JP2018200955A - 撮像装置、撮像システム、および、移動体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 1つの実施形態に係る撮像装置は、光電変換部1および前記光電変換部1で生じた電荷を保持する電荷保持部2をそれぞれが含む複数の画素と、前記光電変換部の上に配された導波路31と、前記電荷保持部2を覆う遮光部203と、を備える。前記導波路31の底面の幅は1.1μmより小さい。
【選択図】 図4
Description
[画素回路]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る画素の回路構成を示す図である。画素は入射された光を電気信号に変換する素子である。複数の画素を行列状に配置することにより画素アレイが構成される。画素はシリコン(Si)等の半導体基板上に形成される。
図2は、本発明の第1の実施形態に係る画素の平面構造を模式的に示す図である。図2は光電変換部1などが配される基板の表面についての平面視である。基板の表面は、例えば、シリコンなどの半導体材料と絶縁体材料との接する面である。図3は、図2のX−X’における断面構造を模式的に示す図である。図4は、図3の一部を拡大した図である。図1の回路と対応する部分には同一の符号が付されており、既に説明した構成及び機能については説明を省略することもある。トランジスタに対応する符号は、各トランジスタのゲート電極(ゲート端子)を指している。
図3が示すように、光電変換部1の上に、光学系として、カラーフィルタ100、マイクロレンズ101、層内レンズ102及び導波路31が配置される。光電変換部1の上方から入射した光はマイクロレンズ101、カラーフィルタ100、層内レンズ102、導波路31を順に通過して、光電変換部1に入射する。光電変換部1に入射した光は電子に変換される。撮像装置は信号の伝達等のための配線41、42、43を有する。配線41、42、43は導電度の高いアルミニウムや銅等の材料で形成される。配線41、42、43は導波路31の周囲に配置される。なお、層内レンズ102、導波路31、配線41、42、43、光電変換部1等の各部材の間は、図面上空隙として図示されているが、これらの空隙部には層間絶縁層(不図示)や平坦化層(不図示)が形成されている。
図3が示すように、撮像装置は、少なくとも電荷保持部2の一部を覆う遮光部203をさらに備える。遮光部203は、好適には、電荷保持部2及び第1の転送トランジスタ4のゲート電極を覆うように配置される。さらに好適には、遮光部203は、光電変換部1の直上以外の領域を覆う。遮光部203は電荷保持部2等への光の入射を抑制する。これにより、入射光によって電荷保持部2で電荷が生成され、ノイズが発生することが抑制される。
図4(a)および(b)は、本実施形態における遮光部203と導波路31との位置関係を説明する図である。図4(a)および(b)は、図2(a)のX−X”に沿った断面構造を模式的に示す図であり、図3の光電変換部1の近傍の部分の拡大図である。
第2の実施形態について説明する。本実施形態では、導波路31の上面、および、底面の構成が、第1の実施形態のそれらと異なっている。以下では、主として第1の実施形態との相違点を説明する。
図7は、本発明の第3の実施形態に係る撮像システムの構成を示す図である。撮像システム800は、光学部810、撮像装置820、映像信号処理部830、記録・通信部840、タイミング制御部850、システム制御部860、及び再生・表示部870を備える。撮像装置820には、第1〜第2の実施形態として前述した撮像装置が用いられる。
移動体の実施例について説明する。本実施例の移動体は、車載カメラを備えた自動車である。図8(a)は、自動車2100の外観と主な内部構造を模式的に示している。自動車2100は、撮像装置2102、撮像システム用集積回路(ASIC:Application Specific Integrated Circuit)2103、警報装置2112、主制御部2113を備える。
2 電荷保持部
31 導波路
203 遮光部
Claims (16)
- 光電変換部および前記光電変換部で生じた電荷を保持する電荷保持部をそれぞれが含む複数の画素と、
前記光電変換部の上に配された導波路と、
前記電荷保持部を覆う遮光部と、を備え、
前記導波路の底面の幅は1.1μmより小さい
ことを特徴とする撮像装置。 - 光電変換部および前記光電変換部で生じた電荷を保持する電荷保持部をそれぞれが含む複数の画素と、
前記光電変換部の上に配された導波路と、
前記電荷保持部を覆う遮光部と、を備え、
前記導波路の底面の幅が、前記複数の画素の配列された画素ピッチの32.0%以下である
ことを特徴とする撮像装置。 - 前記導波路の底面の端と前記導波路の上面の端とを結ぶ線と、前記光電変換部が配された基板の表面との成す角度が、65度以上である
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の撮像装置。 - 前記角度が、68度以上である
ことを特徴とする請求項3に記載の撮像装置。 - 前記角度が、80度以下である
ことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の撮像装置。 - 前記角度が、74度以下である
ことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の撮像装置。 - 前記角度が、72度以下である
ことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の撮像装置。 - 前記導波路の底面の端と前記導波路の上面の端とを結ぶ線と、前記光電変換部が配された基板の表面との成すテーパー角度が、72度以下である
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の撮像装置。 - 前記導波路の上面の幅が2.1μmから2.6μmの範囲に含まれる
ことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 前記導波路の上面の幅が2.3μmから2.3μmの範囲に含まれる
ことを特徴とする請求項9に記載の撮像装置。 - 前記導波路の上面の幅が、前記複数の画素の配列された画素ピッチの60%から77%の範囲に含まれる
ことを特徴とする請求項1乃至請求項10のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 前記光電変換部の上の位置において、開口が前記遮光部に設けられ、
前記導波路の底面の幅と前記の開口の幅との差が、0.3μm以上であること
を特徴とする請求項1乃至請求項11のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 前記光電変換部の配された基板の表面に対する平面視において、前記導波路の底面の端と前記電荷保持部との距離は0.8μm以上である
を特徴とする請求項1乃至請求項12のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 前記光電変換部の配された基板の表面に対する平面視において、前記光電変換部と前記電荷保持部との距離は0.5μm以上である
を特徴とする請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の撮像装置。 - 請求項1乃至請求項14のいずれか一項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置から出力された信号を処理して画像信号を取得する処理装置と、を備えた撮像システム。 - 移動体であって、
請求項1乃至請求項14のいずれか一項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置から出力された信号に対して処理を行う処理装置と、
前記処理の結果に基づいて前記移動体を制御する制御手段と、を有することを特徴とする移動体。
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