングベルト１５を介して駆動モータ１１からの動力が伝達されるようになっている。また、スピンチャック１０の載置面の４角領域の４箇所の角部には、ガラス基板Ｇを僅かな隙間をおいて支持するプロキシミティーピン１６が突設されると共に、ガラス基板Ｇの角部の隣接する辺を保持する回転規制ピン１７が突設されている。また、スピンチャック１０の載置面には、ガラス基板Ｇの下面縁部（パターン形成領域外）を吸着保持する３個の吸着パット１８が取り付けられている。これら吸着パット１８は、図５に示すように、スピンチャック１０の回転中心を挟んで対向する一方の位置に１個と、他方の位置に２個配設されている。なお、吸着パット１８は真空ポンプ等の真空装置（図示せず）に接続されている。
【００２８】
上記説明では、タイミングベルト１５を介して駆動モータ１１からの動力を中空回転軸１２に伝達する場合について説明したが、中空回転軸１２に中空モータを装着して中空回転軸１２及びスピンチャック１０を回動するようにしてもよい。
【００２９】
なお、スピンチャック１０の中心部には、裏面洗浄用ノズル１９が設けられている。この裏面洗浄用ノズル１９は、中空回転軸１２との間にベアリング１９ａを介して取り付けられて回転しないようになっており、中空部１２ａ内に配設された洗浄液供給チューブ１９ｂを介して図示しない洗浄液供給源に接続されている。
【００３０】
上記助走ステージ４０は、中心部にガラス基板Ｇの外形より若干大きな方形孔４１（例えば、ガラス基板Ｇとの隙間が約１ｍｍ）を有するドーナツ状の円板部材４２と、この円板部材４２の上面をスピンチャック１０にて保持されたガラス基板Ｇの表面と同一平面上に位置するようにスピンチャック１０の上面の同心円上に適宜間隔をおいて立設される複数の固定ピン４３とで構成されている。このように、助走ステージ４０を円板部材４２にて形成することにより、ガラス基板Ｇの洗浄及び乾燥時にスピンチャック１０を回転しても、乱気流が生じるのを防止することができる。なお、スピンチャック１０にて保持されるガラス基板Ｇと助走ステージ４０の方形孔４１との間には、約１ｍｍの隙間が生じるが、隙間に入った液の表面張力によりウォータシールドが形成されるので、液は下方に落下することがない。
【００３１】
また、図４及び図６に示すように、スピンチャック１０の載置部の下方には、スピンチャック１０に設けられた貫通孔１０ａを貫通してガラス基板Ｇの下面縁部（パターン形成領域外）を支持する昇降可能な３本の支持ピン６０が設けられている。これら３本の支持ピン６０は、連結板６１上に立設されており、連結板６１と連結する昇降手段例えばエアーシリンダ６２の伸縮動作によってスピンチャック１０の載置部の上方に出没可能に形成されている。なお、この場合、３本の支持ピン６０は、上記吸着パット１８と点対称となる位置に設けられている。このように構成される支持ピン６０によって上記搬送アーム２との間でガラス基板Ｇの受け渡しが行われる。すなわち、搬送アーム２がガラス基板Ｇをスピンチャック１０の上方に搬送した状態で、上昇してガラス基板Ｇの下面縁部を支持してガラス基板Ｇを受け取り、その後、支持ピン６０は下降してガラス基板Ｇをスピンチャック１０の上面に載置した後、スピンチャック１０と干渉しない下方位置に待機する。また、処理が済んだ後には、上昇してガラス基板Ｇをスピンチャック１０の上方に突き上げ、搬送アーム２にガラス基板Ｇを受け渡した後、下降する。
【００３２】
一方、上記カップ５０は、図４に示すように、スピンチャック１０の外方を包囲する筒状のカップ本体５１と、このカップ本体５１の上端縁から上方に向かって縮径テーパ状に延在し、上記助走ステージ４０の円板部材４２の外周縁部に干渉しない範囲で近接する開口５２を有する縮径テーパ部５３とで構成されており、カップ本体５１に取り付けられたブラケット５４に連結する移動手段例えばカップ移動用エアーシリンダ５５の伸縮動作によって図４に示す通常位置と、上方に移動する洗浄・乾燥位置とに切り換わるように構成されている。なお、カップ本体５１はカップ移動用エアーシリンダ５５のロッド５５ａと平行に配設されるガイドバー５６を有しており、このガイドバー５６が現像処理装置１の固定部に装着された軸受け部５７に摺動自在に嵌挿されている。
【００３３】
また、カップ５０の下端部には、カップ本体５１の外方を包囲する外壁５８ａを有する有底ドーナツ円筒状の固定カップ５８が配設されている。この固定カップ５８の底部には排液管路５８ｂが接続されている。また、スピンチャック１０の載置部の下部と固定カップ５８の上部との間には、スピンチャック１０側から排出される排液すなわち処理液や洗浄液を固定カップ５８内に流す内カップ５９が配設されている。
【００３４】
一方、上記ノズルヘッド２０は、ガラス基板Ｇのパターン形成領域の幅と同じかそれ以上の長さに形成されると共に、ガラス基板と一定の隙間例えば５０μｍ〜３ｍｍ、より好ましくは５０μｍ〜５００μｍを空けて相対的に平行移動可能な液処理面２１を有する略直方体状に形成されている。このノズルヘッド２０には、液処理面２１に設けられ、ガラス基板Ｇに帯状に現像液を供給（吐出、塗布）する現像液供給ノズル２２（処理液供給手段）と、液処理面２１に現像液供給ノズル２２と平行に設けられ、現像液供給ノズル２２が供給した現像液を吸引し、ガラス基板Ｇの表面に現像液の流れを形成する現像液吸引ノズル２３（以下に吸引ノズル２３という）｛処理液吸引手段｝と、吸引ノズル２３を挟んで現像液供給ノズル２２と対向する位置に設けられ、ガラス基板Ｇの表面に例えば純水等のリンス液（洗浄液）を供給（吐出、塗布）するサイドリンスノズル２４（洗浄液供給手段）とが設けられている。なお、図７に二点鎖線で示すように、ノズルヘッド２０の一方のサイドリンスノズル２４の外方側に、ドライエア供給ノズル２００を設け、このドライエア供給ノズル２００を図示しないドライエア供給源に接続しておくことも可能である。このように、ノズルヘッド２０にドライエア供給ノズル２００を設けることにより、現像処理後の洗浄処理及び乾燥処理前に、ガラス基板Ｇの表面にドライエアを吹き付けて、現像液及びリンス液等を荒く取り除く（液切りする）ことができるので、洗浄効果が向上すると共に、洗浄及び乾燥時間の短縮が図れる。
【００３５】
現像液供給ノズル２２は、図７に示すように、泡抜き等を行うため一旦現像液を収容する収容部２５をノズルヘッド２０内に有しており、現像液が貯留される現像液タンク７０（現像液供給源）から現像液を供給する現像液供給管路７１と、収容部２５の現像液の泡抜きを行う泡抜き管路（図示せず）とに接続されている。
【００３６】
また、現像液供給管路７１には、現像液の温度を調節する温度調節機構７２（処理液温度調節手段）と、現像液を圧送する図示しない圧送手段例えばポンプと、現像液供給管路内の現像液の流量を検出する現像液流量計１３０（処理液流量検出手段）とが設けられており、例えば圧縮空気によって開閉を制御されるエアオペレーションバルブ等の開閉弁Ｖ１（処理液流量調節手段）によって現像液の流量調節が可能に形成されている。
【００３７】
温度調節機構７２は、図７に示すように、現像液供給管路７１とノズルヘッド２０との接続部に設けられ、現像液供給管路７１が温度調節管路７３内を通るように形成される二重管構造となっている。また、温度調節管路７３は、現像液供給管路７１内を上方から下方へ流れる現像液に対し、ヒータ７４等で温調された液体例えば純水を循環手段例えば循環ポンプ７５により温度調節管路７３内を下方から上方へ循環するように構成されている。このように構成することにより、現像液の温度を調節することができるので、現像液の粘度及びエッチング速度（処理速度、反応速度）等を一定にすることができ、更に均一な現像処理を行うことができる。
【００３８】
また、現像液供給ノズル２２は、図８に示すように、現像液供給ノズル２２の長手方向に例えば１ｍｍピッチで等間隔に設けられる複数の供給孔２６（処理液供給孔）と、これら供給孔２６の下部に連通され現像液供給ノズル２２の長手方向に設けられる例えば１ｍｍ幅のスリット２７と、スリット２７の下部に連通され現像液をガラス基板Ｇに供給（吐出、塗布）する拡開テーパ状の現像液供給口２８（処理液供給口）と、この現像液供給口２８内の長手方向に設けられ、均一に現像液を吐出する整流緩衝棒例えば円柱状の石英棒２９とで構成されている。ここでは、整流緩衝棒が石英棒２９にて形成される場合について説明したが、整流緩衝棒は、親水性であれば石英以外に例えばセラミックス等で形成することも可能である。
【００３９】
現像液供給ノズル２２を、このように構成することにより、供給孔２６から流出する現像液は、スリット２７で合流した後、現像液供給口２８の壁面を伝って流れる一方、石英棒２９の表面で拡散させることができる。したがって、スリット２７で供給孔による現像液の吐出むらを防止し、石英棒２９でガラス基板Ｇに均一に現像液を供給（吐出、塗布）することができ、現像液供給ノズル２２と後述する吸引ノズル２３との間に、新しい現像液を常時供給しつつ均一な現像液の流れを形成して、溶解生成物を除去しながら均一な現像液の流れを形成して、均一な現像処理をすることができる。
【００４０】
吸引ノズル２３は、現像液やリンス液等の現像処理に用いられた処理液（廃液）を吸引するスリット状の吸引口２３ａが、現像液供給ノズル２２の液処理面２１の移動方向両側に平行に設けられている。ここで、吸引口２３ａの長手方向の長さは、現像液供給ノズル２２両端からの現像液の染み出しを防ぐため、現像液供給口２８の長手方向の長さより長く形成される方が好ましい。また、吸引口２３ａのスリットは、幅が広過ぎると吸引口２３ａ付近で現像状態が悪くなるため、供給された現像液をサイドリンスノズル２４側に漏らさないように吸引できる範囲で可及的に狭く形成される方が好ましい。更に、吸引ノズル２３は、現像液供給ノズル２２から供給され、現像処理に供された現像液を円滑に吸引し、均一な現像液の流れを形成するため、図７に示すように、吸引口２３ａを現像液供給口２８側に向くように形成する方が好ましい。
【００４１】
また、吸引ノズル２３は、図７に示すように、吸引管路７６を介して、吸引口２３ａが吸引する現像液やリンス液等の廃液の吸引量を調節可能な減圧機構例えばエジェクタ７７と、現像処理装置１の移動方向前方側及び後方側の各吸引口２３ａそれぞれの吸引量を検出可能な吸引流量計１５０ (吸引量検出手段）と、吸引管路７６の開閉を行い吸引量を調節する、例えば圧縮空気によって開閉を制御されるエアオペレーションバルブ等の開閉弁Ｖ２，Ｖ３（吸引量調節手段）と、吸引した廃液を気体と液体に分離して回収するトラップタンク７８と、このトラップタンク７８の圧力を検出可能な圧力センサ７９と、トラップタンク７８内に回収された廃液を回収する廃液タンク８０とで構成される吸引部８１に接続されている。この場合、吸引管路７６を吸引ノズル２３の上端から吸引すると、その部分の直下の吸引口２３ａ付近で現像液の流れが特異になり、現像処理が不均一になる虞があるため、吸引管路７６は、ガラス基板Ｇのパターン形成領域から外れる位置の上端に設けるか、又は、吸引ノズル２３の両側端に設ける方が好ましい。
【００４２】
なお、上記吸引部８１は、エジェクタ７７、トラップタンク７８及び圧力センサ７９を用いる代わりに、吸引口が吸引する廃液の吸引量を調節可能な吸引手段例えば吸引ポンプを用いることも可能である。
【００４３】
サイドリンスノズル２４は、図７に示すように、吸引ノズル２３を挟んで現像液供給ノズル２２と対向する位置に平行に設けられており、スリット状のリンス液供給口２４ａから液処理面２１とガラス基板Ｇとの間に例えば純水等のリンス液を供給可能に形成されている。
【００４４】
また、サイドリンスノズル２４は、図７に示すように、リンス液供給管路８２を介してリンス液供給源例えばリンス液供給タンク８３に接続されており、リンス液供給管路８２には、現像液供給管路７１と同様に、リンス液の温度を調節する温度調節機構８４（洗浄液温度調節手段）と、リンス液を圧送する図示しないポンプ等の圧送手段と、リンス液供給管路８２内のリンス液の流量を検出するリンス液流量計１４０（洗浄液流量検出手段）と、圧縮空気等によって開閉制御されるエアオペレーションバルブ等の開閉弁Ｖ４（洗浄液流量調節手段）とが設けられている。
【００４５】
このように構成することにより、サイドリンスノズル２４が供給したリンス液の一部を吸引ノズル２３が吸引し、現像液が吸引ノズル２３からサイドリンスノズル２４側へ広がるのを防止することができるので、ガラス基板Ｇ上の現像液の幅を一定にすることができ、現像時間を一定にして均一な現像処理を行うことができる。勿論、ガラス基板Ｇ上のパーティクル等を除去することもできる。
【００４６】
なお、サイドリンスノズル２４は、ノズルヘッド２０のスキャン方向の前方側のサイドリンスノズル２４から供給されるリンス液は、処理前のガラス基板Ｇのプリウエットに供され、現像液のぬれ性の向上に寄与する。また、後方のサイドリンスノズル２４から供給されるリンス液によって現像の停止が行われるようになっている。なお、サイドリンスノズル２４は、ノズルヘッド２０と分離して設けることも可能である。
【００４７】
上記のように構成されるノズルヘッド２０を水平方向（Ｘ方向）に移動（スキャン）及び垂直方向（Ｚ方向）に移動するノズル移動手段３０は、図３に示すように、スピンチャック１０の一側方に配設されるガイドプレート３１に設けられる一対の互いに平行な水平ガイドレール３２に摺動可能に装着される水平移動台３３と、この水平移動台３３を水平方向に移動する例えばボールねじ機構にて形成される水平移動機構３４と、水平移動台３３に対して垂直方向に移動可能に装着される垂直移動基部３５の上端からスピンチャック１０側に延在し、先端部がノズルヘッド２０を保持するアーム３６と、アーム３６を垂直方向に移動する例えばボールねじ機構にて形成される垂直移動機構３７とで構成されている。
【００４８】
また、ノズルヘッド２０における移動方向（Ｘ方向）の一方の端部には、ノズルヘッド２０の液処理面２１とガラス基板Ｇとの間隔を検出可能な間隔検出手段例えばレーザ変位計９０（図２参照）が取り付けられている。このレーザ変位計９０の検出信号が制御手段例えば中央演算処理装置１００（以下にＣＰＵ１００という）に伝達され、ＣＰＵ１００からの制御信号によって垂直移動機構３７のモータが駆動して、ノズルヘッド２０の液処理面２１とガラス基板Ｇとの間に一定の隙間例えば１ｍｍ〜５０μｍの隙間を精度良く形成することができる。
【００４９】
また、現像処理装置１は、垂直移動機構３７以外にも、ＣＰＵ１００（制御手段）に電気的に接続されており、現像液流量計１３０、リンス液流量計１４０、吸引流量計１５０、圧力センサ７９、レーザ変位計９０（間隔検出手段）等の検出信号と、予め記憶された情報とに基づいて、バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４、現像処理装置１のスキャンスピード等を制御可能に構成されている。
【００５０】
なお、助走ステージ４０の外方には、ノズル待機位置が設けられており、処理終了後にノズルヘッド２０が戻されるようになっている。
【００５１】
また、ノズル待機位置の外方には、リンスノズル８が配設されている。このリンスノズル８は、図２に示すように、水平方向に正逆回転するモータ８ａの駆動軸８ｂに一端が連結されるアーム８ｃの先端部に装着されており、モータ８ａの駆動によってガラス基板Ｇの中心部を通る円弧状の軌跡を描いて移動し得るように構成されている。また、リンスノズル８は、図示しない、垂直移動機構によって更に垂直方向にも移動可能に形成されている。なお、リンスノズル８は、図示しないリンス液供給管路を介してリンス液供給源例えばリンス液供給タンク８３に接続されている。
【００５２】
以下に、上記のように構成される現像処理装置１を用いた現像処理方法について説明する。
【００５３】
まず、搬送アーム２により搬入されるガラス基板Ｇは、現像処理ユニット４の搬入出口部に配設された厚さ検出手段例えばレーザ光の反射を利用して距離を測定するレーザ変位計１０１によって厚さが検出される。この場合、レーザ変位計１０１は、図１４（ａ）に示すように、ガラス基板Ｇの上方から塗布されているＣｒ層１０２までの距離と、ガラス基板Ｇの下方からガラス基板Ｇの裏面までの距離とを測定して比較演算するか、図１４（ｂ）に示すように、ガラス基板Ｇの下方からガラス基板Ｇの裏面までの距離と、Ｃｒ層１０２までの距離を測定して比較演算することによりガラス基板Ｇの厚さを検出し、ＣＰＵ１００に記憶させることができる。これにより、１００μｍ程度の誤差があるガラス基板Ｇの厚さを正確に検出して、後述する現像処理装置１の液処理面２１とガラス基板Ｇ表面との間の変位情報を更に正確に検出することができる。
【００５４】
なお、レーザ変位計１０１（厚さ検出手段）は、必ずしも現像処理ユニット４の搬入出口に設ける必要はなく、現像処理前の処理ユニット例えば熱処理ユニット５の搬入出口部に配設して、同様にガラス基板Ｇの厚さを検出して、その検出信号をＣＰＵ１００に伝達するようにしてもよい。
【００５５】
次に、搬送アーム２によってガラス基板Ｇがスピンチャック１０の上方位置に搬送されると、エアーシリンダ６２（昇降手段）が駆動され、支持ピン６０がスピンチャック１０に設けられた貫通孔１０ａを貫通して上方に突出して、ガラス基板Ｇの下面縁部を支持する。この状態で、搬送アーム２は現像処理ユニット４内から退避してガラス基板Ｇは支持ピン６０に受け渡される。次に、支持ピン６０が下降してガラス基板Ｇをスピンチャック１０の載置部上に載置する。この状態で、ガラス基板Ｇの角部は回転規制ピン１７によって保持され、吸着パット１８による吸着作用によって吸着保持される。
【００５６】
スピンチャック１０にガラス基板Ｇが吸着保持されると、ＣＰＵ１００の制御信号によりノズル移動手段３０の水平移動機構３４が作動して、ノズルヘッド２０をノズル待機位置から助走ステージ４０まで移動する。ノズルヘッド２０が助走ステージ４０に達すると、助走ステージ４０に向かって予め所定温度に温調されたリンス液を供給（吐出）しつつノズルヘッド２０をガラス基板Ｇの上方をスキャン（水平移動）させて、ガラス基板Ｇの表面全体にリンス液を塗布する（プリウエット工程）。これにより、現像液を供給（吐出、塗布）する前に、ガラス基板Ｇを処理温度に調節することができると共に、現像液のぬれ性を良好にすることができる。
【００５７】
プリウエット工程が終了すると、現像処理装置１は、レーザ変位計１０１により検出されたガラス基板Ｇの厚さデータに基づいてスキャンし、ガラス基板Ｇと液処理面２１との間隔をレーザ変位計９０により検出しながらスキャン開始位置まで戻る。検出された変位情報はＣＰＵ１００に記憶される。この場合、プリウエット工程とデータ取りとを同時に行うことも勿論可能である。
【００５８】
なお、上記説明では、プリウエット工程終了後に変位情報を検出しているが、変位情報の検出方法はこれに限らず、レーザ変位計９０を、現像処理装置１の進行方向後方側に設けて、プリウエット工程と同時に行うことも可能である。
【００５９】
ノズルヘッド２０がスキャン開始位置すなわち助走ステージ４０と対向する位置に戻った状態において、助走ステージ４０に向かってサイドリンスノズル２４からリンス液が供給（吐出）され、ノズルヘッド２０の液処理面２１と助走ステージ４０との間に液膜を形成、すなわち液処理面２１と助走ステージ４０との間にリンス液を満たした状態にし、次に、吸引ノズル２３を作動して、吸引ノズル２３の吸引作用によって吸引ノズル２３の内部全域にリンス液が満たされるようにする。すなわち、空気の混入による泡噛みによって助走ステージ面の液の流れが乱されないようにする。このようにして、ノズルヘッド２０が助走ステージ４０を移動中に泡噛みをなくしておく。
【００６０】
このように、ノズルヘッド２０が助走ステージ４０を移動中に、ノズルヘッド２０の液処理面２１と助走ステージ４０との間に液膜を形成し、吸引ノズル２３により吸引することにより、吸引ノズル２３の内部全域に液を満たして外部からの空気の入り込みすなわち泡噛みを防止することができる。そして、ガラス基板Ｇの表面に移動する直前から現像液供給ノズル２２から現像液を供給し、吸引ノズル２３と現像液供給ノズル２２間に適正な安定した現像液の流れを形成する。
【００６１】
なお、サイドリンスノズル２４及び現像液供給ノズル２２からリンス液及び現像液を助走ステージ４０に向かって供給すると同時に、吸引ノズル２３を作動して、吸引ノズル２３の吸引作用によって吸引ノズル２３の内部全域にリンス液及び現像液が満たされるようにして、泡噛みを防止し、現像液の流れを形成するようにしてもよい。
【００６２】
一方、ＣＰＵ１００は、現像処理装置１のスキャンスピードを現像時間が確保できる速度に制御すると共に、開閉弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４の開口度を制御して、液処理面２１とガラス基板Ｇとの間に、一定幅の現像液の流れを形成し得るように、現像液及びリンス液（純水）の供給（吐出、塗布）及び吸引を制御する。
【００６３】
この際、吸引流量が吸引流量上限値より多いと、空気が液処理面に吸引される泡噛みが起こり、現像液の流れが妨げられて現像処理を行うことができなくなる。逆に吸引流量が吸引流量下限値より少ないと、現像液がノズル外へ染み出し（溢れ）無駄を生じる。したがって、吸引流量を最適値になるように制御する。すなわち、ＣＰＵ１００に、データ（例えば、液処理面２１とガラス基板Ｇとの間のギャップ０．１ｍｍ、リンス液流量２．０Ｌ／ｍｉｎの場合）を予め記憶させておき、現像液の流量に応じて吸引流量を、少なくとも吸引流量上限値と吸引流量下限値との間のバランス最適範囲内の値、更に好ましくは吸引流量最適値となるように制御する。
【００６４】
なお、現像液が所定幅以上に広がるのを防止するため、ＣＰＵ１００によって、リンス液の供給（吐出、塗布）及び吸引が、現像液の供給（吐出、塗布）よりも若干早く開始するように制御してもよい。
【００６５】
現像処理装置１による現像液及びリンス液の供給（吐出、塗布）及び吸引は、助走ステージ４０上のスキャン開始位置から終了まで断続的に実行される。この際、ガラス基板Ｇと液処理面２１との隙間を図示しないレーザ変位計等の間隔検出手段により検出し、その検出信号をＣＰＵ１００に送り、ＣＰＵ１００において、検出信号と予め記憶された情報とに基づいて、現像液が吸引ノズル２３の位置からサイドリンスノズル２４側に染み出さず、かつ現像液の流速を高速に保つことができる幅になるように現像処理装置１を垂直移動機構３７によって上下させて調整する。なお、現像処理の際、裏面洗浄ノズル１９からガラス基板Ｇの裏面に向かってリンス液を供給（吐出）することにより、ガラス基板Ｇの裏面に現像液が回り込むのを阻止することができる。
【００６６】
現像処理が終了して、ノズルヘッド２０がカップ５０の外側に退避すると、カップ移動用エアーシリンダ５５が駆動して、カップ５０が上方へ移動する。また、リンスノズル８がガラス基板Ｇの上方のリンス液供給時にガラス基板Ｇに衝撃を与えない位置まで移動し、例えば純水等のリンス液をガラス基板Ｇ上に供給（吐出）することによりリンス処理を行う。
【００６７】
リンス処理が終了すると、モータ１１が駆動してスピンチャック１０が高速回転例えば２０００ｒｐｍで回転してガラス基板Ｇに付着するリンス液を振り切り乾燥する。ガラス基板Ｇ及びスピンチャック１０から飛散されるリンス液はカップ５０内に受け止められ、固定カップ５８の底部に接続する排液管路５８ｂを介して外部に排出される。
【００６８】
乾燥処理が終了して、カップ５０が下降した後、エアーシリンダ６２が作動して支持ピン６０を上昇し、スピンチャック１０に載置されたガラス基板Ｇをスピンチャック１０の上方へ押し上げる。すると、装置外から現像処理ユニット４内に挿入される搬送アーム２がガラス基板Ｇの下方に進入し、この状態で、支持ピン６０が下降すると、ガラス基板Ｇは搬送アーム２に受け渡され、搬送アーム２によりガラス基板Ｇは現像処理ユニット４から外部に搬出されて処理が終了する。
【００６９】
◎第二実施形態
図９は、この発明における助走ステージの第二実施形態を示す要部断面図である。
【００７０】
第二実施形態は、助走ステージ４０Ａに、ノズルヘッド２０の液処理面２１と対向する平坦面４４と、この平坦面４４の外周辺に延在する下り勾配の液排出面４５を形成した場合である。このように、助走ステージ４０Ａに、ノズルヘッド２０の液処理面２１と対向する平坦面４４と、平坦面４４の外周辺に延在する下り勾配の液排出面４５を形成することにより、処理開始前に、助走ステージ４０Ａに向かって供給（吐出）されたリンス液又はリンス液及び現像液が液排出面４５を伝って下方の固定カップ５８内に流れるので、処理前に供給されるリンス液や現像液がガラス基板Ｇに付着するのを防止することができると共に、泡噛みを防止することができる。
【００７１】
なお、第二実施形態において、その他の部分は、第一実施形態と同じであるので、同一部分には、同一符号を付して説明は省略する。
【００７２】
◎第三実施形態
図１０は、この発明における助走ステージの第三実施形態を示す要部断面図である。
【００７３】
第三実施形態は、助走ステージ４０Ｂを、ノズルヘッド２０の液処理面２１と接触する液面を形成すべく外側方に向かって下り勾配の傾斜底壁４６と、この傾斜底壁４６の外側辺から起立する起立壁４７とからなる液溜り部４８を具備する貯留槽４９にて形成した場合である。このように構成される助走ステージ４０Ｂの上方にノズルヘッド２０を位置させ、サイドリンスノズル２４又はサイドリンスノズル２４及び現像液供給ノズル２２からリンス液又はリンス液及び現像液を供給（吐出）すると、貯留槽４９の液溜り部４８内にリンス液又はリンス液及び現像液が貯留され、この液の液面が液処理面２１と接触するので、この状態で、吸引ノズル２３を作動して、吸引ノズル２３の吸引作用によって吸引ノズル２３の内部全域を液で満たすことにより、ノズルヘッド２０の液処理面２１とガラス基板Ｇとの間に外部から空気が入り込んで泡噛みをきたすことがない。したがって、現像液の流れを安定にすることができ、処理の均一化が図れる。
【００７４】
なお、貯留槽４９の起立壁４７の下部の周方向に複数例えば３６個の排出孔４７ａを設ける方が好ましい。このように、起立壁４７の下部に排出孔４７ａを設けることにより、液溜り部４８内に貯留されたリンス液や現像液等を排出することができるので、常に新しいリンス液や現像液等がノズルヘッド２０の液処理面２１に接触することとなり、ノズルヘッド２０の液処理面２１が汚れる心配がない。この場合、リンス液や現像液等の供給量に対して排出量を少なくなるように排出孔４７ａの孔径や数を設定する必要がある。なお、排出孔４７ａの孔径を小さくすると、リンス液や現像液等の表面張力によって排出が阻止されるが、スピンチャック１０の回転により排出が可能となる。
【００７５】
なお、第三実施形態において、その他の部分は第一実施形態と同じであるので、同一部分には、同一符号を付して説明は省略する。
【００７６】
◎第四実施形態
図１１は、この発明における助走ステージの第四実施形態を示す要部断面図である。
【００７７】
第四実施形態は、助走ステージを、ノズルヘッド２０の液処理面２１における少なくとも現像液の流れが形成される領域、すなわち現像液供給ノズル２２と吸引ノズル２３の領域に向かって液例えばリンス液を供給する助走用液供給手段４０Ｃにて形成した場合である。この場合、助走用液供給手段４０Ｃは、スピンチャック１０の外側近傍に配置される助走用ノズルヘッド４００を具備している。この助走用ノズルヘッド４００の上面には、多数のノズル孔（図示せず）が設けられており、各ノズル孔は、開閉弁４０３を介設したリンス液供給管路４０２を介して助走用リンス液供給タンク４０１に接続されている。
【００７８】
また、第四実施形態において、吸引ノズル２３に接続する吸引管路７６の途中に三方切換弁４０４（切換手段）を介してリンス液供給管路８２から分岐された分岐管路８２ａが接続されている。なお、三方切換弁４０４はＣＰＵ１００と電気的に接続されており、ＣＰＵ１００からの制御信号に基づいて切換動作を行うように構成されている。
【００７９】
上記のように構成される助走用液供給手段４０Ｃを用いることにより、現像処理の開始前に、助走用液供給手段４０Ｃからノズルヘッド２０の液処理面２１における少なくとも現像液の流れが形成される領域に向かってリンス液を供給してノズルヘッド２０の液処理面２１と助走ステージすなわち助走用液供給手段４０Ｃの助走用ノズルヘッド４００との間に液膜を形成することができる。この際、三方切換弁４０４を分岐管路８２ａを介してリンス液供給タンク８３と連通する位置に切り換えて現像処理直前まで吸引ノズル２３からガラス基板Ｇに向けてリンス液を供給して吸引ノズル２３の配管内の空気を除去し、ガラス基板Ｇの端部直前で、現像液供給ノズル２２から現像液の供給（吐出）を行い、ガラス基板Ｇの端部上方へ来て現像液がガラス基板Ｇ上に供給開始と同時に、三方切換弁４０４を吸引部８１側に連通して、現像液を吸引ノズル２３から吸引する。この状態で、ノズルヘッド２０をスキャンさせつつ現像液供給ノズル２２から現像液を供給すると共に、吸引ノズル２３により現像液を吸引することにより、現像液中に空気が入り込む泡噛みを防止することができ、ガラス基板Ｇの表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。
【００８０】
なお、第四実施形態において、その他の部分は第一実施形態と同じであるので、同一部分には、同一符号を付して説明は省略する。
【００８１】
◎第五実施形態
図１２は、この発明に係る現像処理装置の第五実施形態の作動状態を示す概略断面図である。
【００８２】
第五実施形態は、助走ステージとの間で液膜を形成することなく泡噛みを防止できるようにした場合である。
【００８３】
第五実施形態において、ノズルヘッド２０に設けられた吸引ノズル２３に接続する吸引管路７６と、サイドリンスノズル２４とリンス液供給タンク８３とを接続するリンス液供給管路８２とは、第四実施形態と同様に、分岐管路８２ａを介して接続されると共に、その接続部に三方切換弁４０４（切換手段）が介設されている。この三方切換弁４０４は、ＣＰＵ１００と電気的に接続されており、ＣＰＵ１００からの制御信号に基づいて切換動作を行うように構成されている。すなわち、三方切換弁４０４は、ＣＰＵ１００からの制御信号に基づいて現像処理直前まで分岐管路８２ａ側すなわちリンス液供給タンク８３に連通する位置に切り換えられ、また、現像処理開始時に吸引部８１側に連通する位置に切り換えられるように制御される。
【００８４】
上記のように構成される第五実施形態の現像処理装置によれば、ＣＰＵ１００からの制御信号に基づいて三方切換弁４０４を分岐管路８２ａを介してリンス液供給タンク８３と連通する位置に切り換えて現像処理直前まで吸引ノズル２３からガラス基板Ｇに向けてリンス液を供給して吸引ノズル２３の配管内の空気を除去し、ガラス基板Ｇの端部直前で、現像液供給ノズル２２から現像液の供給（吐出）を行い、ガラス基板Ｇの端部上方へ来て現像液がガラス基板Ｇ上に供給開始と同時に、三方切換弁４０４を吸引部８１側に連通して、現像液を吸引ノズル２３から吸引する。この状態で、ノズルヘッド２０をスキャンさせつつ現像液供給ノズル２２から現像液を供給すると共に、吸引ノズル２３により現像液を吸引することにより、現像液中に空気が入り込む泡噛みを防止することができ、ガラス基板Ｇの表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。なお、第五実施形態において、助走ステージ４０を設けておき、吸引ノズル２３から助走ステージ４０に向けてリンス液を供給（吐出）して、ガラス基板Ｇの直前で三方切換弁４０４を吸引側に切り換えるようにしてもよい。
【００８５】
なお、第五実施形態において、その他の部分は第一実施形態と同じであるので、同一部分には、同一符合を付して説明は省略する。
【００８６】
◎第六実施形態
図１３は、この発明に係る現像処理装置の第六実施形態を示す概略断面図である。
【００８７】
第六実施形態は、上記カップ５０の一部に助走ステージ４０Ｄを形成した場合である。すなわち、助走ステージ４０Ｄを、カップ５０の上端に設けられると共に、スピンチャック１０にて保持されたガラス基板Ｇの表面と同一平面上に位置する正方形又は矩形の開口４１１を有する平坦面４１０にて形成した場合である。このように形成される助走ステージ４０Ｄの上方にノズルヘッド２０が位置した状態で、現像液供給ノズル２２から現像液を供給（吐出）すると、第一実施形態と同様に、助走中に、ノズルヘッド２０の液処理面２１との間に液膜が形成され、吸引ノズル２３の吸引作用により吸引ノズル２３の内部全域が液で満たされるので、外部からの空気の入り込みすなわち泡噛みを防止することができる。なお、現像処理後に、カップ５０は上昇して、回転乾燥時のミストの飛散を抑制する。
【００８８】
また、第六実施形態によれば、カップ５０が助走ステージ４０Ｄを兼用するので、構成部材の削減が図れると共に、装置の小型化が図れる。なお、この場合、助走ステージ４０Ｄの平坦面４１０をスピンチャックにて保持されたガラス基板Ｇの表面と同一平面上に位置させるには、カップ移動用エアーシリンダ５５が収縮してカップ５５を最下端に位置させた状態を調節することによって行うことができる。また、エアーシリンダ５５に代えてボールねじ機構やタイミングベルト等を用いたカップ移動手段を用いてカップ５５の上下移動を行うようにしてもよい。なお、スピンチャック１０にて保持されるガラス基板Ｇと平坦面４１０に設けられる開口４１１との隙間を約１ｍｍとしておけば、上述したように、隙間に入った液の表面張力によりウォータシールドが形成されるので、液は下方に落下することがない。
【００８９】
なお、第六実施形態において、その他の部分は第一実施形態と同じであるので、同一部分には、同一符号を付して説明は省略する。
【００９０】
◎その他の実施形態
上記第一ないし第六実施形態においては、この発明に係る液処理装置を、レチクル用のガラス基板Ｇの現像処理に適用する場合について説明したが、これに限らず、ウエハやＬＣＤ等の現像処理に適用することも勿論可能である。
【００９１】
【発明の効果】
以上に説明したように、この発明によれば、上記のように構成されているので、以下のような効果が得られる。
【００９２】
１）請求項１記載の発明によれば、助走ステージを移動中に処理液吸引手段内に空気が混入（泡噛み）することなく、被処理基板の表面に一定幅の処理液の流れを形成することができるので、液処理例えば現像処理によって被処理基板の表面に生成した溶解生成物を除去し、新鮮な現像液を安定した状態で供給することができる。また、洗浄液供給手段が供給した洗浄液を処理液供給手段が吸引することにより、処理液が処理液吸引手段から洗浄液供給手段側へ広がるのを防止して、被処理基板上の処理液の幅を一定にすることができる。また、処理液上のパーティクル等を除去することができる。
【００９３】
２）請求項２記載の発明によれば、助走ステージに、少なくともノズルヘッドの液処理面と対向する平坦面を設けると共に、この平坦面の外周辺に延在する下り勾配の液排出面を設けるので、上記１）に加えて更に、処理前に処理液供給手段から助走ステージに供給された処理液を被処理体と反対の外方側に速やかに排出することができる。
【００９４】
３）請求項３記載の発明によれば、助走ステージに、ノズルヘッドの液処理面と接触する液面を形成すべく外側方に向かって下り勾配の傾斜底壁と、この傾斜底壁の外側辺から起立する起立壁とからなる液溜り部を設けるので、上記１）に加えて更に、処理前に処理液供給手段から助走ステージに供給された洗浄液や処理液等を液溜り部内に貯留して、その液面をノズルヘッドの液処理面に接触することができる。この場合、助走ステージの起立壁の下部側に排出孔を設けることにより、液溜り部内に貯留された洗浄液や処理液等を外部に排出することができるので、液溜り部に新しい処理液を貯留することができる（請求項４）。
【００９５】
４）請求項５記載の発明によれば、保持手段を包囲するカップを利用して、処理液中に空気が混入することなく、被処理基板の表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。したがって、液処理例えば現像処理によって被処理基板の表面に生成した溶解生成物を除去し、新鮮な現像液を安定した状態で供給することができる。
【００９６】
５）請求項６記載の発明によれば、処理開始前に、助走用液供給手段からノズルヘッドの液処理面における少なくとも処理液の流れが形成される領域に向かって例えば洗浄液を供給してノズルヘッドの液処理面と助走ステージとの間に液膜すなわち液で満たされた領域を形成し、その後、被処理基板表面と一定の隙間をおいて相対的に平行移動すると共に、処理液吸引手段により処理液を吸引することにより、処理液中に空気が混入することなく、被処理基板の表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。したがって、液処理例えば現像処理によって被処理基板の表面に生成した溶解生成物を除去し、新鮮な現像液を安定した状態で供給することができる。この場合、処理液吸引手段と洗浄液供給手段とを切換手段を介して洗浄液供給源に接続し、処理直前まで処理液吸引手段から洗浄液を供給し、処理開始時に処理液吸引手段を吸引装置に切換可能に形成することにより、処理直前まで処理液吸引手段の配管内の空気を除去することができ、処理開始と同時に処理液を処理液吸引手段から吸引することができる（請求項７）。
【００９７】
６）請求項８記載の発明によれば、助走ステージを設けることなく、処理直前まで処理液吸引手段の内部全域の空気を除去することができ、処理開始と同時に処理液を処理液吸引手段から吸引することができるので、処理液吸引手段内に空気が混入すなわち泡噛みを防止して被処理基板の表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。
【００９８】
７）請求項９記載の発明によれば、制御手段は、ノズルヘッドの液処理面と被処理基板表面との距離を検出する間隔検出手段の検出信号と、予め記憶された情報とに基づいて、ノズルヘッドを昇降可能に支持する昇降手段を制御するので、ノズルヘッドの液処理面と被処理基板との間の隙間を確実に一定にすることができる。
【００９９】
８）請求項１０，１１記載の発明によれば、処理開始前まで処理液吸引手段から洗浄液を供給して、処理液吸引手段の配管内の空気を除去することができ、処理開始と同時に処理液を処理液吸引手段から吸引することができるので、処理液吸引手段内に空気が混入すなわち泡噛みを防止して被処理基板の表面に一定幅の処理液の流れを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
この発明の液処理装置を適用した液処理システムの一例を示す概略構成図である。
【図２】
この発明に係る現像処理装置の概略平面図である。
【図３】
この発明におけるノズルヘッドの移動手段を示す斜視図（ａ）及び移動手段の垂直移動機構を示す断面図（ｂ）である。
【図４】
上記現像処理装置の概略断面図である。
【図５】
上記現像処理装置の第一実施形態の要部を示す平面図である。
【図６】
図５のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。
【図７】
この発明におけるノズルヘッドを示す断面図である。
【図８】
上記ノズルヘッドの要部を示す断面図（ａ）及び（ａ）のII−II線に沿う断面図である。
【図９】
この発明に係る現像処理装置の第二実施形態を示す要部断面図である。
【図１０】
この発明に係る現像処理装置の第三実施形態を示す要部断面図である。
【図１１】
この発明に係る現像処理装置の第四実施形態を示す要部断面図である。
【図１２】
この発明に係る現像処理装置の第五実施形態の動作状態を示す概略断面図である。
【図１３】
この発明に係る現像処理装置の第六実施形態を示す要部断面図である。
【図１４】
この発明における厚さ検出手段を示す概略断面図である。
【符号の説明】
Ｇ ガラス基板（被処理基板）
１０ スピンチャック（保持手段）
２０ ノズルヘッド
２１ 液処理面
２２ 現像液供給ノズル（処理液供給手段）
２３ 現像液吸引ノズル（処理液吸引手段）
２４ サイドリンスノズル（洗浄液供給手段）
３０ ノズル移動手段
３４ 水平移動機構
３７ 垂直移動機構
４０，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ 助走ステージ
４４ 平坦面
４５ 液排出面
４６ 傾斜底壁
４７ 起立壁
４７ａ 排出孔
４８ 液溜り部
４９ 貯留槽
５０ カップ
７６ 吸引管路
８１ 吸引部
８２ａ 分岐管路
８３ リンス液供給タンク（洗浄液供給源）
９０ レーザ変位計（間隔検出手段）
１００ ＣＰＵ（制御手段）
４００ 助走用ノズルヘッド
４０４ 三方切換弁（切換手段）
４１０ 平坦面

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