JP2018195661A - 貫通電極基板、貫通電極基板の製造方法及び貫通電極基板を用いた半導体装置 - Google Patents
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Description
図1及び図2を用いて、本開示の第1実施形態に係る貫通電極基板10について説明する。図1は、本開示の一実施形態に係る貫通電極基板の概要を示す平面図である。図2は、図1における貫通電極基板のA−A’断面図である。
次に、図3から図13を用いて、第1実施形態に係る貫通電極基板10の製造方法について説明する。図3は、本開示の一実施形態に係る貫通電極基板の製造方法の一工程で用いる装置の概念図である。具体的には、図5、図7及び図8の工程で用いる装置の概念図である。他方、図4から図13は、それぞれ本開示の一実施形態に係る貫通電極基板の製造方法の一工程を説明する断面図である。
次に、図14から図17を用いて、第1実施形態に係る貫通電極基板10の製造方法で、上記の裏面保護方式とは異なる製造方法について説明する。図14から図17は、それぞれ本開示の一実施形態に係る貫通電極基板の他の製造方法の一工程を説明する断面図である。なお、この製造方法は、後述のとおり、基板100を研磨するプロセスを含むため、ここでは、「研磨方式」と呼ぶ。研磨方式は、前述の裏面保護方式と同じ工程や類似の工程を含んでいるため、ここでは、これらの詳細な説明は省略し、異なる点について詳細な説明をする。
図19を用いて、本開示の第2実施形態に係る貫通電極基板20について説明する。図19は、本開示の他の実施形態に係る貫通電極基板の断面図である。第2実施形態に係る貫通電極基板20は、第1実施形態に係る貫通電極基板10と重複する部分がある。そこで、重複する部分については詳細な説明は省略し、異なる点について詳細な説明をする。
図20を用いて、本開示の第3実施形態に係る貫通電極基板30について説明する。図20は、本開示の他の実施形態に係る貫通電極基板の断面図である。第3実施形態に係る貫通電極基板30は、第1実施形態に係る貫通電極基板10と重複する部分がある。そこで、重複する部分については詳細な説明は省略し、異なる点について詳細な説明をする。
以上の実施形態においては、貫通孔の側壁が2つ(図19及び図20参照)又は3つ(図2参照)であることを前提に説明した。もっとも、貫通孔の側壁の数は、これらに限定されるものではなく、4つ以上であってもよい。この場合において、ボッシュプロセスで各側壁を形成することになるが、側壁の数に応じて、各ステップにおける条件は異なることになる。本変形例によれば、第1実施形態と同様の効果を奏する。
以上の実施形態及び変形例においては、各シード層及びめっき層がコンフォーマルに形成されていることを前提に説明した。つまり、各貫通電極が貫通孔の側壁に沿った形状であることが前提であった。もっとも、貫通電極の形状は、これに限定されるものではない。図22を用いて、本開示の変形例に係る貫通電極基板40について説明する。図22は、本開示の変形例に係る貫通電極基板の断面図である。貫通電極基板40は、第1実施形態に係る貫通電極基板10と重複する部分がある。そこで、重複する部分については詳細な説明は省略し、異なる点について詳細な説明をする。
以上の実施形態及び変形例においては、各シード層と基板との間に絶縁層が配置されていることを前提として説明した。もっとも、例えば、図23に示すように、基板に各シード層を配置してもよい。なお、図23は、第1実施形態の貫通電極基板10(図2参照)から絶縁層を除いたものであって、各実施形態及び各変形例においても、図23と同様に各シード層と基板との間に絶縁層を配置しなくてもよい。本変形例によれば、第1実施形態と同様の効果を奏する。
<変形例4>
以上の実施形態及び変形例1及び変形例2においては、絶縁層が1層であることを前提に説明したが、絶縁層の数は2層以上の複数であってもよい。複数の絶縁層は、互いに同じ材料を用いても、互いに異なる材料を用いてもいずれでもよい。本変形例によれば、第1実施形態と同様の効果を奏する。
図24から図26を用いて、本開示の一実施形態に係る貫通電極基板を用いた半導体装置について説明する。図24は、本開示の一実施形態又は変形例に係る貫通電極基板を用いた半導体装置を示す断面図である。半導体装置1000は、3つの貫通電極基板1310、1320、1330が積層され、例えば、DRAM等の半導体素子が形成されたLSI基板1400に接続されている。貫通電極基板1310は、接続端子1511、1512を有している。これらの貫通電極基板1310、1320、1330はそれぞれが異なる材質の基板から形成された貫通電極基板であってもよい。接続端子1512は、LSI基板1400の接続端子1500とバンプ1610により接続されている。接続端子1511は、貫通電極基板1320の接続端子1522とバンプ1620により接続されている。貫通電極基板1320の接続端子1521と、貫通電極基板1330の接続端子1532と、についても、接続端子がバンプ1630により接続する。バンプ1610、1620、1630は、例えば、インジウム、銅、金等の金属を用いる。
100、200、300、400:基板
110、210、310、410:貫通孔
102、202、302、402:上面
104、204、304、404:下面
130、230、330、430:貫通電極
Claims (16)
- 第1の面と前記第1の面と反対の面である第2の面とを貫通する貫通孔であって、前記第1の面側の第1側壁が断面視においてテーパ形状で当該第1側壁と接続する第2側壁が断面視において前記第1の面に対して実質的に垂直である貫通孔を有する基板と、
前記第1側壁及び前記第2側壁に配置された貫通電極と、
を備える、貫通電極基板。 - 断面視における前記第1の面に対する垂線を基準とした前記第1側壁の第1傾斜角が0°より大きく60°以下であることを特徴とする請求項1に記載の貫通電極基板。
- 第1の面と前記第1の面と反対の面である第2の面とを貫通しn(nは3以上)個の側壁を有する貫通孔であって、前記第1の面側の第1側壁が断面視においてテーパ形状で前記第2の面側の第n側壁が断面視において逆テーパ形状で前記第1側壁及び前記第n側壁以外の側壁のうち少なくとも一つの側壁が断面視において前記第1の面に対して実質的に垂直である貫通孔を有する基板と、
前記n個の側壁に配置された貫通電極と、
を備える、貫通電極基板。 - 断面視における前記第1の面に対する垂線を基準とした前記第1側壁の第1傾斜角と、断面視における前記第2の面に対する垂線を基準とした前記第n側壁の第n傾斜角とは互いに異なることを特徴とする請求項3に記載の貫通電極基板。
- 前記第1傾斜角及び前記第n傾斜角は、0°より大きく60°以下であることを特徴とする請求項4に記載の貫通電極基板。
- 前記貫通孔の深さを断面視において前記第1の面に対して実質的に垂直である前記側壁における前記貫通孔の径の大きさで除した値は、1.5以上であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の貫通電極基板。
- 前記貫通孔は、前記貫通電極で充填されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の貫通電極基板。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の貫通電極基板と、
前記基板の前記貫通電極に接続されたLSI基板と、
前記基板の前記貫通電極に接続された半導体チップと、
を備える、半導体装置。 - 第1の面側にエッチングマスクとなるマスク層を配置し、前記第1の面とは反対側の面である第2の面側にエッチングを停止させるためのストッパー層を配置した基板を準備し、
前記基板の前記第1の面側から、各々条件の異なるn(nは2以上)回のステップで前記基板の前記第1の面と前記第2の面とが貫通するまで前記基板をエッチングして各々のエッチングに対応するn個の側壁を形成し、
前記ストッパー層を除去し、
前記n個の側壁に導電層を形成すること
を含む、貫通電極基板の製造方法。 - 前記ストッパー層を除去した後に前記n個の側壁に絶縁膜を形成することをさらに含み、
前記n個の側壁に導電層を形成することは、前記側壁に形成された絶縁膜上に導電層を形成することであることを特徴とする請求項9に記載の貫通電極基板の製造方法。 - 第1の面側にエッチングマスクとなるマスク層を配置した基板を準備し、
前記基板の前記第1の面側から、各々条件の異なるn(nは2以上)回のステップで前記基板の前記第1の面と前記第2の面との間まで前記基板をエッチングして各々のエッチングに対応するn個の側壁を形成し、
前記第1の面と前記第2の面とを貫通する貫通孔を形成するように前記第2の面側から前記基板を研磨し、
前記貫通孔の前記n個の側壁に導電層を形成すること
を含む、貫通電極基板の製造方法。 - 前記基板を研磨した後に前記n個の側壁に絶縁膜を形成することをさらに含み、
前記n個の側壁に導電層を形成することは、前記側壁に形成された絶縁膜上に導電層を形成することであることを特徴とする請求項11に記載の貫通電極基板の製造方法。 - 前記nが3以上である場合、前記基板をエッチングして各々のエッチングに対応するn個の側壁を形成することは、第1のステップで、第1の条件で前記第1の面側からエッチングして断面視においてテーパ形状である第1側壁を形成すること、及び、第nのステップで、前記第1の条件とは異なる第nの条件で前記第1の面側からエッチングして断面視において逆テーパ形状である第n側壁を形成することを含むことを特徴とする請求項9から請求項12の何れか一つに記載の貫通電極基板の製造方法。
- 前記nが2である場合、前記基板をエッチングして各々のエッチングに対応するn個の側壁を形成することは、第1のステップで、第1の条件で前記第1の面側からエッチングして断面視においてテーパ形状である第1側壁を形成すること、又は、第2のステップで、前記第1の条件とは異なる第2の条件で前記第1の面側からエッチングして逆テーパ形状である第2側壁を形成することのうちいずれかを含むことを特徴とする請求項9から請求項12の何れか一つに貫通電極基板の製造方法。
- 前記基板をエッチングすることは、ボッシュプロセスによってエッチングすることであることを特徴とする請求項9から請求項14の何れか一つに記載の貫通電極基板の製造方法。
- 前記導電層を形成することは、蒸着法又はスパッタリング法によって、前記基板の前記テーパ形状又は前記逆テーパ形状になっている側壁側から前記貫通孔の側壁に導電材料を付着させることを含むことを特徴とする請求項13又は請求項14に記載の貫通電極基板の製造方法。
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