JP2018206929A - チップ収容方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係るチップ収容方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るチップ収容方法の加工対象の被加工物の一例を示す斜視図である。図2は、図1中のII−II線に沿う断面図である。図3は、実施形態1に係るチップ収容方法を実施する分割装置の構成例を示す図である。図4は、図3に示す分割装置の搬送ユニットを下方からみた斜視図である。図5は、図4に示された搬送ユニットの構成を一部断面で示す図である。
(付記1)
個々に分割された複数のチップをチップ収容手段に搬送する搬送装置であって、
該複数のチップと対応する領域に複数の吸引孔を有する吸引保持パッドと、
該吸引孔から空気を吸引する吸引装置と、
該吸引孔から空気を噴出する噴出装置と、
該吸引装置に該吸引孔から空気を吸引させて、該チップを吸引した該吸引保持パッドを該チップ収容手段の上方に位置付けた後、該複数の吸引孔から空気を噴出する噴出ステップと、該複数の吸引孔から空気を吸引する吸引ステップと、をそれぞれ少なくとも一回以上行う制御ユニットと、
を備える搬送装置。
(付記2)
表面に複数の分割予定ラインが格子状に形成され、該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域を備えた被加工物を保持テーブルに保持して該複数の分割予定ラインに沿って分割する分割装置であって、
個々に分割された複数のチップをチップ収容手段に搬送する搬送装置を備え、
該搬送装置は、
該複数のチップと対応する領域に複数の吸引孔を有する吸引保持パッドと、
該吸引孔から空気を吸引する吸引装置と、
該吸引孔から空気を噴出する噴出装置と、
該吸引装置に該吸引孔から空気を吸引させて、該チップを吸引した該吸引保持パッドを該チップ収容手段の上方に位置付けた後、該複数の吸引孔から空気を噴出する噴出ステップと、該複数の吸引孔から空気を吸引する吸引ステップと、をそれぞれ少なくとも一回以上行う制御ユニットと、
を備える分割装置。
60 チップ収容手段
71 吸引保持パッド
75 吸引孔
200 被加工物
202 表面
203 分割予定ライン
204 CSP(チップ)
ST1 分割ステップ
ST2 搬送ステップ
ST3 チップ収容ステップ
ST31 噴出ステップ
ST32 吸引ステップ
Claims (1)
- 個々に分割された複数のチップをチップ収容手段に収容するチップ収容方法であって、
表面に複数の分割予定ラインが格子状に形成され、該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域を備えた被加工物を保持テーブルに保持して複数の分割予定ラインに沿って分割する分割ステップと、
該分割ステップの実施後に、個々に分割された複数のチップを保持する該保持テーブルの吸引を解放するとともに、該複数のチップと対応する領域に複数の吸引孔を有する吸引保持パッドによって、該複数のチップを吸引してチップ収容手段に搬送する搬送ステップと、
該複数のチップをチップ収容手段の中に収容するチップ収容ステップと、を備え、
該チップ収容ステップにおいては、
該複数の吸引孔から空気を噴出する噴出ステップと、
該複数の吸引孔から空気を吸引する吸引ステップと、
をそれぞれ少なくとも一回以上行い、
該複数のチップを該チップ収容手段の中に落とすことを特徴とする、
チップ収容方法。
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