JP2019158816A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
初めに、本実施の形態に係るセンサ素子101を含む、ガスセンサ100の概略構成について説明する。本実施の形態において、ガスセンサ100は、センサ素子101によってNOxを検知し、その濃度を測定する、限界電流型のNOxセンサである。
図2は、主ポンプ電圧Vp0の大きさが、被測定ガスの酸素濃度とNOx電流Ip2との関係に与える影響を示す図である。具体的には、図2は、異なる2つのガスセンサ100により、NO濃度が500ppmで一定である一方で酸素濃度が0%、5%、10%、18%の4水準に違えられた4つのモデルガス(いずれも残余はN2)を対象とする測定を行い、それぞれのNOx電流Ip2を、モデルガスの酸素濃度に対してプロットしたものである。なお、センサ素子駆動温度は830℃であった。
本実施の形態に係るガスセンサ100は、上述の点を鑑み、被測定ガスの酸素濃度が大きい場合の第1内部空所20でのNOxの分解をより確実に抑制するという観点から、ガス導入口10から内側ポンプ電極22に至るまでの拡散抵抗と、主ポンプセル21の電気抵抗と、主ポンプセル21を構成しかつ直接に被測定ガスと接触する内側ポンプ電極22の面積と、主ポンプセル21における電極間最短距離(内側ポンプ電極22と外側ポンプ電極23との最短距離)とが満たす要件が定められてなる。ただし、NOxの分解に関して導通部の寄与は無視できることから、以下の説明において、内側ポンプ電極22とは導通部を除く部分を指し示すものとする。
(b)電気抵抗:150Ω以下;
(c)面積:5mm2以上20mm2以下;
(d)電極間最短距離:0.1mm以上0.6mm以下。
次に、上述のような構成および特徴を有するセンサ素子101を製造するプロセスについて説明する。本実施の形態においては、ジルコニアなどの酸素イオン伝導性固体電解質をセラミックス成分として含むグリーンシートからなる積層体を形成し、該積層体を切断・焼成することによってセンサ素子101を作製する。
電気抵抗:30Ω、45Ω、55Ω、75Ω、80Ω、85Ω、90Ω、100Ω、140Ω、150Ω、および200Ωの11水準;
面積:4.0mm2、5.0mm2、6.0mm2、7.3mm2、7.5mm2、9.0mm2、15.0mm2、および20.0mm2の8水準;
電極間最短距離:0.2mm、0.3mm、0.4mm、および0.6mmの4水準。
4 第1固体電解質層
5 スペーサ層
6 第2固体電解質層
10 ガス導入口
11 第1拡散律速部
12 緩衝空間
13 第2拡散律速部
20 第1内部空所
21 主ポンプセル
22 内側ポンプ電極
23 外側ポンプ電極
24 可変電源
30 第3拡散律速部
40 第2内部空所
41 測定ポンプセル
42 基準電極
43 基準ガス導入空間
44 測定電極
45 第4拡散律速部
46 可変電源
48 大気導入層
50 補助ポンプセル
51 補助ポンプ電極
52 可変電源
70 ヒータ部
80 主ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル
81 補助ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル
82 測定ポンプ制御用酸素分圧検出センサセル
100 ガスセンサ
101 センサ素子
Claims (2)
- 酸素イオン伝導性の固体電解質で構成されたセンサ素子を備える、被測定ガス中のNOxの濃度を特定可能な限界電流型のガスセンサであって、
前記センサ素子が、
外部空間から被測定ガスが導入されるガス導入口と、
前記ガス導入口と所定の拡散抵抗のもとで連通してなる第1の内部空所と、
前記第1の内部空所と所定の拡散抵抗のもとで連通してなる第2の内部空所と、
前記第1の内部空所に面して設けられた内側ポンプ電極と、前記センサ素子の表面に設けられた外側ポンプ電極と、前記内側ポンプ電極と前記外側ポンプ電極との間に存在する前記固体電解質とから構成される電気化学的ポンプセルである、主ポンプセルと、
前記第2の内部空所に面して設けられてなるとともに、所定の拡散抵抗を与える多孔質保護膜にて被覆されてなり、NOxに対する還元触媒として機能する測定電極と、
前記センサ素子の外部から基準ガスとして大気が導入される大気導入層と、
前記大気導入層に被覆されてなる基準電極と、
前記測定電極と、前記外側ポンプ電極と、前記測定電極と前記外側ポンプ電極との間に存在する前記固体電解質とから構成される電気化学的ポンプセルである、測定ポンプセルと、
を有してなり、
前記主ポンプセルは、前記内側ポンプ電極と前記外側ポンプ電極との間に所定の主ポンプ電圧が印加されることによって、前記第1の内部空所に導入された前記被測定ガス中の酸素を汲み出し、これによって前記被測定ガスの酸素分圧が低められ、
前記測定ポンプセルは、前記測定電極の近傍に到達した前記被測定ガス中のNOxが、前記測定電極において還元されることで生じた酸素を、前記内側ポンプ電極と前記外側ポンプ電極との間に所定のポンプ電圧が印加されることによって汲み出し、
前記測定ポンプセルにおいて前記測定電極と前記外側ポンプ電極との間に流れるNOx電流の大きさに基づいて前記NOxの濃度を特定する濃度特定手段、
をさらに備え、
前記ガス導入口から前記内側ポンプ電極に至るまでの拡散抵抗が200cm−1以上1000cm−1以下であり、
前記主ポンプセルの電気抵抗が150Ω以下であり、電極間の最短距離が0.1mm以上0.6mm以下であり、
前記内側ポンプ電極が、5mm2以上20mm2以下の面積にて設けられてなる、Au−Pt合金とZrO2とのサーメット電極である、
ことを特徴とするガスセンサ。 - 請求項1に記載のガスセンサであって、
前記センサ素子が、
前記内側ポンプ電極と、前記基準電極と、前記内側ポンプ電極と前記基準電極との間に存在する前記固体電解質とから構成される電気化学的センサセルである、主ポンプ制御用センサセルと、
前記第2の内部空所に面して設けられた補助ポンプ電極と、前記外側ポンプ電極と、前記補助ポンプ電極と前記外側ポンプ電極との間に存在する前記固体電解質とから構成される電気化学的ポンプセルである、補助ポンプセルと、
前記補助ポンプ電極と、前記基準電極と、前記補助ポンプ電極と前記基準電極との間に存在する前記固体電解質とから構成される電気化学的センサセルである、補助ポンプ制御用センサセルと、
前記測定電極と、前記基準電極と、前記測定電極と前記基準電極との間に存在する前記固体電解質とから構成される電気化学的センサセルである、測定ポンプ制御用センサセルと、
をさらに有してなり、
前記主ポンプセルは、前記主ポンプ制御用センサセルにおいて前記内側ポンプ電極と前記基準電極との間に生じる起電力に応じた前記主ポンプ電圧を前記内側ポンプ電極と前記外側ポンプ電極との間に印加することによって、前記第1の内部空所に存在する前記被測定ガス中の酸素を汲み出し、
前記補助ポンプセルは、前記補助ポンプ制御用センサセルにおいて前記補助ポンプ電極と前記基準電極との間に生じる起電力に応じたポンプ電圧を前記補助ポンプ電極と前記外側ポンプ電極との間に印加することによって、前記第2の内部空所に導入された前記被測定ガス中の酸素を汲み出し、これによって酸素分圧が前記第1の内部空所よりもさらに低められた前記被測定ガスが、前記測定電極に到達し、
前記測定ポンプセルは、前記測定ポンプ制御用センサセルにおいて前記測定電極と前記基準電極との間に生じる起電力に応じたポンプ電圧を前記測定電極と前記外側ポンプ電極との間に印加することによって、前記測定電極において生じた酸素を汲み出す、
ことを特徴とするガスセンサ。
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