JP2018174245A - 窒化物半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 254
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 246
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 50
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 246
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 53
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 claims description 26
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 claims description 8
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 31
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 507
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 64
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 42
- 239000010408 film Substances 0.000 description 39
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 37
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 32
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 23
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 16
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 16
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 15
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 14
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 13
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 8
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 7
- -1 for example Substances 0.000 description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 4
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 230000001603 reducing effect Effects 0.000 description 3
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- JHJNPOSPVGRIAN-SFHVURJKSA-N n-[3-[(1s)-1-[[6-(3,4-dimethoxyphenyl)pyrazin-2-yl]amino]ethyl]phenyl]-5-methylpyridine-3-carboxamide Chemical class C1=C(OC)C(OC)=CC=C1C1=CN=CC(N[C@@H](C)C=2C=C(NC(=O)C=3C=C(C)C=NC=3)C=CC=2)=N1 JHJNPOSPVGRIAN-SFHVURJKSA-N 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7782—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with confinement of carriers by at least two heterojunctions, e.g. DHHEMT, quantum well HEMT, DHMODFET
- H01L29/7783—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with confinement of carriers by at least two heterojunctions, e.g. DHHEMT, quantum well HEMT, DHMODFET using III-V semiconductor material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66446—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET]
- H01L29/66462—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET] with a heterojunction interface channel or gate, e.g. HFET, HIGFET, SISFET, HJFET, HEMT
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/417—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/41725—Source or drain electrodes for field effect devices
- H01L29/41766—Source or drain electrodes for field effect devices with at least part of the source or drain electrode having contact below the semiconductor surface, e.g. the source or drain electrode formed at least partially in a groove or with inclusions of conductor inside the semiconductor
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- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
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- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42372—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out
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Abstract
Description
本実施形態では、窒化物半導体装置としてInAlGaN/GaN・HEMTを開示する。
図1〜図3は、本実施形態によるInAlGaN/GaN・HEMTの製造方法1を工程順に示す概略断面図である。
窒化物半導体積層構造2は、バッファ層2a、バックバリア層2b、電子走行層2c、中間層2d、電子供給層(障壁層)2e、及びキャップ層2fを有して構成される。
SiC基板1上に、i(インテンショナリ・アンドープ)−GaNを2000nm程度の厚みに、InGaNを5nm以下、例えば2nm程度の厚みに、i−GaNを30nm程度の厚みに、AlNを1nm程度の厚みに、n−InAlGaNを10nm程度の厚みに、n−GaNを1nm程度の厚みに順次成長する。これにより、バッファ層2a、バックバリア層2b、電子走行層2c、中間層2d、電子供給層2e、及びキャップ層2fが形成される。バッファ層2aとしては、GaNの代わりにAlGaN等を用いて形成することもできる。
詳細には、窒化物半導体積層構造2の素子分離箇所に、例えばアルゴン(Ar)を注入する。これにより、窒化物半導体積層構造2及びSiC基板1の表層部分に素子分離構造3が形成される。素子分離領域3により、窒化物半導体積層構造2上で活性領域が画定される。
なお、素子分離は、上記の注入法の代わりに、例えばSTI(Shallow Trench Isolation)法を用いて行っても良い。このとき、窒化物半導体積層構造2のドライエッチングには、例えば塩素系のエッチングガスを用いる。
詳細には、窒化物半導体積層構造2の表面にレジストを塗布してレジストをリソグラフィーにより加工し、レジストに、電極形成予定位置に相当する窒化物半導体積層構造2の表面を露出する開口11a,11bを形成する。以上により、窒化物半導体積層構造2上に開口11a,11bを有するレジストマスク11が形成される。
詳細には、レジストマスク11を用いて、キャップ層2fを貫通して電子供給層2dの途中まで、電極形成予定位置をドライエッチングして除去する。これにより、電子供給層2dの表面の電極形成予定位置を露出する電極溝2A,2Bが形成される。エッチング条件としては、Ar等の不活性ガス及びCl2等の塩素系ガスをエッチングガスとして用い、例えばCl2を流量30sccm、圧力を2Pa、RF投入電力を20Wとする。なお、電極用リセス2A,2Bは、キャップ層2e及び電子供給層2dを貫通して中間層2dの途中までエッチングして形成しても良い。
レジストマスクは、加温した有機溶剤により除去される。
先ず、窒化物半導体積層構造2上に、蒸着法及びリフトオフ法に適した例えば庇構造2層レジストマスクを形成する。詳細には、電極用溝2A,2Bよりも幅広の開口12a,12bを有するレジストマスク12と、レジストマスク12上に、電極溝2A,2Bと同等程度の幅の開口13a,13bを有するレジストマスク13とを形成する。
詳細には、ソース電極4上及びドレイン電極5上を含む窒化物半導体積層構造2の全面に絶縁物、例えばシリコン窒化物(SiN)を、プラズマCVD法等を用いて、例えば50nm程度の厚みに堆積する。このSiNの波長633nmの光に対する屈折率は2.0近傍であり、ストイキオメトリのSiNである。以上により、保護絶縁膜6が形成される。
詳細には、保護絶縁膜6の全面にスピンコート法等により電子線レジストを塗布する。電子線レジストとしては単層であり、例えば商品名PMGI(米国マイクロケム社製)を用いる。塗布した電子線レジストに電流方向に例えば0.1μm長で電子線を入射して感光させ、現像により開口14aを形成する以上により、開口14aを有するレジストマスク14が形成される。
詳細には、レジストマスク14を用い、エッチングガスとして例えばSF6を用いて保護絶縁膜6をドライエッチングする。以上により、保護絶縁膜6に開口6aが形成される。
詳細には、先ず、保護絶縁膜6上に電子線レジストを塗布する。電子線レジストは3層からなり、下層レジストには商品名PMMA(米国マイクロケム社製)、中間層レジストには商品名PMGI(米国マイクロケム社製)、上層レジストには商品名ZEP520(日本ゼオン社製)を用いる。上層レジストのゲート電極の形成予定領域に電流方向に例えば0.8μm長で電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、現像液として例えば商品名ZEP−SD(日本ゼオン社製)を用いて、上層レジストに例えば0.8μm長の開口を形成する。更に、例えば商品面NMD−W(東京応化社製)を用いて、上層レジストの開口端からオーミック電極方向に0.5μmセットバックさせた領域の中間層レジストを除去する。次に、上層レジスト及び中間層レジストの開口中央部に(保護絶縁膜6の開口6aを内包するように)、電流方向に例えば0.1μm長電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、現像液として例えば商品名ZMD−B(東京応化社製)を用いて、下層レジストに保護絶縁膜6の開口6aよりも幅広に、例えば0.15μm長の開口を形成する。以上により、開口15a,16a,17aが形成されたレジストマスク15,16,17が形成される。
詳細には、レジストマスク15,16,17を用いて、電極材料として、例えばNi/Auを、例えば蒸着法により、開口16a,17a内で、開口6a内を含むレジストマスク15上に堆積する。Niの厚みは10nm程度、Auの厚みは300nm程度とする。以上により、保護絶縁膜6上に、開口6aを電極材料の一部で埋め込むゲート電極7が形成される。ゲート電極7は、保護絶縁膜6の開口6aを埋め込む第1部分と、その上で開口6aよりも幅広で絶縁膜6上に乗り上げる第2部分と、その上で第2部分よりも幅広の第3部分とが一体とされてなるものである。
しかる後、ソース電極4、ドレイン電極5、ゲート電極7と接続される配線の形成等の諸工程を経て、本実施形態によるInAlGaN/GaN・HEMTが形成される。
図4は、本実施形態によるInAlGaN/GaN・HEMTの製造方法2の主要工程を順に示す概略断面図である。
詳細には、先ず、保護絶縁膜6上に電子線レジストを塗布する。電子線レジストは3層からなり、下層レジストには商品名PMMA(米国マイクロケム社製)、中間層レジストには商品名PMGI(米国マイクロケム社製)、上層レジストには商品名ZEP520(日本ゼオン社製)を用いる。上層レジストのゲート電極の形成予定領域に電流方向に例えば0.8μm長で電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、現像液として例えば商品名ZEP−SD(日本ゼオン社製)を用いて、上層レジストに例えば0.8μm長の開口を形成する。更に、例えば商品名NMD−W(東京応化社製)を用いて、上層レジストの開口端からオーミック電極方向に0.5μmセットバックさせた領域の中間層レジストを除去する。次に、上層レジスト及び中間層レジストの開口中央部に(保護絶縁膜6の開口6aを内包するように)、電流方向に例えば0.1μm長電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、現像液として例えば商品名ZMD−B(東京応化社製)を用いて、下層レジストに保護絶縁膜6の開口6aと同等、即ち0.1μm長の開口を形成する。以上により、開口18a,16a,17aが形成されたレジストマスク18,16,17が形成される。
詳細には、レジストマスク18,16,17を用いて、電極材料として、例えばNi/Auを、例えば蒸着法により、開口16a,17a内で、開口6a内を含むレジストマスク18上に堆積する。Niの厚みは10nm程度、Auの厚みは300nm程度とする。以上により、保護絶縁膜6上に、開口6aを電極材料の一部で埋め込むゲート電極8が形成される。ゲート電極8は、保護絶縁膜6の開口6aを埋め込み保護絶縁膜6の上方に伸びる第1部分と、その上で第1部分よりも幅広の第2部分とが一体とされてなるものである。
しかる後、ソース電極4、ドレイン電極5、ゲート電極8と接続される配線の形成等の諸工程を経て、本実施形態によるInAlGaN/GaN・HEMTが形成される。
比較例1は、バックバリア層を有しないInAlGaN/GaN・HEMTである。
比較例2は、INGaNのバックバリア層を、i−GaN間(バッファ層と電子走行層との間)に設けたInAlGaN/GaN・HEMTである。比較例2では、バックバリア層は、バッファ層との界面及び電子走行層との界面でIn組成が階段状(急峻)に増加し、両界面間の厚み方向でIn組成が10%の略一定値とされている。
図7(a)のように、このInAlGaN/GaN・HEMTでは、窒化物半導体積層構造2は、2DEGの下方において、バッファ層(又は電子走行層)のi−GaN間に、下面に負電荷を有する負電荷層(ここではバックバリア層2b)が設けられている。負電荷層の下面と接する部分と負電荷層の上面と接する部分とは、同一組成率の同一材料(図7ではi−GaN)とされている。具体的に、このInAlGaN/GaN・HEMTは、InGaNのバックバリア層2bの挿入位置に、負電荷と正電荷とが差し引きされて残留した負電荷を有するものである。この負電荷の存在は、CV法又は顕微EB法により確認することができる。他の方法で確認しても良い。
比較例2では、ゲート電極の直下を回り込むように分布する高い電子濃度領域が確認されるのに対して、本実施形態では、この電子濃度領域の形成が抑制されていることが判る。
本実施形態では、比較例に比べて、ショートチャネル効果が抑制されていることが明確に判る。図9が示すように、第1の実施形態では、閾値が正側に回帰している。この閾値の正側シフトがショートチャネル効果の抑制、即ち、閾値の負側シフト阻止効果を示している。
特性図である。(a)が比較例2、(b)が本実施形態をそれぞれ示す。
本実施形態では、比較例2と比較して、ショートチャネル効果が抑制されている。
図11は、本実施形態によるInAlGaN/GaN・HEMTにおいて、I/V特性におけるバックバリア層のInAlGaN/GaNヘテロ界面からの距離の依存性を示す特性図である。
このシミュレーションでは、ドレイン電流がオフからオンとなるときの特性曲線の主要領域(sub-threshold slope)に着目して、異なる前記距離に対応する特性曲線の傾きを、バックバリア層を有しない比較例1(非B.B.)の当該傾きと比較する。前記距離が10nm〜40nmの特性曲線の主要領域における傾きは、非B.B.の前記傾きよりも大きく、非B.B.よりも高いピンチオフ特性が得られていることが判る。これに対して、前記距離が50nmの特性曲線の前記傾きは、非B.B.の前記傾きとほぼ等しく、ピンチオフ特性は十分とは言えない。このI−V特性の傾きとは、10-4A/mm程度以下の低電流領域での電流/電圧勾配を示す。この勾配は、電流値を1桁変えるために必要な電圧を示し、ゲート空乏層によるチャネル制御性を示す。この傾きが大きい方がスイッチング特性や低消費電力性に優れたデバイスとなる。一般に、この傾きは、ショートチャネル効果が大きくドレインリーク電流が大きい場合、緩くなる。以上より、前記距離を40nm程度内とすることが好適である。
本実施形態では、第1の実施形態と同様に窒化物半導体装置としてInAlGaN/GaN・HEMTを開示するが、バックバリア層の材料が異なる点で第1の実施形態と相違する。
図13〜図15は、本実施形態によるInAlGaN/GaN・HEMTの製造方法1を工程順に示す概略断面図である。
窒化物半導体積層構造21は、バッファ層2a、バックバリア層22、電子走行層(障壁層)2c、中間層2d、電子供給層2e、及びキャップ層2fを有して構成される。
SiC基板1上に、i(インテンショナリ・アンドープ)−GaNを2000nm程度の厚みに、AlGaNを5nm以下、例えば2nm程度の厚みに、i−GaNを30nm程度の厚みに、AlNを1nm程度の厚みに、n−InAlGaNを10nm程度の厚みに、n−GaNを1nm程度の厚みに順次成長する。これにより、バッファ層2a、バックバリア層22、電子走行層2c、中間層2d、電子供給層2e、及びキャップ層2fが形成される。バッファ層2aとしては、GaNの代わりに一部にAlGaN等を用いて形成することもできる。
することが好ましい。具体的には、バックバリア層22の下面を形成する直前に温度を低下させ、バックバリア層22の上面を形成した直後に温度を増大させる。これにより、バックバリア層22は、炭素(C)を含有し、下面側が上面側よりも炭素濃度が高くなる。
詳細には、窒化物半導体積層構造21の素子分離箇所に、例えばアルゴン(Ar)を注入する。これにより、窒化物半導体積層構造21及びSiC基板1の表層部分に素子分離構造3が形成される。素子分離領域3により、窒化物半導体積層構造21上で活性領域が画定される。
なお、素子分離は、上記の注入法の代わりに、例えばSTI(Shallow Trench Isolation)法を用いて行っても良い。このとき、窒化物半導体積層構造21のドライエッチングには、例えば塩素系のエッチングガスを用いる。
詳細には、窒化物半導体積層構造21の表面にレジストを塗布してレジストをリソグラフィーにより加工し、レジストに、電極形成予定位置に相当する窒化物半導体積層構造21の表面を露出する開口11a,11bを形成する。以上により、窒化物半導体積層構造21上に開口11a,11bを有するレジストマスク11が形成される。
詳細には、レジストマスク11を用いて、キャップ層2fを貫通して電子供給層2eの途中まで、電極形成予定位置をドライエッチングして除去する。これにより、電子供給層2eの表面の電極形成予定位置を露出する電極溝2A,2Bが形成される。エッチング条件としては、Ar等の不活性ガス及びCl2等の塩素系ガスをエッチングガスとして用い、例えばCl2を流量30sccm、圧力を2Pa、RF投入電力を20Wとする。なお、電極用リセス2A,2Bは、キャップ層2e及び電子供給層2eを貫通して中間層2dの途中までエッチングして形成しても良い。
レジストマスクは、加温した有機溶剤により除去される。
先ず、窒化物半導体積層構造21上に、蒸着法及びリフトオフ法に適した例えば庇構造2層レジストマスクを形成する。詳細には、電極用溝2A,2Bよりも幅広の開口12a,12bを有するレジストマスク12と、レジストマスク12上に、電極溝2A,2Bと同等程度の幅の開口13a,13bを有するレジストマスク13とを形成する。
詳細には、ソース電極4上及びドレイン電極5上を含む窒化物半導体積層構造21の全面に絶縁物、例えばシリコン窒化物(SiN)を、プラズマCVD法等を用いて、例えば50nm程度の厚みに堆積する。このSiNの波長633nmの光に対する屈折率は2.0近傍であり、ストイキオメトリのSiNである。以上により、保護絶縁膜6が形成される。
詳細には、保護絶縁膜6の全面にスピンコート法等により電子線レジストを塗布する。電子線レジストとしては単層であり、例えば商品名PMGI(米国マイクロケム社製)を用いる。塗布した電子線レジストに電流方向に例えば0.1μm長で電子線を入射して感光させ、現像により開口14aを形成する。以上により、開口14aを有するレジストマスク14が形成される。
詳細には、レジストマスク14を用い、エッチングガスとして例えばSF6を用いて保護絶縁膜6をドライエッチングする。以上により、保護絶縁膜6に開口6aが形成される。
詳細には、先ず、保護絶縁膜6上に電子線レジストを塗布する。電子線レジストは3層からなり、下層レジストには商品名PMMA(米国マイクロケム社製)、中間層レジストには商品名PMGI(米国マイクロケム社製)、上層レジストには商品名ZEP520(日本ゼオン社製)を用いる。上層レジストのゲート電極の形成予定領域に電流方向に例えば0.8μm長で電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、現像液として例えば商品名ZEP−SD(日本ゼオン社製)を用いて、上層レジストに例えば0.8μm長の開口を形成する。更に、例えば商品名NMD−W(東京応化社製)を用いて、上層レジストの開口端からオーミック電極方向に0.5μmセットバックさせた領域の中間層レジストを除去する。次に、上層レジスト及び中間層レジストの開口中央部に(保護絶縁膜6の開口6aを内包するように)、電流方向に例えば0.15μm長電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、現像液として例えば商品名ZMD−B(東京応化社製)を用いて、下層レジストに保護絶縁膜6の開口6aよりも幅広に、例えば0.15μm長の開口を形成する。以上により、開口15a,16a,17aが形成されたレジストマスク15,16,17が形成される。
詳細には、レジストマスク15,16,17を用いて、電極材料として、例えばNi/Auを、例えば蒸着法により、開口16a,17a内で、開口6a内を含むレジストマスク15上に堆積する。Niの厚みは10nm程度、Auの厚みは300nm程度とする。以上により、保護絶縁膜6上に、開口6aを電極材料の一部で埋め込むゲート電極7が形成される。ゲート電極7は、保護絶縁膜6の開口6aを埋め込む第1部分と、その上で開口6aよりも幅広で絶縁膜6上に乗り上げる第2部分と、その上で第2部分よりも幅広の第3部分とが一体とされてなるものである。
しかる後、ソース電極4、ドレイン電極5、ゲート電極7と接続される配線の形成等の諸工程を経て、本実施形態によるInAlGaN/GaN・HEMTが形成される。
図16は、本実施形態によるInAlGaN/GaN・HEMTの製造方法2の主要工程を順に示す概略断面図である。
詳細には、先ず、保護絶縁膜6上に電子線レジストを塗布する。電子線レジストは3層からなり、下層レジストには商品名PMMA(米国マイクロケム社製)、中間層レジストには商品名PMGI(米国マイクロケム社製)、上層レジストには商品名ZEP520(日本ゼオン社製)を用いる。上層レジストのゲート電極の形成予定領域に電流方向に例えば0.8μm長で電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、現像液として例えば商品名ZEP−SD(日本ゼオン社製)を用いて、上層レジストに例えば0.8μm長の開口を形成する。更に、例えば商品名NMD−W(東京応化社製)を用いて、上層レジストの開口端からオーミック電極方向に0.5μmセットバックさせた領域の中間層レジストを除去する。次に、上層レジスト及び中間層レジストの開口中央部に(保護絶縁膜6の開口6aを内包するように)、電流方向に例えば0.1μm長電子線を入射して感光させる。電子線描画の後、現像液として例えば商品名ZMD−B(東京応化社製)を用いて、下層レジストに保護絶縁膜6の開口6aと同等、即ち0.1μm長の開口を形成する。以上により、開口18a,16a,17aが形成されたレジストマスク18,16,17が形成される。
詳細には、レジストマスク18,16,17を用いて、電極材料として、例えばNi/Auを、例えば蒸着法により、開口16a,17a内で、開口6a内を含むレジストマスク18上に堆積する。Niの厚みは10nm程度、Auの厚みは300nm程度とする。以上により、保護絶縁膜6上に、開口6aを電極材料の一部で埋め込むゲート電極8が形成される。ゲート電極8は、保護絶縁膜6の開口6aを埋め込み保護絶縁膜6の上方に伸びる第1部分と、その上で第1部分よりも幅広の第2部分とが一体とされてなるものである。
しかる後、ソース電極4、ドレイン電極5、ゲート電極8と接続される配線の形成等の諸工程を経て、本実施形態によるInAlGaN/GaN・HEMTが形成される。
比較例は、AlGaNのバックバリア層を、i−GaN間(バッファ層と電子走行層との間)に設けたInAlGaN/GaN・HEMTである。比較例では、バックバリア層は、バッファ層との界面及び電子走行層との界面でAl組成が階段状(急峻)に増加し、両界面間の厚み方向でAl組成が30%の略一定値とされている。
図18(a)のように、このInAlGaN/GaN・HEMTでは、窒化物半導体積層構造21は、2DEGの下方において、電子走行層(又はバッファ層)のi−GaNに、上面に負電荷を有する負電荷層(ここではバックバリア層22)が設けられている。負電荷層の下面と接する部分と負電荷層の上面と接する部分とは、同一組成率の同一材料(図18ではi−GaN)とされている。具体的に、このInAlGaN/GaN・HEMTは、AlGaNのバックバリア層22の挿入位置に、負電荷と正電荷とが差し引きされて残留した負電荷を有するものである。この負電荷の存在は、CV法又は顕微EB法により確認することができる。
比較例では、ゲート電極の直下を回り込むように分布する高い電子濃度領域が確認されるのに対して、本実施形態では、この電子濃度領域の形成が抑制されていることが判る。
比較例では、ゲート電極の直下を回り込むように分布する高い電子濃度領域が確認されるのに対して、本実施形態では、この電子濃度領域の形成が抑制されていることが判る。
また、バックバリア層22は、電子走行層2cとの界面の負電荷がバッファ層2aとの界面の正電荷よりも例えば10%以内の過多を有する。
また、バックバリア層22は、ヘテロ界面である電子走行層2cの上面から40nm程度の距離内に位置する(即ち、電子走行層2cの厚みが40nm程度以下である)ことが好ましい。
以下、第2の実施形態の変形例について説明する。本変形例では、第2の実施形態におけるAlGaNを材料とするバックバリア層に代わって、InAlGaNを材料とするバックバリア層を形成する。
本変形例では、バックバリア層となるInAlGaNを成長する際には、バッファ層2aとの界面から上面(電子走行層2cが形成されたときの電子走行層2cとの界面)に向かうほどIn組成及びAl組成の和が0%から連続的に増加して当該上面で最大値となり、当該上面で階段状(急峻)に減少して0%となるように、TMIガス及びTMAガスの流量を調節する。In組成及びAl組成の和の最大値は、例えば80%程度とされる。
図22(a)のように、このInAlGaN/GaN・HEMTでは、窒化物半導体積層構造23は、2DEGの下方において、電子走行層(又はバッファ層)のi−GaNに、上面に負電荷を有する負電荷層(ここではバックバリア層24)が設けられている。負電荷層の下面と接する部分と負電荷層の上面と接する部分とは、同一組成率の同一材料(図20ではi−GaN)とされている。具体的に、このInAlGaN/GaN・HEMTは、InAlGaNのバックバリア層24の挿入位置に、負電荷と正電荷とが差し引きされて残留した負電荷を有するものである。この負電荷の存在は、CV法又は顕微EB法により確認することができる。
また、バックバリア層24は、電子走行層2cとの界面の負電荷がバッファ層2aとの界面の正電荷よりも例えば10%以内の過多を有する。
また、バックバリア層24は、ヘテロ界面である電子走行層2cの上面から40nm程度の距離内に位置する(即ち、電子走行層2cの厚みが40nm程度以下である)ことが好ましい。
これにより、バックバリア層24のIII族元素組成は、厚み方向について、バッファ層2aとの界面から電子走行層2cとの界面に向かうほどIII族元素組成が連続的に増加して電子走行層2cとの界面で最大値(例えば80%)となり、若干の厚み分だけ当該最大値が維持され、電子走行層2cとの界面でIII族元素組成が当該最大値から減少して0%となるものである。
本実施形態では、第1、第2の実施形態及び変形例から選ばれた1種のInAlGaN/GaN・HEMTを適用した電源装置を開示する。
図23は、第3の実施形態による電源装置の概略構成を示す結線図である。
一次側回路31は、交流電源34と、いわゆるブリッジ整流回路35と、複数(ここでは4つ)のスイッチング素子36a,36b,36c,36dとを備えて構成される。また、ブリッジ整流回路35は、スイッチング素子36eを有している。
二次側回路32は、複数(ここでは3つ)のスイッチング素子37a,37b,37cを備えて構成される。
本実施形態では、第1、第2の実施形態及び変形例から選ばれた1種のInAlGaN/GaN・HEMTを適用した高周波増幅器を開示する。
図24は、第4の実施形態による高周波増幅器の概略構成を示す結線図である。
ディジタル・プレディストーション回路41は、入力信号の非線形歪みを補償するものである。ミキサー42aは、非線形歪みが補償された入力信号と交流信号をミキシングするものである。パワーアンプ43は、交流信号とミキシングされた入力信号を増幅するものであり、第1、第2の実施形態及び変形例から選ばれた1種のInAlGaN/GaN・HEMTを有している。なお図24では、例えばスイッチの切り替えにより、出力側の信号をミキサー42bで交流信号とミキシングしてディジタル・プレディストーション回路41に送出できる構成とされている。
前記第1窒化物半導体層上に設けられたInGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第1窒化物半導体層との第1界面でIn組成が増加し、前記第2窒化物半導体層との第2界面に向かってIn組成が連続的に減少することを特徴とする窒化物半導体装置。
前記第1窒化物半導体層上に設けられたAlGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってAl組成が連続的に増加し、前記界面でAl組成が減少することを特徴とする窒化物半導体装置。
前記第1窒化物半導体層上に設けられたInAlGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってIn組成及びAl組成の和が連続的に増加し、前記界面でIn組成及びAl組成の和が減少することを特徴とする窒化物半導体装置。
前記第1窒化物半導体層の下方に設けられており、上面又は下面に負電荷を有する第2窒化物半導体層と
を備えており、
前記第2窒化物半導体層の前記下面と接する部分と、前記第2窒化物半導体層の前記上面と接する部分とが同一組成の同一材料からなることを特徴とする窒化物半導体装置。
前記ゲート電極のゲート長が0.3μm以下であることを特徴とする付記1〜17のいずれか1項に記載の窒化物半導体装置。
前記バックバリア層上に第2窒化物半導体層を形成する工程と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第1窒化物半導体層との第1界面でIn組成が増加し、前記第2窒化物半導体層との第2界面に向かってIn組成が連続的に減少することを特徴とする窒化物半導体装置の製造方法。
前記バックバリア層上に第2窒化物半導体層を形成する工程と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってAl組成が連続的に増加し、前記界面でAl組成が減少することを特徴とする窒化物半導体装置の製造方法。
前記バックバリア層上に第2窒化物半導体層を形成する工程と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってIn組成及びAl組成の和が連続的に増加し、前記界面でIn組成及びAl組成の和が減少することを特徴とする窒化物半導体装置の製造方法。
前記高圧回路はトランジスタを有しており、
前記トランジスタは、
第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に設けられたInGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第1窒化物半導体層との第1界面でIn組成が増加し、前記第2窒化物半導体層との第2界面に向かってIn組成が連続的に減少することを特徴とする電源回路。
トランジスタを有しており、
前記トランジスタは、
第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に設けられたInGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第1窒化物半導体層との第1界面でIn組成が増加し、前記第2窒化物半導体層との第2界面に向かってIn組成が連続的に減少することを特徴とする高周波増幅器。
前記高圧回路はトランジスタを有しており、
前記トランジスタは、
第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に設けられたAlGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってAl組成が連続的に増加し、前記第2界面でAl組成が減少することを特徴とする電源回路。
トランジスタを有しており、
前記トランジスタは、
第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に設けられたAlGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってAl組成が連続的に増加し、前記第2界面でAl組成が減少することを特徴とする高周波増幅器。
前記高圧回路はトランジスタを有しており、
前記トランジスタは、
第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に設けられたInAlGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってIn組成及びAl組成の和が連続的に増加し、前記界面でIn組成及びAl組成の和が減少することを特徴とする電源回路。
トランジスタを有しており、
前記トランジスタは、
第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に設けられたInAlGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってIn組成及びAl組成の和が連続的に増加し、前記界面でIn組成及びAl組成の和が減少することを特徴とする高周波増幅器。
2,21,23 窒化物半導体積層構造
2a バッファ層
2b,22,24 バックバリア層
2c 電子走行層
2d 中間層
2e 電子供給層
2f キャップ層
2A,2B 電極溝
3 素子分離領域
4 ソース電極
5 ドレイン電極
6 保護絶縁膜
7,8 ゲート電極
11,14 レジストマスク
11a,11b,12a,12b,13a,13b,14a,15a,16a,17a,18a 開口
12,15,18 下層レジストマスク
13,17 上層レジストマスク
16 中間層レジストマスク
31 一次側回路
32 二次側回路
33 トランス
34 交流電源
35 ブリッジ整流回路
36a,36b,36c,36d,36e,37a,37b,37c スイッチング素子
41 ディジタル・プレディストーション回路
42a,32b ミキサー
43 パワーアンプ
Claims (28)
- 第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に設けられたInGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第1窒化物半導体層との第1界面でIn組成が増加し、前記第2窒化物半導体層との第2界面に向かってIn組成が連続的に減少することを特徴とする窒化物半導体装置。 - 第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に設けられたAlGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってAl組成が連続的に増加し、前記第2界面でAl組成が減少することを特徴とする窒化物半導体装置。 - 第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層上に設けられたInAlGaNを含むバックバリア層と、
前記バックバリア層上に設けられた第2窒化物半導体層と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってIn組成及びAl組成の和が連続的に増加し、前記界面でIn組成及びAl組成の和が減少することを特徴とする窒化物半導体装置。 - 前記バックバリアは、厚み方向について、In組成の均一な部分を含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリアは、厚み方向について、Al組成の均一な部分を含むことを特徴とする請求項2に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリアは、厚み方向について、In組成及びAl組成の和の均一な部分を含むことを特徴とする請求項3に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリア層は、前記第2窒化物半導体層の上面から40nmの距離内に前記第2界面が位置していることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリア層は、前記第2窒化物半導体層の上面から40nmの距離内に前記第2界面が位置していることを特徴とする請求項2に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリア層は、前記第2窒化物半導体層の上面から40nmの距離内に前記第2界面が位置していることを特徴とする請求項3に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリア層は、In組成の最大値が5%〜20%であることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリア層は、Al組成の最大値が5%〜35%であることを特徴とする請求項2に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリア層は、In組成及びAl組成の和の最大値が50%〜80%であることを特徴とする請求項3に記載の窒化物半導体装置。
- 前記第1窒化物半導体層、前記バックバリア層、及び前記第2窒化物半導体層は、炭素を含有しており、前記第1窒化物半導体層側の方が前記第2窒化物半導体層側よりも炭素濃度が高いことを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリア層は、前記第1界面の負電荷が前記第2界面の正電荷よりも10%以内の過多を有することを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリア層は、前記界面の負電荷が前記第1窒化物半導体層との界面の正電荷よりも10%以内の過多を有することを特徴とする請求項2又は3に記載の窒化物半導体装置。
- 前記バックバリア層の厚みが5nm以下であることを特徴とする請求項1〜15のいずれか1項に記載の窒化物半導体装置。
- 二次元電子ガスが生成される第1窒化物半導体層と、
前記第1窒化物半導体層の下方に設けられており、上面又は下面に負電荷を有する第2窒化物半導体層と
を備えており、
前記第2窒化物半導体層の前記下面と接する部分と、前記第2窒化物半導体層の前記上面と接する部分とが同一組成の同一材料からなることを特徴とする窒化物半導体装置。 - ゲート電極を備えており、
前記ゲート電極のゲート長が0.3μm以下であることを特徴とする請求項1〜14のいずれか1項に記載の窒化物半導体装置。 - 第1窒化物半導体層上にInGaNを含むバックバリア層を形成する工程と、
前記バックバリア層上に第2窒化物半導体層を形成する工程と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第1窒化物半導体層との第1界面でIn組成が増加し、前記第2窒化物半導体層との第2界面に向かってIn組成が連続的に減少することを特徴とする窒化物半導体装置の製造方法。 - 第1窒化物半導体層上にAlGaNを含むバックバリア層を形成する工程と、
前記バックバリア層上に第2窒化物半導体層を形成する工程と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってAl組成が連続的に増加し、前記界面でAl組成が減少することを特徴とする窒化物半導体装置の製造方法。 - 第1窒化物半導体層上にInAlGaNを含むバックバリア層を形成する工程と、
前記バックバリア層上に第2窒化物半導体層を形成する工程と
を含み、
前記バックバリア層は、厚み方向について、前記第2窒化物半導体層との界面に向かってIn組成及びAl組成の和が連続的に増加し、前記界面でIn組成及びAl組成の和が減少することを特徴とする窒化物半導体装置の製造方法。 - 前記バックバリア層は、前記第2窒化物半導体層の上面から40nmの距離内に前記第2界面が位置していることを特徴とする請求項19に記載の窒化物半導体装置の製造方法。
- 前記バックバリア層は、前記第2窒化物半導体層の上面から40nmの距離内に前記第2界面が位置していることを特徴とする請求項20に記載の窒化物半導体装置の製造方法。
- 前記バックバリア層は、前記第2窒化物半導体層の上面から40nmの距離内に前記第2界面が位置していることを特徴とする請求項21に記載の窒化物半導体装置の製造方法。
- 前記第1窒化物半導体層、前記バックバリア層、及び前記第2窒化物半導体層は、炭素を含有しており、前記第1窒化物半導体層側の方が前記第2窒化物半導体層側よりも炭素濃度が高いことを特徴とする請求項19〜24のいずれか1項に記載の窒化物半導体装置の製造方法。
- 前記バックバリア層の厚みが5nm以下であることを特徴とする請求項19〜25のいずれか1項に記載の窒化物半導体装置の製造方法。
- 前記バックバリア層は、前記第1界面の負電荷が前記第2界面の正電荷よりも10%以内の過多を有することを特徴とする請求項19に記載の窒化物半導体装置の製造方法。
- 前記バックバリア層は、前記界面の負電荷が前記第1窒化物半導体層との界面の正電荷よりも10%以内の過多を有することを特徴とする請求項20又は21に記載の窒化物半導体装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017071862A JP6966689B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
PCT/JP2018/006034 WO2018180021A1 (ja) | 2017-03-31 | 2018-02-20 | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
US16/295,207 US11024730B2 (en) | 2017-03-31 | 2019-03-07 | Nitride semiconductor device and manufacturing method for the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017071862A JP6966689B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018174245A true JP2018174245A (ja) | 2018-11-08 |
JP6966689B2 JP6966689B2 (ja) | 2021-11-17 |
Family
ID=63677492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017071862A Active JP6966689B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11024730B2 (ja) |
JP (1) | JP6966689B2 (ja) |
WO (1) | WO2018180021A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7016311B2 (ja) * | 2018-11-06 | 2022-02-04 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
CN109950374B (zh) * | 2019-04-02 | 2021-04-16 | 南通大学 | 一种氮化物量子阱结构深紫外发光二极管 |
CN113906574A (zh) * | 2019-06-10 | 2022-01-07 | 苏州晶湛半导体有限公司 | 半导体结构和半导体结构的制备方法 |
US20220029007A1 (en) * | 2020-07-24 | 2022-01-27 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Semiconductor structure and semiconductor device |
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JP2016213507A (ja) * | 2016-09-07 | 2016-12-15 | 富士通株式会社 | 化合物半導体装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6624452B2 (en) * | 2000-07-28 | 2003-09-23 | The Regents Of The University Of California | Gallium nitride-based HFET and a method for fabricating a gallium nitride-based HFET |
JP4469139B2 (ja) | 2003-04-28 | 2010-05-26 | シャープ株式会社 | 化合物半導体fet |
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US9735240B2 (en) * | 2015-12-21 | 2017-08-15 | Toshiba Corporation | High electron mobility transistor (HEMT) |
JP2016105499A (ja) | 2016-01-28 | 2016-06-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
-
2017
- 2017-03-31 JP JP2017071862A patent/JP6966689B2/ja active Active
-
2018
- 2018-02-20 WO PCT/JP2018/006034 patent/WO2018180021A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-03-07 US US16/295,207 patent/US11024730B2/en active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016213507A (ja) * | 2016-09-07 | 2016-12-15 | 富士通株式会社 | 化合物半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190207018A1 (en) | 2019-07-04 |
WO2018180021A1 (ja) | 2018-10-04 |
JP6966689B2 (ja) | 2021-11-17 |
US11024730B2 (en) | 2021-06-01 |
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