JP2019132613A - センサチップ及び力覚センサ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1の実施の形態に係る力覚センサ装置を例示する斜視図である。図2は、第1の実施の形態に係る力覚センサ装置のセンサチップ及び起歪体を例示する斜視図である。図1及び図2を参照するに、力覚センサ装置1は、センサチップ110と、起歪体20と、入出力基板30とを有している。力覚センサ装置1は、例えば、工作機械等に使用されるロボットの腕や指等に搭載される多軸の力覚センサ装置である。
図3は、センサチップ110をZ軸方向上側から視た図であり、図3(a)は斜視図、図3(b)は平面図である。図4は、センサチップ110をZ軸方向下側から視た図であり、図4(a)は斜視図、図4(b)は底面図である。図4(b)において、便宜上、同一高さの面を同一の梨地模様で示している。なお、センサチップ110の上面の一辺に平行な方向をX軸方向、垂直な方向をY軸方向、センサチップ110の厚さ方向(センサチップ110の上面の法線方向)をZ軸方向としている。X軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向は、互いに直交している。
図7は、起歪体20を例示する図(その1)であり、図7(a)は斜視図、図7(b)は側面図である。図8は、起歪体20を例示する図(その2)であり、図8(a)は平面図、図8(b)は図8(a)のA−A線に沿う縦断面斜視図である。図8(a)において、便宜上、同一高さの面を同一の梨地模様で示している。図9は、起歪体20を例示する図(その3)であり、図9(a)は図8(a)のB−B線に沿う縦断面図であり、図9(b)は図9(a)のC−C線に沿う横断面図である。
図10〜図12は、力覚センサ装置1の製造工程を例示する図である。まず、図10(a)に示すように、起歪体20を作製する。起歪体20は、例えば、成形や切削、ワイヤ放電等により一体に形成することができる。起歪体20の材料としては、例えば、SUS(ステンレス鋼)等の硬質な金属材料を用いることができる。中でも、特に硬質で機械的強度の高いSUS630を用いることが好ましい。起歪体20を成形により作製する場合には、例えば、金属粒子とバインダーとなる樹脂とを金型に入れて成形し、その後、焼結して樹脂を蒸発させることで、金属からなる起歪体20を作製できる。
20 起歪体
21 土台
22a〜22d、25a〜25d、28 柱
23a〜23d、26a〜26d 梁
24a〜24d 入力部
27a〜27d 突起部
30 入出力基板
31 電極
32〜35 能動部品
39 受動部品
40 受力板
40x、40z 凹部
40y 貫通孔
41、42 接着剤
110 センサチップ
111a〜111e 支持部
112a〜112h 補強用梁
113a〜113l 検知用梁
114a〜114d 力点
FzR1〜FzR4、FzR1'〜FzR4、MzR1〜MzR4、MzR1'〜MzR4'、FxR1〜FxR4、FyR1〜FyR4、MxR1〜MxR4、MyR1〜MyR4 ピエゾ抵抗素子
Claims (11)
- 基板と、
第1の支持部と、
前記第1の支持部が周囲に配置され、前記基板の中央に配置された第2の支持部と、
隣接する前記第1の支持部同士を連結する第1の検知用梁と、
前記第1の検知用梁と前記第2の支持部との間に、前記第1の検知用梁に平行に設けられた第2の検知用梁と、
前記第1の検知用梁に配置された、力が印加される力点と、
前記第1の検知用梁及び前記第2の検知用梁の所定位置に配置された複数の歪検出素子と、を有し、
前記複数の歪検出素子は、第1方向の力を検出可能な歪検出素子を有する第1検出部と、前記第1方向の力を検出可能であり、前記第1検出部に対して対称な位置に設けられた歪検出素子を有する第2検出部を含む
センサチップ。 - 平行に設けられた前記第1の検知用梁及び前記第2の検知用梁の組において、前記第1の検知用梁と前記第2の検知用梁とを連結する第3の検知用梁と、備え、
前記力点は、前記第1の検知用梁と各々の前記第3の検知用梁との交点に配置されている
請求項1に記載のセンサチップ。 - 1つの前記第2の検知用梁に、前記第1検出部の一部と前記第2検出部の一部が形成されており、
前記1つの前記第2の検知用梁に平行に設けられている他の前記第2の検知用梁に、前記第1検出部の残部と前記第2検出部の残部が形成されている
請求項1または2に記載のセンサチップ。 - 前記基板の厚さ方向をZ軸方向としたとき、
前記第1方向がZ軸方向であり、
前記第1検出部と前記第2検出部は、前記基板の中央を通り前記Z軸に直交する線に対して線対称な位置に設けられている
請求項3に記載のセンサチップ。 - 前記基板の厚さ方向をZ軸方向としたとき、
前記第1方向がZ軸方向であり、
前記第1検出部と前記第2検出部は、前記Z軸周りの回転に対して180°回転対称な位置に設けられている
請求項3に記載のセンサチップ。 - 互いに平行な1対の前記第1の検知用梁に、前記第1検出部が形成されており、
前記1対の前記第1の検知用梁と直交する他の1対の前記第1の検知用梁に、前記第2検出部が形成されている
請求項1または2に記載のセンサチップ。 - 前記基板の厚さ方向をZ軸方向としたとき、
前記第1方向がZ軸周りに回転する方向であり、
前記第1検出部と前記第2検出部は、前記Z軸周りの回転に対して90°回転対称な位置に設けられている
請求項6に記載のセンサチップ。 - 前記第1検出部と前記第2検出部の歪検出素子の抵抗値は、前記第1検出部と前記第2検出部以外の前記歪検出素子の抵抗値の半分である
請求項1乃至7のいずれか1項に記載のセンサチップ。 - 前記第1検出部と前記第2検出部の歪検出素子の数の和は、前記第1方向とは異なる方向の力を検出する歪検出素子の数の倍数である
請求項1乃至8のいずれか1項に記載のセンサチップ。 - 前記第1の検知用梁の外側に前記第1の検知用梁と平行に設けられた、隣接する前記第1の支持部同士を連結する第1の補強用梁と、
前記第1の支持部と前記第2の支持部とを連結する第2の補強用梁と、を有し、
前記第2の補強用梁は、前記第1の補強用梁と非平行に配置され、
前記第1の補強用梁及び前記第2の補強用梁は、前記第1の検知用梁及び前記第2の検知用梁よりも厚く形成され、
前記第2の検知用梁は、隣接する前記第2の補強用梁の前記第2の支持部側の端部同士を連結している
請求項1乃至9のいずれか1項に記載のセンサチップ。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載のセンサチップと、
印加された力を前記センサチップに伝達する起歪体と、を有する
力覚センサ装置。
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