JP2020077652A - 保持装置 - Google Patents
保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020077652A JP2020077652A JP2018207882A JP2018207882A JP2020077652A JP 2020077652 A JP2020077652 A JP 2020077652A JP 2018207882 A JP2018207882 A JP 2018207882A JP 2018207882 A JP2018207882 A JP 2018207882A JP 2020077652 A JP2020077652 A JP 2020077652A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rtd
- electrode
- heater
- driver
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
A−1.加熱装置100の構成:
図1は、本実施形態における加熱装置100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における加熱装置100のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。なお、図2には、後述の図3から図6のII−IIの位置における加熱装置100のXZ断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、加熱装置100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
保持体10は、所定の方向(本実施形態では上下方向)に略垂直な保持面S1および裏面S2を有する略円板状の部材である。保持体10は、例えば、Al2O3(アルミナ)やAlN(窒化アルミニウム)を主成分とするセラミックスにより形成されている。なお、ここでいう主成分とは、含有割合(重量割合)の最も多い成分を意味する。保持体10の直径は、例えば100mm以上、500mm以下程度であり、保持体10の厚さ(上下方向における長さ)は、例えば3mm以上、30mm以下程度である。
柱状支持体20は、上記上下方向(Z軸方向)に延びる略円柱状部材である。柱状支持体20は、保持体10と同様に、例えばアルミナやAlNを主成分とするセラミックスにより形成されている。柱状支持体20の外径は、例えば30mm以上、100mm以下程度であり、柱状支持体20の高さ(上下方向における長さ)は、例えば100mm以上、300mm以下程度である。
RF電極40は、面方向(XY平面方向)に広がっている略平板状の導電体である。上下方向(Z軸方向)視でのRF電極40の形状は、例えば略円形である。RF電極40の中心付近は、RF用ビア42を介して、RF用電極パッド46に電気的に接続されている。これにより、RF電極40とRF用端子48とが電気的に接続されている。電源(図示しない)からRF用端子48を介してRF電極40に電圧が印加されると、RF電極40からプラズマが発生する。
図3は、本実施形態における加熱装置100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図3には、図2のIII−IIIの位置における加熱装置100のXY断面構成が示されている。図3には、4つのヒータ用ドライバ54が二点鎖線で示されている。
図4は、本実施形態における加熱装置100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図4には、図2のIV−IVの位置における加熱装置100のXY断面構成が示されている。
(1)ヒータ用ドライバ54の電流が流れる方向に対して垂直方向の断面積は、ヒータ電極50の同様な断面積の5倍以上である。
(2)ヒータ電極50における、ヒータ用ドライバ54につながる一方のビア(後述の第1のヒータ用ビア52等)から他方のビアまでの間の抵抗は、ヒータ用ドライバ54における、ヒータ電極50につながるビアからヒータ用端子58につながるビア(第2のヒータ用ビア55等)までの間の抵抗の5倍以上である。
図5は、本実施形態における加熱装置100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図5には、図2のV−Vの位置における加熱装置100のXY断面構成が示されている。図5には、4つのRTD用ドライバ64が二点鎖線で示されている。
図6は、本実施形態における加熱装置100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図6には、図2のVI−VIの位置における加熱装置100のXY断面構成が示されている。
(1)RTD用ドライバ64の電流が流れる方向に対して垂直方向の断面積は、RTD電極60の同様な断面積の5倍以上である。
(2)各RTD電極60における、各RTD用ドライバ64につながる一方のビア(後述の第1のRTD用ビア62等)から他方のビアまでの間の抵抗は、各RTD用ドライバ64における、各RTD電極60につながるビアからRTD用端子68につながるビア(第2のRTD用ビア65等)までの間の抵抗の5倍以上である。
以上説明したように、本実施形態の加熱装置100では、RTD電極60は、上下方向(Z軸方向)において、ヒータ電極50より保持体10の保持面S1側に配置されている(図2参照)。すなわち、RTD電極60と保持面S1との間にヒータ電極50が介在しない。このため、本実施形態では、RTD電極60が上下方向においてヒータ電極50より裏面S2側に配置された構成に比べて、ヒータ電極50の発熱に起因して電極60による保持面S1の温度測定の精度が低下することを抑制することができる。従って、本保持装置によれば、RTD電極60による保持体10の保持面S1の温度測定の精度を向上させることができ、ひいては、保持面S1の温度分布の制御性を向上させることができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (5)
- 第1の方向に略直交する第1の表面を有する板状部材と、
前記板状部材の内部に配置された発熱用抵抗体と、
前記板状部材の内部に配置された測温用抵抗体と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記測温用抵抗体は、前記第1の方向において、前記発熱用抵抗体より前記第1の表面側に配置されている、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1に記載の保持装置において、さらに、
前記板状部材の前記第1の表面とは反対側の第2の表面側に配置された測温用端子部と、
前記第1の方向に延びている測温用ビアであって、一端が前記測温用抵抗体に電気的に接続された測温用ビアと、
前記測温用ビアの他端と前記測温用端子部とを電気的に接続する導電部と、
を備え、
前記測温用ビアと前記測温用端子部とは、前記第1の方向視で、互いに異なる位置に位置している、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項2に記載の保持装置において、
前記導電部は、
前記第1の方向において前記発熱用抵抗体と前記第2の表面との間に配置され、前記測温用ビアの前記他端に電気的に接続され、かつ、前記測温用端子部に電気的に接続された測温用ドライバ電極を含む、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項3に記載の保持装置において、さらに、
前記板状部材の前記第2の表面側に配置された発熱用端子部と、
前記第1の方向において前記発熱用抵抗体とは異なる位置に配置され、前記発熱用抵抗体と前記発熱用端子部とに電気的に接続された発熱用ドライバ電極と、を備え、
前記測温用ドライバ電極は、前記第1の方向において前記発熱用ドライバ電極と前記第2の表面との間に配置されている、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の保持装置において、
前記板状部材には、前記第1の方向に略直交する第2の方向に延びているガス流路が形成されており、
前記ガス流路は、前記第1の方向において前記測温用抵抗体と前記発熱用抵抗体との間に配置されている、
ことを特徴とする保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018207882A JP7213656B2 (ja) | 2018-11-05 | 2018-11-05 | 保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018207882A JP7213656B2 (ja) | 2018-11-05 | 2018-11-05 | 保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020077652A true JP2020077652A (ja) | 2020-05-21 |
JP7213656B2 JP7213656B2 (ja) | 2023-01-27 |
Family
ID=70725128
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018207882A Active JP7213656B2 (ja) | 2018-11-05 | 2018-11-05 | 保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7213656B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023228853A1 (ja) * | 2022-05-26 | 2023-11-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP7477389B2 (ja) | 2020-07-27 | 2024-05-01 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10543409B2 (en) | 2016-12-29 | 2020-01-28 | Taylor Made Golf Company, Inc. | Golf club head |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011145240A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体製造装置における測温素子取り付け構造 |
JP2015514661A (ja) * | 2012-02-29 | 2015-05-21 | ハリス,ジョナサン・エイチ | 過渡液相、窒化アルミニウム製部品の常圧接合 |
-
2018
- 2018-11-05 JP JP2018207882A patent/JP7213656B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011145240A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体製造装置における測温素子取り付け構造 |
JP2015514661A (ja) * | 2012-02-29 | 2015-05-21 | ハリス,ジョナサン・エイチ | 過渡液相、窒化アルミニウム製部品の常圧接合 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7477389B2 (ja) | 2020-07-27 | 2024-05-01 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
WO2023228853A1 (ja) * | 2022-05-26 | 2023-11-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7213656B2 (ja) | 2023-01-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7213656B2 (ja) | 保持装置 | |
JP6571880B2 (ja) | 保持装置 | |
TWI827619B (zh) | 靜電夾盤及基板固定裝置 | |
TW201838089A (zh) | 靜電吸盤 | |
JP7030420B2 (ja) | 保持装置 | |
JP6979279B2 (ja) | 保持装置 | |
JP2020004946A (ja) | 保持装置 | |
JP7126398B2 (ja) | 保持装置 | |
JP7071130B2 (ja) | 保持装置 | |
US20220399223A1 (en) | Wafer placement table | |
JP7198635B2 (ja) | 保持装置 | |
JP7252825B2 (ja) | 保持装置 | |
JP6563690B2 (ja) | 試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置 | |
JP7365805B2 (ja) | 保持装置の製造方法および保持装置 | |
JP2019149434A (ja) | 保持装置 | |
JP6994953B2 (ja) | 保持装置 | |
JP7146108B2 (ja) | 保持装置 | |
JP7477371B2 (ja) | 保持装置 | |
US20210136875A1 (en) | Heating device | |
JP7278049B2 (ja) | 保持装置 | |
JP6943774B2 (ja) | 保持装置 | |
JP7386624B2 (ja) | 保持装置および保持装置の製造方法 | |
JP2022023325A (ja) | 保持装置 | |
JP2019220595A (ja) | 保持装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220902 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7213656 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |