JP2019054059A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)〜図1(d)は、第1実施形態に係る半導体装置を例示する模式図である。 図1(a)は、斜視図である。図1(b)は、図1(a)のA1−A2線断面図である。図1(c)は、図1(a)のB1−B2線断面図である。図1(d)は、図1(a)の矢印AAから見た平面図である。
図2(a)は、図1(b)のC1−C2線断面図である。図2(b)は、第1部材10に含まれる膜などの構成を模式的に示している。図2(b)では、図を見やすくするために、複数の膜の位置がシフトされて描かれている。
図3は、第1磁性面状領域11pを例示している。第1磁性面状領域11pは、複数の磁区11dmを含む。複数の磁区11dmは、第1方向D1と交差する面内(例えばX−Y平面内)で並ぶ。
図4には、試料SP01及び試料SP02に関する測定結果が示されている。試料SP01においては、シールド膜として、厚さが3μmのCu膜が用いられる。試料SP02においては、シールド膜として、Cu膜(530nmの厚さ)/NiFe膜(200nmの厚さ)/Cu膜(530nmの厚さ)/CoZrNb膜(200nmの厚さ)/Cu膜(530nmの厚さ)の積層膜が設けられる。NiFe膜及びCoZrNb膜において、保磁力Hcは、約1Oe(エルステッド)と、小さい。
図5は、試料SP03と試料SP04に関する測定結果が示されている。試料SP03においては、第1試料SP01と同様に、シールド膜として、厚さが3μmのCu膜が用いられる。試料SP04においては、シールド膜として、Cu膜(530nmの厚さ)/FeSi膜(200nmの厚さ)/Cu膜(530nmの厚さ)/FeSi膜(200nmの厚さ)/Cu膜(530nmの厚さ)の積層膜が設けられる。2つのFeSi膜は、低圧で形成される。FeSi膜において、保磁力Hcは、10Oeよりも大きい。
図6は、シールド膜の特性を例示するグラフ図である。
図6において、試料SP05及び試料SP06の特性のシミュレーション結果が示されている。試料SP05において、シールド膜は、厚さが2μmのCu膜である。試料SP06においては、シールド膜は、Cu膜(800nmの厚さ)/CoZrNb膜(400nmの厚さ)/Cu膜(800nmの厚さ)の積層膜である。CoZrNb膜の比透磁率μrは、993である。
図7において、シミュレーション結果が示されている。シミュレーションにおいて、シールド膜は、Cu膜(800nmの厚さ)/磁性膜(400nmの厚さ)/Cu膜(800nmの厚さ)の積層膜である。シミュレーションにおいて、この磁性膜の比透磁率μrが約100〜4000の範囲で変更される。以下の6種の条件のシミュレーション結果について説明する。以下において、4πMsは飽和磁化であり、Hkは磁気異方性である。
第1条件:4πMsは0.18Tで、Hkは17.7Oeであり、比透磁率μrは、102である。
第2条件:4πMsは0.25Tで、Hkは12.8Oeであり、比透磁率μrは、195である。
第3条件:4πMsは0.4Tで、Hkは8Oeであり、比透磁率μrは、500である。
第4条件:4πMsは0.57Tで、Hkは5.6Oeであり、比透磁率μrは、1009である。
第5条件:4πMsは0.8Tで、Hkは4Oeであり、比透磁率μrは、1985である。
第6条件:4πMsは1.14Tで、Hkは2.8Oeであり、比透磁率μrは、4029である。
上記の6種の条件において、μr=4πMs/Hkの関係にある。上記の6種の条件において、強磁性共鳴周波数は約500MHzになる。
図8において、試料SP11〜SP14及び試料SP21〜SP24の保磁力Hc及び比透磁率μrの測定結果が示されている。試料SP11〜SP13において、磁性膜は、FeSiである。試料SP11において、成膜時の基板温度Tsは、室温(約25℃)である。試料SP12において、基板温度Tsは200℃である。試料SP13において、基板温度Tsは350℃である。試料SP14において、磁性膜はFeAlSiである。試料SP14においては、磁性膜の形成の後に熱処理(アニール)が行われ、アニール温度Taは、600℃である。試料SP21〜SP24において、シールド膜は、それぞれ、Fe93Zr4N3、Fe96.5Zr2N1.5、Fe97.5Zr2N0.5、及び、Fe90Zr8N2である。試料SP21〜SP24においては、熱処理の温度は、260℃以下である。
図9には、上記の試料SP11〜SP14及び試料SP21〜SP24に関して、保磁力Hcと比透磁率μrとの関係が示されている。図9の横軸は、保磁力Hc(Oe)である。縦軸は、比透磁率μrである。図9に示すように、保磁力Hcが小さいと、比透磁率μrは高くなる。
図10は、試料SP21の磁気特性を例示している。図10の横軸は、印加される磁界Hである。縦軸は、磁化Mである。図10に示すように、試料SP21において、実質的に等方的な磁化−磁界曲線が得られる。
図11は、磁性膜の特性を例示する表である。
図11において、試料SP31〜SP39において、シールド膜は、Fe1−x1−x2Zrx1Nx2である。これらの磁性膜は、Fe1−x1−x2αx1Nx2において、「α」がZrの時の例である。試料SP31〜SP39において、x1(Zrの組成比)、及び、x2(Nの組成比)が変更される。Cu膜の上に、Fe1−x1−x2Zrx1Nx2の磁性膜が形成され、この磁性膜の保磁力Hcが評価される。
図12において、試料SP41〜SP48は、Fe1−x1−x2αx1Nx2である。試料SP41及びSP42においては、「α」は、Taである。試料SP43においては、「α」は、Nbである。試料SP44〜SP46においては、「α」は、Hfである。試料SP47及びSP48においては、「α」は、Tiである。Cu膜の上に、Fe1−x1−x2αx1Nx2の磁性膜が形成され、この磁性膜の保磁力Hcが評価される。
図13において、試料SP51〜SP55においては、磁性膜は、N(窒素)を含まない。Cu膜の上に磁性膜が形成され、この磁性膜の保磁力Hcが評価される。図13に示すように、試料SP51〜SP55において、保磁力Hcが大きい。
図14は、シールド膜の構成を例示する表である。
図14に示す試料SP61〜SP67は、Cu膜/磁性膜/Cu膜の構成を有する。Cu膜の1つは、例えば、第1非磁性面状領域21pに対応する。磁性膜は、第1磁性面状領域11pに対応する。Cu膜の別の1つは、例えば、第2非磁性面状領域22pに対応する。シミュレーションにおいては、Cu膜(第1非磁性面状領域21p)の厚さt21(図2(a)参照)、磁性膜(第1磁性面状領域11p)の厚さt11(図2(a)参照)、及び、Cu膜(第2非磁性面状領域22p)の厚さt22(図2(a)参照)が変更される。これらの試料において、Cu膜/磁性膜/Cu膜の全体の厚さは、1μmで一定である。厚さt22は、厚さt21と同じである。シミュレーションにおいて、比透磁率μrは、1000である。この値は、図11において保持率Hcが1Oeよりも小さい(低い)状態に対応する。
図15は、上記の試料SP61〜SP67のシールド特性のシミュレーション結果を示している。図15は、周波数f1が100MHzのときの減衰性能MSEを示している。図15の横軸は、Cu膜の厚さt21(nm)である。縦軸は、減衰性能MSE(dB)である。図15には、参考例として、シールド膜として、厚さが1μmのCu膜が用いられたときの減衰性能MSEの値(22.5dB)が、破線で示されている。
図16は、第2実施形態に係る半導体装置を例示する模式図である。
図16は、図1(b)のC1−C2線に対応する断面図である。
図16に示すように、半導体装置111においては、第1部材10は、第1非磁性膜21、第1磁性膜11及び第2非磁性膜22に加えて、第2磁性膜12及び第3非磁性膜23を含む。既に説明したように、第1非磁性膜21は第1非磁性面状領域21pを含む。第1磁性膜11は、第1磁性面状領域11pを含む。第2非磁性膜22は、第2非磁性面状領域22pを含む。同様に、第2磁性膜12は、第2磁性面状領域12pを含む。第3非磁性膜23は、第3非磁性面状領域23pを含む。
図17は、試料SP71〜SP76のシールド特性のシミュレーション結果を示している。試料SP71〜SP74において、2つの磁性膜が設けられる。
試料SP72において、シールド膜は、Cu膜(600nmの厚さ)/磁性膜(200nmの厚さ)/Cu膜(400nmの厚さ)/磁性膜(200nmの厚さ)/Cu膜(600nmの厚さ)である。
試料SP73において、シールド膜は、Cu膜(200nmの厚さ)/磁性膜(200nmの厚さ)/Cu膜(1200nmの厚さ)/磁性膜(200nmの厚さ)/Cu膜(200nmの厚さ)である。
試料SP74において、シールド膜は、Cu膜(700nmの厚さ)/磁性膜(200nmの厚さ)/Cu膜(200nmの厚さ)/磁性膜(200nmの厚さ)/Cu膜(700nmの厚さ)である。
図18(a)〜図18(d)は、半導体装置の一部を例示する模式的断面図である。
図18(a)に示すように、第1部材10(第1側面部分10a)は、第1磁性側面領域11aと、第1非磁性側面領域21aと、を含む。この例では、第1側面部分10aは、非磁性側面領域22a、磁性側面領域12a及び非磁性側面領域23aをさらに含む。
図19に示すように、半導体装置112においては、第1導電層31及び第2導電層32が設けられている。
(構成1)
半導体素子と、
第1部材と、
を備え、
前記第1部材は、
第1方向において前記半導体素子から離れた第1磁性面状領域と、
前記第1方向において前記第1磁性面状領域と前記半導体素子との間に設けられた第1非磁性面状領域と、
を含み、
前記第1磁性面状領域の少なくとも一部は、Fe1−x1−x2αx1Nx2を含み、前記αは、Zr、Hf、Ta、Nb、Ti、Si及びAlよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記x1は0.5原子パーセント以上10原子パーセント以下であり、前記x2は、0.5原子パーセント以上8原子パーセント以下である、半導体装置。
(構成2)
前記第1部材は、第2非磁性面状領域をさらに含み、
前記第1方向において、前記第1非磁性面状領域と前記第2非磁性面状領域との間に前記第1磁性面状領域が位置した、構成1記載の半導体装置。
(構成3)
前記第2非磁性面状領域は、Cu、Al及びAgからなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成2記載の半導体装置。
(構成4)
前記第1非磁性面状領域は、Cu、Al及びAgからなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成5)
前記第1非磁性面状領域は、Cuを含む、構成1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成6)
前記第1磁性面状領域の残留磁化の前記第1磁性面状領域の飽和磁化に対する比は、0.7以下である、構成1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成7)
前記x1は、前記x2よりも高い、構成1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成8)
前記第1非磁性面状領域の前記第1方向に沿った厚さは、50nm以上である、構成1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成9)
前記第1磁性面状領域の前記第1方向に沿った厚さは、150nm以上である、構成1〜8のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成10)
前記第1磁性面状領域は、複数の磁区を含み、
前記複数の磁区の1つの磁化の方向は、前記複数の磁区の別の1つの磁化の方向と交差した、構成1〜9のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成11)
前記複数の磁区のさらに別の1つの磁化の方向は、前記複数の磁区の前記1つの前記磁化の前記方向と交差し、前記複数の磁区の前記別の1つの前記磁化の前記方向と交差した、構成10記載の半導体装置。
(構成12)
前記複数の磁区の前記1つの前記第1方向と交差する方向に沿う長さは、0.1μm以上200μm以下である、構成10または11に記載の半導体装置。
(構成13)
前記複数の磁区は、前記第1方向と交差する面内で並ぶ、構成10〜12のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成14)
前記第1部材は、第2磁性面状領域をさらに含み、
前記第1方向において、前記第2磁性面状領域と前記第1磁性面状領域との間に前記第2磁性面状領域が位置し、
前記第2磁性面状領域の少なくとも一部は、Fe1−x3−x4αx3Nx4を含み、前記αは、Zr、Hf、Ta、Nb、Ti、Si及びAlよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記x3は0.5原子パーセント以上10原子パーセント以下であり、前記x4は、0.5原子パーセント以上8原子パーセント以下である、構成1〜13のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成15)
前記半導体素子は、
半導体チップと、
前記半導体チップの少なくとも一部と前記第1部材との間に設けられ樹脂を含む絶縁部と、
を含む、構成1〜14のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成16)
前記第1部材は、
前記第1方向と交差する第2方向において前記半導体素子から離れた第1磁性側面領域と、
前記第2方向において前記第1磁性側面領域と前記半導体素子との間に設けられた第1非磁性側面領域と、
をさらに含み、
前記第1磁性側面領域の材料は、前記第1磁性面状領域の材料と同じである、構成1〜15のいずれか1つに記載の半導体装置。
(構成17)
前記第1部材は、
前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向において前記半導体素子から離れた第2磁性側面領域と、
前記第3方向において前記第2磁性側面領域と前記半導体素子との間に設けられた第2非磁性側面領域と、
をさらに含み、
前記第2磁性側面領域の材料は、前記第1磁性面状領域の前記材料と同じである、構成16記載の半導体装置。
(構成18)
前記第1部材は、
第3磁性側面領域と、
第3非磁性側面領域と、
をさらに含み、
前記第2方向において、前記第1磁性側面領域と前記第3磁性側面領域との間に前記半導体素子が位置し、
前記第2方向において、前記第3磁性側面領域と前記半導体素子との間に前記第3非磁性側面領域が位置し、
前記第3磁性側面領域の材料は、前記第1磁性面状領域の前記材料と同じである、構成16または17に記載の半導体装置。
(構成19)
前記第1部材は、
第4磁性側面領域と、
第4非磁性側面領域と、
をさらに含み、
前記第3方向において、前記第2磁性側面領域と前記第4磁性側面領域との間に前記半導体素子が位置し、
前記第3方向において、前記第4磁性側面領域と前記半導体素子との間に前記第4非磁性側面領域が位置し、
前記第4磁性側面領域の材料は、前記第1磁性面状領域の前記材料と同じである、構成16〜18のいずれか1つに記載の半導体装置。
22p…第2非磁性面状領域、 23…第3非磁性膜、 23a〜23d…非磁性側面領域、 23p…第3非磁性面状領域、 31、32…第1、第2導電層、 50…半導体素子、 51、52…第1、第2配線、 51a、52a…第1、第2電極、 51b、52b…第1、第2接続部、 51c、52c…第1、第2端子、 53…半導体チップ、 54…絶縁部、 55…端子、 60…基体、 110、111、112…半導体装置、 ATR…減衰率、 D1〜D3…第1〜第3方向、 H…磁界、 Hc…保磁力、 L1…幅、 M…磁化、 MSE…減衰性能、 Mr…残留磁化、 Ms…飽和磁化、 SP01〜SP06、SP11〜SP14、SP21〜SP24、SP31〜SP39、SP41〜SP48、SP51〜SP55、SP61〜SP67、SP71〜SP76…試料、 f1…周波数、 t11、t21、t22…厚さ
Claims (8)
- 半導体素子と、
第1部材と、
を備え、
前記第1部材は、
第1方向において前記半導体素子から離れた第1磁性面状領域と、
前記第1方向において前記第1磁性面状領域と前記半導体素子との間に設けられた第1非磁性面状領域と、
を含み、
前記第1磁性面状領域の少なくとも一部は、Fe1−x1−x2αx1Nx2を含み、前記αは、Zr、Hf、Ta、Nb、Ti、Si及びAlよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記x1は0.5原子パーセント以上10原子パーセント以下であり、前記x2は、0.5原子パーセント以上8原子パーセント以下である、半導体装置。 - 前記第1部材は、第2非磁性面状領域をさらに含み、
前記第1方向において、前記第1非磁性面状領域と前記第2非磁性面状領域との間に前記第1磁性面状領域が位置した、請求項1記載の半導体装置。 - 前記第1非磁性面状領域は、Cu、Al及びAgからなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記第1磁性面状領域の残留磁化の前記第1磁性面状領域の飽和磁化に対する比は、0.7以下である、請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記x1は、前記x2よりも高い、請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1磁性面状領域は、複数の磁区を含み、
前記複数の磁区の1つの磁化の方向は、前記複数の磁区の別の1つの磁化の方向と交差した、請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第1部材は、第2磁性面状領域をさらに含み、
前記第1方向において、前記第2磁性面状領域と前記第1磁性面状領域との間に前記第2磁性面状領域が位置し、
前記第2磁性面状領域の少なくとも一部は、Fe1−x3−x4αx3Nx4を含み、前記αは、Zr、Hf、Ta、Nb、Ti、Si及びAlよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、前記x3は0.5原子パーセント以上10原子パーセント以下であり、前記x4は、0.5原子パーセント以上8原子パーセント以下である、請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記半導体素子は、
半導体チップと、
前記半導体チップの少なくとも一部と前記第1部材との間に設けられ樹脂を含む絶縁部と、
を含む、請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置。
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