JP7365805B2 - 保持装置の製造方法および保持装置 - Google Patents
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Description
A-1.静電チャック100の構成:
図1は、第1実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、第1実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3および図4は、第1実施形態における静電チャック100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図2には、図4のII-IIの位置における静電チャック100のXZ断面構成が示されており、図3には、図2のIII-IIIの位置における静電チャック100のXY断面構成が示されており、図4には、図2のIV-IVの位置における静電チャック100のXY断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
上述したように、静電チャック100は、複数のヒータ電極50(より具体的には、第1のヒータ電極50A、第2のヒータ電極50B、第3のヒータ電極50C)を備える(図2および図3参照)。本実施形態では、複数のヒータ電極50は、Z軸方向において互いに同一の位置に配置されている。
(1)ドライバ電極60,80の電流が流れる方向に対して垂直方向の断面積は、ヒータ電極50の同様な断面積の5倍以上である。
(2)ヒータ電極50における、ドライバ電極60,80につながる一方のビアから他方のビアまでの間の抵抗は、ドライバ電極60,80における、ヒータ電極50につながるビアから給電端子74につながるビアまでの間の抵抗の5倍以上である。
図4に示すように、各外部ドライバ電極80は、全体として線状である。また、外部ドライバ電極80は、複数(本実施形態では3つ)の線状の導線部81が並列に接続された並列回路により構成されている。1つの外部ドライバ電極80を構成する複数の導線部81のそれぞれの断面積の合計は、該外部ドライバ電極80に電気的に接続されているヒータ電極50の断面積より大きい。また、1つの外部ドライバ電極80を構成する複数の導線部81の全体の線幅(図4のD2参照)は、該外部ドライバ電極80に電気的に接続されているヒータ電極50の線幅(図3のD1参照)より大きい。ここで、ある部(導線部81等)の断面積とは、該ある部の電流の流れ方向(例えば、ある部に電気的に接続されている入力端子側のビアから出力端子側のビアまで、該ある部の形状に沿った軸方向)に略垂直な断面の面積であり、ある部の断面積が不均一である場合、ある部の最小断面積であることが好ましい。また、ある部(導線部81等)の線幅とは、上下方向(Z軸方向)視において、該ある部の電流の流れ方向に略垂直な方向の幅であり、ある部の線幅が不均一である場合、ある部の最小線幅であることが好ましい。複数の導線部81の全体の線幅とは、電流の流れ方向に略垂直な方向において、一方の端に位置する導線部の端から他方に位置する導線部の端までの距離である(以下、同じ)。なお、外部ドライバ電極80は、特許請求の範囲における導電部に相当し、並列回路(導線部81)は、導電部のうち、導通抵抗値を変更するために加工の対象とされる部分であり、特許請求の範囲における調整部に相当する。また、数の導線部81のそれぞれの断面積の合計は、特許請求の範囲における第1の断面積に相当し、ヒータ電極50の断面積は、特許請求の範囲における第2の断面積に相当する。
次に、静電チャック100の製造方法について説明する。図5は、本実施形態における静電チャック100の製造方法を示すフローチャートである。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100の製造方法は、まず、準備する板状基礎部材には、調整部(複数の導線部81)を有する外部ドライバ電極80が備えられている。この外部ドライバ電極80は、ヒータ電極50に電気的に直列に接続されると共に、板状基礎部材の下面S2側に露出するように配置されている。このため、既に成形された板状基礎部材に対して、外部ドライバ電極80の調整部に加工を施すことにより、ヒータ電極50に電気的に接続された一対の給電電極73間の電気抵抗値である導通抵抗値を変更することができる。しかも、調整部の電流の流れ方向に略垂直な第1の断面積が、ヒータ電極50の電流の流れ方向に略垂直な第2の断面積より大きい。このため、調整部は、例えばヒータ電極50に比べて加工がしやすい。このように、本実施形態の製造方法によれば、導通抵抗値の調整のための加工ミスによる品質低下を抑制しつつ、導通抵抗値が所望の値に近づくように調整されたセラミックス部材10を備える静電チャック100を製造することができる。
B-1.加熱装置100aの構成:
図6は、第2実施形態における加熱装置100aの外観構成を概略的に示す斜視図であり、図7は、第2実施形態における加熱装置100aのXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図8は、第2実施形態における加熱装置100aのXY断面構成を概略的に示す説明図である。図8には、図7のVIII-VIIIの位置における加熱装置100aのXZ断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、加熱装置100aは実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
上述したように、加熱装置100aは、複数のヒータ電極50a(より具体的には、第1のヒータ電極51a、第2のヒータ電極52a)を備える(図2参照)。本実施形態では、複数のヒータ電極50aは、Z軸方向において互いに同一の位置に配置されている。
図8に示すように、各外部ドライバ電極80aは、全体として面方向に広がった層状である。各外部ドライバ電極80aには、ヒータ側ビア71aとの接合部分と中継ビア75aとの接合部分との間に介在する切り抜き部84aが形成されている。具体的には、切り抜き部84aは、ヒータ側ビア71aとの接合部分と中継ビア75aとの接合部分との間を横断するように伸びているスリットであり、該スリットの一端が外部ドライバ電極80aの周縁に達している。このため、切り抜き部84aの閉塞端側の長さを変更することにより、ヒータ側ビア71aとの接合部分と中継ビア75aとの接合部分との間の導電経路の長さが変わり、それに伴って、両接合部分間の電気抵抗値を変更することができる。
以上説明したように、本実施形態の加熱装置100aにおいても、保持体10aの裏面S2aに露出する外部ドライバ電極80aに加工を施すことにより、導通抵抗値の調整のための加工ミスによる品質低下を抑制しつつ、導通抵抗値が所望の値に近づくように調整された保持体10aを備える加熱装置100aを製造することができる。また、加工後には、外部ドライバ電極80aが絶縁膜90に覆われているため、外部ドライバ電極80aが酸化したり、外部から異物が混入することを抑制することができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (8)
- 第1の方向に略垂直な略平面状の第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する板状部材と、前記板状部材の内部に配置され、抵抗発熱体により構成されたヒータ電極と、前記板状部材の前記第2の表面側に配置され、前記ヒータ電極に電気的に接続された一対の給電部と、を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、
前記第1の表面と前記第2の表面とを有し、内部に前記ヒータ電極が配置されると共に前記第2の表面側に前記一対の給電部が配置された板状基礎部材であって、さらに、前記ヒータ電極に電気的に直列または並列に接続されると共に前記第2の表面側に露出するように配置された導電部であって、調整部を有する導電部を備える板状基礎部材を準備する工程と、
前記板状基礎部材の前記調整部の電気抵抗値を変更するための加工を施す工程と、
を備える、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。 - 請求項1に記載の保持装置の製造方法において、
前記調整部は、電流の流れ方向に略垂直な第1の断面積が、前記ヒータ電極の電流の流れ方向に略垂直な第2の断面積より大きい、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の保持装置の製造方法において、
前記調整部は、複数の導線部が並列に接続された並列回路により構成されている、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。 - 請求項3に記載の保持装置の製造方法において、
前記並列回路を構成する少なくとも2つの前記導線部のそれぞれの電流の流れ方向の断面積は互いに異なる、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の保持装置の製造方法において、さらに、
前記導電部の前記調整部の加工後に、前記板状部材の前記第2の表面のうち、少なくとも前記導電部を絶縁材料で覆う工程を備える、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。 - 第1の方向に略垂直な略平面状の第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する板状部材と、
前記板状部材の内部に配置され、抵抗発熱体により構成されたヒータ電極と、
前記板状部材の前記第2の表面側に配置され、前記ヒータ電極に電気的に接続された一対の給電部と、
第3の表面を有し、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面側に位置するように配置された、かつ、冷却機構を有するベース部材と、
前記板状部材の前記第2の表面と前記ベース部材の前記第3の表面との間に配置され、前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、さらに、
前記ヒータ電極に電気的に直列または並列に接続されると共に前記第2の表面側において前記接合部に覆われるように配置された導電部であって、調整部を有する導電部を備え、
前記調整部は、前記導電部の電流の流れ方向に略垂直な第1の断面積が、前記ヒータ電極の電流の流れ方向に略垂直な第2の断面積より大きい、
ことを特徴とする保持装置。 - 第1の方向に略垂直な略平面状の第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する板状部材と、
前記板状部材の内部に配置され、抵抗発熱体により構成されたヒータ電極と、
前記板状部材の前記第2の表面側に配置され、前記ヒータ電極に電気的に接続された一対の給電部と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、さらに、
前記ヒータ電極に電気的に直列または並列に接続されると共に前記第2の表面側において絶縁材料に覆われるように配置された導電部であって、調整部を有する導電部を備え、
前記調整部は、前記導電部の電流の流れ方向に略垂直な第1の断面積が、前記ヒータ電極の電流の流れ方向に略垂直な第2の断面積より大きい、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項6または請求項7に記載の保持装置の製造方法において、
前記導電部の前記調整部と前記板状部材の前記第1の表面との距離は、前記給電部と前記板状部材の前記第1の表面との距離以上である、
ことを特徴とする保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019137471A JP7365805B2 (ja) | 2019-07-26 | 2019-07-26 | 保持装置の製造方法および保持装置 |
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JP2019137471A JP7365805B2 (ja) | 2019-07-26 | 2019-07-26 | 保持装置の製造方法および保持装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2021022630A JP2021022630A (ja) | 2021-02-18 |
JP7365805B2 true JP7365805B2 (ja) | 2023-10-20 |
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Family Applications (1)
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JP2019137471A Active JP7365805B2 (ja) | 2019-07-26 | 2019-07-26 | 保持装置の製造方法および保持装置 |
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JP (1) | JP7365805B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW202414678A (zh) | 2022-09-28 | 2024-04-01 | 日商Toto股份有限公司 | 靜電吸盤 |
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JP2003217798A (ja) | 2000-07-06 | 2003-07-31 | Ibiden Co Ltd | セラミックヒータ、セラミックヒータの製造方法およびセラミックヒータの製造システム |
JP2005197161A (ja) | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Ngk Insulators Ltd | ヒーター |
JP2017076691A (ja) | 2015-10-14 | 2017-04-20 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ及び静電チャック |
JP2019125663A (ja) | 2018-01-16 | 2019-07-25 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
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JP2019125663A (ja) | 2018-01-16 | 2019-07-25 | 日本特殊陶業株式会社 | 保持装置 |
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