JP5387636B2 - 液処理装置 - Google Patents
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Description
下降気流が形成されている処理カップ内にて基板保持部に保持された基板を回転させながら当該基板に対して液処理を行うと共に、処理カップの下部より当該処理カップ内部の雰囲気を吸引排気しかつ液を排出する液処理装置において、
前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給するためのノズルと、
前記基板保持部に保持された基板の裏面の周縁部に近接して対向した位置から外側下方へ向かって斜めに伸び出しかつ基板の周方向に環状に形成された下側ガイド部と、
その上端面が前記基板保持部に保持された基板の表面とほぼ同じ高さに位置すると共に、前記下側ガイド部との間に、基板より飛散した処理液を気流と共に下方へガイドするための下側環状流路を形成しかつ基板の外側下方領域を囲むように前記下側ガイド部に対向して環状に形成される上側ガイド部と、
前記上側ガイド部を囲むようにかつ当該上側ガイド部の外方側から上方側に亘って設けられ、基板の回転時の気流を整流するために当該上側ガイド部との間に上側環状流路を形成する外側ガイド部と、
前記上側環状流路を途中で狭くするために外側ガイド部の下面から前記上側ガイド部の上面に向かって突出し、周方向に環状に形成された突出部と、
前記上側ガイド部の下縁部に形成され、前記上側環状流路を通ってきた気流を前記下側環状流路を通ってきた気流に合流させるための開口部と、を備えたことを特徴とする。
また他の発明の液処理装置は、下側ガイド部における上側ガイド部に対向する面の縦断面形状が下方側に膨らむように湾曲している。このため前記環状流路の容積を増大させることにより、回転する基板によって生じる気流の流速を落とすことができる。従って、基板の回転数が高く、処理カップ内の排気が低排気でなされる工程にあっても、気流が逆流して、この気流に乗って処理液のミストが処理カップの外部へ飛散し、基板へ再付着することを抑制できる。
31 スピンチャック
32 回転駆動部
33 処理カップ
40 内側カップ
45 下側ガイド部
46 ベベル洗浄ノズル
50 中間カップ
51 液受け部
60 外側カップ
61 傾斜壁
70 上側ガイド部
72 湾曲面
77 開口部
92 レジストノズル
Claims (3)
- 下降気流が形成されている処理カップ内にて基板保持部に保持された基板を回転させながら当該基板に対して液処理を行うと共に、処理カップの下部より当該処理カップ内部の雰囲気を吸引排気しかつ液を排出する液処理装置において、
前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給するためのノズルと、
前記基板保持部に保持された基板の裏面の周縁部に近接して対向した位置から外側下方へ向かって斜めに伸び出しかつ基板の周方向に環状に形成された下側ガイド部と、
その上端面が前記基板保持部に保持された基板の表面とほぼ同じ高さに位置すると共に、前記下側ガイド部との間に、基板より飛散した処理液を気流と共に下方へガイドするための下側環状流路を形成しかつ基板の外側下方領域を囲むように前記下側ガイド部に対向して環状に形成される上側ガイド部と、
前記上側ガイド部を囲むようにかつ当該上側ガイド部の外方側から上方側に亘って設けられ、基板の回転時の気流を整流するために当該上側ガイド部との間に上側環状流路を形成する外側ガイド部と、
前記上側環状流路を途中で狭くするために外側ガイド部の下面から前記上側ガイド部の上面に向かって突出し、周方向に環状に形成された突出部と、
前記上側ガイド部の下縁部に形成され、前記上側環状流路を通ってきた気流を前記下側環状流路を通ってきた気流に合流させるための開口部と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記ノズルは、基板の裏面の周縁のベベル部に処理液である洗浄液を吐出する洗浄ノズルを含むことを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記基板保持部の回転軸を囲むように環状に且つ前記下側ガイド部に連続して設けられた円板部と、
この円板部上に径方向に伸長して設けられたレールと、を備え、
前記洗浄ノズルは、前記レールに沿って移動自在に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の液処理装置。
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