JP2019134078A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 123
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 80
- 238000005247 gettering Methods 0.000 claims abstract description 44
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 17
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 55
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 50
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 15
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 12
- 229910052800 carbon group element Inorganic materials 0.000 claims description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 6
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 14
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 8
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 6
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229910001423 beryllium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1463—Pixel isolation structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
-
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14689—MOS based technologies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14634—Assemblies, i.e. Hybrid structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Element Separation (AREA)
Abstract
Description
Claims (20)
- 第1面および第2面を有する半導体基板の前記第1面の側に第1溝を形成する工程と、
前記第1溝を通して前記半導体基板にイオンを注入することによってゲッタリング領域を形成する工程と、
前記ゲッタリング領域を形成する工程の後に、前記半導体基板の前記第1面の側に第2溝を形成する工程と、を含み、
前記第1面を基準とする前記第2溝の底面の深さは、前記第1面を基準とする前記第1溝の底面の深さより浅い、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ゲッタリング領域を形成する工程では、前記半導体基板の前記第1面のうち前記第1溝が存在する領域以外がマスクされた状態で前記第1溝を通して前記半導体基板に前記イオンを注入する、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ゲッタリング領域を形成する工程の後かつ前記半導体基板に第2溝を形成する工程の前に、前記第1溝の中に第1分離部材を配置する工程を更に含む、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2溝を形成する工程では、前記第1分離部材の一部および前記半導体基板の一部が除去される、
ことを請求項3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2溝を形成する工程では、前記ゲッタリング領域の一部が除去される、
ことを請求項3又は4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2溝の中に第2分離部材を配置する工程を更に含み、
前記第2分離部材が、前記第1分離部材および前記ゲッタリング領域の少なくとも一方に接触する、
ことを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2溝を形成する工程では、前記第2溝の底面から前記第1分離部材の上部が突出するように前記半導体基板をエッチングし、
前記半導体装置の製造方法は、前記第2溝の中に第2分離部材を配置する工程を更に含み、
前記第2分離部材は下端に凹部を有し、前記第2分離部材の前記凹部と前記第1分離部材の上部とが嵌合する、
ことを請求項3乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2溝を形成する工程では、前記第2溝を含む複数の溝が形成され、
前記複数の溝は、前記第1分離部材を露出させるように前記第1分離部材の上に形成される前記第2溝と、前記第1分離部材が存在しない領域の上に形成される第3溝とを含む、
ことを特徴とする請求項3乃至7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板の中に電荷蓄積領域を形成する工程を含み、
前記電荷蓄積領域と前記第1溝との間に前記ゲッタリング領域が位置する、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板の前記第2面の側の一部を除去することによって前記半導体基板を薄化する工程を更に含み、前記半導体基板を薄化する工程では、前記ゲッタリング領域の少なくとも一部が除去されるように前記半導体基板を薄化する、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板はシリコンを含み、前記イオンは、シリコンを除く第14族元素のイオンである、
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1面を基準とする前記第1溝の底面の深さは、0.5μm以上であり、
前記ゲッタリング領域を形成する工程で形成される前記ゲッタリング領域は、前記第1溝の底の下に位置する第1部分と、前記第1溝の側方に位置する第2部分とを含み、前記第1部分における前記第14族元素の濃度が、前記第2部分における前記第14族元素の濃度よりも高い、
ことを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の製造方法。 - 第1面および第2面を有するシリコン層と、
前記第1面の上に配置された配線層と、
前記第1面と前記配線層の間に配置された絶縁膜と、
前記シリコン層に設けられた溝の中に配置された第1素子分離と、
前記第1素子分離と前記絶縁膜との間に配置された部分を含む第2素子分離と、
前記シリコン層の中であって、前記第1素子分離の側方に配置されたゲッタリング領域と、を備え、
前記ゲッタリング領域は、シリコンを除く第14族元素を含む、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1素子分離は、第1分離部材を含み、前記第2素子分離は、下端に凹部を有する第2分離部材を含み、前記第1分離部材の端部と前記凹部とが嵌合している、
ことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。 - 前記第14族元素は、炭素である、
ことを特徴とする請求項13又は14に記載の半導体装置。 - 前記ゲッタリング領域は前記第2面に達する、
ことを特徴とする請求項13乃至15のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記シリコン層の中に配置された電荷蓄積領域を含み、光電変換装置として構成されている、
ことを特徴とする請求項13乃至16のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記電荷蓄積領域と前記溝との間に前記ゲッタリング領域が位置する、
ことを特徴とする請求項17に記載の半導体装置。 - 請求項13乃至18のいずれか1項に記載の半導体装置と、
前記半導体装置から出力された信号を処理する処理装置と、
を備えることを特徴とする機器。 - 駆動装置を具備する機器であって、請求項13乃至18のいずれか1項に記載の半導体装置を搭載し、前記半導体装置で得られた情報に基づいて前記駆動装置を制御する制御装置を備えることを特徴とする機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018015507A JP7084735B2 (ja) | 2018-01-31 | 2018-01-31 | 半導体装置の製造方法 |
US16/256,131 US10854654B2 (en) | 2018-01-31 | 2019-01-24 | Semiconductor apparatus and method of manufacturing the same |
CN201910094403.XA CN110098210B (zh) | 2018-01-31 | 2019-01-31 | 半导体装置、半导体装置的制造方法以及设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018015507A JP7084735B2 (ja) | 2018-01-31 | 2018-01-31 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019134078A true JP2019134078A (ja) | 2019-08-08 |
JP2019134078A5 JP2019134078A5 (ja) | 2021-03-25 |
JP7084735B2 JP7084735B2 (ja) | 2022-06-15 |
Family
ID=67393690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018015507A Active JP7084735B2 (ja) | 2018-01-31 | 2018-01-31 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10854654B2 (ja) |
JP (1) | JP7084735B2 (ja) |
CN (1) | CN110098210B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7325167B2 (ja) * | 2017-03-16 | 2023-08-14 | 富士電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
CN110610954A (zh) * | 2019-10-18 | 2019-12-24 | 德淮半导体有限公司 | 图像传感器及其形成方法 |
KR20210092090A (ko) | 2020-01-15 | 2021-07-23 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 메모리 장치 및 그 제조방법 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11297703A (ja) | 1998-04-15 | 1999-10-29 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
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JP6278608B2 (ja) | 2013-04-08 | 2018-02-14 | キヤノン株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
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-
2018
- 2018-01-31 JP JP2018015507A patent/JP7084735B2/ja active Active
-
2019
- 2019-01-24 US US16/256,131 patent/US10854654B2/en active Active
- 2019-01-31 CN CN201910094403.XA patent/CN110098210B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110098210B (zh) | 2024-02-23 |
CN110098210A (zh) | 2019-08-06 |
JP7084735B2 (ja) | 2022-06-15 |
US10854654B2 (en) | 2020-12-01 |
US20190237495A1 (en) | 2019-08-01 |
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