JP2021144992A - 半導体装置、その製造方法及び機器 - Google Patents
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Abstract
Description
図1には、構成例1に係る半導体装置の平面図が示されている。図1は半導体装置として光電変換装置を示している。光電変換装置は、受光画素領域1、遮光画素領域(OB画素領域)2を含む。受光画素領域1は、複数の光電変換部(第1光電変換部)11eが複数の行および複数の列を構成するように配置された領域である。換言すると、受光画素領域1は、複数の画素(第1画素)が複数の行および複数の列を構成するように配置された領域である。受光画素領域1の各列の第1光電変換部(第1画素)11eの信号は、列信号線(不図示)を通して出力される。遮光画素領域2は、入射光が遮光された複数の光電変換部(第2光電変換部)11obが複数の行および複数の列を構成するように配置された領域である。換言すると、遮光画素領域2は、遮光された複数の画素(第2画素)が配置された領域である。遮光された複数の画素は、黒レベルを検出するために使用されうるので、ここではオプティカルブラック(OB)画素と呼ぶことにする。
図3乃至図4を参照して、構成例1に係る半導体装置の製造方法について説明する。
図5の断面図により構成例2に係る半導体装置について光電変換装置の例で説明する。この例では、光電変換装置は遮光壁が1段目の601A、602Bと2段目の601B、602Bの二段からなる構造となっているが、段数はこれに限らない。またこの例では層内レンズ42が配置されている。受光画素と遮光画素との平面的な配置は構成例1と同様とする。
構成例3について図7により説明する。本例は表面照射型の光電変換装置である。つまり、半導体層10の表面側(図中上側、半導体層10とマイクロレンズ72の間。)に多層の配線構造20が配置される例である。この例では配線構造20の間に導波路24を含むことができる。
図8は、撮像装置100として構成される光電変換装置を搭載した機器EQPの模式図である。機器EQPは、カメラやスマートフォンなどの電子機器(情報機器)、自動車や船舶、飛行機などの輸送機器でありうる。
Claims (20)
- 半導体層と、
前記半導体層の表面の上に配置された金属層と、
前記金属層の表面のうちの第1部分を覆う第1バリア部と、
前記金属層の表面のうちの第2部分を覆う第2バリア部と、
前記金属層、前記第1バリア部及び前記第2バリア部を覆う絶縁膜と、
前記絶縁膜に設けられた開口部の中に配置され、前記金属層の表面のうちの前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分の上に位置する金属部材と、を備える半導体装置であって、
前記第1バリア部と前記第2バリア部との間に、前記金属部材が位置し、かつ、前記金属部材と前記第1バリア部との間および前記第2バリア部との間に前記絶縁膜の一部が配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記開口部の中において、前記金属部材と前記絶縁膜との間および前記金属部材と前記金属層との間にバリア膜が配置されている、請求項1に記載の半導体装置。
- 半導体層と
前記半導体層の表面の上に配置された金属層と、
前記金属層の表面のうちの第1部分を覆う第1バリア部と、
前記金属層の表面のうちの第2部分を覆う第2バリア部と、
前記金属層、前記第1バリア部及び前記第2バリア部を覆う絶縁膜と、
前記絶縁膜に設けられた開口部の中に配置され、前記金属層の表面のうちの前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分の上に位置する金属部材と、
前記開口部の中において、前記金属部材と前記絶縁膜との間および前記金属部材と前記金属層との間に配置されたバリア膜と、
を備える半導体装置であって、
前記第1バリア部と前記第2バリア部との間に、前記バリア膜が位置し、かつ、前記バリア膜と前記第1バリア部との間および前記第2バリア部との間に前記絶縁膜の一部が配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体層は、それぞれが光電変換部を有する受光画素と遮光画素とを含み、
前記金属層は遮光画素への光の入射を遮光する遮光膜を構成することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記金属部材は前記受光画素及び前記遮光画素の周囲に配置された遮光壁を構成することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記遮光壁は前記光の入射する面に対して交差する方向に複数の段から構成されることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記受光画素及び前記遮光画素が行列状に配置されたことを特徴とする請求項4乃至6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記光電変換部に対応してマイクロレンズが配置されていることを特徴とする請求項4乃至7のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記半導体層に対して前記遮光膜を構成する前記金属層とは反対側にゲート電極及び配線層が形成されていることを特徴とする請求項4乃至8のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記半導体層と前記遮光膜を構成する前記金属層との間にゲート電極及び配線層が形成されていることを特徴とする請求項4乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記絶縁膜に導波路が配置されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記絶縁膜の内部にレンズが配置されていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記金属層は配線を含み、前記金属部材は前記配線に接続されるコンタクトプラグを含むことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1バリア部および前記第2バリア部はチタン、タンタル、窒化チタン、および窒化タンタルの少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記金属部材はタングステンを含み、前記金属層はアルミニウムを含むことを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 半導体装置の製造方法であって、
半導体層の表面の上に金属層を形成する工程と、
前記金属層の表面の一部を覆うバリア膜を形成する工程と、
前記バリア膜に開口を形成する工程と、
前記金属層と前記バリア膜を覆う絶縁膜を形成する工程と、
前記開口の上の前記絶縁膜をエッチングして前記金属層を露出するよう開口部を形成する工程と、
金属を前記開口部に埋め込む工程と、を有し、
前記開口部を形成する工程では、前記開口の内側に前記絶縁膜の一部が残るようにすることを特徴とする製造方法。 - 前記金属層及び前記バリア膜に光が入射するための開口を形成する工程を更に含むことを特徴とする請求項16に記載の製造方法。
- 前記開口部を形成する工程は、
前記絶縁膜にフォトレジストをパターニングする工程と、
前記エッチングした後にアッシングを行う工程と、を含むことを特徴とする請求項16又は17に記載の製造方法。 - 前記アッシングはフッ素含有ガスをもちいることを特徴とする請求項18に記載の製造方法。
- 請求項1乃至15のいずれか1項に記載の半導体装置を備える機器であって、
前記半導体装置から出力された信号を処理する処理装置および前記半導体装置で得られた情報を表示する表示装置の少なくともいずれかをさらに備えることを特徴とする機器。
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