JP2019062137A - 試料保持具 - Google Patents
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Abstract
Description
で焼成することによって得ることができる。セラミック体1の内部には、必要に応じて、静電吸着用電極が設けられていてもよい。セラミック体1の寸法は、例えば形状が円板状のときは、主面の直径を200〜500mmに、厚みを5〜25mmにすることができる。
の形状が波状であるとよい。これにより、第2領域13の外周のうち第1領域12に接していない部分に加わる応力を分散させることができる。その結果、試料保持具10の耐久性を高めることができる。
11:試料保持面
12:第1領域
13:第2領域
2:発熱抵抗体
3:凹部
10:試料保持具
Claims (8)
- 一方の主面に試料保持面を有するセラミック体と、
該セラミック体の他方の主面に設けられた帯状の発熱抵抗体とを備えており、
前記他方の主面は、前記発熱抵抗体に接する第1領域と、該第1領域に隣接する領域であって、凹部が設けられている第2領域とを有していることを特徴とする試料保持具。 - 前記第2領域は、前記第1領域よりも表面が粗いことを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 前記他方の主面に垂直な断面を見たときに、前記第2領域は、前記第1領域よりも幅が小さいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の試料保持具。
- 前記発熱抵抗体および前記凹部の表面には、同じ物質であって、前記セラミック体の内部に含まれる粒子とは異なる物質からなる粒子が存在していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の試料保持具。
- 前記粒子は、前記発熱抵抗体を形成する構成元素の酸化物であることを特徴とする請求項4に記載の試料保持具。
- 前記凹部は、並んで配置された複数の溝であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の試料保持具。
- 前記凹部は、格子状の溝であることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の試料保持具。
- 前記第2領域の外周のうち前記第1領域に接していない部分の形状が波状であることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の試料保持具。
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPH0826863A (ja) * | 1994-07-12 | 1996-01-30 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 熱分解窒化ホウ素被覆複層成形体及びその製造方法 |
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-
2017
- 2017-09-28 JP JP2017187530A patent/JP6952394B2/ja active Active
Patent Citations (5)
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