JP2019055908A - 鉛含有量が低減された圧電セラミック材料 - Google Patents

鉛含有量が低減された圧電セラミック材料 Download PDF

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Abstract

【課題】鉛含有量が低減された、ニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)系圧電セラミック材料の提供。【解決手段】基本組成(KxNayLi1−x−y)a(MnuTavSbwNb1−u−v−w)O3のニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)系圧電セラミック材料であって、式中、0<x<1y;0<y<1;0<u<0.01;0<v<0.3;0≦w<0.2、および0.95<a<1.05;x+y≦1であり、Pb、Nb、および任意にAgの混合物の添加は、k重量%のPb+l重量%のNb+m重量%のAgに従い、式中、0<k<0.5;0<l<1;0≦m<1であることを特徴とする。【選択図】図1

Description

本発明は、請求項1の前文による基本組成のニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)系の、鉛含有量が低減された圧電セラミック材料に関する。
圧電セラミック材料の製造における現在の先行技術は、無鉛製品または鉛低減製品への移行の要望に関連した急激な変更によって特徴づけられる。その結果、特に、電気および電子装置において鉛などの有害物質の使用を低減するための手段が、Directive2011/65/EU(RoHS2)において要求されている。したがって、例えば、均質材料中の鉛含有量が0.1重量%より多い物質は制限されており、特別承認を得なければ販売できない。より環境にやさしい出発原料の代替品も、やはり現在の鉛を含有する別種のものと同じ性能特徴および同様のパラメーターを示さなければならない。現在、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)は、自動車分野またはセンサーにおける圧電適用を急速に切り替えることを考えると、最も頻繁に使用される基本圧電セラミック材料である。
PZTをニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)に置き換えることが既に提案されている。特に、リチウム、タンタルおよびアンチモンでのPSN材料の複合変更(“Lead−free piezoceramics”,Saitoら;Letters to Nature,2004)は、PZTの代替品を示す可能性がある。
欧州特許出願公開第1382588(A1)号明細書は、このように、一般式{Lix
(K1−yNay)1−x}(Nb1−z−wTaSb)Oの主成分、およびさらなる元素として、(1)パラジウム、銀、金、ルテニウム、ロジウム、レニウム、オスミウム、イリジウムおよびプラチナ、または(2)ニッケル、鉄、マンガン、銅、亜鉛、または(3)マグネシウム、カルシウム、ストロンチウムおよびバリウムから選択される少なくとも1つの金属元素を含む無鉛圧電セラミック組成物を記載している。
独国特許出願公開第102007013874(A1)号明細書は、多層圧電素子を記載しており、この素子は複数の無鉛圧電層を含み、この層は、特に、ナトリウム、カリウムまたはリチウムの形態でアルカリ金属元素を有し、ニオブまたはビスマスを含む酸化物を含む。
欧州特許出願公開第2104152(A2)号明細書は、無鉛圧電セラミックを含む圧電素子を記載している。成分KNbOおよびBaTiOは、圧電セラミックの主成分として述べられている。圧電セラミックスは、一般式xKNbO−(1−x)BaTiOを有し、式中、xは0.5〜0.9の範囲内にある。
過去10年間の集中的な研究開発にもかかわらず、工業規模でこれらの有望な無鉛材料を製造することは現在まで不可能であった。重大な局面は、10〜20Kの非常に狭い焼結間隔においてのみ所望の特性が達成されることであることが分かった。この問題を解決するために、先行技術には異なるアプローチが記載されている。一方では、特に、さらなる(無鉛)添加物によって焼結挙動が改善される。
欧州特許出願公開第1876155(A1)号明細書、欧州特許出願公開第1876156(A1)号明細書、および独国特許出願公告第112006003755(B4)号明細書は、ペロブスカイト酸化物または酸化物複合体およびさらなる酸化物を添加することによって、(K1−a−bNaaLib)m(Nb1−c−dTacSbd)O3系のPSN材料の焼結間隔を広げることを目指す。式中、0≦a≦0.9、0≦b≦0.3、0≦a+b≦0.9、0≦c≦0.5、0≦d≦0.1、0.7≦m≦1.3である。
欧州特許出願公開第1702906(A1)号明細書は、例えばアルカリ土類金属ニオブ酸塩の添加によってセラミック基本組成が変更される圧電セラミック材料を記載している。
他方では、ホットプレス、放電プラズマ焼結(Liら;J.Am.Ceram.Soc.,96〔12〕3677−3696(2013))または10K/minの加熱速度のツーステップ焼結(Pangら;Ceramics International,38
(2012)2521−2527)などの代替焼結法が提案されている。これらの方法は、コスト効率の良い大量生産に適していないか、大きな焼結体積の熱慣性により工業規模で実施することができない。
したがって、本発明の目的は、上記情報に基づいて、ニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)系の圧電セラミック材料を提供することであり、それは、低減された鉛含有量と組み合わせて、多層アクチュエータの分野における適用のために十分に大きな広がりを有するとともに、既知の無鉛PSN系材料と比較して工業規模でうまく扱うことができ、したがって、従来の焼結法で処理することができる広い焼結間隔を有する。
本発明の目的は、請求項1に記載の特徴の組み合わせによる圧電セラミック材料および請求項12によるそのような材料を製造する方法によって達成される。請求項13で述べられた定義による材料系の圧電多層アクチュエータも、本発明によるものである。焼結間隔を増加させるための、ニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)系の圧電セラミック材料におけるPb、Nb、および任意にAgの混合物の使用も、本発明によるものである。
基本組成
(KNaLi1−x−y)a(MnTaSbNb1−u−v−w)Oのニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)系の、無鉛圧電セラミック材料であって、
式中、0<x<1y;0<y<1;0<u<0.01;0<v<0.3;0≦w<0.2、
0.95<a<1.05;x+y≦1
である無鉛圧電セラミック材料が想定される。
本発明によれば、Pb、Nb、およびAgの混合物の添加を以下のように行う:
k重量%のPb+l重量%のNb+m重量%のAg、
式中、
0<k<0.5;0<l<1;0≦m<1である。
仕様k、lおよびmは、圧電セラミック材料の全質量に対するそれぞれの成分の重量パーセントに関する。
もしくは、Nbは、元素TaおよびSbの1つまたはいくつかに完全にまたは部分的に置き換えることができる。
本発明による圧電セラミック材料は、したがって、次の基本組成:
(KNaLi1−x−y)a(MnTaSbNb1−u−v−w)Oを有し、
式中、0<x<1y;0<y<1;0<u<0.01;0<v<0.3;0≦w<0.2、および
0.95<a<1.05;x+y≦1であり、
Pb、Nb、および任意にAgを含む基本組成に加えて、さらなる成分を含み、Pb、NbおよびAgの重量分率は圧電セラミック材料の全重量に対して以下のように選択されることを特徴とする:
k重量%のPb+l重量%のNb+m重量%のAg、
式中、0<k<0.5;0<l<1;0≦m<1である。
好ましい実施形態では、添加されるPbの量は、0.001<k≦0.2であるように選択される。
さらに好ましい実施形態では、添加されるNbの量は、0<l≦0.179であるように選択される。
添加されるNbに対する添加されるPbの比率が0.001<k≦0.2および0<l≦0.179であるように選択される場合、特に良好な結果が達成された。
添加されるPbの量が0.001<k≦0.1であるように選択される場合、特に有利な結果を達成することができることが認識された。
添加されるNbの量が0.022<l≦0.09であるように選択される場合、特に良好な結果が達成されることがさらに認識された。
添加されるPbおよびNbの量は、特に好ましくは0.001<k≦0.1および0.022<l≦0.09であるように選択される。
実験的試験は、さらなる成分がPb、Nb、および任意にAgの次にMnをさらに含む場合にも、本発明の目的を達成することができることをさらに示した。さらなる成分がk重量%のPb、l重量%のNb、およびn重量%のMnを含み、式中、n:lの比率が0.05〜0.15:0.30の範囲にある場合、特に良好な結果が達成される。
Pb:Mn:Nbの比率は、k:n:lが1:0.09:0.30であるように選択されることが特に好ましいことが分かった。
圧電セラミック材料は、>20Kの範囲、特に30K〜40Kの範囲に焼結間隔を有することが認識された。
鉛含有量が低減された圧電セラミック材料は、基本組成のか焼物を製造するステップおよび焼結助剤混合物を添加するステップによって実行される。Pb、Nb、任意にAg、および任意にMnを含む焼結助剤混合物の添加は、特に微粉砕の間に行うことができる。
さらなる処理は、標準大気中で焼結することを含む既知の様式で実現される。
このように、本発明は、また、以下のステップ:・基本組成の原料混合物を製造するステップと、・基本組成のか焼物を製造するステップと、・か焼物を微粉砕するステップと、・特にスプレー造粒によって粒状物を製造する、または多層もしくは「同時焼成」プロセス用流延スラリーを製造するステップと、・標準大気中で焼結することを含む既知の様式でさらに処理するステップとを特徴とする、鉛含有量が低減された圧電セラミック材料を製造する方法に関する。
本発明の用語における「同時焼成」プロセスは、圧電セラミック材料からなるフィルムが最初に流延され、続いてまだグリーン状態において電極が付与される、特に革新的な製造方法として理解されるものとする。例えば、独国特許第10234787(C1)号明細書に記載されるように、圧電素子は、多くの個々のフィルムから積層され、続いて、単一の工程段階において内部電極とともに焼結される。
請求項13の教示による圧電セラミック材料系の圧電セラミック多層アクチュエータは、本発明によるものである。
本発明は、また、基本組成
(KNaLi1−x−y)a(MnTaSbNb1−u−v−w)Oのニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)系の圧電セラミック材料における、圧電セラミック材料の焼結間隔を増加させるためのPb、Nb、および任意にAgの混合物の使用に関し、
式中、
0<x<1y;0<y<1;0<u<0.01;0<v<0.3;0≦w<0.2、および
0.95<a<1.05;x+y≦1であり、
添加されるPb、NbおよびAgの含有量が圧電セラミック材料全体に対して重量パーセントで以下のとおりであるように、Pb、Nbおよび任意にAgの混合物の添加が行われる:
k重量%のPb+l重量%のNb+m重量%のAg、
式中、0<k<0.5:0<l<1:0≦m<1である。
好ましい実施形態では、添加されるPbの量は、0.001<k≦0.2であるように選択される。
さらに好ましい実施形態では、添加されるNbの量は、0<l≦0.179であるように選択される。
添加されるNbに対する添加されるPbの比率が0.001<k≦0.2および0<l≦0.179である場合、特に良好な結果が達成された。
添加されるPbの量が0.001<k≦0.1であるように選択される場合、特に有利な結果を達成することができることが認識された。
添加されるNbの量が0.022<l≦0.09であるように選択される場合に、特に良好な結果を達成することができることがさらに認識された。
特に好ましくは、添加されるPbおよびNbの量が0.001<k≦0.1および0.022<l≦0.09であるように選択される。
実験的試験は、さらなる成分がPb、Nb、および任意にAgの次にMnをさらに含む場合にも、本発明の目的を達成することができることをさらに示した。さらなる成分がk重量%のPb、l重量%のNb、およびn重量%のMnを含み、式中、n:lの比率が0.05〜0.15:0.30の範囲にある場合、特に良好な結果が達成される。
Pb:Mn:Nbの比率は、k:n:lが1:0.09:0.30であるように選択されることが特に好ましいことが分かった。
それは、焼結助剤Pb、Nb、任意にAg、および任意にMnを添加することによって、一方では、基本組成の高い絶縁抵抗および歪性能が維持されることが驚くべきことに認識された。他方では、焼結間隔の30K〜40Kの範囲への広がりが得られる。PbおよびNbのメタニオブ酸鉛の形態での公称化合物(nominal compound)としての添加を行うことができ、ここで、鉛含有量が0.05重量%〜0.2重量%の範囲にあるように、焼結助剤の添加量が選択される。鉛含有量は、圧電セラミック材料全体に対して、特に好ましい様式では最大0.1重量%である。
図面は、本発明によるPSN系の様々な材料の試験の結果を説明するために使用される。
図1は、サンプル製造の一般的技術順序を記載している。「」は、そのような技術ステップに関し、Pb、Nb、任意にAg、および任意にMnの記載された添加を行うことができる。 図2は、実施形態1(先行技術)および8の単極性歪の典型的な温度依存性を2kV/mmのトリガ電界強度で比較して示す。 図3は、実施形態1(先行技術)および8の比絶縁抵抗の典型的な温度依存性を比較して示す。 図4aは、実施形態1についての室温から175℃までの温度範囲での単極性歪ヒステリシスを示す。 図4bはサンプル電流を示す。 図5aは、実施形態7についての室温から175℃までの温度範囲での単極性歪ヒステリシスを示す。 図5bはサンプル電流を示す。 図6aは、実施形態8についての室温から175℃までの温度範囲での単極性歪ヒステリシスを示す。 図6bはサンプル電流を示す。
以下に述べる測定結果は、以下の基本系:
(KNaLi1−x−y)a(MnTaSbNb1−u−v−w)Oに関する。
原料の混合およびか焼物の微粉砕を、それぞれ撹拌器ビーズミル内で行った。
Pb、Nb、および任意にMnの添加を次の技術ステップで行った:
実施例1〜7:微粉砕
実施例8:スプレー造粒中の添加
PbおよびNbの添加を、実施例2および3において酸化物の混合物(M)として、そして実施例4、5および8において予備成形されたか焼物(K)として行った。Pb、NbおよびMnの添加を、実施例6および7において酸化物の混合物(M)として行った。
評価に使用されたパラメーターを表1にまとめる。
Figure 2019055908
比絶縁抵抗ρisを、室温から150℃への温度上昇で分極されたサンプルで50Vで決定する。
電気機械歪Sを、2kV/mmでレーザー干渉計によって決定する。測定電界強度を、伝導性が増大した結果、2kV/mmで測定することができなかったサンプルについて欄12に記載する。
焼結間隔は、セラミックの必要な特性が材料の燃焼の間に達成される、2つの温度仕様によって境界が決定される範囲であると理解する。それらは以下のように定義される:
tanδ:≦50 10−3
S3(室温):<0.6 10−3
max:≧2kV/mm
以下の実施形態は、先行技術(実施例1)および本発明に従って製造された組成物(実施例2〜8)の挙動を示す。サンプルをフローチャート(図1)に従って製造した。
試験の結果を表2に記録する。
実施形態1:
組成物
(K0.44Na0.52Li0.04)0.998(Mn0.005[Ta0.10Sb0.06Nb0.840.995)O
この組成物は、焼結間隔が≦20Kの先行技術に相当する。
実施形態2:
組成物:
(K0.44Na0.52Li0.04)0.998(Mn0.005[Ta0.10Sb0.06Nb0.840.995)O
酸化物の混合物として+0.1重量%Pb+0.09重量%Nbが添加される。本発明によるこの組成物は、焼結間隔の30Kへの広がりを示す。
実施形態3:
組成物:
(K0.44Na0.52Li0.04)0.998(Mn0.005[Ta0.10Sb0.06Nb0.840.995)O
酸化物の混合物として+0.2重量%Pb+0.179%重量%Nbが添加される。本発明によるこの組成物は、焼結間隔の30Kへの広がりを示す。
実施形態4:
組成物:
(K0.44Na0.52Li0.04)0.998(Mn0.005[Ta0.10Sb0.06Nb0.840.995)O
予備成形されたか焼物として+0.1重量%Pb+0.09%重量%Nbが添加される。本発明によるこの組成物は、焼結間隔の30Kへの広がりを示す。
実施形態5:
組成物:
(K0.44Na0.52Li0.04)0.998(Mn0.005[Ta0.10Sb0.06Nb0.840.995)O
予備成形されたか焼物として+0.2重量%Pb+0.179%重量%Nbが添加される。本発明によるこの組成物は、焼結間隔の30Kへの広がりを示す。
実施形態6:
組成物:
(K0.44Na0.52Li0.04)0.998(Mn0.005[Ta0.10Sb0.06Nb0.840.995)O
酸化物の混合物として+0.1重量%Pb+0.022%重量%Nb+0.013重量%Mnが添加される。この組成物は、焼結間隔の広がりを示さない。
実施形態7:
組成物:
(K0.44Na0.52Li0.04)0.998(Mn0.005[Ta0.10Sb0.06Nb0.840.995)O
酸化物の混合物として+0.1重量%Pb+0.03%重量%Nb+0.009重量%Mnが添加される。本発明によるこの組成物は、焼結間隔の40Kへの広がりを示す。
実施形態8:
組成物:
(K0.44Na0.52Li0.04)0.998(Mn0.005[Ta0.10Sb0.06Nb0.840.995)O
予備成形されたか焼物として+0.1重量%Pb+0.09%重量%Nbが添加される。本発明によるこの組成物は、焼結間隔の40Kへの広がりを示す。この実施形態では、材料の処理を工業規模で連続的に行い、PbおよびNbの添加をスプレー造粒中に行った。
驚くべきことに、高い絶縁抵抗は、組成物(K0.44Na0.52Li0.04)0.998(Mn0.005[Ta0.10Sb0.06Nb0.840.995)Oの本発明に従ったPb、Nb、および任意にMnでの変更で維持される。
Figure 2019055908

Claims (19)

  1. 基本組成
    (KNaLi1−x−y)a(MnTaSbNb1−u−v−w)Oのニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)系の、鉛含有量が低減された圧電セラミック材料であって、
    式中、0<x<1y;0<y<1;0<u<0.01;0<v<0.3;0≦w<0.2、および
    0.95<a<1.05;x+y≦1であり、
    Pb、Nb、および任意にAgの混合物の添加は、k重量%のPb+l重量%のNb+m重量%のAgに従い、
    式中、
    0<k<0.5;0<l<1;0≦m<1であることを特徴とする、圧電セラミック材料。
  2. 0.001<k≦0.2であることを特徴とする、請求項1に記載の圧電セラミック材料。
  3. 0<l≦0.179であることを特徴とする、請求項1または2の一項に記載の圧電セラミック材料。
  4. 0.001<k≦0.2および0<l≦0.179であることを特徴とする、先行する請求項の少なくとも一項に記載の圧電セラミック材料。
  5. 0.001<k≦0.1であることを特徴とする、先行する請求項の少なくとも一項に記載の圧電セラミック材料。
  6. 0.022<l≦0.09であることを特徴とする、先行する請求項の少なくとも一項に記載の圧電セラミック材料。
  7. 0.001<k≦0.1および0.022<l≦0.09であることを特徴とする、先行する請求項の少なくとも一項に記載の圧電セラミック材料。
  8. k:lの比率は1:0.9〜1:0.3の範囲にあることを特徴とする、先行する請求項の少なくとも一項に記載の圧電セラミック材料。
  9. k重量%のPb、l重量%のNb、およびn重量%のMnの混合物の添加を特徴とし、n:lの比率は0.05〜0.15:0.30の範囲にある、先行する請求項の少なくとも一項に記載の圧電セラミック材料。
  10. k:n:lの比率は1:0.09:0.30であることを特徴とする、請求項9に記載の圧電セラミック材料。
  11. 圧電セラミック材料は、>20Kの範囲、特に30K〜40Kの範囲に焼結間隔を有することを特徴とする、先行する請求項の少なくとも一項に記載の圧電セラミック材料。
  12. 先行する請求項のうちの一項に記載の鉛含有量が低減された圧電セラミック材料を製造する方法であって、・基本組成の原料混合物を製造するステップと、・基本組成のか焼物を製造するステップと、・か焼物を微粉砕するステップと、・特にスプレー造粒によって粒状物を製造する、または多層もしくは「同時焼成」プロセス用流延スラリーを製造するステップと、・標準大気中で焼結することを含む既知の様式でさらに処理するステップとを特徴とする、方法。
  13. 請求項1〜11のうちの一項に記載の圧電セラミック材料系の圧電セラミック多層アクチュエータ。
  14. 基本組成
    (KNaLi1−x−y)a(MnTaSbNb1−u−v−w)Oのニオブ酸カリウムナトリウム(PSN)系の圧電セラミック材料における、圧電セラミック材料の焼結間隔を増加させるためのPb、Nb、および任意にAgの混合物の使用であって、
    式中、0<x<1y;0<y<1;0<u<0.01;0<v<0.3;0≦w<0.2、および
    0.95<a<1.05;x+y≦1であり、
    添加されるPb、NbおよびAgの含有量が圧電セラミック材料全体に対して重量パーセントで以下のとおりであるように、PbおよびNbの混合物の添加が行われる使用:
    k重量%のPb+l重量%のNb+m重量%のAg、
    式中、0<k<0.5:0<l<1:0≦m<1である。
  15. 0.001<k≦0.2および0<l≦0.179であることを特徴とする、請求項14に記載の使用。
  16. 0.001<k≦0.1および0.022<l≦0.09であることを特徴とする、請求項14または15に記載の使用。
  17. k:lの比率は1:0.9〜1:0.3の範囲にあることを特徴とする、請求項15または16に記載の使用。
  18. k重量%のPb、l重量%のNb、およびn重量%のMnの混合物の添加を特徴とし、n:lの比率は0.05〜0.15:0.30の範囲にある、請求項16または17に記載の使用。
  19. k:n:lの比率は1:0.09:0.30であることを特徴とする、請求項18に記載の使用。
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