JP2018501405A5

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Publication number: JP2018501405A5
Application number: JP2017532727A
Authority: JP
Filing date: 2014-12-17
Publication date: 2018-07-05
Anticipated expiration: 2034-12-17

Claims

真空チャンバ（１１０）内で蒸発した材料を基板（１２１）に堆積する材料堆積装置（１００）であって、
蒸発させる材料を供給する、るつぼ（１０２、１０２ａ、１０２ｂ、１０４）と、
前記るつぼ（１０２、１０２ａ、１０２ｂ）と流体連通する線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）と、
前記蒸発した材料を前記真空チャンバ（１１０）へ案内する、前記線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）の複数のノズル（７１２）であって、各ノズル（７１２）が、前記蒸発した材料を受け取るノズル入口（４０１）、前記蒸発した材料を前記真空チャンバへ放出するノズル出口（４０３）、及び、前記ノズル入口（４０１）と前記ノズル出口（４０３）との間のノズル通路（４０２）を有する、複数のノズルと
を含み、
前記複数のノズル（７１２）のうちの少なくとも１つのノズルの前記ノズル通路（４０２）が、第１のセクション長さ（４１２）及び第１のセクションサイズ（４１１）を有した第１のセクション（４１０）と、第２のセクション長さ（４２２）及び第２のセクションサイズ（４２１）を有した第２のセクション（４２０）と、を有し、前記第１のセクションが前記ノズル入口を備え、前記第２のセクションが前記ノズル出口を備え、前記第２のセクションサイズ（４２１）の前記第１のセクションサイズ（４１１）に対する比が２から１０である、材料堆積装置。
前記第１のセクション（４１０）が、前記蒸発した材料の均一性を向上させるように構成されており、前記第２のセクション（４２０）が、前記蒸発した材料の指向性を向上させるように構成されている、請求項１に記載の材料堆積装置。
前記第１のセクション（４１０）及び前記第２のセクション（４２０）が、前記ノズル（７１２）に一体に形成されている、請求項１に記載の材料堆積装置。
前記第１のセクション（４１０）及び前記第２のセクション（４２０）が、前記ノズル（７１２）に一体に形成されている、請求項２に記載の材料堆積装置。
前記第１のセクション長さと前記第２のセクション長さが実質的に同じ又は同様の長さである、請求項１に記載の材料堆積装置。
前記第１のセクション長さ及び前記第２のセクション長さのうちの少なくとも一方が、５ｍｍから１０ｍｍである、請求項１に記載の材料堆積装置。
前記第１のセクション（４１０）及び前記第２のセクション（４２０）の前記サイズ（４１１、４２１）が、前記セクションの各々の断面の最小寸法によって定められる、請求項１から６の何れか一項に記載の材料堆積装置。
前記材料堆積装置が、蒸発した材料の１ｓｃｃｍ未満の流量のために構成されている、請求項１から６の何れか一項に記載の材料堆積装置。
前記ノズル通路（４０２）がｎ個のセクションを含み、前記セクションの各々が、前記ノズル入口（４０１）から前記ノズル出口（４０３）への方向において先行するセクションよりも大きいサイズを有している、請求項１から６の何れか一項に記載の材料堆積装置。
各セクションが、前記ノズル入口（４０１）から前記ノズル出口（４０３）への方向において先行するセクションのコンダクタンス値と等しいかより大きいコンダクタンス値をもたらす、請求項１から６の何れか一項に記載の材料堆積装置。
前記材料堆積装置が、一又は複数の有機材料を前記基板上に堆積するために構成されている、請求項１から６の何れか一項に記載の材料堆積装置。
真空堆積チャンバ（１１０）、
前記真空堆積チャンバ（１１０）内の、請求項１から６の何れか一項に記載の材料堆積装置（１００）、及び
堆積中に前記基板（１２１）を支持する基板支持体
を含む、真空堆積システム。
前記真空堆積チャンバ（１１０）が、前記基板支持体と前記材料堆積装置（１００）との間にピクセルマスク（１３２）を更に含む、請求項１２に記載の真空堆積システム。
前記材料堆積装置（１００）の前記線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）が、第１の圧力レベルを提供し、前記真空チャンバ（１１０）が、前記第１の圧力レベルとは異なる第２の圧力レベルを提供し、前記ノズル（７１２）の前記第１のセクション（４１０）の前記第１のセクションサイズ（４１１）と、前記ノズル（７１２）の前記第２のセクション（４２０）の前記第２のセクションサイズ（４２１）とが、前記線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）内の前記第１の圧力レベルと前記真空チャンバ（１１０）内の前記第２の圧力レベルとの間の移行を提供する、請求項１２に記載の真空堆積システム。
前記材料堆積装置（１００）の前記線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）が、第１の圧力レベルを提供し、前記真空チャンバ（１１０）が、前記第１の圧力レベルとは異なる第２の圧力レベルを提供し、前記ノズル（７１２）の前記第１のセクション（４１０）の前記第１のセクションサイズ（４１１）と、前記ノズル（７１２）の前記第２のセクション（４２０）の前記第２のセクションサイズ（４２１）とが、前記線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）内の前記第１の圧力レベルと前記真空チャンバ（１１０）内の前記第２の圧力レベルとの間の移行を提供する、請求項１３に記載の真空堆積システム。
前記真空堆積システム（３００）が、前記真空堆積チャンバ（１１０）内で、被覆される２つの基板（１２１）を２つの基板支持体上で同時に収容するように適合されており、前記材料堆積装置（１００）が、前記真空堆積チャンバ（１１０）内で前記２つの基板支持体間で可動に配置されており、前記材料堆積装置（１００）の前記るつぼ（１０２、１０２ａ、１０２ｂ、１０４）が、有機材料を蒸発させるるつぼであり、
前記ピクセルマスク（１３２）が５０μｍ未満の開口を含み、
前記線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）内の第１の圧力レベルが１０^−２ｍｂａｒから１０^−３ｍｂａｒであり、前記真空堆積チャンバ内の第２の圧力レベルが１０^−５ｍｂａｒから１０^−７ｍｂａｒである、請求項１３に記載の真空堆積システム。
真空堆積チャンバ（１１０）内で基板（１２１）に材料を堆積する方法であって、
堆積させる材料をるつぼ（１０２、１０２ａ、１０２ｂ、１０４）内で蒸発させることと、
蒸発した前記材料を、前記るつぼ（１０２、１０２ａ、１０２ｂ、１０４）と流体連通する線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）に供給することであって、前記線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）が第１の圧力レベルにある、供給することと、
前記蒸発した材料を、前記線形分配管（１０６、１０６ａ、１０６ｂ）のノズル（７１２）を通して、前記第１の圧力レベルとは異なる第２の圧力レベルを提供している前記真空堆積チャンバ（１１０）へ、案内することと
を含み、
前記蒸発した材料を前記ノズル（７１２）を通して案内することが、前記蒸発した材料を、前記ノズルの、第１のセクション長さ（４１２）及び第１のセクションサイズ（４１１）を有する第１のセクション（４１０）を通して、案内することと、前記蒸発した材料を、前記ノズルの、第２のセクション長さ（４２２）及び第２のセクションサイズ（４２１）を有する第２のセクション（４２０）を通して、案内することと、を含み、前記第１のセクションが前記ノズルの入口を備え、前記第２のセクションが前記ノズルの出口を備え、前記第２のセクションサイズ（４２１）の前記第１のセクションサイズ（４１１）に対する比が、２から１０である、方法。
前記ノズルの第１のセクションにおいて、蒸発した材料の均一性に影響を与えること、及び、前記ノズルの第２のセクションによって、前記真空堆積チャンバへと放出される蒸発した材料の指向性に影響を与えることを更に含む、請求項１７に記載の方法。