JP2018207010A - デバイスチップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】表面にデバイスが形成され裏面に膜が形成されたデバイスチップを製造する場合において、膜のチップからの剥離、チップ飛び、又はチップ同士の接触による損傷等が発生しないようにする【解決手段】表面WaにデバイスDが形成され裏面Wbに金属膜が形成されたデバイスチップの製造方法であって、表面Waの交差する複数のストリートSで区画された各領域にそれぞれデバイスDが形成されたウェーハWを準備するウェーハ準備ステップと、ウェーハWをストリートSに沿って個々のデバイスチップへと分割する分割ステップと、個々のデバイスチップに分割されたウェーハWの裏面Wbに金属膜Jを形成する金属膜形成ステップと、を備えたデバイスチップの製造方法である。【選択図】図8
Description
本発明は、表面にデバイスが形成され裏面に膜が形成されたデバイスチップの製造方法に関する。
裏面に電極となる金属層が形成されたデバイスチップ、チップの強度向上のために裏面に樹脂層が形成されたデバイスチップ、又はダイアタッチ用のボンド材として裏面に樹脂フィルムが貼着されたデバイスチップが存在する。これらのデバイスチップを製造するには、ウェーハの状態で裏面に金属膜や樹脂膜を成膜したり樹脂フィルムを貼着したりした後、裏面に該膜等が形成されたウェーハを分割する。しかし、異なる材質が積層されたウェーハを分断するのは難しく、樹脂等の特に延性を有する膜を備えたウェーハを切削ブレードで切削すると、切削ブレードには膜による目詰まりが生じ、膜にはバリが発生する。
近年においては、デバイスチップの小型化によるウェーハ分割時の生産性を上げるために、プラズマエッチング装置(例えば、特許文献1参照)を用いたプラズマダイシングが採用されている。しかし、エッチングガスによるプラズマダイシングでは上記各種の膜が分断できない。そこで、例えば、ウェーハ分割後にドライアイスを噴射して上記膜を分断する等して対処している(例えば、特許文献2参照)。
しかし、上記特許文献2に記載されているようにドライアイスの噴射で完全に膜を分断することは難しく、膜に未分割領域が発生するおそれもある。ドライアイスの噴射圧力を高めることで未分割領域の発生を抑えることができるが、高圧のドライアイスの噴射によって膜がチップから剥離したり、チップ飛びが発生したり、チップが動いて隣接するチップ同士で接触して損傷してしまったりするおそれがある。
よって、表面にデバイスが形成され裏面に膜が形成されたデバイスチップを製造する場合には、膜のチップからの剥離、チップ飛び、又はチップ同士の接触による損傷等が発生しないようにするという課題がある。
上記課題を解決するための本発明は、表面にデバイスが形成され裏面に金属膜が形成されたデバイスチップの製造方法であって、表面の交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成されたウェーハを準備するウェーハ準備ステップと、該ウェーハを該ストリートに沿って個々のデバイスチップへと分割する分割ステップと、個々の該デバイスチップに分割された該ウェーハの裏面に該金属膜を形成する金属膜形成ステップと、を備えたデバイスチップの製造方法である。
前記分割ステップでは、前記ウェーハを裏面側から所定厚みへと薄化し、薄化された該ウェーハを前記ストリートに沿って個々のデバイスチップへと分割するものとすると好ましい。
前記分割ステップでは、前記ウェーハの表面から前記ストリートに沿って所定の仕上げ厚みに至る深さの溝を形成し、該溝が形成されたウェーハの表面に保護部材を配設し、該保護部材側を保持手段で保持した状態で該ウェーハを裏面側から該仕上げ厚みへと薄化することで該ウェーハを個々の前記デバイスチップへと分割するものとすると好ましい。
前記分割ステップでは、前記ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点を該ウェーハの内部に位置づけた状態で、前記ストリートに沿って該レーザビームを照射することで該ストリートに沿った改質層を形成し、該改質層が形成されたウェーハを裏面側から研削して薄化することで該ウェーハを個々の前記デバイスチップへと分割するものとすると好ましい。
本発明に係るデバイスチップの製造方法は、ウェーハをストリートに沿って個々のデバイスチップへと分割する分割ステップを実施し、その後、個々のデバイスチップに分割されたウェーハの裏面に金属膜を形成する金属膜形成ステップを実施するため、膜のチップからの剥離、チップ飛び、又はチップ同士の接触による損傷等を発生させずに、表面にデバイスが形成され裏面に膜が形成されたデバイスチップを製造することができる。
分割ステップでは、ウェーハを裏面側から所定厚みへと薄化し、薄化されたウェーハをストリートに沿って個々のデバイスチップへと分割するものとすることで、ウェーハのテープ転写回数等を少なくして、又はウェーハのテープ転写を実施せずに一連のプロセスを施すことができるため、作業効率を向上させることができる。
分割ステップでは、ウェーハの表面からストリートに沿って所定の仕上げ厚みに至る深さの溝を形成し、溝が形成されたウェーハの表面に保護部材を配設し、保護部材側を保持手段で保持した状態でウェーハを裏面側から仕上げ厚みへと薄化することでウェーハを個々のデバイスチップへと分割するため、一連のステップを実施する際に薄くなったウェーハを搬送するリスクを無くすことができる。
分割ステップでは、ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点をウェーハの内部に位置づけた状態で、ストリートに沿ってレーザビームを照射することでストリートに沿った改質層を形成し、改質層が形成されたウェーハを裏面側から研削して薄化してウェーハを個々のデバイスチップへと分割することで、ウェーハのテープ転写を実施せずに一連のプロセスを施すことができるため、作業効率を向上させることができる。
(実施形態1)
以下に、本発明に係るデバイスチップの製造方法を実施する場合の各ステップについて説明していく。
以下に、本発明に係るデバイスチップの製造方法を実施する場合の各ステップについて説明していく。
(1)ウェーハ準備ステップ
まず、図1に示すウェーハWが準備される。外形が円形板状のウェーハWは、例えばシリコンウェーハであり、その表面Waには、互いに直交差する複数のストリートSによって区画された複数の格子状の領域にICやLSI等のデバイスDが形成されている。
まず、図1に示すウェーハWが準備される。外形が円形板状のウェーハWは、例えばシリコンウェーハであり、その表面Waには、互いに直交差する複数のストリートSによって区画された複数の格子状の領域にICやLSI等のデバイスDが形成されている。
ウェーハWは、デバイスDを備えるチップに分割された後のハンドリングを容易にするために、図2に示すように、環状フレームFによって支持された状態になる。即ち、まず、図2に示すウェーハWの表面Waに保護テープT1が貼着される。保護テープT1は、ウェーハWの外径よりも大きい外径を有する円盤状のテープであり、例えば、機械的外力に対する適度な伸縮性を備えている。図示しない貼り付けテーブル上に載置されたウェーハWの中心と環状フレームFの開口の中心とが略合致するように、ウェーハWに対して環状フレームFが位置づけられる。そして、貼り付けテーブル上でプレスローラー等によりウェーハWの表面Waに保護テープT1が押し付けられて貼着される。同時に、保護テープT1の粘着面の外周部が環状フレームFにも貼着されることで、裏面Wbが露出した状態のウェーハWは、環状フレームFを介したハンドリングが可能となる。
(2)分割ステップ
次いで、ウェーハWは、例えば、図3に示す研削装置1に搬送される。図3に示す研削装置1は、保持手段10上に保持されたウェーハWを研削手段11によって研削する。
保持手段10は、ポーラス部材等で構成されウェーハWを吸引保持する円形状の保持面100を備えており、保持面100には、図示しない吸引源が連通している。保持手段10は、Z軸方向の軸心周りに回転可能であるとともに、Y軸方向に往復移動可能である。
次いで、ウェーハWは、例えば、図3に示す研削装置1に搬送される。図3に示す研削装置1は、保持手段10上に保持されたウェーハWを研削手段11によって研削する。
保持手段10は、ポーラス部材等で構成されウェーハWを吸引保持する円形状の保持面100を備えており、保持面100には、図示しない吸引源が連通している。保持手段10は、Z軸方向の軸心周りに回転可能であるとともに、Y軸方向に往復移動可能である。
研削手段11は、軸方向がZ軸方向であるスピンドル110と、スピンドル110を回転駆動する図示しないモータと、スピンドル110の下端側に連結されたマウント111と、マウント111の下面に着脱可能に装着された研削ホイール112とを備える。
研削ホイール112は、円環状のホイール基台112bと、ホイール基台112bの下面に環状に複数配設された略直方体形状の研削砥石112aとを備えている。
研削ホイール112は、円環状のホイール基台112bと、ホイール基台112bの下面に環状に複数配設された略直方体形状の研削砥石112aとを備えている。
まず、ウェーハWが、裏面Wb側を上に向けた状態で保持手段10の保持面100上に載置され、保持手段10によって吸引保持される。次いで、保持手段10が、研削手段11の下までY軸方向へ移動し、例えば、研削ホイール112の回転中心がウェーハWの回転中心に対して所定距離だけ+Y方向にずれ、研削砥石112aの回転軌道がウェーハWの回転中心を通るように所定の位置に位置付く。
スピンドル110が回転駆動されるのに伴って研削ホイール112が回転する。また、研削手段11が−Z方向へと送られ、回転する研削砥石112aがウェーハWの裏面Wbに当接することで研削加工が行われる。研削中は、保持手段10が回転するのに伴って、保持面100上に保持されたウェーハWも回転するので、研削砥石112aがウェーハWの裏面Wbの全面の研削加工を行う。研削加工中は、研削水を研削砥石112aとウェーハWとの接触部位に対して供給し、接触部位を冷却・洗浄する。そして所望の厚みまでウェーハWを研削して、ウェーハWに対する研削加工を終了する。
所望の厚みに薄化されたウェーハWは、図4に示すレーザ加工装置2に搬送される。レーザ加工装置2は、例えば、ウェーハWを吸引保持する保持テーブル20と、保持テーブル20に保持されたウェーハWに対して透過性を有する波長のレーザビームを照射するレーザビーム照射手段21とを少なくとも備えている。
保持テーブル20は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなる水平な保持面20a上でウェーハWを吸引保持する。保持テーブル20は、Z軸方向の軸心周りに回転可能であるとともに、図示しない加工送り手段によってX軸方向に往復移動可能であり、また、図示しない割り出し送り手段によってY軸方向に往復移動可能となっている。保持テーブル20の外周部には、例えば4つ(図示の例においては、2つのみ図示している)の固定クランプ200が均等に配設されている。
レーザビーム照射手段21は、レーザビーム発振器219から発振されウェーハWに透過性を有する波長のレーザビームを、光ファイバー等の伝送光学系を介して集光器211の内部の集光レンズ211aに入光させることで、レーザビームを保持テーブル20で保持されたウェーハWの所定の高さ位置に集光して照射できる。なお、集光器211によって集光されるレーザビームの集光点位置は、図示しない集光点位置調整手段によって保持テーブル20の保持面20aに対して垂直な方向(Z軸方向)に調整可能となっている。
まず、環状フレームFによって支持されている研削後のウェーハWが、裏面Wbが上側を向いた状態で保持テーブル20により吸引保持される。また、各固定クランプ200によって環状フレームFが固定される。次いで、保持テーブル20に保持されたウェーハWが−X方向(往方向)に送られるとともに、レーザビームをウェーハWに照射するための基準となる一本のストリートSの位置が検出される。
ストリートSの位置検出は、レーザビーム照射手段21の近傍に配設された図示しないアライメント手段によってなされる。アライメント手段は、赤外線を照射する赤外線照射手段と、赤外線CCD等で構成された赤外線カメラとを備えており、赤外線カメラによりウェーハWを裏面Wb側から透過して撮像した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理を行い、ウェーハWの表面WaのストリートSのY軸方向における位置を検出する。
ストリートSが検出されるのに伴って、保持テーブル20がY軸方向に割り出し送りされ、レーザビームを照射する基準となるストリートSとレーザビーム照射手段21の集光器211とのY軸方向における位置合わせがなされる。次いで、集光レンズ211aによって集光されるレーザビームの集光点位置を、ウェーハW内部の所定の高さ位置に位置付ける。そして、レーザビーム発振器219からウェーハWに透過性を有する波長のレーザビームを発振させ、レーザビームを保持テーブル20で保持されたウェーハWの内部に集光し照射する。
レーザビームをストリートSに沿ってウェーハWに照射しつつ、ウェーハWを−X方向に所定の加工送り速度で加工送りし、図4に示すようにウェーハWの内部に改質層Mを形成していく。
レーザビームをストリートSに沿ってウェーハWに照射しつつ、ウェーハWを−X方向に所定の加工送り速度で加工送りし、図4に示すようにウェーハWの内部に改質層Mを形成していく。
一本のストリートSに沿ってレーザビームを照射し終えるX軸方向の所定の位置までウェーハWが−X方向に進行すると、レーザビームの照射を停止するとともにウェーハWの−X方向への加工送りが停止される。次いで、保持テーブル20がY軸方向に割り出し送りされ、−X方向での加工送りにおいてレーザビーム照射の際に基準となったストリートSの隣に位置するストリートSと集光器211とのY軸方向における位置合わせが行われる。位置合わせがされた後、ウェーハWが+X方向(復方向)へ加工送りされ、往方向でのレーザビームの照射と同様に、一本のストリートSに沿ってウェーハWの内部にレーザビームが照射され改質層Mが形成されていく。順次同様のレーザビームの照射を行うことにより、X軸方向に延びる全てのストリートSに沿ってレーザビームがウェーハWの内部に照射され、各ストリートSに沿って改質層Mが形成される。
さらに、保持テーブル20を90度回転させてから同様のレーザビームの照射をウェーハWに対して行うと、縦横全てのストリートSに沿ってウェーハWの内部に改質層Mを形成することができる。
さらに、保持テーブル20を90度回転させてから同様のレーザビームの照射をウェーハWに対して行うと、縦横全てのストリートSに沿ってウェーハWの内部に改質層Mを形成することができる。
図5に示すように、改質層Mが形成されたウェーハWはエキスパンド装置5に搬送される。エキスパンド装置5は、例えば、保護テープT1の外径よりも大径の環状テーブル50を具備しており、環状テーブル50の開口50cの直径は保護テープT1の外径よりも小さく形成されている。環状テーブル50の外周部には、4つ(図示の例においては、2つのみ図示している)の固定クランプ52が均等に配設されている。固定クランプ52は、図示しないバネ等によって回転軸52cを軸に回動可能であり、環状テーブル50の保持面50aと固定クランプ52の下面との間に環状フレームFを挟み込むことができる。
環状テーブル50の開口50c内には、円筒状の拡張ドラム53が高さ位置を固定して配設されており、環状テーブル50の中心と拡張ドラム53の中心とは略合致している。この拡張ドラム53の外径は、保護テープT1の外径より小さく、かつ、ウェーハWの外径よりも大きく形成されている。
環状テーブル50は、例えば、エアシリンダ等からなる環状テーブル昇降手段55によって上下動可能となっている。
環状テーブル50は、例えば、エアシリンダ等からなる環状テーブル昇降手段55によって上下動可能となっている。
まず、基準高さ位置に位置づけられた環状テーブル50の保持面50aに、環状フレームFが載置される。次いで、固定クランプ52を回動させ、環状フレームFが固定クランプ52と環状テーブル50の保持面50aとの間に挟持固定された状態にする。この状態においては、環状テーブル50の保持面50aと拡張ドラム53の環状の上端面とは同一の高さ位置にあり、拡張ドラム53の上端面が、保護テープT1の環状フレームFの内周縁とウェーハWの外周縁との間の領域に、保護テープT1の基材面側(図5における下面側)から当接する。
図6に示すように、環状テーブル昇降手段55が、環状テーブル50を−Z方向に下降させることで、環状テーブル50の保持面50aを拡張ドラム53の上端面より下方のテープ拡張位置に位置づける。その結果、拡張ドラム53は固定クランプ52に対して相対的に上昇し、保護テープT1は、拡張ドラム53の上端面で押し上げられて径方向外側に向かって拡張される。また、外力(拡張力)が保護テープT1を介してウェーハWに対して付与されることで、ストリートSに沿って形成された改質層Mを起点に亀裂がウェーハWの表面Wa及び裏面Wbに向かって伸長し、ウェーハWは矩形状の個々のデバイスチップCに分割される。
なお、分割ステップにおいては、上記のようにしてウェーハWをデバイスチップCへと分割する以外にも、切削ブレードによるダイシング、プラズマエッチング装置を用いたプラズマダイシング、又はレーザ加工装置2を用いたレーザフルカットによって、ウェーハWをデバイスチップCへと分割するものとしてもよい。
なお、分割ステップにおいては、上記のようにしてウェーハWをデバイスチップCへと分割する以外にも、切削ブレードによるダイシング、プラズマエッチング装置を用いたプラズマダイシング、又はレーザ加工装置2を用いたレーザフルカットによって、ウェーハWをデバイスチップCへと分割するものとしてもよい。
次に、ウェーハWは、例えば、図7に示すスパッタリング装置8に搬送される。スパッタリング装置8のチャンバ81の内部には、静電チャックテーブル80が配設されている。静電チャックテーブル80は、例えば、チャンバ81の下部に図示しない軸受けを介して回転可能に挿通されている基軸部800と、基軸部800と一体的に形成された円板状のテーブル本体801とを備えている。テーブル本体801の上面は、アルミナ等のセラミック又は酸化チタン等の誘電体で形成されウェーハWを保持する保持面801aとなる。
チャンバ81内の上方の静電チャックテーブル80に対向する位置には、所定の金属からなるスパッタ源84が励磁部材83に支持された状態で配設されている。このスパッタ源84には高周波電源85が連結されている。
チャンバ81の一方の側部には、アルゴンガス等のスパッタガスを導入する導入口810が設けられ、他方の側部には減圧源に連通する減圧口811が設けられている。
チャンバ81の一方の側部には、アルゴンガス等のスパッタガスを導入する導入口810が設けられ、他方の側部には減圧源に連通する減圧口811が設けられている。
金属膜形成ステップにおいては、まず、ウェーハWが保護テープT1を下側にした状態でスパッタリング装置8の静電チャックテーブル80によって吸着保持される。そして、図示しない減圧源を作動させて、減圧口811を介してチャンバ81内を10−2Pa〜10−4Pa程度まで減圧する。また、励磁部材83によって磁化されたスパッタ源84に高周波電源85から例えば40kHz程度の高周波電力を印加し、また、導入口810からアルゴンガスを導入することで、チャンバ81内にプラズマを発生させる。
プラズマ中のアルゴン原子がスパッタ源84に衝突してスパッタ源84から金属粒子がはじき出されて、該金属粒子が、裏面Wbがスパッタ源84に対向した状態となっているウェーハWに向かっていく。そして、ウェーハWの裏面Wbに該金属粒子が堆積し、図8に示すように、裏面Wbが略均一な所定の厚み(例えば、0.5μm〜30μm程度)の金属膜Jによって被覆される。金属膜Jは、デバイスチップC毎に分断されている。
なお、金属膜形成ステップは、上記のようなスパッタリングに代えてCVDによる蒸着や、湿式メッキ塗装等で実施しても良い。
なお、金属膜形成ステップは、上記のようなスパッタリングに代えてCVDによる蒸着や、湿式メッキ塗装等で実施しても良い。
本発明に係るデバイスチップの製造方法は、ウェーハWをストリートSに沿って個々のデバイスチップへと分割する分割ステップを実施し、その後、個々のデバイスチップCに分割されたウェーハWの裏面Wbに金属膜Jを形成する金属膜形成ステップを実施するため、金属膜Jのチップからの剥離、チップ飛び、又はチップ同士の接触による損傷等を発生させずに、表面WaにデバイスDが形成され裏面Wbに金属膜Jが形成されたデバイスチップCを製造することができる。
なお、本実施形態においては、分割ステップでは、ウェーハWを裏面Wb側から所定厚みへと薄化し、薄化されたウェーハWをストリートSに沿って個々のデバイスチップCへと分割する、即ち、レーザビームによる改質層Mを形成した後テープエキスパンドで分割するものとすることで、ウェーハWのテープ転写等を実施せずとも一連のプロセスを施すことができるため、作業効率を向上させることができる。
(実施形態2)
以下に、本発明に係るデバイスチップの製造方法を実施する場合の各ステップについて説明していく。
以下に、本発明に係るデバイスチップの製造方法を実施する場合の各ステップについて説明していく。
(1)ウェーハ準備ステップ
まず、図9に示すように、ウェーハWが準備され、その表面WaにウェーハWと同径の保護テープT2が貼着される。なお、ウェーハWは、図1に示すウェーハWと同様のものである。
まず、図9に示すように、ウェーハWが準備され、その表面WaにウェーハWと同径の保護テープT2が貼着される。なお、ウェーハWは、図1に示すウェーハWと同様のものである。
(2)分割ステップ
ウェーハWは、図9に示す研削装置1に搬送される。図9に示すように、ウェーハWが、裏面Wb側を上に向けた状態で保持面100上に載置され、保持手段10によって吸引保持される。次いで、ウェーハWを保持した保持手段10が、研削手段11の下までY軸方向へ移動して、研削砥石112aの回転軌道がウェーハWの回転中心を通るように位置付けられる。
ウェーハWは、図9に示す研削装置1に搬送される。図9に示すように、ウェーハWが、裏面Wb側を上に向けた状態で保持面100上に載置され、保持手段10によって吸引保持される。次いで、ウェーハWを保持した保持手段10が、研削手段11の下までY軸方向へ移動して、研削砥石112aの回転軌道がウェーハWの回転中心を通るように位置付けられる。
スピンドル110が回転駆動されるのに伴って研削ホイール112が回転する。そして、回転する研削砥石112aがウェーハWの裏面Wbに当接するように−Z方向へ送られて、研削加工が行われる。保持手段10が回転するのに伴いウェーハWも回転するので、研削砥石112aがウェーハWの裏面Wbの全面の研削加工を行う。また、研削水が研削砥石112aとウェーハWとの接触部位に対して供給される。ウェーハWを所定の厚みに至るまで研削した後、ウェーハWに対する研削加工を終了する。
次いで、ウェーハWは、図10に示す切削手段31によって、ウェーハWの表面WaからストリートSに沿ってフルカットされる。切削手段31は、軸方向がウェーハWの移動方向(X軸方向)に対し水平方向に直交する方向(Y軸方向)であるスピンドル311を備えており、スピンドル311の先端には円環状の切削ブレード310が固定されている。
切削加工が施されるにあたり、例えば、ウェーハWの裏面WbにウェーハWよりも大径のダイシングテープT3が押し付けられて貼着される。同時に、ダイシングテープT3の粘着面の外周部が環状フレームFにも貼着されることで、表面Waが露出した状態のウェーハWは、環状フレームFを介したハンドリングが可能となる。その後、ウェーハWの表面Waから図9に示す保護テープT2が剥離される。
ウェーハWは、図示しないチャックテーブルによって表面Waが上側を向いた状態で吸引保持され、チャックテーブルの挟持クランプ等によって環状フレームFが固定された状態になる。その後、ウェーハWが−X方向側に送り出され、ウェーハWの切削ブレード310を切り込ませるべきストリートSのY軸方向の座標位置が検出される。ストリートSが検出されるのに伴って、切削手段31がY軸方向に割り出し送りされ、切削すべきストリートSと切削ブレード310とのY軸方向における位置合わせが行われる。
スピンドル311が回転することに伴い、切削ブレード310が−Y方向側から見て時計回り方向に回転する。さらに、切削手段31が−Z方向に向かって切り込み送りされ、切削ブレード310の最下端がウェーハWを完全に切断しダイシングテープT3に切り込む所定の高さ位置に切削手段31が位置付けられる。
ウェーハWを保持するチャックテーブルが所定の切削送り速度で−X方向側にさらに送り出されることで、回転する切削ブレード310がストリートSに沿ってウェーハWの表面Wa側から切り込み、ウェーハWがフルカットされる。切削ブレード310が一本のストリートSを切削し終える−X方向の所定の位置までウェーハWが送られると、ウェーハWの切削送りが停止され、切削ブレード310がウェーハWから離間し、次いで、ウェーハWが+X方向に移動し原点位置に戻る。そして、隣り合うストリートSの間隔ずつ切削ブレード310を+Y方向に割り出し送りしながら順次同様の切削を行うことにより、X軸方向の全てのストリートSに沿ってウェーハWを切削する。さらに、ウェーハWを90度回転させてから同様の切削加工を行うことで、全てのストリートSに沿ってウェーハWを切削して、ウェーハWをデバイスDを備える個々のチップへと分割することができる。
なお、分割ステップにおいては、プラズマダイシング、レーザーダイシング、又はレーザビームによる改質層を形成した後のテープエキスパンドによって、ウェーハWをデバイスチップCへと分割するものとしてもよい。
なお、分割ステップにおいては、プラズマダイシング、レーザーダイシング、又はレーザビームによる改質層を形成した後のテープエキスパンドによって、ウェーハWをデバイスチップCへと分割するものとしてもよい。
例えば、チップへと分割されたウェーハWは、図示しないスピンコータ等に搬送され、ウェーハWの表面Wa側から水溶性の液状樹脂(例えば、ポリビニルピロリドンやポリビニルアルコール)が塗布され、図11に示すように各チップC間に水溶性樹脂Hが充填された状態になる。その後、該水溶性樹脂Hが例えば乾燥されて硬化する。
(3)金属膜形成ステップ
水溶性樹脂HがチップC間に充填されたウェーハWは、例えば、図12に示すように、表面Waに保護テープT4が貼着されるとともに、裏面WbからダイシングテープT3が剥離され、その後、図7に示すスパッタリング装置8に搬送される。なお、ウェーハWは、表面Waに保護テープT4が貼着されなくてもよい。そして、実施形態1の金属膜形成ステップにおける場合と同様に、裏面Wbに略均一な所定の厚み(例えば、0.5μm〜30μm程度)の金属膜Jを形成する。なお、金属膜Jの形成においては、例えば、チップCに対応する矩形のスリットが形成された図示しない板状のマスクを用いるとよい。すなわち、マスクをウェーハWの裏面Wbに被せ、ウェーハWの裏面Wb中のチップCの裏面のみがマスクの矩形状のスリットから露出した状態で、スパッタリングを実施する。その結果、チップCの裏面に対応した領域のみに金属膜Jを形成することができる。本実施形態2における金属膜形成ステップにおいては、ウェーハWが各チップC間に水溶性樹脂Hが充填された状態となっているため、各チップCの側面までもが金属膜Jで被覆されてしまうおそれがなくなる。
水溶性樹脂HがチップC間に充填されたウェーハWは、例えば、図12に示すように、表面Waに保護テープT4が貼着されるとともに、裏面WbからダイシングテープT3が剥離され、その後、図7に示すスパッタリング装置8に搬送される。なお、ウェーハWは、表面Waに保護テープT4が貼着されなくてもよい。そして、実施形態1の金属膜形成ステップにおける場合と同様に、裏面Wbに略均一な所定の厚み(例えば、0.5μm〜30μm程度)の金属膜Jを形成する。なお、金属膜Jの形成においては、例えば、チップCに対応する矩形のスリットが形成された図示しない板状のマスクを用いるとよい。すなわち、マスクをウェーハWの裏面Wbに被せ、ウェーハWの裏面Wb中のチップCの裏面のみがマスクの矩形状のスリットから露出した状態で、スパッタリングを実施する。その結果、チップCの裏面に対応した領域のみに金属膜Jを形成することができる。本実施形態2における金属膜形成ステップにおいては、ウェーハWが各チップC間に水溶性樹脂Hが充填された状態となっているため、各チップCの側面までもが金属膜Jで被覆されてしまうおそれがなくなる。
裏面Wbに金属膜Jが形成されたウェーハWは、例えば、金属膜Jの露出面上に図13に示す保護部材T5が貼着されるとともに、表面Waから保護テープT4が剥離され、図示しない水溶性樹脂除去装置に搬送される。例えば、水溶性樹脂除去装置において、ウェーハWの表面Waに向かって洗浄水が噴射され、水溶性樹脂Hが洗浄水によって溶解することで、図13に示すようにチップC間から水溶性樹脂Hが除去される。
本発明に係るデバイスチップの製造方法は、例えばブレードダイシングによってウェーハWをストリートSに沿って個々のデバイスチップへと分割する分割ステップを実施し、その後、個々のデバイスチップに分割されたウェーハWの裏面Wbに金属膜Jを形成する金属膜形成ステップを実施するため、金属膜Jのチップからの剥離、チップ飛び、又はチップ同士の接触による損傷等を発生させずに、表面WaにデバイスDが形成され裏面Wbに金属膜Jが形成されたデバイスチップCを製造することができる。
(実施形態3)
以下に、本発明に係るデバイスチップの製造方法を実施する場合の各ステップについて説明していく。
以下に、本発明に係るデバイスチップの製造方法を実施する場合の各ステップについて説明していく。
(1)ウェーハ準備ステップ
まず、図14に示すウェーハWが準備される。ウェーハWの裏面Wbは、例えば、図示しないダイシングテープにより保護されている。なお、ウェーハWは、図1に示すウェーハWと同様のものである。
まず、図14に示すウェーハWが準備される。ウェーハWの裏面Wbは、例えば、図示しないダイシングテープにより保護されている。なお、ウェーハWは、図1に示すウェーハWと同様のものである。
(2)分割ステップ
次いで、ウェーハWは、図14に示す切削手段31によって、ウェーハWの表面Wa側からストリートSに沿って所定の仕上げ厚みに至る深さの溝が形成される。まず、ウェーハWは、図示しないチャックテーブルによって表面Waが上側を向いた状態で吸引保持される。その後、ウェーハWが−X方向側に送り出され、ウェーハWの切削ブレード310を切り込ませるべきストリートSのY軸方向の座標位置が検出される。そして、切削手段31がY軸方向に割り出し送りされ、切削すべきストリートSと切削ブレード310とのY軸方向における位置合わせが行われる。
次いで、ウェーハWは、図14に示す切削手段31によって、ウェーハWの表面Wa側からストリートSに沿って所定の仕上げ厚みに至る深さの溝が形成される。まず、ウェーハWは、図示しないチャックテーブルによって表面Waが上側を向いた状態で吸引保持される。その後、ウェーハWが−X方向側に送り出され、ウェーハWの切削ブレード310を切り込ませるべきストリートSのY軸方向の座標位置が検出される。そして、切削手段31がY軸方向に割り出し送りされ、切削すべきストリートSと切削ブレード310とのY軸方向における位置合わせが行われる。
切削ブレード310が−Y方向側から見て時計回り方向に回転する。さらに、切削手段31が−Z方向に向かって切り込み送りされ、切削ブレード310がウェーハWを完全に切断しない所定の高さ位置に位置付けられる。この所定の高さ位置は、ウェーハWの表面Waから形成される溝の底面までの距離がウェーハWの仕上げ厚みとなる位置である。
ウェーハWが所定の切削送り速度で−X方向側にさらに送り出されることで、切削ブレード310がストリートSに沿ってウェーハWの表面Wa側から切り込んでいき、仕上げ厚みに至る深さの溝Gが形成される。隣り合うストリートSの間隔ずつ切削ブレード310を+Y方向に割り出し送りしながら順次同様の切削を行うことで、X軸方向の全てのストリートSに沿って溝GをウェーハWに形成する。さらに、ウェーハWを90度回転させてから同様の切削加工を行うことで、全てのストリートSに沿って溝Gを形成することができる。
溝Gが形成されたウェーハWは、図15に示すように、表面Waに保護部材T6が貼着されるとともに、裏面Wbから図示しないダイシングテープが剥離される。保護部材T6は、ウェーハWと同程度の直径を備える円盤状のテープである。
そして、ウェーハWは、図15に示す研削装置1に搬送され、裏面Wb側を上に向けた状態で保持手段10に吸引保持される。次いで、ウェーハWを保持した保持手段10が、研削手段11の下までY軸方向へ移動する。
そして、研削ホイール112が−Z方向へ送られ、回転する研削砥石112aがウェーハWの裏面Wbを研削していく。研削中は、保持手段10が回転するのに伴いウェーハWも回転するので、研削砥石112aがウェーハWの裏面Wbの全面の研削加工を行う。そして、溝Gの底がウェーハWの裏面Wb側に露出するまで裏面Wbを研削することで、図15に示すように、仕上げ厚みへと薄化されたウェーハWは、デバイスDを備える複数のチップCに分割される。
(3)金属膜形成ステップ
チップCに分割されたウェーハWは、図7に示すスパッタリング装置8に搬送される。そして、実施形態1の金属膜形成ステップにおける場合と同様に、図16に示すように、裏面Wbに略均一な所定の厚み(例えば、0.5μm〜30μm程度)のデバイスチップC毎に分断されている金属膜Jが形成される。
チップCに分割されたウェーハWは、図7に示すスパッタリング装置8に搬送される。そして、実施形態1の金属膜形成ステップにおける場合と同様に、図16に示すように、裏面Wbに略均一な所定の厚み(例えば、0.5μm〜30μm程度)のデバイスチップC毎に分断されている金属膜Jが形成される。
本発明に係るデバイスチップの製造方法は、ウェーハWをストリートSに沿って個々のデバイスチップへと分割する分割ステップを実施し、その後、個々のデバイスチップに分割されたウェーハWの裏面Wbに金属膜Jを形成する金属膜形成ステップを実施するため、金属膜Jのチップからの剥離、チップ飛び、又はチップ同士の接触による損傷等を発生させずに、表面WaにデバイスDが形成され裏面Wbに金属膜Jが形成されたデバイスチップCを製造することができる。
また、分割ステップでは、ウェーハWの表面WaからストリートSに沿って所定の仕上げ厚みに至る深さの溝Gを形成し、溝Gが形成されたウェーハWの表面Waに保護部材T6を配設し、保護部材T6側を保持手段10で保持した状態でウェーハWを裏面Wb側から仕上げ厚みへと薄化することでウェーハWを個々のデバイスチップCへと分割するため、一連のステップを実施する際に薄くなったウェーハWを搬送するリスクを無くすことができる。
(実施形態4)
以下に、本発明に係るデバイスチップの製造方法を実施する場合の各ステップについて説明していく。
以下に、本発明に係るデバイスチップの製造方法を実施する場合の各ステップについて説明していく。
(1)ウェーハ準備ステップ
まず、図17に示すように、ウェーハWが準備され、例えば、その表面WaにウェーハWと同径の保護テープT7が貼着される。なお、ウェーハWは、図1に示すウェーハWと同様のものであり、例えば、環状フレームによって支持されていてもよい。
まず、図17に示すように、ウェーハWが準備され、例えば、その表面WaにウェーハWと同径の保護テープT7が貼着される。なお、ウェーハWは、図1に示すウェーハWと同様のものであり、例えば、環状フレームによって支持されていてもよい。
(2)分割ステップ
ウェーハWは、レーザ加工装置2へと搬送され、裏面Wbが上側を向いた状態で保持テーブル20により吸引保持される。次いで、保持テーブル20に保持されたウェーハWが−X方向(往方向)に送られるとともに、レーザビームをウェーハWに照射するための基準となる一本のストリートSの位置が検出される。
ウェーハWは、レーザ加工装置2へと搬送され、裏面Wbが上側を向いた状態で保持テーブル20により吸引保持される。次いで、保持テーブル20に保持されたウェーハWが−X方向(往方向)に送られるとともに、レーザビームをウェーハWに照射するための基準となる一本のストリートSの位置が検出される。
保持テーブル20がY軸方向に割り出し送りされ、ストリートSとレーザビーム照射手段21の集光器211とのY軸方向における位置合わせがなされる。また、集光レンズ211aによって集光されるレーザビームの集光点位置が、ウェーハWの内部の所定の高さ位置に位置づけられる。そして、レーザビーム発振器219からウェーハWに透過性を有する波長のレーザビームを発振させ、レーザビームを保持テーブル20で保持されたウェーハWの内部に集光し照射する。なお、レーザビームの出力は、例えば、後述する改質層Kからクラックが伸長する出力に調整される。
レーザビームをストリートSに沿ってウェーハWに照射しつつ、ウェーハWを−X方向に所定の加工送り速度で加工送りし、図17に示すようにウェーハWの内部に改質層Kを形成していく。また、改質層KからウェーハWの表面Waに伸長し到達する多数の微細なクラックが形成されていく。クラックはウェーハWの裏面Wbに向かっても伸長する。
一本のストリートSに沿ってレーザビームを照射し終えるX軸方向の所定位置までウェーハWが−X方向に進行すると、レーザビームの照射を停止するとともにウェーハWの−X方向への加工送りが停止される。次いで、保持テーブル20がY軸方向に割り出し送りされ、−X方向での加工送りにおいてレーザビーム照射の際に基準となったストリートSの隣に位置するストリートSと集光器211とのY軸方向における位置合わせが行われる。位置合わせがされた後、ウェーハWが+X方向(復方向)へ加工送りされ、往方向でのレーザビームの照射と同様に、一本のストリートSに沿ってウェーハWの内部にレーザビームが照射され改質層Mとクラックとが形成されていく。順次同様のレーザビームの照射を行うことにより、X軸方向に延びる全てのストリートSに沿って改質層Mとクラックとが形成される。
さらに、保持テーブル20を90度回転させてから同様のレーザビームの照射をウェーハWに対して行うと、縦横全てのストリートSに沿ってウェーハWの内部に改質層Mとクラックとを形成することができる。
なお、ウェーハ準備ステップにおいて、ウェーハWの裏面Wbに保護テープT7を貼着し、本分割ステップにおいて、レーザビームを表面Wa側からウェーハWに照射するものとしてもよい。
さらに、保持テーブル20を90度回転させてから同様のレーザビームの照射をウェーハWに対して行うと、縦横全てのストリートSに沿ってウェーハWの内部に改質層Mとクラックとを形成することができる。
なお、ウェーハ準備ステップにおいて、ウェーハWの裏面Wbに保護テープT7を貼着し、本分割ステップにおいて、レーザビームを表面Wa側からウェーハWに照射するものとしてもよい。
次に、ウェーハWは、図18に示す研削装置1に搬送され、裏面Wb側を上に向けた状態で保持手段10に吸引保持される。ウェーハWを保持した保持手段10が研削手段11の下までY軸方向へ移動し、さらに、研削ホイール112が−Z方向へ送られて回転する研削砥石112aがウェーハWの裏面Wbを研削していく。研削中は、保持手段10が回転するのに伴いウェーハWも回転するので、研削砥石112aがウェーハWの裏面Wbの全面の研削加工を行う。そして、研削により、改質層Mが除去されるとともストリートSに沿ったクラックに研削圧力が作用して、ウェーハWは個々のデバイスチップCに分割される。
(3)金属膜形成ステップ
チップCに分割されたウェーハWは、図7に示すスパッタリング装置8に搬送される。そして、実施形態1の金属膜形成ステップにおける場合と同様に、図19に示すように、裏面Wbに略均一な所定の厚み(例えば、0.5μm〜30μm程度)のデバイスチップC毎に分断されている金属膜Jが形成される。
チップCに分割されたウェーハWは、図7に示すスパッタリング装置8に搬送される。そして、実施形態1の金属膜形成ステップにおける場合と同様に、図19に示すように、裏面Wbに略均一な所定の厚み(例えば、0.5μm〜30μm程度)のデバイスチップC毎に分断されている金属膜Jが形成される。
本発明に係るデバイスチップの製造方法は、例えば、ウェーハWをストリートSに沿って個々のデバイスチップへと分割する分割ステップを実施し、その後、個々のデバイスチップに分割されたウェーハWの裏面Wbに金属膜Jを形成する金属膜形成ステップを実施するため、金属膜Jのチップからの剥離、チップ飛び、又はチップ同士の接触による損傷等を発生させずに、表面WaにデバイスDが形成され裏面Wbに金属膜Jが形成されたデバイスチップCを製造することができる。
分割ステップでは、ウェーハWに対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点をウェーハWの内部に位置づけた状態で、ストリートSに沿ってレーザビームを照射することでストリートSに沿った改質層Kを形成し、改質層Kが形成されたウェーハWを裏面Wb側から研削して薄化することでウェーハWを個々のデバイスチップCへと分割する。そのため、ウェーハWのテープ転写を実施せずに一連のプロセスを施すことができるため、作業効率を向上させることができる。
W:ウェーハ Wa:ウェーハの表面 Wb:ウェーハの裏面 S:ストリート D:デバイス F:環状フレーム T1:保護テープ
1:研削装置 10:保持手段 100:保持面
11:研削手段 110:スピンドル 111:マウント 112:研削ホイール 112a:研削砥石 112b:ホイール基台
2:レーザ加工装置 20:保持テーブル 20a:保持面 200:固定クランプ
21:レーザビーム照射手段 211:集光器 211a:集光レンズ 219:レーザビーム発振器 M:改質層
5:エキスパンド装置 50:環状テーブル 50a:環状テーブルの保持面 50c:環状テーブルの開口 52:固定クランプ 53:拡張ドラム 55:環状テーブル昇降手段
8:スパッタリング装置 80:静電チャックテーブル 800:基軸部 801:テーブル本体 801a:保持面
81:チャンバ 810:導入口 811:減圧口
83:励磁部材 84:スパッタ源 85:高周波電源
J:金属膜
1:研削装置 10:保持手段 100:保持面
11:研削手段 110:スピンドル 111:マウント 112:研削ホイール 112a:研削砥石 112b:ホイール基台
2:レーザ加工装置 20:保持テーブル 20a:保持面 200:固定クランプ
21:レーザビーム照射手段 211:集光器 211a:集光レンズ 219:レーザビーム発振器 M:改質層
5:エキスパンド装置 50:環状テーブル 50a:環状テーブルの保持面 50c:環状テーブルの開口 52:固定クランプ 53:拡張ドラム 55:環状テーブル昇降手段
8:スパッタリング装置 80:静電チャックテーブル 800:基軸部 801:テーブル本体 801a:保持面
81:チャンバ 810:導入口 811:減圧口
83:励磁部材 84:スパッタ源 85:高周波電源
J:金属膜
Claims (4)
- 表面にデバイスが形成され裏面に金属膜が形成されたデバイスチップの製造方法であって、
表面の交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成されたウェーハを準備するウェーハ準備ステップと、
該ウェーハを該ストリートに沿って個々のデバイスチップへと分割する分割ステップと、
個々の該デバイスチップに分割された該ウェーハの裏面に該金属膜を形成する金属膜形成ステップと、を備えたデバイスチップの製造方法。 - 前記分割ステップでは、
前記ウェーハを裏面側から所定厚みへと薄化し、薄化された該ウェーハを前記ストリートに沿って個々のデバイスチップへと分割する、請求項1に記載のデバイスチップの製造方法。 - 前記分割ステップでは、前記ウェーハの表面から前記ストリートに沿って所定の仕上げ厚みに至る深さの溝を形成し、
該溝が形成されたウェーハの表面に保護部材を配設し、該保護部材側を保持手段で保持した状態で該ウェーハを裏面側から該仕上げ厚みへと薄化することで該ウェーハを個々の前記デバイスチップへと分割する、請求項1に記載のデバイスチップの製造方法。 - 前記分割ステップでは、
前記ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点を該ウェーハの内部に位置づけた状態で、前記ストリートに沿って該レーザビームを照射することで該ストリートに沿った改質層を形成し、
該改質層が形成されたウェーハを裏面側から研削して薄化することで該ウェーハを個々の前記デバイスチップへと分割する、請求項1に記載のデバイスチップの製造方法。
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