JP2019062075A5 - - Google Patents

Description

駆動モータ２２は、回転子２６ａと固定子２６ｂを有して構成される。回転子２６ａは、下部のベース板２３に形成された円形の通孔２５を貫通して設けられ、固定子２６ｂは、ベース板２３の下で回転子２６ａの周囲に設けられる。円筒部材である回転子２６ａの上端が、円筒部材である動力伝動体２１と一体となるように接続される。これにより、駆動モータ２２の回転子２６ａが動力伝動体２１を通じて回転体１３を回転させることで、クランプピン１８により保持された基板１２を回転させる構造となっている。なお、駆動モータ２２は、制御部１００に電気的に接続され、その駆動を制御部１００に記憶された基板処理情報や各種プログラムに基づいて制御される。

回転子２６ａ及び動力伝動体２１の中空内部には、非回転の保持筒２７が、回転子２６ａ及び動力伝動体２１と同軸に設けられる。この保持筒２７の上端部には、円錐形状の凹部を有するノズルヘッド２８が取り付けられ、このノズルヘッド２８に、基板１２の裏面に処理液等を噴射する複数のノズル２９が設けられる。各ノズル２９は、処理液供給部（不図示）に接続されている。各ノズル２９から噴射された処理液等を排出するために、保持筒２７内には中空の管体３１が設けられ、その一端はノズルヘッド２８を貫通して、ノズルヘッド２８に形成される凹部の底部に接続され、他端は廃液タンク等（不図示）に接続される。また、カバー部１５の中央には、ノズル２９から基板１２の裏面に向けて噴射される処理液を通過させるための開口部１５ａが形成されている。ノズル２０とノズル２９は、処理液供給手段を構成する。なお、ノズル２９は、基板１２の裏面（図１では下面）を処理するために設けられているが、基板１２の表面（図１では上面）のみを処理する場合には、なくてもよい。なお、ノズル２０及びノズル２９からの処理液の供給は、制御部１００に記憶された基板処理情報や各種プログラムに基づいて制御される。

チャック開放シリンダ４３によって親歯車３７の回転が阻止された状態で、駆動モータ２２により回転子２６ａ及び動力伝動体２１を反時計方向へ回転させると、回転体１３も反時計方向に回転する。それによって、親歯車３７に噛合した子歯車３６は反時計方向に回転する。その結果、クランプピン１８は基板１２の外周面から離れる方向へ偏心回転するから、クランプピン１８による基板１２の保持状態が解除されることになる。

回収配管５５（５５ａ〜５５ｃ）は、図３に示されるように、端部の開口をカップ体５１側に向けて、廃液経路６１の外周壁部６１ｂに挿入されて支持される。回収配管５５は、分離回収する処理液の種類数だけ設けられ、本実施の形態では、カップ体５１の周方向に３本の配管５５ａ、５５ｂ、５５ｃが開口を同一高さに位置付けられる状態で設けられる。後述するように、カップ体５１を、中心軸Ｓを中心として水平回動させることで、カップ体５１の流出孔部５８を処理液の種類に応じた、1つの回収配管５５ａ（５５ｂ、５５ｃ）の開口端部の位置に位置付けることができ、処理液の種類に応じた回収が可能となる。

図３に示すように、第１実施形態において、排気配管６５（６５ａ〜６５ｃ）は、３本の排気配管６５ａ、６５ｂ、６５ｃを有する。各排気配管６５ａ〜６５ｃは、一端が、排液通路の６１の外周壁部６１ｂの内面に開口し、他端は吸引装置（不図示）に接続される。外周壁部６１ｂにおいて、排気配管６５ａの開口は、平面視で、先に述べた回収配管５５ａの挿入部（接続部）と対向する位置に配置される。同様に、排気配管６５ｂの開口は、回収配管５５ｂの挿入部（接続部）と対向する位置、排気配管６５ｃの開口は、回収配管５５ｃの挿入部（接続部）と対向する位置にそれぞれ配置されている。カップ体５１が昇降手段５４により上下方向における高位置（第１の高さ位置）にあるとき、カップ体５１を後述する回動手段により水平回動させて、流出孔部５８を回収配管５５ａの開口端部に向けると、流出孔部５８の対称となる位置、つまり、１８０度反対側に形成された排気隙間６３が排気配管６５ａの開口端部に向けられる配置となっている。また、カップ体５１を水平回動させ、流出孔部５８を回収配管５５ｂの開口端部に向けると、排気隙間６３が排気配管６５ｂの開口端部に向けられ、更に流出孔部５８を回収配管５５ｃの開口端部に向けると、排気隙間６３が排気配管６５ｃの開口端部に向けられる配置となっている。これにより、カップ体５１に流入した処理液を、流出孔部５８から回収配管５５（５５ａ〜５５ｃ）を介して回収すると共に、ミスト状の処理液を含む気体を排気隙間６３より排気配管６５（６５ａ〜６５ｃ）を介して外部へ排気することができるので、処理液の分別回収、処理液を含む気体の分別排気が可能となるように形成されている。

１１、１１ａ 基板処理装置
１２ 基板
１３ 回転体
１５ カバー部
１８ クランプピン
２０（２０ａ〜２０ｄ） ノズル
２１ 動力伝動体
２２ 駆動モータ
２６ａ 回転子
２６ｂ 固定子
３３ 回転板
３５ ピン回転体
３６ 子歯車
３７ 親歯車
５１、５１ａ カップ体
５５（５５ａ〜５５ｃ） 回収配管
５８ 流出孔部
６１ 廃液経路
６２ 廃液配管
６３ 排気隙間
６５（６５ａ〜６５ｃ） 排気配管
６７ 昇降軸
６８ 回動リング
６９ モータ
ローラ ７１
昇降ユニット ７２
伸縮シリンダ ７５
昇降ガイド ７６
柱部材 ７７

Claims (14)

1. 基板に複数種の処理液を順次供給して基板を処理する基板処理装置において、
   前記基板を保持して回転する基板回転手段と、
   前記基板回転手段により回転する前記基板に処理液を供給する処理液供給手段と、
   前記基板の周囲に設けられ、前記基板から飛散する前記処理液を受け入れるカップ体と、
   前記カップ体が受け入れた処理液の種類に応じて、前記カップ体から前記処理液を流す各種の回収路と、
   前記カップ体を水平回動させて、前記カップ体と前記処理液の種類に応じた回収路が位置する方向に切り替える回動手段と、
   前記カップ体を上下方向に昇降させて、前記回動手段による前記カップ体と前記処理液の種類に応じた回収路と連通する第１の高さ位置と、前記カップ体が受け入れた前記処理液を廃液路に流す第２の高さ位置とに切り替える昇降手段と、を有することを特徴とする基板処理装置。
2. 前記カップ体は、上部を開口する環状の容器で、前記カップ体の下部に、前記処理液を前記回収路または前記廃液路に流すための流出孔部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記カップ体の前記開口に、前記基板回転手段の外周壁部と、前記基板回転手段の外周側に配置される液受け部の内周壁部とが所定長さ挿入されてなることを特徴とする請求項２に記載の基
   板処理装置。
4. 前記回収路は、前記基板の周方向側に配置された端部開口を有する複数の回収配管であることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板処理装置。
5. 前記処理液を含む気体を、前記処理液の種類に応じて、前記カップ体から外部へ流す各種の排気路を更に有し、
   前記回動手段により前記カップ体を前記処理液の種類に応じた前記回収路が位置する方向に切り替えた際に、前記カップ体の外周面に形成された凹部形状の排気隙間と前記処理液の種類に応じた排気路とが連通することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板処理装置。
6. 前記排気路は、前記基板の周方向側に配置された端部開口を有する複数の排気配管であることを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置。
7. 前記廃液路は、前記処理液を外部へ廃液する廃液配管であり、前記昇降手段により第２の高さ位置に配置された前記カップ体の前記流出孔部から処理液が流れることを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
8. 前記回動手段は、前記カップ体を支持する支持部と、前記支持部を前記基板回転手段の回転軸の周囲を水平回動する回動部と、前記回動部を駆動させる駆動部と、を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の基板処理装置。
9. 前記昇降手段は、前記回動手段を昇降させる伸縮シリンダであることを特徴とする請求項７に記載の基板処理装置。
10. 前記カップ体は、前記流出孔部から前記回収路に向けて突出する突出部が設けられ、前記回収路の前記流出孔部側の端部には前記突出部と係合するように形状対応する切欠部が形成される請求項２乃至８のいずれかに記載の基板処理装置。
11. 前記カップ体の内部を洗浄する洗浄機構を更に有することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の基板処理装置。
12. 基板に複数種の処理液を順次供給して基板を処理する基板処理方法であって、
    前記基板を基板回転手段により回転させるステップと、
    前記基板回転手段により回転する前記基板に前記処理液を供給するステップと、
    前記基板から飛散する前記処理液をカップ体によって受けるステップと、
    前記カップ体を水平回動させて、前記カップ体と前記処理液の種類に応じた回収路が位置する方向に切り替えるステップと、
    前記カップ体を上下方向に昇降させて、前記カップ体と前記処理液の種類に応じた回収路が連通する第１の高さに移動させるステップと、
    前記カップ体が受け入れた前記処理液を廃液路に流す第２の高さ位置に移動させるステップと、を有することを特徴とする基板処理方法。
13. 前記カップ体と前記処理液の種類に応じた回収路が連通する際、前記処理液を含む気体を、前記処理液の種類に応じて、前記カップ体から外部へ流す各種の排気路に排気されることを特徴とする請求項１２に記載の基板処理方法。
14. 前記カップ体を洗浄する洗浄機構によりカップ体を洗浄するステップを更に有し、前記基板の洗浄時に併せて前記カップ体を洗浄するステップを実行することを特徴とする請求項１２又は１３に記載の基板処理方法。