JP2006005887A - マイクロ波伝送線路およびマイクロ波フィルタ - Google Patents
マイクロ波伝送線路およびマイクロ波フィルタ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】マイクロ波伝送線路100は、半導体基板10上に、順に、接地層12、絶縁層14、磁性層20、導電層16が積層された構造を有する。ストリップラインは、絶縁層14、磁性層20、および、導電層16によって形成される。磁性層20は、非磁性層22を強磁性層21および強磁性層23で挟んだ積層膜であり、人工反強磁性体として機能する。
【選択図】 図1
Description
実施の形態1にかかるマイクロ波伝送線路は、磁性層として強磁性体/非磁性体/強磁性体の積層膜からなる人工反強磁性体を用いることを特徴とする。ここでは、マイクロ波伝送線路の応用例として、バンドストップフィルタについて説明する。図1は、実施の形態1にかかるマイクロ波伝送線路の斜視図であり、特に、マイクロストリップライン型のバンドストップフィルタを実現する構造を示している。図1に示すマイクロ波伝送線路100は、半導体基板10上に、順に、接地層12、絶縁層14、磁性層20、導電層16が積層された構造を有する。また、図1に示すように、接地層12の長手方向に垂直な方向の幅は、半導体基板10の幅よりも短い。ストリップラインは、絶縁層14、磁性層20、および、導電層16によって形成され、その幅は、接地層12の幅よりも短い。
実施の形態2にかかるマイクロ波伝送線路は、コプレナガイド型のバンドストップフィルタを例示するものである。図9は、実施の形態2にかかるマイクロ波伝送線路の斜視図である。図9に示すマイクロ波伝送線路400は、半導体基板410上に、磁性層420、接地層412a,412bが形成され、磁性層420上にさらに導電層416が積層された構造を有する。磁性層420は、強磁性層421/非磁性層422/強磁性層423からなる積層膜で形成され、実施の形態1と同様に人工反強磁性体として機能する。2つの接地層412a,412bは、磁性層420および導電層416によって形成されるストリップラインの両側にその長手方向に沿って形成される。また、接地層412a,412bのそれぞれはストリップラインから所定の距離だけ離れて位置する。特に、このコプレナガイド型のバンドストップフィルタでは、図1に示したマイクロ波伝送線路100で必要であった絶縁層を必要としない。
実施の形態3にかかるマイクロ波伝送線路は、磁性層として、異方性エネルギーKu1の大きな磁性材料を用いることを特徴とする。
510 サファイア基板
12,212,412a,412b 接地層
14,214,314 絶縁層
16,217,218,316,416 導電層
20,220,320,420,520 磁性層
21,23,31〜36,321,323,421,423 強磁性層
22,41〜45,322,422 非磁性層
100,200,300,400,500 マイクロ波伝送線路
Claims (6)
- 共鳴周波数を決定する磁性層として、第1強磁性体、非磁性体、及び第2強磁性体を積層した積層膜を含み、
前記第1強磁性体と前記第2強磁性体とは反強磁性結合していることを特徴とするマイクロ波伝送線路。 - 共鳴周波数を決定する磁性層として、強磁性体と非磁性体とを積層した積層膜を含み、
前記強磁性体の磁気異方性エネルギーは106erg/cm3以上であることを特徴とするマイクロ波伝送線路。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に位置する接地層と、
前記接地層上に位置する絶縁層と、
前記絶縁層上に位置する前記磁性層と、
前記磁性層上に位置する導電層と、
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ波伝送線路。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に位置する接地層と、
前記接地層上に位置する前記磁性層と、
前記磁性層上に位置する絶縁層と、
前記絶縁層上に位置する導電層と、
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ波伝送線路。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に位置する前記磁性層と、
前記半導体基板上に位置し且つ前記磁性層と並置された接地層と、
前記磁性層上に位置する導電層と、
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ波伝送線路。 - 請求項1〜5のいずれか一つに記載されたマイクロ波伝送線路によって作製されたことを特徴とするマイクロ波フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004183036A JP3990386B2 (ja) | 2004-06-21 | 2004-06-21 | マイクロ波伝送線路およびマイクロ波フィルタ |
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JP2006005887A true JP2006005887A (ja) | 2006-01-05 |
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JP (1) | JP3990386B2 (ja) |
Cited By (6)
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---|---|---|---|---|
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